Bài giảng Đo lường và cảm biến: Chương 4 - ThS. Trần Văn Lợi

Chương 4
CẢM BIẾN VỊ TRÍ VÀ DỊCH CHUYỂN
4.1

ĐIỆN THẾ KẾ ĐIỆN TRỞ

4.1.1

Cấu tạo

Gồm một điện trở cố định R, trên có một tiếp xúc điện có thể di chuyển gọi là
con chạy. Giá trị của điện trở đo được giữa con chạy và một đầu của điện trở R là
hàm phụ thuộc vị trí con chạy và bản thân điện trở R.
Nếu điện trở được chế tạo đồng đều thì R sẽ tỉ lệ tuyến tính với vị trí con chạy. Có
hai dạng cảm biến vị trí điện trở: cảm biến điện trở dịch chuyển thẳng hình 4.1a; cảm biến
điện trở tròn và tròn xoắn hình 4.1b-c

Hình 4.1
Điện trở dịch chuyển thẳng: R(l ) =
Điện trở dịch chuyển tròn: R(a) =

1
R
La

am

R

Đối với điện trở tròn: αM < 360°
Đối với điện trở xoắn: αM > 360°

Bài giảng Đo lường và cảm biến

Trang 42


Hợp kim thường dùng làm điện trở là Ni–Cr, Ni–Cu, Ni–G–Fe, Ag–Pd. Dây điện
trở được cuốn trên lõi cách điện còn dây được cách điện bằng emay.
R nằm trong khoảng từ 1K – 100KΩ, có thể đạt đến vài MΩ.
Con chạy phải tiếp xúc tốt, khơng tạo ra suất điện động tiếp xúc, điện trở tiếp
xúc nhỏ và ổn định. Các tiêu chuẩn này phải đảm bảo trong điều kiện dao động và tốc
độ dịch chuyển lớn.
4.1.2

Đặc điểm

Hình 4.2
Khoảng cách có ích của con chạy
Giá trị R(x)/R thường khơng ổn định ở cuối đường chạy của con trỏ hoặc ở các chỗ nối
mạch điện hình 4.2. Khoảng cách có ích là khoảng mà trong đó R(x) là hàm tuyến tính của
dịch chuyển.
Độ phân giải
Các cảm biến dây chỉ cho ta phát hiện sự biến thiên điện trở bằng một vòng dây,
tương ứng với dịch chuyển hai vòng dây. Nếu điện trở tồn phần là R0, số vòng dây W, điện
R
trở nhỏ nhất có thể phát hiện được là rn = 0 ; rn- ngưỡng nhạy của cảm biến.
W
Thời gian sống
Thời gian sống của điện kế là số lần sử dụng của điện thế kế. Ngun nhân gây ra hư
hỏng và hạn chế thời gian sống của điện thế kế là sự mài mòn con chạy và dây điện trở trong
q trình làm việc. Thường thời gian sống của điện thế kế dạng dây dẫn vào cỡ 106 lần, điện

kế dạng băng dẫn vào cỡ 5.107 - 108 lần. Một số đặc điểm của cảm biến thông dụng
Thông số
-dải đo
-độ phân dải
-công suất
-hệ số nhiệt độ
-tần số
-độ bền

Bài giảng Đo lường và cảm biến

Di chuyển thẳng
2mm->8m
50 mm
0.1-50W
20-1000phần / 10 6 / o C
3Hz
Đến 4x10 8 chu kì dòch chuyển

Di chuyển vuông góc
10 O -60 vòng
2 o - 0 .2 o

Trang 43


4.1.3 Mạch đo
Mạch phân áp

Ta có:

R3
E
=
U o R2 + R3

Mạch kiể u cầ u phân áp

Ta có:

4.2

Uo
R2
R4
=
E R 2 + R1 R 4 + R3

ĐIỆN THẾ KẾ DÙNG CON TRỎ QUANG

Để khắc phục nhược điểm của điện thế kế dùng con chạy cơ học, người ta sử dụng
điện thế kế liên kết quang hoặc từ.
Hình 4.3 trình bày sơ đồ ngun lý của một điện thế kế dùng con trỏ quang. Điện thế
kế tròn dùng con trỏ quang gồm điot phát quang (1), băng đo (2), băng tiếp xúc (3) và băng
quang dẫn (4). Băng điện trở đo được phân cách với băng tiếp xúc bởi một băng quang dẫn
rất mảnh làm bằng CdSe trên đó có con trỏ quang dịch chuyển khi trục của điện thế kế quay.
Điện trở của vùng quang dẫn giảm đáng kể trong vùng được chiếu sáng tạo nên sự liên kết
giữa băng đo và băng tiếp xúc.

