Giáo trình thao tác kính hiên vi điện tử SEM

廣 隆 光 電 科 技 股 份 有 限 公 司
利 隆 ( 越 南 ) 股 份 有 限 公 司
修訂日期
Chỉnh Sửa
版次
Phiên Bản

制訂日期

------

SEM 掃描式電子顯微鏡操作說明
Thuyết minh thao tác kính hiển vi điện tử SEM

01

Ngày Lập Biểu

78-005

2009/09/15
1/6

文件修訂頁
Trang Chỉnh Sửa Văn Kiện
修訂
Chỉnh Sửa
設變號碼
次數
MS.Thay Đổi
Trang

0

1

2

3

4

5

6

7

9

日期
Ngày

發行日期
實施日期
Ngày Phát Hành Ngày Thực Thi

設變內容
Nội Dung Thay Đổi


廣 隆 光 電 科 技 股 份 有 限 公 司

利 隆 ( 越 南 ) 股 份 有 限 公 司
修訂日期
Chỉnh Sửa
版次
Phiên Bản
1

制訂日期

-----01

SEM 掃描式電子顯微鏡操作說明
Thuyết minh thao tác kính hiển vi điện tử SEM

Ngày Lập Biểu

78-005

2009/09/15
2/6

目的
Mục đích
規範 SEM 掃描式電子顯微鏡之操作方法。
Phương pháp thao tác kính hiển vi điện tử SEM

2

適用範圍
Phạm vi ứng dụng

適用於極板活化物質、隔板、格子體等物體表面形貌之顯微分析。
Áp dụng lá chì vật chất rời, giấy cách, thẻ ô vuông và các loại vật bề ngoài
phân tích kính hiển vi

3

參考資料
Tài liệu thao khảo
3.1『Instructions for JSM-5200 Scanning Microscope No. JSM5200-3,JOEL Co』
3.2『78-002 冰水機操作說明』
Thuyết minh thao tác mở máy nước lạnh 78-002

4

名詞定義
Định nghĩa
無
Khơng


廣 隆 光 電 科 技 股 份 有 限 公 司
利 隆 ( 越 南 ) 股 份 有 限 公 司
修訂日期
Chỉnh Sửa
版次
Phiên Bản

-----01

制訂日期

SEM 掃描式電子顯微鏡操作說明
Thuyết minh thao tác kính hiển vi điện tử SEM

作業標準描述 Tiêu chuẩn thao tác
5

Ngày Lập Biểu

78-005

Các bước thao tác
5.1.1 打開冰水機(參考 78-002 冰水機操作說明之開機步
驟)。（圖 1）
Mở máy nước lạnh (tham khảo thuyết minh thao tác mở máy
nước lạnh và các bước mở máy). (ảnh 1)
圖 1 (ảnh 1)

燈亮（圖 2）。
Mở cơng tắc máy ổn áp 3KVA (đèn màu đỏ IND sáng lên).
(ảnh 2)
5.1.3 分鐘後，將 SEM 螢幕左邊的 key 轉到 start 後鬆手。（圖
3）
Sau 3 phút. Vặn nút „key‟ sang „start‟ rồi bỏ tay ra (phía trái

圖 2 (ảnh 2)

màn hình SEM). (ảnh 3)
5.1.4 暖機時間約為 20-30 分鐘，完成暖機後螢幕下方會顯
示“DP wait”，此時即可開始操作儀器。
Thời gian ổn định máy là từ 20-30 phút. Sau khi ổn định máy,

phía dưới màn hình sẽ hiện thị “DP wait”. Lúc này có thể thao
tác máy.

圖 3 (ảnh 3)

5.1.5 按 vent 鈕使螢幕下方顯示真空度下降至 0%(若未下降
至”0%”，則按 select 鈕數次，直到真空度降到真空度
為”0%”) 此時就可以開始裝試片。（圖 4）
Nhấn nút „vent‟ để màn hình hiện thị độ chân khơng hạ đến
0% (nếu khơng đạt 0% thì nhấn nút „select‟ nhiều lần cho đến
khi độ chân khơng đạt 0%). Lúc này bắt đầu có thể đặt vật
mẫu vào thử nghiệm. (ảnh 4)

圖 4 (ảnh 4)

5.1.6 將 SEM 旁邊的圓柱形試片室的門打開，然後將試片
放入試片室內之固定座後關上門。（圖 5）
Mở cửa hộp chứa mẫu (hình trụ tròn, kế bên máy SEM), sau
đó đặt vật mẫu vào, cố định vị trí rồi đóng cửa lại. (ảnh 5)
5.1.7 按 EVAC 鈕，使螢幕下的真空度回升到 100%。
Nhấn nút EVAC, để màn hình hiện thị độ chân khơng tăng lên
100%.

