Công nghệ chế tạo vật liệu nano

Công nghệ linh kiện điện tử micro và nanô
•

•
 !"# 
•
"$%&'!($)*%+
P. pháp cộng P. pháp trừ P. pháp thay đổi
a)Lắng đọng màng mỏng
- Lắng đọng thổi
- Lắng đọng bay hơi
- Lắng đọng hòa tan
- Epitaxy chùm phân tử
b) Kỹ thuật in
- In phun
- In vi tiếp xúc
c) Phát triển tự tổ chức
- P. ứng hoá học chọn lọc
- Phát triển sinh học của tế bào
d) Lắp ráp
- Gắn wafer
- Công nghệ lắp bề mặt
- Các phương pháp liên kết và nối dây
a) Xử lý bức xạ
- Phơi sáng cản quang
- Làm cứng polymer
b) Ủ nhiệt
- Kết tinh
- Khuếch tán
- Thay đổi pha
c) Xử lý tia ion

- Nuôi cấy ion
- Vô định hình hoá
d) Thay đổi cơ học
- Tạo hình bằng plastic
- Thao tác đầu dò quét
a) Ăn mòn
- Ăn mòn axít
- Ăn mòn bằng chùm ion
- Ăn mòn ion phản ứng
- Xử lý nhiệt và bức xạ
- Cắt bỏ bằng laser
- Ăn mòn bằng tia lửa
b) `
- Đánh bóng cơ hoá
- Đục
- Khoan
- Tạo rãnh
Công nghệ CMOS
Pha thiết kế Pha chế tạo
Thiết kế hệ thống
Thiết kế chức năng
Thiết kế logic
Thiết kế mạch điện
Thiết kế kiến trúc
Thiết kế mặt nạ
Chế tạo mặt nạ
Chuẩn bị Wafer
Xử lý Wafer
Kiểm tra, đóng gói
Hình 1.1: Các bước để chế tạo vi mạch

,"
•
-"%./"0
•
12top-down#3!"4#3!!
•
5!bottom-up6"$7
12
•
8$905(#:;<;;5;%==#2
!&>*?#3!"+@A$
%'BC<DE'B4=<
!#3!#!>5F#D+
12<
•
<B;;G5%.!H
%.D>%I2+;
•
J$<;4=<KB<I<E"$L
M<#=+,>""
 ?  % #3 ! "+ N E'  %.    "
#*<"+
125
•
"OP5#*Q+;
•
8%;4 = %. %< R ($    S . F =+ 8
%"*!%#6%.M;54B
L.6%.M;5+
•

NE'%."<5A$"I
"<!4<5$+
•
8 "B  "$ S " S 5(   ;
E"#K;%="DT"+
Phương pháp từ dưới lên
•
8$906"$7I+
5!  %.  = D  U 6 3  %  D . V" O'
W2(+
•
5!4=;9B;4"M;I#.'
"4"X9+
•
Y!"T"5("$%.
$+
Phương pháp từ dưới lên (Vật lý)
•
"$7I;$="+8$7%=6
   " %.  "     90;2"$ %2B;
T1B;4%ZE"+   $= "0   %. 
4 Z   ! 2 % " %=  %.  ;*%[6B;
179;%= 1'$ " $= " * %[ 6 X  = # 
"+9S%.5(%=
"B;"B
Ví dụ:;&>;$3+
Phương pháp từ dưới lên (Hóa học)
•
"+4"M4%I%=D
%"56($F=S"'"$%&#:

(.+\$BT"4=A4"
M  " 0 6    " ;" ; ;#V"B
OX)B+++;"#3;AB++++$4="B
5A$"B2"B"B"B+++
Phương pháp từ dưới lên (kết hợp)
•
"5P"$K94"M0;
%AB;F;;"#3B+++$4="B5A$"B
2"B"B"B+++