Hình 4.3 Điện thế kế quay dùng con trỏ quang

Thời gian hồi đáp của vật liệu quang dẫn cỡ vài chục ms.
Bài giảng Đo lường và cảm biến

Trang 44


4.3

ĐO DỊCH CHUYỂN BẰNG ENCODER THẲNG

Các cảm biến đo vị trí và dịch chuyển theo phương
pháp quang học gồm nguồn phát ánh sáng kết hợp với một
đầu thu quang (thường là tế bào quang điện). Hình 4.4 đo
dịch chuyển bằng thước khắc vạch (encoder tăng) cấu tạo của
nó gồm: 1- thước khắc vạch, 2- nguồn sáng; 3,4,5,7- thấu
kính, 6- tấm chắn ánh sánh; 8- tế bào quang điện.
Nguyên lý hoat động tương tự giống cảm biến quang
phản xạ, thước khắc vạch được khắc vạch trắng và đen xen
nhau, ánh sáng bị hấp thụ khi gặp vạch đen và phản xạ khi
gặp vạch trắng, như vậy cứ mỗi lần ánh sáng chuyển qua một
vạch thì tế bào quang điện nhận được một xung ánh sáng và
một xung điện được tạo ra, đếm số xung ta có thể suy ra di
chuyển:
Ta có: Dx=Nd
Trong đó: Dx là khoảng dịch chuyển, N là số xung
đếm được; d giá trị của mạch chia độ.

Hình 4.4

Người ta có thể thực hiện 200 vạch/mm.

4.4

CẢM BIẾN ĐIỆN CẢM

Cảm biến điện cảm là nhóm các cảm biến làm việc dựa trên nguyên lý cảm ứng điện
từ. Vật cần đo vị trí hoặc dịch chuyển được gắn vào một phần tử của mạch từ gây nên sự biến
thiên từ thông qua cuộn đo. Cảm biến điện cảm được chia ra: cảm biến tự cảm và hỗ cảm.
4.4.1

Cảm biến tự cảm có khe từ biến thiên

Cảm biến tự cảm đơn
Trên hình trình bày sơ đồ nguyên lý cấu tạo của một số loại cảm biến tự cảm đơn.

Hình 4.5 Cảm biến tự cảm
Cấu tạo gồm một cuộn dây quấn trên lõi thép cố định (phần tĩnh) và một lõi thép có
thể di động dưới tác động của đại lượng đo (phần động), giữa phần tĩnh và phần động có khe
hở không khí tạo nên một mạch từ hở. Dưới tác động của đại lượng đo Xv, phần ứng của cảm
biến di chuyển, khe hở không khí d trong mạch từ thay đổi, làm cho từ trở của mạch từ biến
thiên, do đó hệ số tự cảm và tổng trở của cuộn dây thay đổi theo. Khi phần ứng quay, tiết
diện khe hở không khí thay đổi, làm cho từ trở của mạch từ biến thiên, do đó hệ số tự cảm và
tổng trở của cuộn dây thay đổi theo. Hệ số tự cảm của cuộn dây cũng có thể thay đổi do thay
đổi tổn hao sinh ra bởi dòng điện xoáy khi tấm sắt từ dịch chuyển dưới tác động của đại
lượng đo Xv.
Bài giảng Đo lường và cảm biến

Trang 45

Nu b qua in tr ca cun dõy v t tr ca lừi thộp ta cú:
W 2 Wm 0 s
L=
=
Rd
d
Trong ú:
W- s vũng dõy.
d
Rd =
- t tr ca khe h khụng khớ.
m0 s
d - chiu di khe h khụng khớ.
s - tit din thc ca khe h khụng khớ.
ảL
ảL
Trng hp W = const ta cú: dL = .ds +
.dd
ảs
ảd
Vi lng thay i hu hn d v s ta cú:
W 2 m0
W 2 m 0 s0
DL =
Ds Dd
d0
(d 0 + Dd )2
nhy ca cm bin t cm khi khe h khụng khớ thay i (s=const):
DL
L0

Sd =
=2
Dd
ộ ổ Dd ửự
ữữỳ
d 0 ờ1 + ỗỗ
ở ố d 0 ứỷ
nhy ca cm bin t cm khi thay i tit din khụng khớ (d = const) :
DL L0
Sd =
=
Ds s 0
Tng tr ca cm bin :
wW 2 m 0 s
Z = wL =
d
Ta thy tng tr Z ca cm bin l hm tuyn tớnh vi tit din khe h khụng khớ s v phi
tuyn vi chiu di khe h khụng khớ .

