Nghiên cứu cấu trúc và độ hấp thụ hồng ngoại của vật liệu metamaterials trên cơ sở AAO template sơn epoxy c, AG nano tinh thể

Đại Học Quốc Gia Tp. Hồ Chí Minh
TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA
KHOA CÔNG NGHỆ VẬT LIỆU
---0---0---0---0---0---

NGUYỄN THANH TUẤN

NGHIÊN CỨU CẤU TRÚC VÀ ĐỘ HẤP THỤ HỒNG
NGOẠI CỦA VẬT LIỆU METAMATERIALS TRÊN CƠ SỞ
AAO TEMPLATE- SƠN EPOXY C, AG NANO TINH THỂ
Chuyên ngành: VẬT LIỆU KIM LOẠI & HỢP KIM

LUẬN VĂN THẠC SĨ

Tp. HỒ CHÍ MINH, tháng 01 năm 2011


ii

CƠNG TRÌNH ĐƯỢC HỒN THÀNH TẠI
TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA
ĐẠI HỌC QUỐC GIA TP HỒ CHÍ MINH

Cán bộ hướng dẫn khoa học: PGS TS Nguyễn Văn Dán
(Ghi rõ họ, tên, học hàm, học vị và chữ ký)

Cán bộ chấm nhận xét 1: GS TS TRẦN XUÂN PHƯỚC
(Ghi rõ họ, tên, học hàm, học vị và chữ ký)

Cán bộ chấm nhận xét 2: TS HUỲNH CÔNG KHANH
(Ghi rõ họ, tên, học hàm, học vị và chữ ký)

Luận văn thạc sĩ được bảo vệ tại
HỘI ĐỒNG CHẤM BẢO VỆ LUẬN VĂN THẠC SĨ
TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA, ngày 12 tháng 03 năm 2011.


iii

TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA
KHOA CƠNG NGHỆ VẬT LIỆU
----------------

CỘNG HỒ XÃ HỘI CHỦ NGHIÃ VIỆT NAM

Độc Lập - Tự Do - Hạnh Phúc
---oOo--Tp. HCM, ngày 05 tháng 01 năm 2011

NHIỆM VỤ LUẬN VĂN THẠC SĨ
Họ và tên học viên: NGUYỄN THANH TUẤN
Ngày, tháng, năm sinh: 14/11/1986
Chuyên ngành: Vật liệu Kim loại và Hợp kim
MSHV: 09030643

Phái: Nam
Nơi sinh: Sông Bé

1- TÊN ĐỀ TÀI: NGHIÊN CỨU CẤU TRÚC VÀ ĐỘ HẤP THỤ HỒNG NGOẠI CỦA
VẬT LIỆU METAMATERIALS TRÊN CƠ SỞ AAO TEMPLATE- SƠN EPOXY C, AG
NANO TINH THỂ
2- NHIỆM VỤ LUẬN VĂN:

1. Nghiên cứu tổng quan về MTMs và sóng điện từ.
2. Nghiên cứu chế tạo vật liệu MTMs trên cơ sở AAO template-sơn Epoxy C, Ag
nano tinh thể.
3. Nghiên cứu cấu trúc và độ hấp thụ hồng ngoại của MTMs nói trên.
4. NGÀY GIAO NHIỆM VỤ: 25/01/2010
5. NGÀY HOÀN THÀNH NHIỆM VỤ: 05/01/2011
6. HỌ VÀ TÊN CÁN BỘ HƯỚNG DẪN (Ghi đầy đủ học hàm, học vị):
PGS TS NGUYỄN VĂN DÁN
Nội dung và đề cương Luận văn thạc sĩ đã được Hội Đồng Chuyên Ngành thông qua.

CÁN BỘ HƯỚNG DẪN
(Họ tên và chữ ký)

CHỦ NHIỆM BỘ MÔN
QL CHUYÊN NGÀNH
(Họ tên và chữ ký)

