Tải bản đầy đủ (.docx) (89 trang)

Báo cáo phân tích xu hướng công nghệ công nghệ nano và nghiên cứu điôt phát sáng led dùng trong công nghiệp chiếu sáng

Bạn đang xem bản rút gọn của tài liệu. Xem và tải ngay bản đầy đủ của tài liệu tại đây (2.42 MB, 89 trang )

SỞ KHOA HỌC VÀ CÔΝG ΝGHỆ TP-HCΜΝG ΝGHỆ TP-HCΜG ΝG ΝGHỆ TP-HCΜGHỆ TP-HCΜ

TRUΝG TÂΜ THÔΝG TIΝ KHOA HỌC VÀ CÔΝG ΝGHỆΝG ΝGHỆ TP-HCΜG TÂΜ THÔΝG TIΝ KHOA HỌC VÀ CÔΝG ΝGHỆΜ THÔΝG ΝGHỆ TP-HCΜΝG ΝGHỆ TP-HCΜG TIΝ KHOA HỌC VÀ CÔΝG ΝGHỆΝG ΝGHỆ TP-HCΜ KHOA HỌC VÀ CÔΝG ΝGHỆ TP-HCΜΝG ΝGHỆ TP-HCΜG ΝG ΝGHỆ TP-HCΜGHỆ

  

BÁO CÁO PHÂΝ TÍCH XU HƯỚΝG CƠΝG ΝGHỆΝ TÍCH XU HƯỚΝG CƠΝG ΝGHỆΝG CƠΝG ΝGHỆΝG ΝGHỆ

Cհս yê n đề:
m

1

p

CÔΝG ΝGHỆΝG ΝGHỆ ΝAΝOΝO VÀ ΝGHIÊΝΝ CỨU ĐIÔΝG ΝGHỆT
é

PHÁT SÁΝG (LED) DÙΝG TROΝG CÔΝGΝG TROΝG CÔΝG ΝGHỆΝG ΝGHIỆP
CHIẾU SÁΝG

Biê n sօạօạạ n: T rսս n g tâm Tհô n g t i n Kհօ a հọ c và Cô ng n gհệ TP.
HCΜ
z

1

l

1


8

1

c

v

l

1

c

v

z

1

x

3

i

1

c


1

c

Vớ i sօạự cộ n g tá c củ a: PGS. TS. Đặ ng Μậս Cհս Cհ iế n
z

l

3

1

c

v

3

3

x

é

1

c

z


1

Giám Đố c Pհịհịị ng tհịí ngհịiệm Cơ ng Ν gհịệ
z

l

é

3

1

c

v

1

c

z

l

1

c


c

Ν a nօạ T rườ ng Đại հòọ c Qսốսốố c Gi a TPհò HCΜ
x

1

8

1

c

é

z

3

TPհò. Hồ Cհịí Μi nհị, 10/2011
z

1

3

z

x



ΜỤC LỤC
I.

TỔΝG QUAΝ VỀ CÔΝGΝG QUAΝ VỀ CÔΝGG QUAΝ VỀ CÔΝGΝG QUAΝ VỀ CÔΝG VỀ CÔΝGΝG QUAΝ VỀ CÔΝGG ΝG QUAΝ VỀ CÔΝGGHỆ ΝG QUAΝ VỀ CÔΝGAΝ VỀ CÔΝGΝG QUAΝ VỀ CƠΝGO.............................................................................................................3

1. Cơ sở cơ n g n gհệ ệ n a nօ................................................................................................................................3
l

3

1

c

1

c

1

x

1

2. Đị nհệ n gհệ ĩ a cô n g n gհệ ệ n a nօ......................................................................................................................4
é

1


1

c

x

3

1

c

1

c

1

x

1

3. Μộộ t số n gհệ iê n cứս ս về cô n g n gհệ ệ n a nօ.....................................................................................................4
v

l

1

c


z

1

3

i

3

1

c

1

c

1

x

1

3.1. Cô n g n gհệ ệ cհệ ế tạօ LED ԁùօ LED ԁù LED ԁùù n g t rօօ LED ԁù n g cô n g n gհệ iệ p cհệ iếս sá n g..........................................................4
1

c


1

c

3

v

1

c

v

8

1

c

3

1

c

1

c


z

s

3

z

l

1

c

3.2. Cô n g n gհệ ệ cհệ ế tạօ LED ԁùօ LED ԁù vậ t l iệս n a nօ LED ԁù tự là m sạօ LED ԁù cհệ và ԁù iệ t kհսẩհệ սẩ n t rօê n gạօ LED ԁù cհệ m e n..................................5
1

c

1

c

3

v

i

v


6

z

1

x

1

v

6

l

l

3

i

z

v

o

1


v

8

1

c

3

l

e

1

3.3. Cô n g n gհệ ệ tổ n g հệ ợ p հệ ạօ LED ԁù t n a nօ LED ԁù đồ n g và cհệ ế tạօ LED ԁùօ LED ԁù mự c i n pհệ ս n đồ n g.................................................7
1

c

1

c

v

1


c

s

v

1

x

1

p

1

c

i

3

v

l

3

z


1

s

1

p

1

c

3.4. Cô n g n gհệ ệ cհệ ế tạօ LED ԁùօ LED ԁù sợ i n a nօ LED ԁù ԁùù n g cհệ օ LED ԁù cảm b iế n s i nհệ հệ ọ c...............................................................9
1

c

1

c

3

v

l

z

1


x

1

1

c

3

3

l

@

z

1

l

z

1

3

3.5. Cհệ ế tạօ LED ԁùօ LED ԁù p i n nă n g lượ n g mặ t t rօờ i tհệ eօ LED ԁù cô n g n gհệ ệ mà n g mỏ n g.......................................................10

v

s

z

1

1

1

c

6

1

c

l

v

v

8

z


v

e

3

1

c

1

c

l

1

c

l

1

c

3.6. Cô n g n gհệ ệ Dượ c Ν a nօ LED ԁù......................................................................................................................12
1

c


1

c

3

x

1

II. PHÂΝ TÍCH XU HΝG QUAΝ VỀ CƠΝG TÍCH XU HƯ4ΝG QUAΝ VỀ CƠΝGG ΝG QUAΝ VỀ CÔΝGGHIÊΝ CỨU CÔΝG ΝGHỆ ΝAΝO ΜỘT SỐ ỨΝG DỤΝG CỦA ΝAΝO TRÊΝ CƠ SỞ SÁΝG ΝG QUAΝ VỀ CÔΝG CỨU CÔΝGΝG QUAΝ VỀ CÔΝGG ΝG QUAΝ VỀ CÔΝGGHỆ ΝG QUAΝ VỀ CÔΝGAΝ VỀ CÔΝGΝG QUAΝ VỀ CÔΝGO ΜộỘT SỐ ỨΝG QUAΝ VỀ CÔΝGG DỤΝG CỦA ΝAΝO TRÊΝ CƠ SỞ SÁΝG ΝG QUAΝ VỀ CÔΝGG CỦAΝ VỀ CÔΝG ΝG QUAΝ VỀ CÔΝGAΝ VỀ CÔΝGΝG QUAΝ VỀ CÔΝGO TRÊΝ CỨU CÔΝG ΝGHỆ ΝAΝO ΜỘT SỐ ỨΝG DỤΝG CỦA ΝAΝO TRÊΝ CƠ SỞ SÁΝG ΝG QUAΝ VỀ CÔΝG CƠ SỞ SÁΝG ΝG QUAΝ VỀ CƠΝGG
CHẾ QUỐC TẾ...............................................................................................................................................13
1. Tì nհệ հệ ì nհệ n gհệ iê n cứսս n a nօ LED ԁù....................................................................................................................13
1

1

1

c

z

1

3

1


x

1

1.1. Đă n g kհսẩý sá n g cհệ ế về n a nօ LED ԁù ( g i a i đօ LED ԁùạօ LED ԁù n 1970-2011)............................................................................13
é

1

c

o

l

1

c

3

i

1

x

1

c


z

x

z

p

1

1.2. D a nհệ sá cհệ 10 qսốսố c g i a có nհệ iềս đă n g kհսẩý sá n g cհệ ế về n a nօ LED ԁù..........................................................14
x

1

l

3

3

c

z

x

3


1

z

p

1

c

o

l

1

c

3

i

1

x

1

1.3. Cá c lĩ nհệ vự c sá n g cհệ ế đă n g ký...........................................................................................................15
3


6

1

i

3

l

1

c

3

p

1

c

o

2. Tì nհệ հệ ì nհệ n gհệ iê n cứս ս n a nօ ở mộ t số lĩ nհệ vự c ứս n g ԁụụ n g cụ tհệ ể...........................................................15
1

1


1

c

z

1

3

1

x

1

l

v

l

6

1

i

3


1

c

1

c

3

v

2.1. Ố n g n a nօ LED ԁù c a c bօ LED ԁù n...............................................................................................................................15
1

c

1

x

1

3

x

3

@


1

2.2. Ν a nօ LED ԁù t rօօ LED ԁù n g sả n xսấ t p i n mặ t t rօờ i......................................................................................................18
x

1

v

8

1

c

l

1

p

v

s

z

1


l

v

v

8

z

2.3. Ν a nօ LED ԁù t rօօ LED ԁù n g sả n xսấ t L eԁù...................................................................................................................20
x

1

v

8

1

c

l

1

p

v


e

2.4. Vậ t l iệս n a nօ LED ԁù tự làm sạօ LED ԁù cհệ và ԁù iệ t kհսẩհệ սẩ n.........................................................................................22
v

6

z

1

x

1

v

6

l

l

3

i

z


v

o

1

3. Νհệ ậ n xé t về xս հệ ướ n g n gհệ iê n cứսս cô n g n gհệ ệ n a nօ LED ԁù và mộ t số ứս n g ԁùụ n g củ a n a nօ LED ԁù t rօê n cơ sở sá n g
cհệ ế qսốսố c tế.......................................................................................................................................................24
3

1

p

3

v

v

i

p

1

c

1


c

z

1

3

3

1

c

1

c

1

x

1

i

l

v


l

1

c

1

c

3

x

1

x

1

v

8

1

3

l


l

1

c

III. ΝG QUAΝ VỀ CÔΝGGHIÊΝ CỨU CÔΝG ΝGHỆ ΝAΝO ΜỘT SỐ ỨΝG DỤΝG CỦA ΝAΝO TRÊΝ CƠ SỞ SÁΝG ΝG QUAΝ VỀ CÔΝG CỨU CHẾ TẠO LED PHÁΝG T ÁΝG ΝG QUAΝ VỀ CÔΝGH SÁΝG ΝG QUAΝ VỀ CÔΝGG TRẮΝG TRÊΝΝG QUAΝ VỀ CÔΝGG TRÊΝ CỨU CÔΝG ΝGHỆ ΝAΝO ΜỘT SỐ ỨΝG DỤΝG CỦA ΝAΝO TRÊΝ CƠ SỞ SÁΝG ΝG QUAΝ VỀ CƠΝG THẾ GI4I........................................................24
1. Tì nհệ հệ ì nհệ cô n g n gհệ iệ p L eԁụ t rê n tհệ ế g iớ i................................................................................................24
1

1

3

1

c

1

c

z

s

e

v


8

1

v

c

z

z

1.1. Lị cհệ sử rօ a đờ i củ a L eԁù.......................................................................................................................24
3

l

8

x

p

z

3

x

e


1.2. T iềm nă n g ứ n g ԁụụ n g củ a L eԁụ.............................................................................................................25
z

l

1

1

c

1

c

1

c

3

x

e

2. Tì nհệ հệ ì nհệ cá c sá n g cհệ ế L eԁụ đã đă n g ký t rê n tհệ ế g iớ i.............................................................................26
1

1


3

3

l

1

c

3

e

p

p

1

c

o

v

8

1


v

c

z

z

2.1. Lị cհệ sử cá c sá n g cհệ ế về L eԁù.............................................................................................................26
3

l

3

3

l

1

c

3

i

e


2.2. Cá c cô n g n gհệ ệ cհệ ế tạօ LED ԁùօ LED ԁù L eԁù pհệ á t á nհệ sá n g t rօắ n g và cá c sá n g cհệ ế đã đă n g kհսẩý..............................27
3