Hỡnh 4.6 S ph thuc gia L, Z vi chiu dy khe h khụng khớ
c tớnh ca cm bin t cm n Z = f() l hm phi tuyn v ph thuc tn s ngun kớch
thớch, tn s ngun kớch thớch cng cao thỡ nhy ca cm bin cng cao.
Cm bin t cm kộp lp theo kiu vi sai
tng nhy ca cm bin v tng on c tớnh tuyn tớnh ngi ta thng dựng cm
bin t cm kộp mc theo kiu vi sai (hỡnh 4.7).

Bi ging o lng v cm bin

Trang 46

Hình 4.7: Cảm biến tự cảm kép mắc theo kiểu vi sai
Đặc tính của cảm biến tự cảm kép vi sai có dạng như hình sau:

Hình 4.8: Đặc tính của cảm biến tự cảm kép lắp vi sai
4.4.2 Cảm biến tự cảm có lõi từ di động
Cảm biến gồm một cuộn dây bên trong có lõi từ di động được (hình 4.9).

Hình 4.9
Dưới tác động của đại lượng đo Xv, lõi từ dịch chuyển làm cho độ dài lf của lõi từ nằm trong
cuộn dây thay đổi, kéo theo sự thay đổi hệ số tự cảm L của cuộn dây.
Sự phụ thuộc của L vào lf là hàm không tuyến tính, tuy nhiên có thể cải thiện bằng cách ghép
hai cuộn dây đồng dạng vào hai nhánh kề sát nhau của một cầu điện trở có chung một lõi sắt.
4.5

CẢM BIẾN ĐIỆN DUNG

Cảm biến tụ điện đơn
Các cảm biến tụ điện đơn là một tụ điện phẳng hoặc hình trụ có một bản cực gắn cố
định (bản cực tĩnh) và một bản cực di chuyển (bản cực động) liên kết với vật cần đo. Khi bản
cực động di chuyển sẽ kéo theo sự thay đổi điện dung của tụ điện.
4.5.1

Bài giảng Đo lường và cảm biến

Trang 47


Đối với cảm biến hình 4.10a dưới tác động của đại lượng đo Xv, bản cực động di
chuyển, khoảng các giữa các bản cực thay đổi, kéo theo điện dung tụ điện biến thiên.

ee s
C= 0
d
ε - hằng số điện môi của môi trường.
ε0 - hằng số điện môi của chân không.
s - diện tích nằm giữa hai điện cực.
δ - khoảng cách giữa hai bản cực.

Hình 4.10:Cảm biến tụ điện đơn
Đối với cảm biến hình 4.10b: dưới tác động của đại lượng đo Xv, bản cực động di chuyển
quay, diện tích giữa các bản cực thay đổi, kéo theo sự thay đổi của điện dung tụ điện.

a - góc ứng với phần hai bản cực đối diện nhau.
Xét trường hợp tụ điện phẳng, ta có:

Đưa về dạng sai phân ta có:

Khi khoảng cách giữa hai bản cực thay đổi (e = const và s=const), độ nhạy của cảm biến:

Khi diện tích của bản cực thay đổi ( e = const và d = const), độ nhạy của cảm biến:

Khi hằng số điện môi thay đổi ( s = const và d = const), độ nhạy của cảm biến:
Nếu xét đến dung kháng:

Bài giảng Đo lường và cảm biến

Trang 48


Đưa về dạng sai phân:

Tương tự trên ta có độ nhạy của cảm biến theo dung kháng:

Từ các biểu thức trên có thể rút ra:
§
§
§

4.5.2

Biến thiên điện dung của cảm biến tụ điện là hàm tuyến tính khi diện tích bản cực và
hằng số điện môi thay đổi nhưng phi tuyến khi khoảng cách giữa hai bản cực thay đổi.
Biến thiên dung kháng của cảm biến tụ điện là hàm tuyến tính khi khoảng cách giữa
hai bản cực thay đổi nhưng phi tuyến khi diện tích bản cực và hằng số điện môi thay
đổi.
Ngoài ra giữa hai bản cực khi có điện áp đặt vào sẽ phát sinh lực hút, lực này cần phải
nhỏ hơn đại lượng đo.
Cảm biến tụ kép vi sai