KHOA QL CHUYÊN NGÀNH
(Họ tên và chữ ký)


iv

LỜI CẢM ƠN
Trước hết, em xin gửi lời biết ơn sâu sắc đến thầy Phó giáo sư – Tiến sĩ Nguyễn
Văn Dán đã hướng dẫn em hoàn thành luận văn tốt nghiệp này. Thầy đã giúp đỡ em
tận tình từ việc cung cấp tài liệu đến việc định hướng nghiên cứu. Từ thầy, em đã
học được nhiều kinh nghiệm, bài học về cách suy xét, nhận thức, cách nghiên cứu
khoa học. Em xin chân thành cảm ơn thầy đã tận tâm hướng dẫn, giúp em tiến bộ

trong thời gian qua.
Nhân đây, em xin chân thành cảm ơn thầy cô, các anh chị kỹ thuật viên trong
khoa Công nghệ Vật liệu trường Đại học Bách khoa đã tạo điều kiện thuận lợi cho
em tiến hành các thí nghiệm và có những ưu tiên trong q trình phân tích mẫu.
Đồng thời, em cảm ơn các anh chị nghiên cứu viên ở trường Đại học Khoa học
Tự nhiên, các anh chị kỹ thuật viên tại Viện khoa học và công nghệ Việt Nam đã có
những giúp đỡ và gợi ý kịp thời về thiết bị phân tích mẫu.
Con cảm ơn bố mẹ đã hỗ trợ con về tài chính để con hồn thành khóa học, hơn
nữa bố mẹ chính là nguồn động viên tinh thần to lớn để con luôn vượt qua những
lúc khó khăn nhất.
Cuối cùng, tơi xin chân thành cảm ơn các bạn cùng khố đã động viên, chia sẻ
những khó khăn trong q trình thực hiện đề tài.
Mặc dù tơi đã có nhiều cố gắng hồn thiện luận văn bằng tất cả sự nhiệt tình và
năng lực của mình, tuy nhiên khơng thể tránh khỏi những thiếu sót, rất mong nhận
được những đóng góp q báu của q thầy cơ và các bạn.
Tp. Hồ Chí Minh, tháng 01 năm 2011.
Học viên

Nguyễn Thanh Tuấn


v

TĨM TẮT
Khái niệm Metamaterials (MTMs hay giả vật liệu) thích ứng với các dải bước
SĐT đã được đặt nền móng bởi nhà khoa học Xô Viết Veselago năm 1967. Từ đó
đến nay, với sự phát triển của khoa học, đã có rất nhiều cách tiếp cận và chế tạo loại
giả vật liệu hoạt động được trong vùng bước sóng nhỏ dưới micromet bao gồm các
phương pháp quang khắc (e-beam lithography), Nano imprint và phương pháp
AAO (anodic aluminum oxide) template. Tuy nhiên, phương pháp quang khắc và

nano imprint đều phải sử dụng máy E – beam Lithography khá đắt và tinh vi. Trong
khi đó, phương pháp anode hóa vật liệu người ta tạo ra những khn có kích cỡ
nano đơn giản hơn. Với những lỗ xốp sắp xếp song song trên vật liệu nền người ta
có thể đưa các chất dẫn điện hoặc bán dẫn vào trong tạo nên giả vật liệu.
Trong luận văn này, vật liệu MTMs được tạo ra bằng cách thẩm thấu sơn epoxy
– nano bạc, Carbon tinh thể vào các lỗ xốp xếp song song trên nền oxit nhôm được
tạo ra bằng phương pháp AAO template. Lớp màng xốp oxit nhôm đã được chế tạo
bằng phương pháp anode hóa hai bước trong 2 dung dịch anode khác nhau:
-

Dung dịch anode H2C2O4 0,3M, nhiệt độ anode 15oC, thời gian anode 75’, và
được khảo sát theo điện thế anode khác nhau (45-50-55-60V DC). Chế độ
này nhằm khảo sát ảnh hưởng của điện thế anode đến cấu trúc và độ hấp thụ
hồng ngoại của vật liệu.

-

Dung dịch anode H2SO4 10%, nhiệt độ anode 10oC, điện thế anod 20V DC,
và được khảo sát theo thời gian anode bước 2 khác nhau (45-60-75-150phút).
Chế độ này nhằm khảo sát ảnh hưởng của thời gian anode đến cấu trúc và độ
hấp thụ hồng ngoại của vật liệu.

Cấu trúc xốp nano của lớp màng oxit nhơm được phân tích bằng kính hiển vi
điện tử qt (FE SEM) và kính hiển vi quang học. Sau đó, tẩm sơn Epoxy nano
Carbon black, Ag tinh thể lên lớp màng có cấu trúc lỗ xốp này. Sự thẩm thấu của
sơn vào trong cấu trúc lỗ xốp được phân tích bằng tán sắc năng lượng tia X (EDS).


vi

Độ phản xạ UV-VIS được phân tích trên máy quang phổ UV-VIS. Độ phản xạ hồng
ngoại gần và trung được phân tích trên máy quang phổ hồng ngoại FTIR. Kết quả
đề tài đã đạt được:
-

Giả vật liệu đã được chế tạo trên cơ sở thẩm thấu sơn Epoxy nano Ag – C
tinh thể vào hệ thống lỗ xốp kích cỡ nano (14-114nm) phân bố đều và song
song trên màng nhôm oxit.