3/6

圖片說明 Hình ảnh

操作步驟：

5.1.2 將 3KVA 穩壓器的 POWER on 往上扳，使 IND 的紅

2009/09/15

圖 5 (ảnh 5)


廣 隆 光 電 科 技 股 份 有 限 公 司
利 隆 ( 越 南 ) 股 份 有 限 公 司
修訂日期
Chỉnh Sửa
版次
Phiên Bản

-----01

制訂日期
SEM 掃描式電子顯微鏡操作說明
Thuyết minh thao tác kính hiển vi điện tử SEM

作業標準描述 Tieâu chuẩn thao taùc

Ngày Lập Biểu

78-005
圖片說明 Hình ảnh

5.1.8 等螢幕下方出現”HT ready”後,按操作板上的 HT 鈕。
（圖 6）
Chờ màn hình hiện thị “HT ready”, nhấn nút HT. (ảnh 6)
5.1.9 按 LSP1 後,旋轉 BRIGHTNESS 鈕,使螢幕上的直線移

至螢幕下方。（圖 7）
Nhấn LSP1, vặn nút BRIGHTNESS, để đường thẳng dời
xuống phía dưới màn hình(ảnh 7)
5.1.10 時針旋轉 FILAMENT 鈕,使直線開始產生 peak,繼續
旋轉 FILAMENT 鈕,直到 peak 不在上升為止(轉到 12 點位
置後檢查 FILAMENT 鈕旁邊的燈是否有亮後再繼續旋
轉)。（圖 6）

圖 6 (aûnh 6)

Vặn nút FILAMENT thuận chiều kim đồng hồ, làm cho đường
thẳng trên màn hình bắt đầu xuất hiện peak tiếp tục vặn nút
FILAMENT cho đến khi peak không cao lên nữa (vặn đến vị
trí giữa (điểm 12 giờ) kiểm tra đèn kế bên nút FILAMENT có
còn sáng không rồi tiếp tục xoay) (ảnh 6)
5.1.11 TV 鈕，螢幕出現試片表面狀況後,即可開始觀察。
（圖 7）
Nhấn nút TV, màn hình xuất hiện trạng thái bề mặt của vật
mẫu, lúc này có thể bắt đầu quan sát (ảnh 7)
5.1.12 OT SIZE 鈕可以調整螢幕的亮度,及顯像狀況,但盡量
保持在 12 點鐘方向。（圖 6）
Nút „SPOT SIZE‟ có thể điều chỉnh độ sáng của màn hình,
trạng thái hiện thị. Nhưng cố gắng giữ ở vị trí giữa (điểm 12
giờ) (ảnh 6)
5.1.13 VIEW 鈕旁的兩個鈕是用來調整放大倍數。左邊是放
大,右邊是縮小。
（圖 8）
2 nút kế bên nút „VIEW‟ dùng để điều chỉnh độ phóng to. Bên
trái: phóng lớn. bên phải: thu nhỏ (ảnh 8)
5.1.14 ARSE 是焦距的粗調，FINE 是焦距的微調，AUTO

則是自動對焦。（圖 8）
ARSE: điều chỉnh thô khoảng cách, FINE: điều chỉnh tinh
khoảng cách, AUTO: tự động điều chỉnh khoảng cách(ảnh 8)

2009/09/15

圖 7 (aûnh 7)

圖 8 (aûnh 8)