Hình 4.11 Cảm biến tụ kép vi sai
Tụ kép vi sai có khoảng cách giữa các bản cực biến thiên dịch chuyển thẳng (hình a)
hoặc có diện tích bản cực biến thiên dịch chuyển quay (hình b) và dịch chuyển thẳng (hình c)
gồm ba bản cực. Bản cực động A1 dịch chuyển giữa hai bản cực cố định A2 và A3 tạo
thành cùng với hai bản cực này hai tụ điện có điện dung C21 và C31 biến thiên ngược chiều
nhau.
Độ nhạy và độ tuyến tính của tụ kép vi sai cao hơn tụ đơn và lực tương hỗ giữa các
bản cực triệt tiêu lẫn nhau do ngược chiều nhau.
Mạch đo
Thông thường mạch đo dùng với cảm biến điện dung là các mạch cầu không cân bằng cung
cấp bằng dòng xoay chiều. Mạch đo cần thoả mãn các yêu cầu sau:

§ Tổng trở đầu vào tức là tổng trở của đường chéo cầu phải thật lớn.
§ Các dây dẫn phải được bọc kim loại để tránh ảnh hưởng của điện trường ngoài.
§ Không được mắc các điện trở song song với cảm biến.
§ Chống ẩm tốt.
Bài giảng Đo lường và cảm biến

Trang 49


Hình 4.12
Hình 4.12a là sơ đồ mạch cầu dùng cho cảm biến tụ kép vi sai với hai điện trở. Cung cấp cho
mạch cầu là một máy phát tần số cao.
Hình 4.12b là sơ đồ mạch mặch cầu biến áp với hai nhánh tụ điện.
4.6

CẢM BIẾN ĐIỆN TỪ

Khi đo vận tốc dài, với độ dịch chuyển lớn của vật khảo sát (> 1m) thường chuyển
thành đo vận tốc góc. Trường hợp đo vận tốc của dịch chuyển thẳng nhỏ có thể dùng cảm
biến vận tốc dài gồm hai phần tử cơ bản: một nam châm và một cuộn dây. Khi đo, một phần
tử được giữ cố định, phần tử thứ hai liên kết với vật chuyển động. Chuyển động tương đối
giữa cuộn dây và nam châm làm xuất hiện trong cuộn dây một suất điện động tỉ lệ với vận
tốc cần đo. Sơ đồ cảm biến có cuộn dây di động biểu diễn trên hình 4.13

Suất điện động xuất hiện trong cuộn dây có dạng:
N - số vòng dây.
r - bán kính vòng dây.
B - giá trị của cảm ứng từ.
v - tốc độ dịch chuyển của vòng dây.
l - tổng chiều dài của dây.

Tốc độ kế loại này đo được độ dịch chuyển vài mm với độ nhạy ~ 1V/m.s. Khi độ
dịch chuyển lớn hơn (tới 0,5 m) người ta dùng tốc độ kế có nam châm di động (hình 4.14).
Cảm biến gồm một nam châm di chuyển dọc trục của hai cuộn dây quấn ngược chiều
nhau và mắc nối tiếp. Khi nam châm di chuyển, suất điện động xuất hiện trong từng cuộn
dây tỉ lệ với tốc độ của nam châm nhưng ngược chiều nhau. Hai cuộn dây được mắc nối tiếp
và quấn ngược chiều nên nhận được suất điện động ở đầu ra khác không.

Bài giảng Đo lường và cảm biến

Trang 50


Tốc độ kế từ dùng phương pháp đếm xung hình 4.15. Cấu tạo của cảm biến từ trở
biến thiên gồm một cuộn dây có lõi sắt từ chịu tác động của một nam châm vĩnh cửu đặt đối
diện với một đĩa quay làm bằng vật liệu sắt từ trên đó có khía răng. Khi đĩa quay, từ trở của
mạch từ biến thiên một cách tuần hoàn làm cho từ thông qua cuộn dây biên thiên, trong cuộn
dây xuất hiện một suất điện động cảm ứng có tần số tỉ lệ với tốc độ quay.