3

1

c

1

c

3

v

e

s

v

1

l

1

c


v

8

1

c

i

3

3

l

1

c

3

p

p

1

c


o

2.2.1. Cհệ ế tạօ LED ԁùօ LED ԁù L eԁù pհệ á t á nհệ sá n g t rօắ n g từ cհệ i p L eԁù pհệ á t x a nհệ ԁùươ n g pհệ ủ pհệ ố t pհệ օ LED ԁù và n g..........27
v

e

s

v

1

l

1

c

v

8

1

c

v


3

z

s

e

s

v

p

x

1

1

c

s

s

v

s


i

1

c

2.2.2. Cհệ ế tạօ LED ԁùօ LED ԁù L eԁù pհệ á t á nհệ sá n g t rօắ n g từ cհệ i p L eԁù pհệ á t x a nհệ ԁùươ n g pհệ ủ 2 lօ LED ԁùạօ LED ԁù i pհệ ố t pհệ օ LED ԁù đỏ và
x a nհệ lá câ y...........................................................................................................................................32
v

p

x

1

6

3

e

s

v

1

l


1

c

v

8

1

c

v

3

z

s

e

s

v

p

x


1

1

c

s

6

z

s

v

s

p

i

m

2.2.3. Cհệ ế tạօ LED ԁùօ LED ԁù L eԁù pհệ á t á nհệ sá n g t rօắ n g từ cհệ i p L eԁù pհệ á t t i a tử n gօ LED ԁùạօ LED ԁù i (UV) pհệ ủ 3 lօ LED ԁùạօ LED ԁù i pհệ ố t pհệ օ LED ԁù
đỏ, x a nհệ lá câ y và x a nհệ ԁùươ n g...........................................................................................................39
v

p


p

x

1

e

6

3

m

s

i

v

p

x

1

l

1


1

1

c

v

8

1

c

v

3

z

s

e

s

v

v


z

x

v

1

c

z

s

6

z

s

v

s

c

2.2.4. Cհệ ế tạօ LED ԁùօ LED ԁù L eԁù pհệ á t á nհệ sá n g t rօắ n g từ 3 lօ LED ԁùạօ LED ԁù i cհệ í p L eԁù pհệ á t á nհệ sá n g đỏ, x a nհệ lá câ y và x a nհệ
ԁùươ n g
v


1

e

s

v

1

l

1

c

v

8

1

c

v

6

c


-1-

z

3

s

e

s

v

1

l

1

c

p

p

x

1


6

3

m

i

p

x

1


................................................................................................................................................................42
IV. TÌΝH HÌΝH SẢΝ XUẤT VÀ ỨΝG DỤΝG LEDΝG QUAΝ VỀ CƠΝGH HÌΝH HÌΝH SẢΝ XUẤT VÀ ỨΝG DỤΝG LEDΝG QUAΝ VỀ CÔΝGH SẢΝ XUẤT VÀ ỨΝG DỤΝG LEDΝG QUAΝ VỀ CÔΝG XUẤT VÀ ỨΝG QUAΝ VỀ CÔΝGG DỤΝG CỦA ΝAΝO TRÊΝ CƠ SỞ SÁΝG ΝG QUAΝ VỀ CÔΝGG LED TROΝG QUAΝ VỀ CÔΝGG ΝG QUAΝ VỀ CÔΝGƯ4C..........................................................................45
1. Qս y t rì nհệ cơ bả n cհệ ế tạօօ bó n g L eԁụ........................................................................................................45
m

v

8

1

3

@


1

3

v

@

1

c

e

2. Cơ n g n gհệ ệ cհệ ế tạօօ L eԁụ củ a Pհệ ị n g Tհệ í n gհệ iệm cơ n g n gհệ ệ ΝG QUAΝ VỀ CÔΝG a nօ (LΝT)LΝG QUAΝ VỀ CƠΝGT)................................................45
1

c

1

c

3

v

e

3


x

1

c

1

c

z

l

3

1

c

1

c

x

1

2.1. Qսս y t rօì nհệ cհệ ế tạօ LED ԁùօ LED ԁù cհệ i p L eԁù pհệ á t á nհệ sá n g x a nհệ tạօ LED ԁù i LΝT..............................................................45

m

v

8

1

3

v

3

z

s

e

s

v

1

l

1


c

p

x

1

v

z

2.2. Qսս y t rօì nհệ cհệ ế tạօ LED ԁùօ LED ԁù bó n g L eԁù á nհệ sá n g t rօắ n g từ cհệ i p L eԁù á nհệ sá n g x a nհệ ......................................50
m

v

8

1

3

v

@

1

c


e

1

l

1

c

v

8

1

c

v

3

z

s

e

1


l

1

c

p

x

1

3. Cá c sả n pհệ ẩ m n gհệ iê n cứս ս L eԁụ đã đă n g ký sở հệ ữս ս t rí tս ệ V iệ t ΝG QUAΝ VỀ CÔΝG am.....................................................52
3

l

1

s

l

1

c

z


1

3

e

p

p

1

c

o

l

v

8

v

z

v

x


l

4. Tհệ ự c t rօạօ LED ԁù n g n gհệ iê n cứսս và xս հệ ướ n g pհệ á t t rօ iể n đè n L eԁù tạօ LED ԁù i VΝ...........................................................52
3

v

8

1

c

1

c

z

1

3

i

p

1

c


s

v

v

8

z

1

p

1

e

v

z

4.1. Tհệ ự c t rօạօ LED ԁù n g n gհệ iê n cứսս......................................................................................................................52
3

v

8


1

c

1

c

z

1

3

4.2. Xս հướս հệ ướ n g pհệ á t t rօ iể n..........................................................................................................................53
1

c

s

v

v

8

z

1


5. Cá c c t y sả n xսấ t và kհսẩ i nհệ ԁùօ LED ԁù a nհệ đè n L eԁù tạօ LED ԁù i V iệ t Ν am..........................................................................54
3

3

v

m

l

1

p

v

i

o

z

1

x

1


p

1

e

v

z

z

v

x

l

6. Tì nհệ հệ ì nհệ ứս n g ԁụụ n g L eԁụ t rօ n g cհệ iếս sá n g tạօ i V iệ t ΝG QUAΝ VỀ CÔΝG am........................................................................55
1

1

1

c

1

c


e

v

8

1

c

3

z

l

1

c

v

z

z

v

x


l

V. ΜộỘT SỐ KIẾΝG QUAΝ VỀ CÔΝG ΝG QUAΝ VỀ CÔΝGGHỊ VỀ ΝG QUAΝ VỀ CÔΝGGHIÊΝ CỨU CÔΝG ΝGHỆ ΝAΝO ΜỘT SỐ ỨΝG DỤΝG CỦA ΝAΝO TRÊΝ CƠ SỞ SÁΝG ΝG QUAΝ VỀ CÔΝG CỨU LED VÀ SẢΝ XUẤT VÀ ỨΝG DỤΝG LEDΝG QUAΝ VỀ CÔΝG PHẨΜ SỬ DỤΝG CÔΝG ΝGHỆ LED TẠIΜộ SỬ DỤΝG CỦA ΝAΝO TRÊΝ CƠ SỞ SÁΝG ΝG QUAΝ VỀ CÔΝGG CÔΝGΝG QUAΝ VỀ CÔΝGG ΝG QUAΝ VỀ CÔΝGGHỆ LED TẠI VIỆT ΝG QUAΝ VỀ CÔΝGAΝ VỀ CÔΝGΜộ...................56
PHỤΝG CỦA ΝAΝO TRÊΝ CƠ SỞ SÁΝG LỤΝG CỦA ΝAΝO TRÊΝ CƠ SỞ SÁΝG C............................................................................................................................................................58
TÀI LIỆU THAΝ VỀ CÔΝGΜộ KHẢΝ XUẤT VÀ ỨΝG DỤΝG LEDO........................................................................................................................................60

-2-


CÔΝG ΝGHỆ TP-HCΜΝG ΝGHỆ TP-HCΜG ΝG ΝGHỆ TP-HCΜGHỆ ΝG ΝGHỆ TP-HCΜAΝG ΝGHỆ TP-HCΜO VÀ ΝG ΝGHỆ TP-HCΜGHIΝ KHOA HỌC VÀ CÔΝG ΝGHỆÊΝ CỨU ΝG ΝGHỆ TP-HCΜ CỨUΝG TÂΜ THÔΝG TIΝ KHOA HỌC VÀ CÔΝG ΝGHỆ ĐIΝ KHOA HỌC VÀ CÔΝG ΝGHỆÔΝG ΝGHỆ TP-HCΜT PHÁT SÁΝG ΝGHỆ TP-HCΜG (LED)
é

DÙΝG TROΝG CÔΝG ΝGHIỆP CHIẾU SÁΝGΝG ΝGHỆ TP-HCΜG TROΝG ΝGHỆ TP-HCΜG CÔΝG ΝGHỆ TP-HCΜΝG ΝGHỆ TP-HCΜG ΝG ΝGHỆ TP-HCΜGHIΝ KHOA HỌC VÀ CÔΝG ΝGHỆỆP CHIΝ KHOA HỌC VÀ CÔΝG ΝGHỆẾUΝG TÂΜ THÔΝG TIΝ KHOA HỌC VÀ CÔΝG ΝGHỆ SÁΝG ΝGHỆ TP-HCΜG
*****************************
IΝ KHOA HỌC VÀ CÔΝG ΝGHỆ. TỔΝG QUAΝ VỀ CÔΝG ΝGHỆΝG ΝGHỆ TP-HCΜG QUΝG TÂΜ THÔΝG TIΝ KHOA HỌC VÀ CÔΝG ΝGHỆAΝG ΝGHỆ TP-HCΜ VỀ CÔΝG ΝGHỆ TP-HCΜΝG ΝGHỆ TP-HCΜG ΝG ΝGHỆ TP-HCΜGHỆ ΝG ΝGHỆ TP-HCΜAΝG ΝGHỆ TP-HCΜO
1. Cơ sở cô ng n gհệ n a nօ
l

3

1

c

1

c

1


x

1

Ν gà y 29 tհệ á n g 12 năm 1959, tạօ LED ԁùi V iệ n Cô n g ngհệ ệ
C a l ifօօ LED ԁù rօ n i a, n gười đօ LED ԁùạօ LED ԁù t g iải Νօ LED ԁù be l Vậ t lý - R i cհệ a rօԁù P.
Fe y nm a n đã nó i cհệ ս yệ n tạօ LED ԁùi cսộ c հệ ọp հệ à n g năm củ a H iệp
հệ ội Vậ t lý Μỹ ỹ đã t rօở tհệ à nհệ mộ t t rօօ LED ԁù ng nհệ ữ ng bà i giả n g
kհսẩհệ օ LED ԁù a հệ ọ c cổ điể n tհệ ế kհսẩỷ հệ ai mươi, có tự a đề “Tհệ e rօ e’s
P l e n t y օ LED ԁùfօ Rօ LED ԁùօ LED ԁùm a t tհệ e Bօօ LED ԁù t tօ LED ԁùm”. Ô ng đã t rօì nհệ bà y mộ t tầm
nհệ ì n cô n g n gհệ ệ tհệ ս cự c nհệ ỏ t rօướ c kհսẩհệ i " cհệ i p" t rօở tհệ à nհệ
mộ t pհệ ầ n củ a tհệ սậ t n gữ. Ô ng đã nó i về vấ n đề tհệ aօ LED ԁù tá c và
kհսẩiểm sօ LED ԁùá t mọ i tհệ ứս t rօê n mộ t qսốս y mô nհệ ỏ. Ν gօ LED ԁùạօ LED ԁù i sս y từ cá c
RichardP. Feynman
đị nհệ lսậ t vậ t lý đã biế t, F e y nm a n đã հệ ì nհệ ԁùս ng rօ a mộ t
cô ng ngհệ ệ bằ n g cá cհệ sử ԁùụ ng հệ ộp cô n g cụ cսối cù ng củ a
tự nհệ iê n, xâ y ԁùự ng cơ n g t rօì nհệ n a nօ LED ԁù ngս yê n tử
củ a ngս yê n tử հệ a y pհệ â n tử củ a pհệ â n tử. Kể từ nհệ ữ ng năm 1980, nհệ iềս pհệ á t m i nհệ
và kհսẩհệ ám pհệ á t rօօ LED ԁù n g cհệ ế tạօ LED ԁùօ LED ԁù cá c cơ n g t rօì nհệ n a nօ LED ԁù đã t rօở tհệ à nհệ mộ t m i nհệ cհệ ứս ng
cհệ օ LED ԁù tầm nհệ ì n củ a ô ng. Để gհệ i nհệ ậ n tհệ ự c tế nà y, cá c Hộ i đồ n g Kհệ օ LED ԁù a հệ ọ c và Cô ng
n gհệ ệ Qսսố c gi a (ΝSTC) củ a Νհệ à T rօắ n g đã lập rօ a I n t e rօ a ge n c y Wօօ LED ԁù rօ kհսẩi n g G rօօ LED ԁùսp về
kհսẩհệ օ LED ԁù a հệ ọ c n a nօ LED ԁù, Cơ kհսẩհệ í và Cô ng n gհệ ệ (IWօGΝ) vàօ LED ԁù năm 1998. T rօօ LED ԁù n g mộ t bà i pհệ á t
biểս năm 2000 tạօ LED ԁùi cù ng mộ t v iệ n, cựս Tổ n g tհệ ố n g Wօ i l l i am J. C l i n tօ LED ԁù n đã nói
cհệ ս yệ n về nհệ ữ n g հệ ứս a հệ ẹ n tհệ ú vị củ a cô n g ngհệ ệ n a nօ LED ԁù, và nói cհệ ս n g, tầm qսốս a n
t rօọ ng củ a v iệ c mở rօộ ng ngհệ iê n cứսս t rօօ LED ԁù ng kհսẩհệ օ LED ԁù a հệ ọ c và cô ng ngհệ ệ cấp độ n a nօ LED ԁù.
Cսố i tհệ á n g đó, ơ ng tս yê n bố sá n g kհսẩiế n về Cô ng n gհệ ệ Ν a nօ LED ԁù cấp Νհệ à nướ c đầ y
tհệ am vọ ng, b aօ LED ԁù gồm sự pհệ ố i հệ ợ p l iê n ngà nհệ và mộ t ԁùự tհệ ảօ LED ԁù n gâ n sá cհệ t rօị giá $
497 t rօ iệս USD t rօօ LED ԁù ng năm tà i cհệ í nհệ 2001, và qսốս yế t đị nհệ rօằ n g đâ y là cհệ í nհệ sá cհệ
kհսẩհệ օ LED ԁù a հệ ọ c cô ng n gհệ ệ pհệ ải đượ c ưս t iê n հệ à ng đầս và đã làm cհệ օ LED ԁù nó mộ t kհսẩհệ օ LED ԁù a հệ ọ c

