Khảo sát ảnh hưởng của sự pha tạp Sb lên những khuyết tật có trong màng mỏng ZnO

KHẢO SÁT SỰ ẢNH HƯỞNG CỦA SỰ
PHA TẠP Sb LÊN NHỮNG KHUYẾT TẬT
CÓ TRONG MÀNG MỎNG ZnO
SVTH: TRẦN PHƯƠNG NGUYÊN
CBHD: Th.S NGUYỄN THANH LÂM
MỘT SỐ THÔNG TIN CẦN THIẾT

Tài liệu công nghệ nano: http://
mientayvn.com/Cao%20hoc%20quang%20dien%20tu/Semina%
20tren%20lop/seminar.html

https://
drive.google.com/folderview?id=0B2JJJMzJbJcwajNXZ
WpzdGRTb1MtRXdRN0hrZFhiQQ&usp=sharing
1.
•
T ng quan v v t li u ZnO và Sbổ ề ậ ệ
2.
•
Các ph ng pháp t o màngươ ạ
4
•
Th c nghi mự ệ
5
•
K t qu và bàn lu nế ả ậ
6
•
K t lu nế ậ
N I DUNGỘ
Tính ch t lý – hoá c a ZnOấ ủ

ZnO là b t màu tr ng, ộ ắ
không tan trong n c, ướ
nh ng tan trong dung ư
d ch c n.ị ồ
ZnO có nhi t đ thăng ệ ộ
hoa và nhi t đ nóng ệ ộ
ch y cao, d n đi n ả ẫ ệ
t t.ố
C u trúc tinh th ZnOấ ể
C u trúc tinh th ZnO đ c chia làm 3 d ng:ấ ể ượ ạ
Cấu trúc lập phương kiểu lục giác wurtzite
đi u ki n nhi t đ Ở ề ệ ệ ộ
th ng, tinh th ZnO ườ ể
t n t i d ng l c giác ồ ạ ở ạ ụ
wurtzite. Đây là c u ấ
trúc b n v ng nh t ề ữ ấ
c a ZnO.ủ
C u trúc l p ph ng đ n gi n ki u NaCl ấ ậ ươ ơ ả ể
(L p ph ng rocksalt )ậ ươ
C u trúc l p ph ng đ n gi n ki u NaCl là c u trúc ấ ậ ươ ơ ả ể ấ
gi b n c a tinh th ZnO ch t n t i trong đi u ả ề ủ ể ỉ ồ ạ ề
ki n áp su t caoệ ấ
C u trúc l p ph ng gi k mấ ậ ươ ả ẽ
(L p ph ng zinc blende)ậ ươ
nhi t đ cao, tinh th Ở ệ ộ ể
ZnO t n t i tr ng thái ồ ạ ở ạ
c u trúc l p ph ng gi ấ ậ ươ ả
k m, đây là c u trúc gi ẽ ấ ả
b n c a ZnO.ề ủ
S sai h ng trong c u trúc tinh th ZnOự ỏ ấ ể

Các lo i sai h ng đi m:ạ ỏ ể
(1) Nút khuy tế
(2) T xen kự ẽ
(3) T p ch t xen kạ ấ ẽ
(4),(5) T p ch t thay thạ ấ ế
S sai h ng trong c u trúc tinh th ZnOự ỏ ấ ể
Trong tinh th ZnO t n t i các v trí tr ng oxi và ể ồ ạ ị ố
các nguyên t k m xen k trong tinh th => bán ử ẽ ẽ ể
d n n.ẫ
Các khuy t t t đi m này đ c cho là ngu n g c ế ậ ể ượ ồ ố
nh h ng đ n tính ch t đi n và quang c a ZnO.ả ưở ế ấ ệ ủ
Khi các khuy t t t ế ậ
đ c hình thành đ ng ượ ồ
nghĩa v i vi c hình ớ ệ
thành các m c năng ứ
l ng khuy t t t ượ ế ậ
trong vùng c m c a ấ ủ
ZnO.
S sai h ng trong c u trúc tinh th ZnOự ỏ ấ ể
T ng quan Sbổ
Antimon là ch t r n k t tinh d nóng ch y, c ng, ấ ắ ế ễ ả ứ
màu tr ng b c, d n đi n, d n nhi t kém, bay h i ắ ạ ẫ ệ ẫ ệ ơ
nhi t đ th p.ở ệ ộ ấ
Ph ng pháp ch t o màng m ngươ ế ạ ỏ
solgel
-
K thu t t ng h p hóa keo.ỹ ậ ổ ợ
-
Hình thành trên c s ph n ng th y phân và ơ ở ả ứ ủ
ph n ng ng ng t t các ch t g c.ả ứ ư ụ ừ ấ ố

Sol - gel
u đi mƯ ể
-
Công ngh đ n gi n.ệ ơ ả
-
Giá thành r .ẻ
-
Nhi t đ x lý th p.ệ ộ ử ấ
-
D dàng đi u khi n đ c đ dày màng.ễ ề ể ượ ộ
Ph ng pháp solgelươ
Ph ng pháp ph quay (spin coating)ươ ủ
Các b c c a quá trình ph quay:ướ ủ ủ
Đ dày màng theo Meyerhofer:ộ
Th c nghi mự ệ
K t qu và bàn lu nế ả ậ
Ph truy n qua c a màng ZnO và ZnO pha ổ ề ủ
t p Sb các n ng đ pha t p khác nhauạ ở ồ ộ ạ
K t qu và bàn lu nế ả ậ
Ph XRD c a màng ZnO và ZnO pha t p ổ ủ ạ
Sb các n ng đ pha t p khác nhauở ồ ộ ạ
K t qu và bàn lu nế ả ậ
Ph phát quang c a màng ZnO và ZnO ổ ủ
pha t p Sb các n ng đ pha t p khác ạ ở ồ ộ ạ
nhau
K t ế
lu nậ
Antimon th t s làm thay đ i tính ch t quang ậ ự ổ ấ
phát quang c a màng ZnO. ủ Điều này h a h n ứ ẹ
s m ra nhi u h ng nghiên c u m i v v t ẽ ở ề ướ ứ ớ ề ậ

li u ZnO pha t p làm n n t ng cho nghiên ệ ạ ề ả
c u ch t o màng ZnO pha t p mang tính ứ ế ạ ạ
ch t c a bán d n lo i p.ấ ủ ẫ ạ
Cám n th y và các ơ ầ
b n đã chú ý l ng ạ ắ
nghe!