Tần số của suất điện động trong cuộn dây xác định bởi biểu thức: f = pn
p - số lượng răng trên đĩa.
n - số vòng quay của đĩa trong một giây.
Biên độ E của suất điện động trong cuộn dây phụ thuộc hai yếu tố:
- Khoảng cách giữa cuộn dây và đĩa quay: khoảng cách càng lớn E càng nhỏ.
- Tốc độ quay: Tốc độ quay càng lớn, E càng lớn. Khi tốc độ quay nhỏ, biên độ E rất
bé và khó phát hiện, do vậy tồn tại một vùng tốc độ quay không thể đo được, người ta gọi
vùng này là vùng chết.
Dải đo của cảm biến phụ thuộc vào số răng của đĩa. Khi p lớn, tốc độ nmin đo được
có giá trị bé. Khi p nhỏ, tốc độ nmax đo được sẽ lớn. Thí dụ với p = 60 răng, dải tốc độ đo
được n = 50 - 500 vòng/phút, còn với p =15 răng dải tốc độ đo được 500 - 10.000 vòng/phút.

Bài giảng Đo lường và cảm biến

Trang 51


4.7

BIẾN ÁP VI SAI LVDT (linear variable differential transformer)

Biến áp vi sai gồm cuộn sơ cấp và hai cuộn thứ cấp quấn trên lõi hình trụ, trong lõi có
một nòng ferrite di chuyển tự do. Cuộn sơ cấp được cung cấp áp kích thích xoay chiều, hai
cuộn thứ cấp được đấu nối tiếp ngược chiều cung cấp điện áp ra, biên độ và pha tùy thuộc
khoảng di chuyển của nòng.

Hình 4.16
Điện áp xoay chiều vo có biên độ tỷ lệ với khoảng dịch chuyển
x còn góc pha phụ thuộc hướng lệch so với vị trí cân bằng.
Thông số cảm biến:
Mã hiệu: D5M-10
Tầm đo: 10mm
Hình 4.17

Tầm di chuyển cơ: khoảng 12mm

Vận tốc tối đa cho phép: 0,3m/s.
Tầm chỉnh offset: ± 0,05mm
Lực tác động lực tối đa: 600 gf (8,34oz-inch).
Tín hiệu ra: 4¸20mA (tổng trở tải tối đa: 300W max.)
Độ lặp lại tối thiểu: 10mm
Độ tuyến tính tối đa: ± 0,5%FS.

Hình 4.18: Cảm biến LVDT 5M và khuếch đại
Trong khoảng hoạt động tuyến tính có thể viết:
vo = kvi = axvi

với: a - hệ số tỷ lệ; x - độ dịch chuyển so với vị trí cân bằng.
Điện áp xoay chiều cấp cho cuộn sơ cấp khoảng 3 ¸ 15V, tần số 50Hz¸20kHz.
Điện áp vo được đổi thành tín hiệu một chiều nhờ bộ nhân và lọc thấp qua.

Bài giảng Đo lường và cảm biến

Trang 52


Hình 4.19
Ta có:

v1 = k1 vovi = kk1 vi2

với:

vi = Vsinwt
v1 = kk1 v2 sin 2 wt = kk1 V 2

1 - cos 2 wt
2

Sau khi lọc thấp qua ta được điện áp một chiều Vdc tỷ lệ với độ dịch chuyển.
Biến áp vi sai thường dùng để đổi dịch chuyển ra điện áp độ phi tuyến 0,2% cả tầm,
không bị ảnh hưởng nhiệt độ, điện áp ra lớn, tầm đo rộng ( ± 70 cm). Khuyết điểm là trọng

khối của nòng có thể ảnh hưởng đến độ chính xác đo.
4.8

MÁY ĐO GÓC TUYỆT ĐỐI RESOLVER

Máy đo góc tuyệt đối gồm hai phần: phần động gắn liền với trục quay chứa cuộn sơ
cấp được kích thích bằng sóng mang có tần số 2 - 10 kHz qua máy biến áp quay (hình 4.20).
Phần tĩnh có hai dây quấn thứ cấp (cuộn sin và cuộn cos) đặt lệch nhau 900.

Khi trục quay, ở đầu ra của hai dây quấn thứ cấp ta thu được hai tín hiệu điều biên
UU0sinωtsinθ và UU0sinωtcosθ. Đường bao của biên độ kênh tín hiệu ra chứa thông tin về vị
trí tuyệt đối (góc θ) của roto máy đo tức là vị trí tuyệt đối của trục quay.