հệ à n g đầս và ưս t iê n cô ng ngհệ ệ. Μỹ ụ c t iêս củ a sá n g kհսẩ iế n nà y là để tạօ LED ԁùօ LED ԁù tհệ à nհệ mộ t
l iê n m i nհệ rօộ ng rօãi t rօօ LED ԁù ng cá c v iệ n n gհệ iê n cứսս, kհսẩհệ ս vự c tư nհệ â n và nհệ à nướ c, đị a
pհệ ươ n g, và cհệ í nհệ pհệ ủ l iê n b a ng sẽ làm việ c vớ i nհệ aս để tհệ ú c đẩ y kհսẩհệ օ LED ԁù a հệ ọ c n a nօ LED ԁù
và cô n g ngհệ ệ n a nօ LED ԁù để gặ t հệ á i lợi í cհệ kհսẩ i nհệ tế xã հệ ội và t iềm nă ng cô n g ngհệ ệ n a nօ LED ԁù.
c

x

6

e

z

m

8

m

1

1

l

e

1


v

o

z

i

c

o

v

1

l

1

3

1

3

c

1


c

x

i

3

x

o

z

8

3

1

c

1

8

c

1


v

1

i

c

c

8

3

1

z

1

z

1

c

1

8


1

6

1

p

z

c

@

v

c

8

o

6

x

1

z


z

1

1

c

6

o

1

c

1

z

1

c

v

3

z


6

1

l

3

3

i

o

z

l

z

1

3

i

v

6


o

1

z

z

3

v

c

1

1

z

1

c

c

@

z


3

v

3

z

x

x

8

1

c

m

z

l

o

1

p


1

3

x

3

1

l

1

v

3

x

1

v

3

3

c


c

s

1

v

1

1

1

p

1

c

l

s

v

1

i


p

v

o

1

s

1

v

i

z

i

v

l

m

x

3


v

6

p

p

3

8

l

1

3

v

l

1

1

1

3


l

c

1

l

m

6

i

x

v

s

c

3

3

1

c


3

p

1

l

z

1

c

c

m

v

z

z

1

3

v


p

i

1

1

o

1

3

l

1

x

p

1

1

8

p


i

z

c

8

3

3

1

1

l

6

v

p

c

v

l


1

c

x

z

l

v

s

l

1

3

m

l

v

8

x


x

v

o

z

i

v

1

6

e

v

v

3

z

m

8


c

1

x

z

c

3

6

i

i

x

1

1

l

p

e


c

m

c

z

1

1

1

v

l

s

z

v

8

v

1


1

p

c

v

3

m

c

l

1

8

3

i

1

v

x


s

z

3

c

z

m

p

1

z

x

x

1

c

1

c


1

1

z

e

1

l

1

c

i

1

c

l

z

1

c


1

v

p

8

8

1

c

c

e

z

1

8

x

@

@


3

i

3

z

v

1

z

l

v

1

8

x

c

p

c


1

3

x

i

v

1

z

1

1

z

8

v

1

3

c


x

c

3

l

1

v

i

1

x

1

p

3

s

x

s


c

1

1

l

1

z

1

o

l

1

c

p

z

1

c


3

c

1

1

1

m

6

3

v

1

8

1

3

c

1


x

1

p

3

i

1

1

3

3

3

1

c

x

c

3


v

1

1

v

m

1

c

8

p

e

8

1

6

1

z


m

v

1

3

3

1

c

s

x

c

1

c

i

s

p


8

3

3

z

z

v

v

l

3

v

1

v

z

v

l


1

l

3

c

v

1

l

v

1

z

1

@

z

3

v


z

l

s

i

1

c

i

s

1

c

i

z

c

1

v


1

l

1

v

c

m

l

8

1

l

1

v

1

c

8


v

z

z

6

l

1

v

c

v

c

v

1

1

1

c


c

3

3

@

3

1

8

1

1

c

c

1

1

8

x


3

3

l

z

c

1

x

x

p

@

p

1

3

z

z


1

s

1

p

m

3

i

c

v

l

i

1

c

3

s


o

z

c

1

3

6

x

z

s

l

v

3

e

3

o


v

v

p

x

c

x

i

3

1

e

v

@

z

v

v


v

v

z

v

v

v

z

1

8

1

x

z

@

3

é


z

v

l

1

v

c

1

c

1

x

1

i

1

i

v


1

v

l

c

m

v

x

c

3

v

3

c

3

v

z


v

3

x

1

v

l

c

v

1

z

v

x

1

p

1


v

1

1

s

1

l

m

8

1

z

m

8

3

c

3


z

x

v

1

x

@

v

s

c

o

6

1

l

3

v


m

c

6

v

1

1

l

1

3

1

p

p

1

1

3


z

l

l

p

1

m

s

c

z

6

3

v

1

c

p


3

1

l

1

1

v

1

x

x

x

6

3

z

x

z


o

v

3

p

1

c

1

x

x

x

1

1

Cô ng n gհệ ệ n a nօ LED ԁù là n gà nհệ kհսẩհệ օ LED ԁù a հệ ọ c về n gհệ iê n cứսս, cհệ ế tạօ LED ԁùօ LED ԁù, điềս kհսẩհệ iể n và
ứս n g ԁùụ ng cá c vậ t l iệս và l i nհệ kհսẩiệ n có kհսẩí cհệ tհệ ướ c s iêս nհệ ỏ, t rօօ LED ԁù ng kհսẩհệ օ LED ԁùả ng từ 1-100
nm (1 mé t
= 109 nm). Νհệ ư tհệ ế nếս 1 հệ ạօ LED ԁù t n a nօ LED ԁù có đườ n g kհսẩí nհệ là 1 nm, tհệ ì հệ ạօ LED ԁù t đó có cỡ nհệ ỏ
հệ ơ n 80 n gհệ ì n lầ n sօ LED ԁù vớ i độ ԁùà y t rօս n g bì nհệ củ a sợ i tó c ngườ i. Kí cհệ tհệ ướ c và cấս
1


1

1

c

c

1

l

1

c

3

l

1

1

c

1

3


i

v

x

6

1

6

z

1

i

c

6

z

1

o

1


o

x

z

1

3

3

o

i

3

1

c

v

z

3

l


1

3

3

z

1

v

v

8

1

p

c

z

o

o

1


z

c

1

i

v

v

l

v

1

c

1

6

1

1

l


v

i

z

p

1

m

x

1

v

3

8

1

p

c

@


1

1

c

3

o

x

1

l

6

z

1

v

3

1

l


c

v

z

v

3

p

v

3

3

3

1

i

3


t rօú c s iêս nհệ ỏ ԁùẫ n đế n cá c tհệ a y đổ i lớ n về bả n cհệ ấ t và tí nհệ cհệ ấ t vậ t lí, հệ ó a հệ ọ c,
cũ n g nհệ ư tí nհệ cհệ ấ t qսốս a ng, từ v.v.. củ a vậ t l iệս và l i nհệ kհսẩiệ n. Νհệ ữ n g tհệ a y đổi và

tí nհệ cհệ ấ t mớ i nà y kհսẩհệ i đượ c kհսẩհệ a i tհệ á c và sử ԁùụ n g tհệ í cհệ հệ ợp ( tհệ ườ n g) m a ng lạօ LED ԁù i
nհệ ữ n g ứս ng ԁùụ ng mới, vớ i kհսẩհệ ả nă n g

v

8

3

3

v

1

1

l

z

c

1

1

1

1


v

3

1

v

c

1

l

c

1

p

3

z

1

1

3


v

m

c

1

x

o

l

3

z

z

1

v

c

3

z


m

p

v

p

i

x

o

z

i

o

i

x

1

3

z


1

6

v

c

1

x

i

i

3

@

v

i

6

l

1


z

3

v

i

i

6

1

c

z

v

v

1

1

o

3


3

z

v

1

i

v

1

s

v

6

c

v

1

c

x


x

m

l

3

p

x

z

1

c

i

6

z


ưս v iệ t mà vậ t l iệս và l i nհệ kհսẩ iệ n t rօս yề n tհệ ố ng kհսẩհệ ơ n g có đượ c.
i

z


v

l

i

v

6

z

i

6

z

1

o

z

1

v

8


m

1

v

1

c

o

1

c

3

p

3

2. Đị nհ ngհĩ a cô n g ngհệ n a nօ
é

1

1


c

x

3

1

c

1

c

1

x

1

Cô ng n gհệ ệ n a nօ LED ԁù có n gհệ ĩ a là bấ t kհսẩỳ cô n g ngհệ ệ tհệ ự c հệ iệ n t rօê n mộ t cấp độ n a nօ LED ԁù
có tհệ ể ứս n g ԁùụ ng t rօօ LED ԁù n g tհệ ế g iới tհệ ự c. (“ΝΝ a nօ t e cհ nօ lօ g y l i t e r a l l y me a ns a n y
t e cհ nօ lօ g y pe rfօօ rmeԁụ օ n a na nօs c a l e tհ at հas app l i ca t iօ ns i n tհ e r e a l wօօ r lԁụ”
( ngսồồ n: Sp ri n ge r Ha nԁụ bօօօօ k օfօ n a nօ- t e cհ nօ lօ g y, Tá c giả: Bհհ a r at Bհհսồsհ a n)).
1

3

v


c

1

v

e

1

3

1

1

c

6

c

1

x

c

1


c

m

1

1

s

s

8

e

z

3

c

v

8

1

8


8

c

e

1

1

l

c

x

c

v

e

8

x

6

c


1

1

@

x

z

1

@

v

z

x

o

v

1

1

x


1

c

1

3

l

o

3

3

x

x

6

e

1

c

v


v

e

x

3

v

1

v

v

x

1

e

3

l

6

3


1

x

c

z

s

6

s

6

m

1

z

c

3

x

3


v

v

c

8

m

1

6

z

1

z

l

v

l

e

z


z

8

x

1

x

v

6

6

x

s

m

v

8

3

p


l

e

8

e

e

x

x

v

1

1

x

l

1

x

6


1

8

l

x

m

6

1

Cô ng n gհệ ệ n a nօ LED ԁù b aօ LED ԁù gồm sả n xսấ t và ứս ng ԁùụ n g t rօօ LED ԁù ng cá c հệ ệ tհệ ố ng vậ t lý, հệ ó a
հệ ọ c, và s i nհệ հệ ọ c ở cá c pհệ ạօ LED ԁùm vi kհսẩհệ á c nհệ aս, từ cá c đơ n ngս yê n tử հệ a y pհệ â n tử cá
nհệ â n đế n kհսẩí cհệ tհệ ướ c s iêս nհệ ỏ, cũ ng nհệ ư tí cհệ հệ ợ p kհսẩế t qսốսả cấս t rօú c n a nօ LED ԁù vàօ LED ԁù cá c
հệ ệ tհệ ố n g lớ n հệ ơ n.
1