4/6


廣 隆 光 電 科 技 股 份 有 限 公 司
利 隆 ( 越 南 ) 股 份 有 限 公 司
修訂日期
Chỉnh Sửa
版次
Phiên Bản

-----01

制訂日期
SEM 掃描式電子顯微鏡操作說明
Thuyết minh thao tác kính hiển vi điện tử SEM

作業標準描述 Tieâu chuẩn thao taùc

Ngày Lập Biểu

78-005
圖片說明 Hình ảnh

5.2 照片程式
Thuyết minh chụp ảnh
5.2.1 如欲照相就按 EXP 鈕,調整 BRIGHTNESS 鈕與
（圖 6）
CONTRAST 鈕直到螢幕上出現畫面。
Khi muốn chụp ảnh thì nhấn nút EXP, điều chỉnh nút
BRIGHTNESS và nút CONTRAST cho đến khi màn hình
hiện thị hình dạng như trên
(ảnh 6)
5.2.2 照片的日期時，先按 SET 鈕，按 FILM DATA 後再按
年、月、日。（圖 7）

圖 9 (aûnh 9)

Nhập ngày tháng cho tấm ảnh: trước hết nhấn nút SET, nhấn
FILM DATA, sau đó nhập năm, tháng, ngày. (ảnh 7)
5.2.3 將鏡頭對準螢幕後固定，把拍立得左邊的面板拉出到
藍線的位置（圖 9，10）。
Cố định ống kính và màn hình, kéo tấm bảng đến vị trí đường
màu xanh(ảnh 9, 10)
5.2.4 按 SHUTTER 鈕，等 100 秒後關上拍立得的面板，先
拉開白紙，再快速拉出底片，20 秒後即可把底片上的顯像
層撕開。
Nhấn nút SHUTTER, chờ 100 giây sau đó đóng tấm bảng lại,
kéo tấm giấy trắng rồi kéo nhanh phim ra, 20 giây sau có thể
xé tấm ảnh trên tấm phim ra.
5.3 關機程式

Trình tự tắt máy
5.3.1 將放大倍率調到最小。（圖 8）
Điều chỉnh tỷ lệ phóng to đạt giá trị nhỏ nhất(ảnh 8)
5.3.2 按 HT 鈕。（圖 6）
Nhấn nút HT. (ảnh 6)
5.3.3 等 3 分鐘以上。
Chờ hơn 3 phút.
5.3.4 按 VENT 鈕使真度下降到 0%。（圖 4）
Nhấn nút VENT để độ chân không giảm về 0%. (ảnh 4)
5.3.5 取出試片。（圖 5）
Lấy mẫu thử nghiệm ra(ảnh 5)
5.3.6 按 EVAC 使真空度回升到 100%。
Nhấn nút EVAC để độ chân không tăng lên 100%

2009/09/15

圖 10 (aûnh 10)

5/6


廣 隆 光 電 科 技 股 份 有 限 公 司
利 隆 ( 越 南 ) 股 份 有 限 公 司
修訂日期
Chỉnh Sửa
版次
Phiên Bản

-----01

制訂日期
SEM 掃描式電子顯微鏡操作說明
Thuyết minh thao tác kính hiển vi điện tử SEM

作業標準描述 Tiêu chuẩn thao tác
5.3.7 20 分鐘後關冰水機(參考 L78-002 冰水機操作說明之
關機步驟)。
Chờ 20 phút sau rồi tắt máy nước lạnh (tham khảo thao tác tắt
máy nước lạnh và các bước tắt máy L87-002)
5.3.8 旋轉 key 至 OFF。
Vặn „key‟ sang OFF
5.3.9 關穩壓器 OFF。
Tắt máy ổn áp OFF
6

注意事項
Hạng mục chú ý
6.1 開始分析後，嚴禁碰撞圓柱型鎗體，避免燈絲燒掉
Sau khi phân tích mở, cấm khơng đđược đập vào cái trụ tròn
hình dạng khẩu súng , để tránh bị cháy đèn.
6.2 儀器操作時，需避免地面震動，以免影響分析結果。
Trong khi thao tác khí, phải tránh mặt đất động, tránh khỏi sự
ảnh hưởng phân tích kết quả.
6.3 點燃燈絲時，需緩慢進行，避免燈絲燒掉。
Trong khi nốt đèn, phải tiến hành chậm chạp, tránh xảy ra đèn
cháy.

Ngày Lập Biểu

2009/09/15

78-005
圖片說明 Hình ảnh

6/6