-

Trên phổ hồng ngoại và UV-VIS đã chỉ ra rằng vật liệu này có khả năng hấp
thụ ở dải tần rộng (trên 94% với UV-VIS và trên 99% với hồng ngoại gần và
trung).

-

Đã nắm bắt được xu hướng hình thành và phát triển của màng ơxít nhơm với
các thơng số đặc trưng là đường kính lỗ xốp và chiều dày lớp màng, từ đó có
thể tạo ra các cấu trúc có thơng số thay đổi theo ý muốn để chế tạo giả vật
liệu có khả năng hấp thụ UV – VIS và IR.


vii

ABSTRACT
A basic concept of Metamaterials (MTMs) responding to various ranges of
wavelength was founded by Veselago – Xoviet scientist - in 1968. Since that time,
many advanced synthesized techniques provided by scientific developments can
approach and fabricate MTMs, which is a potential application in the submicrowave. These techniques include e-beam lithography, Nano imprint and anodic

alumina oxide (AAO) template. Meanwhile, e-beam lithography and Nano imprint
using hi-tech expensive machines are unsuitable for many countries, etc,. AAO
template is conducted and controlled easily. The diameter and length of Nano AAO
membrane produced by anodization are easily controlled. Semiconductors or
conductive materials may be suitably inserted in the well ordered aluminum oxide
Nano porous. This is a very interesting method to produce the MTMs precisely.
In this investigation, AAO template that consists of nanoporous ordered on
Al2O3 matric, was prepared by two-step anodizing in two anodizing regimes:
-

Anodizing in 0,3M H2C2O4, 15oC, 75 minutes and various levels of DC
potential (45V,50V,55V,60V) in order to study the effect of potential on
AAO structure.

-

Anodizing in 10% H2SO4, 10oC, 20V DC and various levels of anodizing
time (45, 60, 75, 150 minutes) in order to study the effect of anodizing time
on AAO structure.

Nano porous ordered on Al2O3 matric and structure of the MTMs were studied
by FE – SEM. Then, MTMs was synthesized by combining Nano porous matric
Al2O3 and Epoxy paint with Nano crystalline C, Ag. The filled paint in Nano porous
was studied by EDS. Infrared reflection of the materials was studied by FTIR
Equinox 55. UV-VIS reflection of the materials was studied by UV-VIS
Spectrophotometers. Results of the research show that:


viii

-

MTMs structure consists of ordered parallel nanoporous with the diameter
from 40 to 110 nm containing epoxy paint - Nanocrystalline C, Ag on Al2O3
matric.

-

Infrared absorbance of MTMs is very high (over 99,95% in the range of
wavelength from 750nm to 25000nm. and over 99,8% in the range of
wavelength from 645nm to 750nm).

-

UV-VIS absorbance of MTMs is very low (over 94% in the range of
wavelength from 200nm to 800nm).

-

The trend line of the forming and growth of AAO membrane were figured
out. Thus, we can control the diameter and the thickness of the template in
order to synthesize UV – VIS and IR absorber as our need.


ix

MỤC LỤC
Lời cám ơn ...................................................................................................................... iv
Tóm tắt
........................................................................................................................v

Mục lục
...................................................................................................................... ix
Danh mục hình vẽ ......................................................................................................... xiii
Danh mục bảng biểu ..................................................................................................... xvi
Thuật ngữ và từ viết tắt ............................................................................................... xvii
CHƯƠNG I: ĐẶT VẤN ĐỀ .............................................................................................1

1.1 TÌNH HÌNH NGHIÊN CỨU METAMATERIALS – GIẢ VẬT LIỆU. .....................2
1.2 CƠ SỞ LỰA CHỌN ĐỀ TÀI .......................................................................................4
1.3 MỤC ĐÍCH VÀ NHIỆM VỤ LUẬN VĂN .................................................................6
1.3.1 Mục đích ............................................................................................................... 6
1.3.2 Nhiệm vụ nghiên cứu ............................................................................................ 6