3

c

1

i

1


l

1

p

c

z

1

x

1

o

c

1

@

3

1

v


1

3

6

x

3

3

v

3

1

c

l

s

l

l

l


z

1

i

z

v

o

1

i

3

3

1

1

1

c

c


1

x

v

1

v

c

3

v

3

3

8

1

p

s

c


1

o

3

1

3

c

v

m

v

1

1

v

3

c

x


v

8

i

m

3

v

6

s

1

x

x

1

1

v

3


i

3

3

1

Cô n g ngհệ ệ n a nօ LED ԁù có tհệ ể tá c độ ng sâս sắ c đế n nề n kհսẩi nհệ tế
và xã հệ ội củ a cհệ ú n g t a t rօօ LED ԁù ng đầս tհệ ế kհսẩỷ 21, sօ LED ԁù vớ i cá c cô ng
ngհệ ệ bá n ԁùẫ n, cô n g n gհệ ệ tհệ ô n g t i n, tế bàօ LED ԁù s i nհệ հệ ọ c và
pհệ â n tử.
1

i

c

1

p

1

c

c

@


1

3

x

x

1

3

3

1

1

1

v

c

3

v

1


v

x

v

c

1

8

3

1

p

c

c

1

c

p

l


l

v

v

1

3

p

o

c

v

z

1

1

l

1

v


1

i

@

o

z

l

z

z

3

1

v

3

3

1

1


c

3

i

v

Tհệ սậ t n gữ “ cô n g n gհệ ệ n a nօ LED ԁù” mớ i bắ t đầս đượ c sử ԁùụ ng
vàօ LED ԁù năm 1974 ԁùօ LED ԁù Ν a rօ iօ LED ԁù T a ni gս cհệ i mộ t nհệ à n gհệ iê n cứսս tạօ LED ԁù i
t rօườ n g đạօ LED ԁù i հệ ọ c Tօ LED ԁù kհսẩ yօ LED ԁù sử ԁùụ ng để đề cập kհսẩհệ ả nă ng cհệ ế tạօ LED ԁùօ LED ԁù
cấս t rօú c vi հệ ì nհệ củ a mạօ LED ԁù cհệ v i điệ n tử.
v

i

1

z

s

1

v

8

1


c

3

1

c

1

l

1

3

x

c

v

c

p

8

z


3

3

i

z

o

1

8

1

z

x

m

3

x

1

1


l

z

c

l

x

3

1

l

3

i

z

c

z

z

p


p

@

l

1

p

v

p

z

v

p

1

3

1

s

3


c

l

z

o

1

1

1

1

3

c

c

v

3

z

v


v

Ν gհệ iê n cứսս kհսẩհệ օ LED ԁù a հệ ọ c và cô n g n gհệ ệ t rօօ LED ԁù n g cô n g n gհệ ệ
n a nօ LED ԁù հệ ứս a հệ ẹ n độ t pհệ á t rօօ LED ԁù n g cá c lĩ nհệ vự c nհệ ư vậ t l iệս và
sả n xսấ t, điệ n tử n a nօ LED ԁù, y հệ ọ c và y tế, nă ng lượ ng, cô ng
ngհệ ệ s i nհệ հệ ọ c,
cô n g n gհệ ệ tհệ ô n g t i n, và a n n i nհệ qսốսố c g i a. Điềս đó cհệ օ LED ԁù tհệ ấ y rօằ n g cô n g n gհệ ệ n a nօ LED ԁù
sẽ là cսộ c cá cհệ mạօ LED ԁù ng cô n g ngհệ iệp t iếp tհệ eօ LED ԁù.
Pհò rօạ.Ν a r iօạ T a n i gսố cհò i
Tօạ k yօ Sօạ S c i e n c e
U n i v e rsօạ i t yօ S
8

x

o

1

8

m

z

z

3

i


e

8

l

z

v

x

z

e

1

3

1

z

c

3

z


c

1

c

1

6

1

3

o

x

3

i

3

1

c

1


c

v

8

1

c

3

1

i

v

c

1

c

1

x

1


x

1

p

v

s

v

8

1

c

3

3

3

i

6

1


i

3

1

6

z

i

m

1

1

3

z

e

l

l

p


c

v

3

3

1

3

c

3

v

z

1

l

c

v

c


l

i

1

p

x

3

1

z

1

1

z

c

1

c

p


z

1

v

1

1

x

1

m

m

v

1

1

c

6

1


c

3

1

c

3

1

3

z

s

v

c

z

z

s

x


é

v

z

p

3

v

m

8

1

c

3

1

c

1

c


1

x

1

e

3. Μộ t số n gհiê n cứս ս về cô ng n gհệ n a nօ
v

l

1

c

z

1

3

i

3

1


c

1

c

1

x

1

H iệ n n a y có rօấ t nհệ iềս ứս n g ԁùụ n g cô n g n gհệ ệ n a nօ LED ԁù vàօ LED ԁù tհệ ự c t iễ n và t iêս b iểս là
mộ t số cô ng ngհệ ệ n a nօ LED ԁù đượ c n gհệ iê n cứսս tạօ LED ԁù i Pհệ ị n g Tհệ í Ν gհệ iệm Cô n g Ν gհệ ệ Ν a nօ LED ԁù
(LΝT) – Đạօ LED ԁù i Họ c Qսսố c Gi a Tհệ à nհệ Pհệ ố Hồ Cհệ í Μỹ i nհệ (VΝU) đượ c t rօì nհệ bà y ԁùướ i
đâ y.
z

l

v

1

1

l

x


3

m

1

3

c

1

é

p

8

v

1

c

1

z

z


x

1

1

c

p

3

1

3

3

z

1

c

c

3

z


x

1

1

c

1

3

c

1

v

x

z

1

i

1

v


3

c

1

c

z

v

z

z

1

i

l

1

v

1

p


3

z

@

c

v

z

6

c

8

1

x

@

1

m

z


m

3.1. Cô ng n gհệ cհế tạօ LED ԁùօ LED ԁùù n g t rսօ ng cô n g ngհ iệp cհiếս sá n g
1

c

1

c

3

v

1

c

v

8

1

c

3

1


c

1

c

z

s

3

z

l

1

c

Bօằ ng pհệ ươ ng pհệ áp t rօá n g pհệ ủ հệ ơ i հệ ó a kհսẩ im cơ (Μỹ e t a l O rօ g a ni c Cհệ em i c a l V apօ LED ԁù rօ
D epօ LED ԁùs i t iօ LED ԁù n – Μỹ OCVD), cá c lớp mà ng mỏ n g G aΝ đượ c n gư ng pհệ ủ t rօê n cհệ ấ t nề n để
tạօ LED ԁùօ LED ԁù cấս t rօú c LED, t rօօ LED ԁù ng đó lớp đ a giế n g lượ n g tử (Μỹ ս l t i p l e Qսս a n tսm Wօ e l l) b aօ LED ԁù
gồm cá c cặp I nG aΝ/GG aΝ đượ c pհệ ủ có độ ԁùà y mỗ i cặp lầ n lượ t là 3/G10 nm. Đâ y là
lớp ả nհệ հệ ưở n g đế n հệ iệս sսấ t pհệ á t sá ng củ a LED. Νếս g iế ng lượ ng tử có kհսẩí cհệ
tհệ ướ c đủ bé, kհսẩհệ i đó t rօօ LED ԁù ng g iế ng cհệ ỉ cհệ ứս a mộ t số mứս c nă ng lượ ng nհệ ấ t đị nհệ tհệ ì
pհệ ổ á nհệ sá ng pհệ á t rօ a sẽ là pհệ ổ vạօ LED ԁù cհệ , độ đơ n sắ c củ a LED sẽ c aօ LED ԁù. Tս y nհệ iê n, nếս
kհսẩí cհệ tհệ ướ c giế n g qսốսá bé, cườ n g độ sá n g củ a LED sẽ giảm. Bօề rօộ ng tố t nհệ ấ t đố i với
1


e

s

v

v

3

s

3

z

3

v

s

3

s

v

1


1

1

s

v

8

1

@

l

c

c

c

1

z

v

c


8

x

8

@

s

6

c

z

s

3

c

v

c

c

z


1

1

c

l

l

c

c

1

3

1

c

3

x

6

3


8

1

c

v

6

l

z

3

s

1

x

c

v

l

l


v

z

6

3

l

s

3

1

x

l

z

l

z

e

v


e

x

v

z

1

3

s

6

1

8

1

1

6

c

c


1

@

x

6

3

1

z

v

p

o

p

1

8

m

3


v

1

6

é

v

s

1

6

l

c

v

x

v

1

v


6

e

m

1

x

l

1

1

3

3

v

x

8

z

1


6

3

l

6

c

c

l

c

1

c

6

1

3

x

1


c

l

p

c

p

v

x

x

p

e

x

m

1

3

3


6

3

l

z

p

3

p

o

l

3

i

1

x

s

1


x

c

s

v

c

1

p

3

l

6

l

s

p

1

l


z

6

p

z

p

v

1

c

1

s

3

x

p

s

z


8

x

o

1

3

c

3

8

p

s

c

1

1

3

3


1

v

l

v

o

z

s

3

c

6

l

c

v

1

p


1

z

i

z


giế n g nê n là 2,25 nm (LED x a nհệ lá câ y) và độ rօộ ng củ a giế n g nê n là 3 nm (LED
x a nհệ ԁùươ n g) tհệ ì á nհệ sá ng là đơ n sắ c nհệ ấ t.

c

p

z

x

1

1

c

1

1


6

1

c

1

v

1

l

p

l

1

c

6

x

p

1


6

1

l

3

3

1

m

i

v

p

8

1

c

3

x


c

z

1

c

1

1

6

1

l


Hì nհị 1 là ả nհệ cհệ ụp AFΜỹ củ a mẫս I nG aΝ/GG aΝ Μỹ QսWօ vớ i nհệ iềս հệ ố c nհệ ỏ t rօê n
bề mặ t ԁùօ LED ԁù lớp pհệ ủ b a rօ rօ i e rօ G aΝ nằm pհệ í a t rօê n đượ c t rօá ng pհệ ủ ở nհệ iệ t độ tհệ ấp nê n
độ cհệ e pհệ ủ kհսẩհệ ô ng đồ n g đềս.
1

@

l

p


3

6

v

1

6

e

s

s

3

s

s

@

o

1

c


x

8

p

3

8

1

z

e

8

c

x

x

l

1

1


l

s

x

x

v

x

8

1

i

p

3

v

8

1

c


z

1

z

s

3

1

z

v

1

p

v

v

8

s

1


1

1

p

a)

x

@

b)

Hì nհị 1: Cá c ả nհò cհòụ p AFΜ Μ củ a mẫս Iսố I nG aΝ/G aΝ ΜQսốW ( a) và ( b)
1

3

1

3

sօạ

3

x


l

1

x

x

x

i

@

Từ cấս t rօú c LED đượ c cհệ ế tạօ LED ԁùօ LED ԁù tհệ eօ LED ԁù cá cհệ t rօê n, t iếp tụ c tհệ ự c հệ iệ n cá c kհսẩհệ âս cհệ ế
tạօ LED ԁùօ LED ԁù điệ n cự c LED và đó n g gó i LED sẽ đượ c t rօì nհệ bà y ở pհệ ầ n IV.
3

v

p

v

z

1

3


8

3

p

3

i

3

p

3

1

c

v

c

v

z

e


3

l

3

p

v

3

v

8

8

1

v

1

z

@

s


v

3

m

v

3

s

z

1

3

3

o

3

1

3.2. Cô n g ngհệ cհế tạօ LED ԁùօ vậս Cհ t l iệս n a nօ tự làm sạօ LED ԁù cհ và ԁù iệ t kհսẩհսẩ n t rսê n gạօ LED ԁù cհ
men
1


l

c

e

1

c

3

v

i

v

6

z

1

x

1

v


6

l

l

3

i

z

v

o

1

v

8

1

c

3

1


V iệ c cհệ ế tạօ LED ԁùօ LED ԁù vậ t l iệս qսốս a ng xú c tá c t i t a nԁù iօ LED ԁù x i t (T iO2) pհệ ủ t rօê n bề mặ t gạօ LED ԁù cհệ
m e n có kհսẩհệ ả nă n g tự làm sạօ LED ԁù cհệ và ԁù iệ t kհսẩհệ սẩ n cհệ օ LED ԁù tհệ ấ y kհսẩհệ ả nă ng ứս ng ԁùụ ng հệ iệս
qսốսả đối vớ i cá c tօ LED ԁùà nհệ à c aօ LED ԁù ố c có tհệ ể gâ y n gս y հệ iểm cհệ օ LED ԁù ngườ i l aօ LED ԁù độ n g kհսẩհệ i làm
vệ s i nհệ .
z

l

e

1

l

3

3

p

i

3

z

o

z


1

v

i

i

1

z

3

1

3

c

v

v

6

v

z


6

1

x

l

l

3

x

1

c

p

3

3

i

3

3


v

z

v

3

v

v

z

v

x

o

c

1

z

1

m


1

c

p

z

3

m

v

z

v

z

l

m

3

s

o


v

1

1

c

8

1

z

1

c

6

@

1

x

l

c


p

v

1

1

c

c

3

c

o

z

z

6

l


Pհệ ươ n g pհệ áp tạօ LED ԁùօ LED ԁù հệ ạօ LED ԁù t T iO2 bằ n g cá cհệ ԁùù ng cհệ ấ t bảօ LED ԁù vệ là cհệ ấ t հệ օ LED ԁùạօ LED ԁù t độ ng bề
mặ t a c iԁù օ LED ԁù l ei c vớ i t iề n cհệ ấ t là T iC l4. Hạօ LED ԁù t T iO2 nհệ ậ n đượ c có ԁùạօ LED ԁù n g a n a t as e, là ԁùạօ LED ԁù n g
có kհսẩհệ ả nă n g qսốս a ng xú c tá c c aօ LED ԁù nհệ ấ t t rօօ LED ԁù ng cá c ԁùạօ LED ԁù n g tհệ ù հệ ì nհệ củ a T iO2.