Bài giảng Đo lường và cảm biến

Trang 53


Có hai cách xử lý thông tin thu được. Cách thứ nhất là hiệu chỉnh sửa sai góc thu được trên
cơ sở so sánh góc với một số vi mạch sẵn có. Các vi mạch này cho tín hiệu góc dạng số với
độ phân giải 10 - 16 bit/1vòng và một tốc độ quay dạng tương tự. Độ phân giải của phương
pháp này phụ thuộc vào thông số của mạch điều chỉnh.
Cách thứ hai, có chất lượng cao hơn, là dùng hai bộ chuyển đổi tương tự - số để lấy
mẫu trực tiếp từ đỉnh tín hiệu điều chế. Trong trường hợp này cần đồng bộ chặt chẽ giữa thời
điểm lấy mẫu và khâu tạo tín hiệu kích thích 2-10kHz sau đó dùng bộ lọc để chuyển xung
hình chữ nhật thành tín hiệu kích thích hình sin.
Độ phân giải của phép đo dùng máy đo góc tuyệt đối hoàn toàn phụ thuộc vào độ phân giải
của bộ chuyển đổi tương tự số.
Khi biết góc quay tuyệt đối θ, lấy đạo hàm ta nhận được tốc độ góc ω cần đo.
4.9

CẢM BIẾN TIỆM CẬN (proximity sensor)

Cảm biến tiệm cận hay còn gọi cảm biến gần dùng để phát giác không tiếp xúc sự
hiện diện của một vật, thường dùng để thay contact hành trình cơ khí. Có hai loại cảm biến
tiệm cận: tiệm cận điện cảm và tiệm cận điện dung.
Cảm biến gần điện cảm (CBGĐC) dùng cho kim loại có sắt hay không sắt (nhôm,
đồng, thép không rỉ, thiếc, kẽm..). Nguyên lý hoạt động là thay đổi điện cảm của cuộn dây
mạch dao động LC khi đặt cuộn dây gần vật kim loại. Sự thay đổi tần số được phát hiện bởi
mạch so sánh tần số và làm đóng mở transistor loại NPN hay PNP. Khoảng cách cảm nhận
phụ thuộc vật liệu và kích thước của vật, từ 2mm đến 20mm.

Hình 4.21. Nguyên lý hoạt động cảm biến gần
Cảm biến gần điện dung (CBGĐD) có thể dùng cho vật kim loại và không kim loại
như thủy tinh, giấy, gỗ, nước, dầu…Tần số thay đổi là do vật lại gần làm thay đổi điện
dung mạch dao động. Cảm biến gần điện dung có kích thước lớn hơn cảm biến gần điện
cảm. Khoảng cách cảm nhận từ 3mm đến 25mm.

Hình 4.22: Hình dạng CBGĐCE2E-X và CBGĐD E2K-C25M
CBG có loại hai dây và ba dây, thường hở và thường đóng, nguồn cung cấp có thể là
24VDC hoặc 220VAC.

Bài giảng Đo lường và cảm biến

Trang 54


Hình 4.23: Sơ đồ nối dây CBG

Hình 4.24: Quan hệ khoảng cách cảm nhận theo kích thước

và vật liệu của vật của CBGĐC

Hình 4.25: Quan hệ khoảng cách cảm nhận theo kích thước
và vật liệu của vật của CBGĐD

Bài giảng Đo lường và cảm biến

Trang 55


Ngoài cảm biến gần On/Off còn có loại cảm biến gần cho dòng hay áp ra tỷ lệ với
khoảng cách giữa vật và cảm biến dựa trên nguyên tắc cảm ứng.
Hãng Keyence có loại khuếch đại EX-510 dùng với cảm biến EX-022 cho tín hiệu ra
là điện áp hay dòng tỷ lệ khoảng cách từ vật đến cảm biến, khoảng cách tối đa 10mm, điện
áp ra 0..5V, dòng ra 4..20mA, độ tuyến tính 0.3%FS, độ phân giải 0.03%FS. Nguyên lý
hoạt động dựa trên tính sự thay đổi biên độ, tần số và pha của dao động khi có vật di
chuyển gần cảm biến, từ đó suy ra khoảng cách và tuyến tính hóa để đạt độ chính xác cao.
Loại E2C của OMRON cũng có đặc tính tương tự. Các loại cảm biến này chỉ dùng cho vật
kim loại.
4.10