CHƯƠNG II: CƠ SỞ LÝ THUYẾT ...............................................................................7

2.1 SÓNG ĐIỆN TỪ ...........................................................................................................8
2.2 CẤU TRÚC VÙNG NĂNG LƯỢNG VÀ ẢNH HƯỞNG CỦA KÍCH THƯỚC
ĐẶC TRƯNG ...............................................................................................10
2.2.1 Cấu trúc vùng năng lượng vật liệu khối (bulk) ................................................... 10
2.2.2 Sự thay đổi cấu trúc vùng năng lượng vật liệu cấu trúc Nano. ........................... 13
2.3 TƯƠNG TÁC CỦA SÓNG ĐIỆN TỪ VỚI VẬT RẮN ............................................14
2.3.1 Phản xạ ................................................................................................................ 15
2.3.1.1 Sự phản xạ sóng điện từ ( bản chất của sự phản xạ) .................................... 15
2.3.1.2 Độ phản xạ ................................................................................................... 17
2.3.2 Hấp thụ ................................................................................................................ 18
2.3.2.1 Các hiệu ứng hấp thu và chuyển đổi thành phần sóng điện......................... 18
2.3.2.2 Các hiệu ứng hấp thu và chuyển đổi thành phần sóng từ ............................ 23
2.3.2.3 Hấp thụ và phát xạ nhiệt của vật đen tuyệt đối ............................................ 25
2.3.2.4 Độ hấp thụ.................................................................................................... 25
2.3.3 Truyền qua .......................................................................................................... 26

2.3.4 Các hiệu ứng khác của tương tác sóng điện từ với vật rắn ................................. 26
2.3.4.1 Khúc xạ ........................................................................................................ 26


x

2.3.4.2 Giao thoa sóng điện từ ................................................................................. 27
2.3.4.3 Giao thoa trên bản mỏng.............................................................................. 28
2.3.4.4 Tán xạ sóng điện từ ...................................................................................... 30
2.3.4.5 Phản xạ toàn phần ........................................................................................ 32
2.4 GIẢ VẬT LIỆU – METAMATERIALS ....................................................................33
2.4.1 Các khái niệm cơ bản của giả vật liệu (Metamaterials) ...................................... 33
2.4.1.1 Định nghĩa Metamaterials............................................................................ 33
2.4.1.2 Sự truyền sóng điện từ trong vật liệu MTMs .............................................. 35
2.4.2 Giả vật liệu với ε<0 và µ>0 ................................................................................ 37
2.4.2.1 Hiệu ứng Plasmon bề mặt ............................................................................ 37
2.4.2.2 Hiệu ứng Plasmon trên sợi dẫn điện nano ................................................... 39
2.4.3 Giả vật liệu với ε>0 và µ<0 ................................................................................ 40
2.5 TRUYỀN SĨNG ĐIỆN TỪ TRONG VẬT LIỆU ε<0 VÀ µ>0 ...............................41
2.5.1 Cấu trúc hạt nano kim loại (metallic nanoparticles) ........................................... 41
2.5.2 Cấu trúc sợi nano kim loại (metallic nanowires) ................................................ 42
2.6 SỰ HẤP THỤ SÓNG ĐIỆN TỪ CỦA VẬT LIỆU MTMs .......................................43
2.6.1 Thiết kế MTMs có cấu trúc các sợi dẫn điện cỡ nano (ε<0) ............................. 43
2.6.2 Cơ chế bẫy sóng điện từ và hấp thụ sóng điện từ của vật liệu thiết kế ............... 44
2.7 PHƯƠNG PHÁP AAO TEMPLATE ỨNG DỤNG CHẾ TẠO MTMS ..................45
2.7.1 Phương pháp tiến hành ....................................................................................... 45
2.7.2 Các yếu tố điều kiện anode ảnh hưởng đến cấu trúc AAO template .................. 47
2.7.2.1 Dung dịch điện phân .................................................................................... 47
2.7.2.2 Ảnh hưởng của nồng độ dung dịch anode ................................................... 48
2.7.2.3 Ảnh hưởng của hiệu điện thế anode ............................................................ 48

2.7.2.4 Ảnh hưởng của nhiệt độ anode .................................................................... 49
2.7.2.5 Ảnh hưởng của thời gian anode ................................................................... 50