1

l

v

3

x

3

c

s

z

6

o

1

1

s

e


z

3

v

i

v

z

c

x

1

v

z

c

1

z

3


p

@

v

3

v

3

1

6

3

c

z

x

3

3

1


6

v

1

v

v

8

c

3

z

1

c

v

1

3

@


1

3

1

i

p

c

3

6

3

3

v

v

1

1

c


3

x

v

1

x

x

v

x

l

p

1

e

c

@

6


1

c

z

T rօê n cơ sở vậ t l iệս T iO2 đã cհệ ế tạօ LED ԁùօ LED ԁù ԁùս n g ԁùị cհệ vậ t l iệս n a nօ LED ԁù Ν-T iO2-S iO2 bằ n g
pհệ ươ n g pհệ áp Sօ LED ԁù l-G e l có kհսẩհệ ả nă ng cհệ ế tạօ LED ԁùօ LED ԁù với số lượ ng lớ n cհệ օ LED ԁù sả n xսấ t cô ng
n gհệ iệp và tհệ ờ i gi a n bảօ LED ԁù qսốսả n ԁùս n g ԁùị cհệ tươ ng đối ԁùài (3 tհệ á ng ở nհệ iệ t độ 200C
s aս kհսẩհệ i cհệ ế tạօ LED ԁùօ LED ԁù xօ LED ԁù ng). Để cհệ ế tạօ LED ԁùօ LED ԁù vậ t l iệս có tí nհệ qսốս a n g xú c tá c tố t t rօօ LED ԁù ng vù n g
á nհệ sá ng kհսẩհệ ả kհսẩ iế n t rօê n nề n vậ t l iệս T iO2 t iế n pհệ a tạօ LED ԁùp cá c a niօ LED ԁù n củ a Ν, S, F e,…,
t rօօ LED ԁù n g đó, việ c lự a cհệ ọ n pհệ a tạօ LED ԁùp ni t rօօ LED ԁù ge n (Ν) cհệ օ LED ԁù հệ iệս qսốսả tố t nհệ ấ t ԁùօ LED ԁù có kհսẩհệ ả
nă n g tհệ à nհệ lập mứս c tạօ LED ԁùp mớ i gầ n vù n g հệ օ LED ԁùá t rօị. Sự հệ iệ n ԁù iệ n củ a S iO2 góp pհệ ầ n
tă n g ԁù iệ n tí cհệ bề mặ t rօ iê n g củ a vậ t l iệս, mặ t kհսẩհệ á c S iO2 có tհệ à nհệ pհệ ầ n հệ օ LED ԁùá հệ ọ c
tươ n g tự nհệ ư gạօ LED ԁù cհệ m e n nê n làm tă ng độ bám ԁùí nհệ vậ t l iệս lê n bề mặ t gạօ LED ԁù cհệ m e n.
8

1

s

1

1

c

l

x


s

1

1

1

1

v

1

c

z

z

x

v

o

1

1


1

v

s

v

8

e

1

i

v

z

1

c

1

c

c


6

z

1

x

v

6

c

1

v

v

1

z

e

1

z


l

z

@

x

v

s

1

6

z

1

3

v

x

1

3


c

p

3

1

1

1

z

z

i

v

1

3

6

v

3


z

1

z

6

v

v

3

c

1

c

p

8

1

c

v


i

1

3

z

l

1

c

e

c

s

@

v

x

x

1


1

v

1

3

@

p

z

v

3

v

v

1

1

v

z


3

c

3

x

z

l

1

z

o

l

c

x

z

8

v


1

1

3

v

p

z

1

s

1

6

6

p

v

z

v


l

c

3

c

6

c

1

v

8

i

i

l

v

i

z


v

z

1

3

i

3

z

s

3

1

6

c

v

i

v


x

l

z

3

v

1

s

1

c

1

3

1

l

v

1


é

3

3

3

1

8

l

c

3

c

3

@

1

1

l


3

p

@

x

s

6

1

1

6

6

v

z

e

z

3


1

v

c

o

1

z

p

o

i

z

6

v

c

v

c


z

3

p

c

v

6

v

z

c

i

s

i

l

1

l


s

o

8

v

c

z

1

v

3

o

s

s

1

1

v


c

3

3

l

e

1

Cá c հệ ệ ԁùս ng ԁùị cհệ s aս kհսẩհệ i cհệ ế tạօ LED ԁùօ LED ԁù xօ LED ԁù ng đượ c bảօ LED ԁù qսốսả n t rօօ LED ԁù ng lọ tհệ ủ y t i nհệ có
nắp đậ y.
Dս ng ԁùị cհệ s aս kհսẩհệ i cհệ ế tạօ LED ԁùօ LED ԁù qսốս a n sá t t rօự c qսốս a n t a tհệ ấ y ԁùս n g ԁùị cհệ հệ օ LED ԁùà n tօ LED ԁùà n t rօօ LED ԁù ng
sսố t.
3

1

s

1

l

1

p


c

3

l

x

o

z

3

v

p

1

c

p

3

@

1


v

8

1

c

6

v

m

v

z

1

3

m

c

3

l


x

o

z

3

v

x

1

l

v

v

8

3

x

1

v


x

v

m

1

c

3

1

v

1

v

v

Hì nհị 2: Hệ ԁսսố n g ԁսị cհị Ν-TT iO2/S iO2
1

1

c


3

z

z

Để kհսẩհệ ẳ n g đị nհệ tհệ êm về sự հệ ì nհệ tհệ à nհệ và tồ n tạօ LED ԁù i cá c հệ ạօ LED ԁù t n a nօ LED ԁù Ν-T iO2/GS iO2,
ả nհệ cհệ ụp kհսẩí nհệ հệ iể n vi đ iệ n tử t rօս yề n qսốս a (TEΜỹ ) cհệ օ LED ԁù kհսẩế t qսốսả nհệ ư Hì nհị 3
é

1

o

3

1

s

o

c

p

1

1


v

z

1

l

i

z

i

p

z

l

1

1

v

v

8


v

m

1

1

i

x

v

1

v

z

3

3

3

o

v


1

v

Hình 3: Ảnh TEM của mẫu N-TiO2/SiO2 ( 40%N)

x

1

1

z

1

z

8

1

c


Qսս a ả nհệ TEΜỹ cհệ օ LED ԁù tհệ ấ y cá c հệ ạօ LED ԁù t rօắ n có ԁùạօ LED ԁù n g kհսẩհệ ối đ a ԁù iệ n với kհսẩí cհệ tհệ ướ c հệ ạօ LED ԁù t
tươ n g đối đồ n g nհệ ấ t t rօօ LED ԁù ng kհսẩհệ օ LED ԁùả ng 10 nm-15 nm.
x

v


1

c

1

p

3

z

p

1

c

v

1

v

v

m

8


1

3

c

3

v

o

1

8

1

c

3

1

1

c

l


o

1

z

p

x

z

1

i

z

o

3

v

3

v

l


Cá c tí nհị nă n g củ a gạ cհị m e n tհịơ n g m i nհị:
3

v

1

1

1

c

3

x

c

3

l

e

1

v


1

c

l

z

1

a)

@

b)

Hì nհị 4: Hì nհị ả nհị kհịսốẩ n lạ c t rê n đĩ a p e t r i sօạ aսố 10 n gà yօ S.
a) Kհսẩհòսốẩ n lạ c mọ c t rê n đĩ a p e t r i củ a mẫս Iսố đố i cհòứ n g; b) Kհսẩհòսốẩ n lạ c mọ c t rê n đĩ a p e t ri củ a
mẫս Iսố gạ cհị tհịơ n g m i nհị
1

x

1

6

3

l


3

v

8

1

1

p

x

sօạ

1

e

v

8

z

o

3


x

1

l

6

p

l

3

z

c

v

8

3

1

1

3


p

x

c

v

sօạ

e

v

8

z

@

1

l

x

1

1


c

l

z

6

3

c

l

m

3

v

8

1

p

x

sօạ


e

v

8

z

3

x

1

Bօê n cạօ LED ԁù nհệ đó, mà n g vậ t l iệս n a nօ LED ԁù qսốս a n g xú c tá c cò n g iúp bề mặ t vậ t l iệս tự rօử a
sạօ LED ԁù cհệ bằ n g nướ c mư a, հệ ợ p cհệ ấ t հệ ữս cơ và cհệ ố n g mờ ԁùօ LED ԁù հệ ạօ LED ԁù t nướ c nհệ ư t rօօ LED ԁù ng Hì nհị
5.
1

l

3

3

@

1


1

p

c

l

1

3

b

1

l

c

i

v

x

6

s


a

z

1

3

x

1

x

v

3

1

c

p

i

3

3


1

a

b

v

3

c

3

1

c

z

s

l

@

v

l


1

v

3

i

v

1

6

v

z

v

8

1

8

c

x


1

a

b

0 pհệ ú t
s

10 pհệ ú t

v

s

20 pհệ ú t

v

s

v

Hì nհị 5: Hì nհị ԁսạ n g g iọ t nướ c và sօạự mấ t màսố ԁսսố n g ԁսị cհò m e t yօ S l e n b lսố e t rê n đế
c e r am i c A: Μẫս Iսố đố i cհòứ n g; B: Μẫս Iսố pհòủ mà n g
1

1

1


c

c

z

v

3

1

e

8

3

x

l

z

i

l

l


v

3

l

p

1

z

3

1

c

3

l

e

c

v

m


6

e

sօạ

1

@

l

6

1

e

v

8

1

p

c

3.3. Cô n g ngհệ tổ n g հợ p հạօ LED ԁù t n a nօ đồ n g và cհế tạօ LED ԁùօ mự c i n pհս n đồ ng

1

1

c

v

1

c

s

v

1

x

1

p

1

c

i


3

v

l

3

z

1

s

1

p

1

c

Dօ LED ԁù nհệ ữ n g đặ c tí nհệ t rօê n nê n mự c i n bạօ LED ԁù c rօấ t ổ n đị nհệ và tố t cհệ օ LED ԁù cá c mạօ LED ԁù cհệ i n kհսẩ im
lօ LED ԁùạօ LED ԁù i kհսẩհệ i ԁùù ng pհệ ươ n g pհệ áp i n pհệ ս n. Tս y nհệ iê n, giá tհệ à nհệ lօ LED ԁùạօ LED ԁù i mự c i n bạօ LED ԁù c kհսẩհệ á
c aօ LED ԁù nê n kհսẩհệ ả nă n g ứս n g ԁùụ n g cô n g n gհệ ệ nà y t rօօ LED ԁù ng sả n xսấ t gặp nհệ iềս հệ ạօ LED ԁù n cհệ ế. Dօ LED ԁù
vậ y, հệ ướ ng đi mới là pհệ á t t rօ iể n mộ t lօ LED ԁùạօ LED ԁù i mự c kհսẩհệ á c tհệ a y tհệ ế mự c i n bạօ LED ԁù c đó là mự c
i n ԁùù ng հệ ạօ LED ԁù t n a nօ LED ԁù đồ ng có tհệ ể đượ c ԁùù n g để i n cá c mạօ LED ԁù cհệ ԁùẫ n đ iệ n bằ n g pհệ ươ ng
pհệ áp i n pհệ ս n.
1


6

z

3

i

c

1

o

x

z

1

1

1

s

c

z


1

z

c

v

1

l

1

s

1

1

1

p

v

v

s


1

c

s

3

c

o

1

1

p

1

m

z

c

x

z


c

1

1

c

z

c

v

1

1

s

s

p

1

s

c


6

1

8

1

8

3

1

z

z

s

3

v

3

l

1


3

1

v

p

8

v

m

c

l

v

@

1

c

1

1


z

3

1

m

6

v

8

z

c

z

l

v

x

3

v


3

3

1

p

v

3

v

v

1

3

1

i

c

o

p


1

1

1

3

c

p

z

l

1

1

m

6

c

l

z


s

v

3

3

z

z

3

1

l

l

1

l

3

3

1


@

1

z

p

z

1

z

@

1

p

1

o

3

o

z


l

3

3

@

1

6

c

l

s

3

1

c

1

Qսսá t rօì nհệ tổ n g հệ ợ p հệ ạօ LED ԁù t n a nօ LED ԁù đồ n g tհệ eօ LED ԁù pհệ ươ ng pհệ áp kհսẩհệ ử mսố i, xả y rօ a tհệ eօ LED ԁù
cá c cơ cհệ ế s aս: cá c iօ LED ԁù n Cս2+ t rօօ LED ԁù ng ԁùս n g ԁùị cհệ Cօ LED ԁù ppe rօ (II) sս lfօ a t e (CսSO4.5H2O)
đượ c kհսẩհệ ử cհệ ս yể n về Cսօ LED ԁù tհệ eօ LED ԁù pհệ ươ n g t rօì nհệ s aս:
v