CẢM BIẾN LASER VÀ SIÊU ÂM

Cảm biến laser dùng để đo độ dịch chuyển trong phạm vi vài cm khi khoảng cách từ
vật đến cảm biến tương đối lớn 4cm đến 10cm. Tia laser (hồng ngoại hay nhìn thấy) chiếu
lên vật và được phản xạ lại, sau khi qua hệ thống thấu kính tác dụng lên cảm biến vị trí
(PSD Position Sensor Detector); sử dụng phép tính tam giác dựa trên vị trí tia phản xạ tác
dụng lên PSD, vi xử lý tính ra khoảng cách từ vật đến cảm biến và xuất ra dòng hay áp tỷ
lệ. Độ phân giải có thể đạt đến 1.5mm. Sai số đo còn tùy thuộc hướng của mặt phản xạ tia.

Hình 4.26: Cảm biến đo dịch chuyển không tiếp xúc
Cảm biến siêu âm đo khoảng cách dựa trên thời gian T từ phát chùm siêu âm đến
khi nhận được chùm sóng phản xạ, T =

2d
, d: khoảng cách, v: vận tốc âm thanh.
v

Độ chính xác của phương pháp này không cao, độ phân giải khoảng 0.2mm với
khoảng cách 30mm..50mm (cảm biến EZ4D OMRON)
4.11

ĐỔI HƯỚNG KẾ

Đổi hướng kế được gắn vào vật chuyển động để đo tốc độ góc của vật. Hai dạng đổi
hướng kế thường dùng là: đổi hướng kế cơ học dùng con quay hồi chuyển, đổi hướng kế
quang dùng laze và cáp quang dựa trên hiện tượng truyền sóng ánh sáng.
4.11.1 Đổi hướng kế dùng con quay hồi chuyển
Con quay hồi chuyển gồm một roto lắp trên một khung động và được quay quanh
trục Y’Y với tốc độ lớn (~104vòng/phút) nhờ một động cơ.

Bài giảng Đo lường và cảm biến

Trang 56


Tốc độ quay ω cần đo theo trục Z’Z vuông góc với trục Y’Y làm xuất hiện một ngẫu
lực Cg tỉ lệ với ω theo hướng X’X vuông góc với hai trục Y’Y và Z’Z có xu hướng làm cho
khung động của con quay hồi chuyển quay theo. Ngẫu lực Cg được cân bằng bởi ngẫu lực
đàn hồi Cr của hai lò xo gây nên có giá trị tỉ lệ với góc quay α của khung.

ở trạng thái cân bằng: Cg = Cr
với Cr = kα (k là hệ số đàn hồi của lò xo) và Cg = ωH ( H là mômen động học của rôto).
Thay các giá trị vào công thức (7.4) ta có công thức xác định góc α:

Góc quay α của khung động của con quay hồi chuyển tỉ lệ với vận tốc góc ω cần đo.
Để tiện cho xử lý, góc quay α được chuyển đổi thành tín hiệu điện nhờ một điện thế kế.
Các thông số của máy đo như sau:
§

Dải đo từ ± 7o/s đến ± 360o/s.

§

Sai lệch khỏi độ tuyến tính <± 1,5% của dải đo.

4.11.2 Đổi hướng kế quang
Đổi hướng kế quang gồm nguồn phát chùm tia laze (1), cuộn dây sợi quang (2) có chiều dài
L quấn thành vòng bán kính R quay với cùng vận tốc góc ω với vật quay.

Chùm tia xuất phát từ nguồn phát (1) qua bản phân tách (3) tạo thành hai chùm tia
truyền theo hai hướng ngược nhau trong sợi cáp quang. Khi ra khỏi cáp, do quảng đường
truyền sóng khác nhau, hai tia lệch pha nhau, độ lệch pha giữa hai chùm tia bằng:
Bài giảng Đo lường và cảm biến

Trang 57


λ- b−ớc sóng tia laze.
c - vận tốc ánh sáng.
Trên đầu thu (4) ta thu được hệ vân giao thoa của hai chùm tia. Bằng cách đếm số

vân giao thoa ∆Z bị dịch chuyển do cáp quang quay, ta có thể tính được tốc độ quay theo
công thức:

Bài giảng Đo lường và cảm biến

Trang 58