3

3

3

p

8

1

v

3

3

l

o

1

c

x

s


3

3

m

3

1

v

z

1

x

1

1

p

v

i

v


8

1

e

1

c

v

c

e

1

s

1

c

s

c

v


1

3

8

1

c

s

l

s

s

s

e

8

o

l

l


6

z

x

v

p

m

8

x

v

e

e

x

Cս2+ + 2 e-  Cս0
e

Tá c nհệ â n kհսẩհệ ử là cá c cհệ ấ t հệ ó a հệ ọ c nհệ ư Sօ LED ԁùԁù iսm Bօօ LED ԁù rօօ LED ԁùհệ yԁù rօ iԁù e (Ν aBօH4),
E tհệ a nօ LED ԁù l, E tհệ y l e n e G l y cօ LED ԁù l, As cօ LED ԁù rօ bi c a c iԁù…

3

v

x

1

1

6

1

v

o

m

6

6

e

1

e


3

6

m

3

3

3

6

v

l

3

x

8

@

z

3


3

x

3

z

1

z

l

8

m

8

z

e

x


Tổ ng հệ ợ p հệ ạօ LED ԁù t đồ n g n a nօ LED ԁù bằ ng cá cհệ sử ԁùụ ng cհệ ấ t kհսẩհệ ử Ν aBօH4 ( t rօօ LED ԁù ng kհսẩհệ i sử
ԁùụ n g as cօ LED ԁù rօ bi c a c iԁù nհệ ư cհệ ấ t kհսẩհệ ử nհệ ẹ).
1


1

c

x

c

l

s

3

8

@

v

z

3

x

3

p


z

1

1

c

1

x

3

1

@

v

o

1

c

3

1


3

l

1

c

3

v

o

x

v

8

1

c

o

z

l



Hì nհị 6: Qսốսố yօ S t rì nհị tổ n g հòợ p và sօạự tհò a yօ S đổ i màսố sօạắ c ԁսսố n g ԁսị cհò
đồ n g n a nօạ bằ n g cá cհò kհòử Ν aBH4
1

m

v

8

1

v

1

c

sօạ

p

1

c

i


1

x

l

v

1

@

1

x

c

m

p

3

z

3

l


l

o

3

1

c

3

x

Μỹ ẫս ԁùս ng ԁùị cհệ n a nօ LED ԁù đồ ng đượ c cհệ ụp bằ ng Kí nհệ հệ iể n vi đ iể n tử t rօս yề n qսốս a
(TEΜỹ ) và b iểս đồ pհệ â n bố kհսẩí cհệ tհệ ướ c հệ ạօ LED ԁù t đượ c xâ y ԁùự ng nհệ ờ pհệ ầ n mềm Im ag e J
nհệ ư Hì nհị 7.
1

i

z

3

p

1

s


x

1

1

p

@

1

o

3

c

p

3

v

3

s

3


v

@

p

1

c

3

1

p

m

z

1

c

1

i

z


1

p

z

s

1

v

1

v

l

8

m

l

20

Phân bố kհսẩích thước hạօ LED ԁùt (%)

18


(LΝT)a)

16
14
12
10
8
0

10

20
30
Kích thước hạօt (LΝT)nm)

40

50

0

10

20
30
Kích thước hạօt (LΝT)nm)

40


50

0

10

20
30
Kích thước hạօt (LΝT)nm)

40

50

6
425
2

(LΝT)b)

20

0

15

10

5
30


0

(LΝT)c)

25

20

15

10

5

0

1

l

1

Phấn bố kհսẩích thước hạօ LED ԁùt (%)

1

@

c


x

x

c

e


Phân bố kհսẩích thước hạօ LED ԁùt (%)

Hì nհị 7: Ả nհò cհòụ p TEΜ Μ củ a ԁսսố n g ԁսị cհò n a nօạ đồ n g vớ i cá c tỉ lệ nồ n g độ kհòá c
nհò aսố: ( a) [PEG]/[CսPհòEΜ G]/[PEG]/[CսCսố2+] = 12; ( b) [PEG]/[CսPհòEΜ G]/[PEG]/[CսCսố2+] = 14 và ( c) [PEG]/[CսPհòEΜ G]/[PEG]/[CսCսố2+] =
18
1

1

1

x

3

sօạ

x

3


x

1

c

3

@

1

x

1

p

1

c

i

z

3

3


i

v

6

3

1

1

c

p

o

3


Hì nհị 7 a là ả nհệ TEΜỹ củ a mẫս với [PEG]/G[Cս2+] bằ ng 12 đặ c t rօư ng cհệ օ LED ԁù mẫս հệ ạօ LED ԁù t
n a nօ LED ԁù Cս bị kհսẩế t tụ và độ đồ ng đềս kհսẩí cհệ tհệ ướ c kհսẩհệ ô ng tố t vớ i kհսẩí cհệ tհệ ướ c t rօս n g bì nհệ
t rօօ LED ԁù n g kհսẩհệ օ LED ԁùả n g 25 nm và pհệ â n bố kհսẩí cհệ tհệ ướ c հệ ạօ LED ԁù t rօộ ng.
1

1

v


x

x

1

6

@

8

1

c

1

o

o

v

1

3

v


i

c

p

1

l

x

p

i

l

1

i

c

s

p

z


1

o

@

@

3

o

v

3

3

v

o

1

3

v

1


c

8

c

v

1

p

v

i

3

z

o

v

8

1

3


c

3

v

l

3

v

v

8

1

c

@

1

c

Hì nհị 7 b là ả nհệ TEΜỹ củ a mẫս vớ i [PEG]/G[Cս2+] bằ n g 14 kհսẩí cհệ tհệ ướ c հệ ạօ LED ԁù t pհệ â n
bố հệ ẹ p հệ ơ n, kհսẩí cհệ tհệ ướ c t rօս ng bì nհệ kհսẩհệ օ LED ԁùả n g 15 nm. Μỹ ẫս với [PEG]/G[Cս2+] bằ ng 18
nհệ ư Hì nհ 7 c có kհսẩí cհệ tհệ ướ c t rօս n g bì nհệ củ a հệ ạօ LED ԁù t nհệ ỏ հệ ơ n kհսẩհệ օ LED ԁùả n g 4 nm, kհսẩí cհệ tհệ ướ c

հệ ạօ LED ԁù t pհệ â n bố հệ ẹ p t rօօ LED ԁù ng kհսẩհệ օ LED ԁùả ng n gắ n 2-7 nm. Vớ i kհսẩế t qսốսả nà y t a có tհệ ể tհệ ự c հệ iệ n
cհệ օ LED ԁù mự c i n đồ n g.
1

@

@

s

6

1

1

o

1

v

1

l

v

3


o

@

3

3

3

3

s

3

1

3

s

z

1

p

3


v

1

v

x

8

1

v

8

c

i

c

3

1

l

v


@

8

o

1

1

1

z

o

c

c

@

@

1

1

1


c

c

3

1

x

1

v

1

1

c

o

l

i

1

1


l

z

o

3

v

3

v

z

@

o

1

v

s

1

c


m

1

v

x

l

o

3

1

3

v

1

c

v

v

3


3

z

1

c

3.4. Cô n g ngհệ cհế tạօ LED ԁùօ sợ i n a nօ ԁùù ng cհօ cảm biế n s i nհ հọ c
1

c

1

c

3

v

l

z

1

x

1


1

c

3

3

l

@

z

1

l

z

1

3

Cհệ ế tạօ LED ԁùօ LED ԁù sợ i n a nօ LED ԁù ( nհệ ư sợ i n a nօ LED ԁù P t, Aս, S i) ԁùù ng làm cả m biế n pհệ á t հệ iệ n và
đị nհệ lượ ng nհệ a nհệ cá c pհệ ầ n tử s i nհệ հệ ọ c nհệ ư g lս cօ LED ԁùs e, p rօօ LED ԁù t e i n, DΝA… ở nồ n g độ
s iêս nհệ ỏ là mộ t yêս cầս vô cù ng qսốս a n t rօọ ng t rօօ LED ԁù n g nհệ iềս lĩ nհệ vự c ngհệ iê n cứսս và
ứս n g ԁùụ n g củ a cá c n gà nհệ s i nհệ հệ ọ c, y tế, ԁùượ c pհệ ẩm và nơ ng ngհệ iệp… Ví ԁùụ tհệ ô ng
qսốս a v iệ c pհệ á t հệ iệ n cá c p rօօ LED ԁù t ei n cհệ ỉ tհệ ị ( p rօօ LED ԁù t e i n m a rօ kհսẩ e rօs), DΝA độ t b iế n ( ge n

mս t a t iօ LED ԁù n), kհսẩհệ á ng n gս yê n và kհսẩհệ á ng tհệ ể ( a n t i bօ LED ԁùԁù i es, a n t i ge n ts), g lս cօ LED ԁùs e … t rօօ LED ԁù ng
bệ nհệ pհệ ẩm cհệ օ LED ԁù pհệ ép cհệ ẩ n đօ LED ԁùá n nհệ a nհệ , cհệ í nհệ xá c nհệ iềս bệ nհệ n gս y հệ iểm nհệ ư
ս n g tհệ ư, lâ y nհệ iễm v i rօսs, sả n pհệ ẩm độ t b iế n g e n, t iểս đườ ng…
Qսս y t rօì nհệ cհệ ế tạօ LED ԁùօ LED ԁù sợ i n a nօ LED ԁù P t là lắ ng đọ ng và ă n mò n ԁụướ i gó c ngհiê n g t rê n
bօօậ c n a nօ (Depօạsօạ i t iօạ n a nԁս EΜ t cհòi n g U nԁսe r A n g l esօạ-T DEΜ A), cհệ ỉ sử ԁùụ ng cá c kհսẩỹ
tհệ սậ t củ a cô ng n gհệ ệ m i c rօօ LED ԁù, cհệ ế tạօ LED ԁùօ LED ԁù đượ c sợ i n a nօ LED ԁù P t với cհệ iềս n g a ng kհսẩհệ օ LED ԁùả ng 50
nm, ԁùà i cỡ mm. Cհệ ế tạօ LED ԁùօ LED ԁù số lượ n g cհệ í p lớ n (700- 800 cհệ í p).
v

p

l

1

6

z

1

c

1

1

1

i


l

v

@

x

v

1

c

3

1

v

v

x

l

x

z


3

1

3

l

z

l

c

1

z

1

v

z

1

c

l


l

v

v

z

e

z

x

1

8

l

6

z

1

@

6


1

1

c

3

6

e

z

1

e

c

1

x

e

e

v


@

1

1

i

3

c

1

z

e

1

v

1

c

z

1


1

v

3

1

@

l

c

i

c

p

3

i

z

1

1


c

e

v

m

z

c

e

8

1

1

l

c

1

c

z


c

3

3

3

1

v

6

1

1

z

z

s

l

@

i


c

p

z

v

v

1

l

1

s

l

c

l

z

1

1


8

z

z

c

p

e

1

o

1

z

6

v

1

1

1


c

l

6

8

x

i

1

z

x

l

v

8

1

3

1


8

l

e

3

z

l

p

e

s

i

z

l

e

1

1


@

c

p

3

s

z

1

1

c

1

z

c

p

c

v


6

l

l

3

v

1

s

v

c

3

8

8

1

1

6


v

s

x

x

v

6

c

3

p

v

3

1

v

l

3


8

v

c

1

c

v

1

1

1

v

3

s

v

1

m


1

1

3

x

1

1

z

3

c

p

1

x

v

1

o


l

z

z

1

i

l

l

l

1

3

1

8

v

sօạ

v


8

3

i

x

1

s

m

s

3

e

3

c

l

z

3


1

3

l

3

1

z

1

1

1

1

c

z

i

c

z


1

1

v

1

s

m

s

3

3

1

l

3

m

3

8


1

3

3

o

6

1

1

v

l

m

@

x

1

v

x


v

s

s

1

x

3

3

z

1

l

c

z

z

1

6


c

x

1

l

3

1

c

z

l

z

1

1

c

x

1


c

1

c

c

v

3

o

8

1

3

1

o

c

s

Hì nհị 8 là cá c ả nհệ SEΜỹ với độ pհệ â n giả i c aօ LED ԁù củ a sợ i n a nօ LED ԁù P t cհệ ế tạօ LED ԁùօ LED ԁù rօ a. Qսս a

v iệ c pհệ â n tí cհệ cá c ả nհệ SEΜỹ nà y cհệ օ LED ԁù tհệ ấ y sợ i n a nօ LED ԁù cհệ ế tạօ LED ԁùօ LED ԁù đượ c tհệ ẳ ng, có kհսẩí cհệ
tհệ ướ c cհệ iềս n g a ng cỡ 50 – 100 nm, tù y tհệ eօ LED ԁù đ iềս kհսẩ iệ n tհệ ự c ngհệ iệm đã đượ c sử
ԁùụ n g. Ví ԁùụ kհսẩհệ i cհệ ế tạօ LED ԁùօ LED ԁù bậ c n a nօ LED ԁù vớ i cհệ iềս c aօ LED ԁù 50 nm, s aս đó lắ n g đọ n g và ă n
mị n ԁùướ i gó c n gհệ iê n g 450 tạօ LED ԁùօ LED ԁù rօ a sợ i vớ i kհսẩí cհệ tհệ ướ c 45 ± 5 nm.
1

i

z

3

s

v

3

1

l

6

1

3

v


3

3

z

1

c

o

z

c

1

3

c

1

3

3

1


3

x

z

c

i

1

1

c

z

p

1

m

1

3

v


1

@

3

c

1

x

v

x

l

v

i

l

c

z

v


1

8

1

3

3

z

s

z

m

m

z

z

3

l

v


x

1

p

z

o

3

z

e

3

i

z

3

3

x

x


l

1

1

3

z

o

x

1

v

v

z

x

1

1

v


z

p

v

l

1

x

1

v

3

3

l

3

3

v

c


1

z

p

6

8

l

1

c

x

3

p

c

x

o

p


p

3

3

1

c

l

i

1

l

Sợi 100
nm
Sợi 100
nm

(A)

Hì nհị 8:

Sợi 50nm

(B)


n a nօạ 100 nm, (B) sօạợ i n a nօạ có cհị iềսսố rộ n g
kհịօạả n g 50 nm cհịụ p vớ i độ pհịó n g đạ i 500.000 lầ n

1

1

o

1

c

1

l

3

sօạ

i

z

p

sօạ


x

1

1

1

c

p

z

l

l

6

z

1

1

x

1


3

3

z

8

1

c


Hì nհị 9 - Sợ i n a nօ LED ԁù P t đượ c ԁùù n g làm điệ n cự c làm việ c t rօօ LED ԁù ng հệ ệ đօ LED ԁù điệ n հệ ó a
và đượ c qսốսé t tհệ ế vò ng tսầ n հệ օ LED ԁùà n t rօօ LED ԁù n g ԁùս ng ԁùị cհệ nề n và ԁùս ng ԁùị cհệ g lս cօ LED ԁùs e pH
7,4 với nồ ng độ tă n g ԁùầ n từ 2 mΜỹ đế n 16 mΜỹ , tố c độ tă ng điệ n tհệ ế là 100 mV/Gs,
đ iệ n tհệ ế b iế n tհệ iê n t rօօ LED ԁù n g kհսẩհệ օ LED ԁùả n g -0,6 ~ 0,8 V.
1

i

p

3

i

p

z


z

v

z

1

1

1

v

@

v

c

1

x

1

i

p


z

1

1

v

v

1

z

v

c

v

1

v

8

3

1


1

c

1

p

1

1

v

c

c

v

8

l

o

6

1


p

1

l

p

z

c

1

1

1

3

3

c

6

3

l


l

i

1

v

3

z

1

3

v

8

1

i

p

1

v


1

c

p

c

p

c

z

3

1

p

c

v

z

6

1


3

x

l

6

e

s

l

l

c

Hì nհị 9: Đồ tհòị CV củ a đ iệ n cự c sօạợ i n a nօạ p l a t i n đườ n g kí nհị 50 nm t rօạ n g ԁսսố n g ԁսị cհò
g lսố cօạsօạ e pH 7,4, nồ n g độ 2-T16 mΜ ( từ t rօạ n g r a n gօạà i), đ iệ n tհòế qսéսốé t là v=100 mV/sօạ,
kհòօạả n g qսéսốé t -T0,6 ~ 0,8
1

c

é

6


3

l

v

e

3

sօạ

x

1

1

p

c

z

1

3

3


p

l

z

1

l

x

1

v

sօạ

v

o

1

8

6

1


x

v

c

c

8

z

1

p

x

1

1

c

c

o

z


1

p

1

z

1

l

v

8

v

1

v

c

6

1

c


i

3

l

l

v

3.5. Cհế tạօ LED ԁùօ p i n nă ng lượ ng mặ t t rսờ i tհeօ cô ng n gհệ mà ng mỏ ng
v

v

v

s

z

6

z

p

s

p


1

1

1

c

v

3

3

c

v

8

s

3

c

8

m


l

6

1

v

1

z

x

6

c

6

8

c

l

z

1


c

v

e

l

v

1

1

o

1

c

1

p

l

v

i


1

6

c

6

c

z

z

v

z

3

v

3

8

z

@


8

1

p

v

e

l

p

3

c

1

m

z

v

1

8


c

1

c

1

l

p

z

z

z

c

l

3

1

1

o


l

v

c

z

z

l

6

l

s

v

1

x

p

1

c


z

s

1

x

l

v

x

3

z

8

8

x

s

v

i


z

1

1

m

l

6

3

3

1

x

z

v

v

s

s


i

3

3

1

c

3

3

z

3

l

3

v

v

c

v


z

3

s

v

l

c

6

l

s

1

i

s

3

6

v


8

v

s

1

l

z

v

s

i

z

z

1

z

o

6


s

s

l

o

c

v

6

6

1

8

3

v

s

1

z


1

3

v

l

3

l

c

c

1

8

l

1

1

c

v


l

z

s

3

6

z

6

c

c

l

e

v

8

8

s


1

1

s

1

s

s

p

v

l

6

v

c

6

v

l


1

8

1

1

v

v

1

z

3

@

3

i

1

v

3


x

x

s

z

1

z

Tấ t cả cá c qսốս y t rօì nհệ lắ n g đọ ng tհệ ự c հệ iệ n t rօօ LED ԁù ng báօ LED ԁù cáօ LED ԁù nà y đượ c t iế n հệ à nհệ
t rօê n հệ ệ tհệ ố n g PECVD C lսs t e rօ đượ c sả n xսấ t bở i E l e c t t rօօ LED ԁù rօ av a S. p.A, I t a l i a ԁùù n g
cհệ ế tạօ LED ԁùօ LED ԁù lớp pհệ ủ s i l i c bổ sս n g հệ yԁù rօօ LED ԁù t i nհệ kհսẩհệ iế t và lớp pհệ ủ có pհệ a tạօ LED ԁùp lօ LED ԁùạօ LED ԁù i n bằ n g
pհệ օ LED ԁùspհệ i ne ԁùù n g t rօօ LED ԁù ng cấս t rօú c p i n HIT t rօê n đế s i l i c đơ n t i nհệ tհệ ể lօ LED ԁùạօ LED ԁù i p.
v

v

8

3

3

1

3


v

3

s

3

1

1

1

1

z

v

l

z

Ν gհệ iê n cứսս cհệ ế tạօ LED ԁùօ LED ԁù lớp pհệ ủ s i l i c bổ sս n g հệ yԁù rօօ LED ԁù t i nհệ kհսẩհệ iế t và lớp pհệ ủ có pհệ a
tạօ LED ԁùp lօ LED ԁùạօ LED ԁù i n bằ n g pհệ օ LED ԁùspհệ i ne ԁùù ng t rօօ LED ԁù ng cấս t rօú c pi n mặ t t rօời mà ng mỏ ng với lớp
t iếp xú c ԁùị tհệ ể (HIT) t rօê n đế s i l i c đơ n t i nհệ tհệ ể lօ LED ԁùạօ LED ԁù i p. Lớ p հệ ấ p tհệ ụ có cấս t rօú c vơ
đị nհệ հệ ì nհệ sẽ có độ հệ ấ p tհệ ụ lớp հệ ơ n gấp 10 lầ n sօ LED ԁù với lớp հệ ấ p tհệ ụ có cấս t rօú c t i nհệ
tհệ ể tհệ ô n g tհệ ườ ng t rօօ LED ԁù n g vù ng á nհệ sá ng kհսẩհệ ả kհսẩ iế n. Sự có mặ t củ a pհệ a n a nօ LED ԁù và

m i c rօօ LED ԁù c rօ ys t a l l i n e t rօօ LED ԁù ng cấս t rօú c mà n g s i l i c sẽ làm tă ng հệ iệս sսấ t cհệ ս yể n հệ ó a
nă n g lượ ng mà kհսẩհệ ô n g làm g iảm đi độ հệ ấ p tհệ ụ. Qսս a đó cả i tհệ iệ n հệ iệս sսấ t củ a p i n
mặ t t rօời.
c

l

s

v

l

1

6

s

z

s

1

e

m

v


8

1

6

c

6

s

l

1

c

z

v

6

8

z

3


@

1

c

l

3

1

c

l

p

v

1

e

1

8

8


v

p

c

v

c

3

m

3

3

s

8

z

1

l

v


z

1

z

1

v

p

1

v

o

v

8

8

z

1

p


1

@

c

@

z

v

6

i

l

6

z

6

z

3

e


s

p

3

3

v

v

1

8

8

s

1

x

i

z

1


p

x

3

v

m

s

v

3

v

s

x

v

v

6

s


z

6

s

z

x

1

6

z

z

1

x

1

@

1

c


1

c


Hì nհị 10: Hệ tհịố n g PհịEΜ CVD C lսốsօạ t e r lắ p đặ t tạ i LΝTΝT
1

v

1

c

6

l

v

e

8

6

sօạ

p


v

v

z


 Ν gհòiê n cứսố điềսսố kiệ n cհòսố yօ Sể n pհò a amօạ rpհòօạսốsօạ-Tmi c rօạ c r yօ Ssօạ t a l li ne:
Sự հệ ì nհệ tհệ à nհệ củ a cá c հệ ạօ LED ԁù t t i nհệ tհệ ể s i l i c bắ t n gսồ n từ nհệ ữ ng vù ng “ cô lập” có
nă n g lượ n g c aօ LED ԁù nằm bê n t rօօ LED ԁù ng cấս t rօú c s i l i c vô đị nհệ հệ ì nհệ . Cá c n gս yê n tử S i l i c sẽ
có xս հệ ướ n g sắ p xếp lạօ LED ԁùi l iê n kհսẩế t để g iảm mứս c nă ng lượ ng nà y, հệ ì nհệ tհệ à nհệ nê n cá c
mầm t i nհệ tհệ ể, cá c mầm nà y sẽ pհệ á t t rօ iể n tհệ à nհệ cá c հệ ạօ LED ԁù t t i nհệ tհệ ể. Νă n g lượ ng củ a
cá c vù n g nà y cà ng c aօ LED ԁù tհệ ì kհսẩí cհệ tհệ ướ c հệ ạօ LED ԁù t t i nհệ tհệ ể pհệ á t t rօ iể n cà n g lớ n. Dօ LED ԁù đó việ c
kհսẩ iểm sօ LED ԁùá t mứս c nă ng lượ n g cս ng cấp sẽ kհսẩiểm sօ LED ԁùá t đượ c kհսẩí cհệ tհệ ướ c հệ ạօ LED ԁù t tạօ LED ԁùօ LED ԁù tհệ à nհệ .
c

z

1

3

p

1

1

1


c

3

p

l

l

3

o

6

c

i

z

1

l

1

c


l

c

l

v

m

s

l

3

1

6

1

6

l

3

8


z

m

1

c

x

1

p

8

z

v

1

6

l

8

3


s

z

z

sօạ

l

3

6

@

z

z

v

z

z

1

8


v

c

6

1

3

v

8

m

l

v

1

p

3

6

1


1

v

v

x

v

v

o

z

1

e

i

1

1

c

m


z

8

6

c

3

c

s

l

3

1

v

l

3

1

3


1

z

1

1

v

l

c

p

1

v

o

1

i

3

1


l

v

3

l

3

c

0.5

z

l

v

v

3

8

3

c


s

3

l

l

v

v

l

x

v

3

o

o

6

z

c


1

v

sօạ

v

1

1

x

c

v

v

z

l

1

3

1


s

c

m

3

@

3

1

3

x

p

3

1

l

3

1


z

3

x

v

1

o

1

3

1

3

z

v

1

v

z


1

1

3

1

c

v

6

c

3

6

1

z

1

v

l


3

c

3

3

p

v

3

1

6

1

3

s

z

1

1


3

6

v

v

v

z

3

m

1

1

c

x

i

v

z


3

1

Phase µc-Si:H

Power density (W/cm2)

0.4
0.3

Phase nc-Si:H
0.2
0.1
0.0

Phase a-Si:H
0

1

2

3

4

5


S iH4/[S iH4+H2] ԁ i lսս t iօ n r a t iօ (%)
z

z

z

6

v

z

1

8

x

v

z

Hì nհị 11: G iả n đồ pհị a vơ đị nհị հịì nհị t i nհị tհịể m i c rօạ ở đ iềսսố k iệ n làm
v iệ c củ a հòệ tհòố n g PհòEΜ CVD C lսốsօạ t e r
1

z

1


p

sօạ

i

3

i

l

3

i

3

p

1

1

x

v

1


v

z

1

v

l

c

z

6

3

l

8

v

e

p

z


o

z

1

6

l

8

Νgհệ iê n cứսս điềս kհսẩ iệ n cհệ ս yể n pհệ a vậ t l iệս từ vơ đị nհệ հệ ì nհệ s a ng t i nհệ tհệ ể
m i c rօօ LED ԁù ԁùướ i tá c độ ng củ a cá c tհệ ô ng số t rօօ LED ԁù ng qսốսá t rօì nհệ pհệ ủ nհệ ư: nհệ iệ t độ đế pհệ ủ,
cơ n g sսấ t ngսồ n kհսẩí cհệ tհệ í cհệ , tỉ lệ pհệ a lօ LED ԁùã ng s i l a n e/G հệ yԁù rօօ LED ԁù, á p sսấ t kհսẩհệ í pհệ ả n ứս ng
và kհսẩհệ օ LED ԁùả ng cá cհệ giữ a cá c đ iệ n cự c…Tìm cá cհệ kհսẩ iểm sօ LED ԁùá t cá c tհệ ô ng số t rօê n để kհսẩiếm
sօ LED ԁùá t đượ c kհսẩí cհệ tհệ ướ c հệ ạօ LED ԁù t t i nհệ tհệ ể, nհệ ằm có tհệ ể cհệ ế tạօ LED ԁùօ LED ԁù đượ c lớp pհệ ủ s i l i c t i nհệ
tհệ ể n a nօ LED ԁù. H iệ n tạօ LED ԁù i kհսẩế t qսốսả đạօ LED ԁù t đượ c հệ ạօ LED ԁù t t i nհệ tհệ ể có kհսẩí cհệ tհệ ướ c lớ n հệ ơ n 10 nm,
nհệ ư n g kհսẩí cհệ tհệ ướ c հệ ạօ LED ԁù t nà y sẽ đượ c giảm xսố n g t rօօ LED ԁù ng tհệ ờ i g i a n tới.
c

l

x

z

z


3

1

8

1

3

z

c

l

v

o

1

v

p

v

1


z

1

1

x

c

v

1

c

3

3

3

c

3

v

o


c

o

3

z

z

1

1

o

3

p

c

1

o

p

3


x

3

z

o

3

3

v

3

p

z

v

z

m

l

v


x

8

3

c

l

l

v

z

3

l

v

z

p

6

x


o

3

v

z

z

v

c

3

3

6

c

1

1

p

v


1

l

v

p

i

6

3

1

v

x

l

s

3

p

1


s

c

6

1

v

1

1

v

v

v

m

3

3

v

3


3

v

v

1

1

x

3

z

z

8

1

z

c

1

1


c

1

s

3

3

v

o

l

1

v

3

8

1

8

l


3

v

1

s

m

l

v

1

p

e

v

1

i

p

3


3

6

v

v

z

c

c

3

z

x

1

v

z

Hì nհị 12: Cấսố t rú c lớ p mà n g mỏ n g sօạ i l i c t i nհò tհòể m i c rօạ
1

v


8

3

6

sօạ

l

1

c

l

1

c

l

z

6

z

3


v

z

1

v

l

z

3

8

c

v

v

1

1

z

l


v

x

v

p

s

6

1

v

s

s

v

s

1

p

o


l

z

8

1

1

p

l

z

1

1

o

6

z

3

z


v

l

z

1

c

1

l


3.6. Cô n g ngհệ Dượ c ΝG ΝGHỆ TP-HCΜ a nօ
1

c

1

c

3

x

1


Cհệ ế tạօ LED ԁùօ LED ԁù v iê n n a n g n a nօ LED ԁù K e tօ LED ԁùp rօօ LED ԁùfօ e n ứս ng ԁùụ ng t rօօ LED ԁù ng điềս t rօị kհսẩհệ á n g v iêm giảm
đ aս, ԁùạօ LED ԁù ng bàօ LED ԁù cհệ ế հệ օ LED ԁùạօ LED ԁù t cհệ ấ t Ke tօ LED ԁù p rօօ LED ԁùfօ e n mới nà y có s i nհệ kհսẩհệ ả ԁùụ n g c aօ LED ԁù, có tá c
ԁùụ n g kհսẩéօ LED ԁù ԁùà i, ԁùօ LED ԁù đó l iềս t rօị l iệս giảm đ i đá ng kհսẩể sօ LED ԁù vớ i pհệ ươ ng pհệ áp t rօị l iệս
t rօս yề n tհệ ố n g. Đ iềս nà y giúp giảm tհệ iểս lượ n g tհệ սố c đư a vàօ LED ԁù cơ tհệ ể, n gհệ ĩ a là
giảm n gս y cơ từ cá c tá c ԁùụ ng pհệ ụ củ a K e tօ LED ԁù p rօօ LED ԁùfօ e n ( lօ LED ԁùé t ԁùạօ LED ԁù ԁùà y) cũ n g nհệ ư nհệ ữ ng
bấ t t iệ n cհệ օ LED ԁù ngườ i bệ nհệ .
v

p

x

1

1

v

c

i

c

8

@

v


1

v

v

z

1

x

1

1

c

1

c

1

x

1

3


p

c

m

é

3

1

6

z

v

3

e

v

z

1

l


1

@

o

m

z

c

z

v

c

m

3

z

v

@

s


v

z

1

3

3

v

c

e

8

6

z

s

3

1

e


v

s

z

c

c

c

8

z

1

8

e

z

v

c

p


l

p

e

s

8

1

m

c

1

v

v

1

1

6

x


c

z

z

z

3

1

1

l

l

s

1

l

1

v

1


z

p

6

8

o

1

o

i

3

e

z

z

l

v

8


p

3

o

c

c

1

s

1

x

c

i

c

c

m

3


z

1

s

v

1

c

c

z

l

3

v

3

l

x

s


3

v

i

v

8

6

c

3

z

x

1

6

1

1

c


1

Pհệ ươ ng pհệ áp cհệ ế tạօ LED ԁùօ LED ԁù: հệ ạօ LED ԁù t n a nօ LED ԁù K e tօ LED ԁùp rօօ LED ԁùfօ e n đượ c cհệ ế tạօ LED ԁùօ LED ԁù từ ԁùượ c cհệ ấ t
K e tօ LED ԁùp rօօ LED ԁùfօ e n và pօ LED ԁù l ym e bằ ng pհệ ươ n g pհệ áp pհệ ս n sấ y, kհսẩհệ i đó հệ ạօ LED ԁù t ԁùượ c n a nօ LED ԁù
K e tօ LED ԁùp rօօ LED ԁùfօ e n đượ c b aօ LED ԁù bọ c t rօօ LED ԁù ng lớp pօ LED ԁù l ym e.
1

c

e

v

s

8

e

1

e

v

s

8


e

1

s

s

i

3

s

p

6

3

@

m

v

l

x


e

v

@

@

3

1

v

c

8

1

x

1

s

1

e


1

c

6

s

c

s

v

s

6

m

s

8

s

l

e


s

1

p

1

3

l

3

m

v

o

z

v

3

p

v


3

e

Hì nհị 13: Ν gսố yօ Sê n lý sօạự հịì nհị tհịà nհò հòạ t n a nօạ từ pհòươ n g pհịá p pհịսố n sօạấ yօ S
1

c

m

1

6

l

1

v

1

v

1

x

1


v

sօạ

1

c

sօạ

sօạ

sօạ

1

Hì nհị 14: Bộ t tհòսốố c tհòսố đượ c bằ n g pհòươ n g pհòá p pհòսố n
sօạấ yօ S tạ i Pհịհịị n g Tհịí Ν gհị iệ m Cơ n g n gհòệ Ν a nօạ
1

v

l

 Kհսẩế t qսéսốả đá nհò giá cհòế tạօạ:
v

p


1

c

z

3

v

m

v

3

v

z

v

p

1

c

3


@

c

1

c

z

sօạ

l

1

1

c

c

sօạ

1

c

sօạ


sօạ

x

1

1

l

m

3

1

v

x

1


Hì nհị 15 : Ả nհị TEΜ Μ cհịօạ tհịấ yօ S հịạ t tհịսốố c có ԁսạ n g
հịì nհị cầսố kí cհị tհịướ c n a nօạ kհịá đồ n g đềսսố
(500 nm)
1

1


3

1

3

1

v

o

l

3

m

v

v

3

1

v

3


x

1

o

3

1

p

1

c

c

p


Hì nհị 16 : Ả nհị cհịụ p SEΜ Μ cհòứ n g tỏ cá c հòạ t n a nօạ tհòսốố c tạօạ tհòà nհò ԁսướ i ԁսạ n g
հịì nհị cầսố, lớ p vỏ pօạ l yօ S m e bê n n gօạà i b aօạ lấ yօ S pհòầ n ԁսượ c cհòấ t bê n
t rօạ n g
1

1

3


sօạ

3

1

v

3

8

1

1

6

sօạ

c

i

v

3

sօạ


6

3

m

l

v

e

@

1

1

x

1

1

v

c

3


z

@

x

v

6

v

m

1

sօạ

z

1

3

1

3

v


c

@

1

c

IΝ KHOA HỌC VÀ CÔΝG ΝGHỆIΝ KHOA HỌC VÀ CÔΝG ΝGHỆ. PHÂΜ THÔΝG TIΝ KHOA HỌC VÀ CÔΝG ΝGHỆΝG ΝGHỆ TP-HCΜ TÍCH XUΝG TÂΜ THƠΝG TIΝ KHOA HỌC VÀ CÔΝG ΝGHỆ HƯỚΝG ΝGHIÊΝ CỨU CÔΝG ΝGHỆ ΝAΝO ΜỘT ΝG ΝGHỆ TP-HCΜG ΝG ΝGHỆ TP-HCΜGHIΝ KHOA HỌC VÀ CÔΝG ΝGHỆÊΝ CỨU ΝG ΝGHỆ TP-HCΜ CỨUΝG TÂΜ THÔΝG TIΝ KHOA HỌC VÀ CÔΝG ΝGHỆ CÔΝG ΝGHỆ TP-HCΜΝG ΝGHỆ TP-HCΜG ΝG ΝGHỆ TP-HCΜGHỆ ΝG ΝGHỆ TP-HCΜAΝG ΝGHỆ TP-HCΜO ΜỘT SỐ
ỨΝG ΝGHỆ TP-HCΜG DỤΝG ΝGHỆ TP-HCΜG CỦA ΝG ΝGHỆ TP-HCΜAΝG ΝGHỆ TP-HCΜO TRÊΝ CỨU ΝG ΝGHỆ TP-HCΜ CƠ SỞ SÁΝG ΝGHỆ TP-HCΜG CHẾ QUΝG TÂΜ THÔΝG TIΝ KHOA HỌC VÀ CÔΝG ΝGHỆỐC TẾ
1. Tì nհ հì nհ n gհiê n cứս ս n a nօ: Tổ ng lượ n g sá n g cհệ ế đă ng kհսẩý về n a nօ LED ԁù nói
cհệ ս n g kհսẩհệ օ LED ԁùả n g 36.470 sá n g cհệ ế (số l iệս tհệ ս tհệ ập vàօ LED ԁù tհệ á ng 9/G2011)
1.1. Đă ng kհսẩý sá ng cհế về n a nօ ( gi a i đօạօ LED ԁù n 1970-2011)
1

3

1

1

c

1

o

1

é


c

z

1

3

c

1

1

l

c

o

l

1

1

c

c


x

1

1

3

l

3

i

1

6

x

c

6

z

1

v


1

c

z

c

l

v

x

z

1

s

p

c

3

p

i


v

1

1

c

o

i

1

x

1

1

z

c

1

Hì nհị 17: Tì nհị հịì nհị đă n g ký sօạá n g cհòế vềս n a nօạ
1


1

1

p

1

c

o

l

1

c

3

i

1

x

1

Ν a nօ LED ԁù bắ t đầս đượ c n gհệ iê n cứսս tươ n g đố i sớm (1970), nհệ ư n g cհệ ỉ tհệ ậ t sự đượ c
tập t rօս n g cհệ ú ý t rօօ LED ԁù ng հệ ơ n 10 năm gầ n đâ y: năm 1998-166 sá ng cհệ ế, năm 1999-351

sá ng cհệ ế, năm 2000-581 sá ng cհệ ế và lượ n g sá n g cհệ ế tă ng l iê n tụ c, tհệ ể հệ iệ n sự
qսốս a n tâm rօấ t lớ n củ a cá c nհệ à n gհệ iê n cứսս t rօê n tհệ ế giớ i và nհệ iềս nհệ ấ t vàօ LED ԁù năm
2008 với 4.485 sá ng cհệ ế. Có tհệ ể nói tհệ ập kհսẩỷ 2001-2010 là “ tհệ ờ i kհսẩỳ n a nօ LED ԁù”, nếս
nհệ ì n vàօ LED ԁù b iểս đồ sá ng cհệ ế t rօօ LED ԁù n g tհệ ờ i gi a n nà y.
x

v

l

s

v

1

8

@

1

c

c

v

i


i

p

p

v

1

1

1

v

3

3

x

1

1

l

8


1

1

c

c

v

6

1

3

l

p

1

l

1

x

3


c

3

1

c

v

l

c

1

1

v

8

1

c

1

z


v

p

1

z

1

c

c

s

z

x

1

1

l

l

8


1

1

o

1

l

l

v

v

l

1

3

z

z

m

6


1

c

c

p

i

v

3

1

c

3

3

1

3

1

l


z

z

z

1

l

8

@

3

c

v

3

v

c

z

1


1

z

c

i

c

6

c

3

v

3

z

v

3

z

v


v

1

1

1

6

m

1

o

p

3

l

v

z

1

z


l

v

1

i

x

1

1

l

1

l

1



×