CHƯƠNG III: THỰC NGHIỆM ..................................................................................51

3.1 QUY TRÌNH CHẾ TẠO MÀNG XỐP OXIT NHƠM BẰNG PHƯƠNG PHÁP
ANODE HĨA...............................................................................................52
3.1.1 Xử lý trước anode ............................................................................................... 53
3.1.1.1 Ủ .................................................................................................................. 53
3.1.1.2 Tẩy dầu mỡ: ................................................................................................. 55
3.1.1.3 Đánh bóng bề mặt bằng phương pháp hóa học ........................................... 56
3.1.2 Anode hóa: .......................................................................................................... 57
3.1.2.1 Anode hóa lần 1 ........................................................................................... 58
3.1.2.2 Tẩy lớp anode hóa lần 1 ............................................................................... 58


xi

3.1.2.3 Anode hóa lần 2 ........................................................................................... 59
3.1.3 Xử lý sau anode .................................................................................................. 60
3.2 QUY TRÌNH CHẾ TẠO SƠN HẤP THỤ TRÊN CƠ SỞ KEO EPOXY, NANO
CARBON BLACK, AG TINH THỂ ............................................................62
3.3 CHẾ TẠO MẪU KẾT HỢP AAO TEMPLATE – SƠN EPOXY NANO C, AG
TINH THỂ ....................................................................................................63
3.3.1 Các thiết bị cần cho việc chế tạo ......................................................................... 63
3.3.2 Chế tạo ................................................................................................................ 64
3.4 NGHIÊN CỨU ẢNH HƯỞNG CỦA ĐIỆN THẾ ANODE ĐẾN CẤU TRÚC. ......66
3.5 NGHIÊN CỨU ẢNH HƯỞNG CỦA CẤU TRÚC ĐẾN KHẢ NĂNG HẤP THỤ
SÓNG ĐIỆN TỪ CỦA VẬT LIỆU. ............................................................66

CHƯƠNG IV: PHƯƠNG PHÁP ĐÁNH GIÁ VÀ PHÂN TÍCH VẬT LIỆU ..........67

4.1 PHÂN TÍCH CẤU TRÚC ..........................................................................................68
4.1.1 Kính hiển vi quang học soi kim tương ................................................................ 68
4.1.1.1 Nguyên lý hoạt động .................................................................................... 68
4.1.1.2 Phạm vi ứng dụng ........................................................................................ 68
4.1.2 Kính hiển vi điện tử quét .................................................................................... 69
4.1.2.1 Cấu tạo và sự tạo ảnh trong SEM ................................................................ 69
4.1.2.2 Nguồn phát điện tử ...................................................................................... 71
4.1.2.3 Chuẩn bị mẫu ............................................................................................... 71
4.1.3 Phổ tán sắc năng lượng (EDS) ............................................................................ 72
4.1.3.1 Giới thiệu ..................................................................................................... 72
4.1.3.2 Nguyên lý EDS ............................................................................................ 72
4.2 NGHIÊN CỨU ĐỘ HẤP THỤ BẰNG MÁY PHÂN TÍCH QUANG PHỔ .............73
4.2.1 Nguyên lý chung máy phân tích quang phổ ...................................................... 74
4.2.2 Cấu trúc chung của máy quang phổ 2 chùm tia .................................................. 75
4.2.3 Các tiêu chuẩn kĩ thuật ảnh hưởng đến kết quả đo ............................................. 76
4.2.3.1 Ánh sáng Tray light .................................................................................... 76
4.2.3.2 Sự chính xác của bước sóng và độ lập lại................................................... 76
4.2.3.3 Độ rộng của khe quang phổ ........................................................................ 76
4.2.4 Máy quang phổ UV – VIS (UV_VIS Spectrophotometer) ................................. 76
4.2.5 Máy quang phổ hồng ngoại (Fourier transform infrared spectrometer) ............. 78


xii

CHƯƠNG V: KẾT QUẢ VÀ BÀN LUẬN ...................................................................82

5.1 ẢNH HƯỞNG CỦA CHẾ ĐỘ ANODE ĐẾN CẤU TRÚC AAO TEMPLATE. .....83
5.1.1 Ảnh hưởng của điện thế và thời gian anode đến đường kính lỗ xốp. ................. 83

5.1.1.1 Ảnh hưởng của điện thế anode đến Dlỗ........................................................ 84
5.1.1.2 Ảnh hưởng của thời gian anode đến Dlỗ ...................................................... 86
5.1.1.3 Đánh giá sự ảnh hưởng của các yếu tố anode đến đường kính lỗ xốp ........ 88
5.1.2 Ảnh hưởng của điện thế và thời gian anode đến bề dày màng oxit nhôm. ......... 89
5.1.2.1 Ảnh hưởng của điện thế anode đến bề dày màng Al2O3.............................. 90
5.1.2.2 Ảnh hưởng của thời gian anode đến bề dày màng Al2O3 ............................ 92
5.1.2.3 Đánh giá sự ảnh hưởng của các yếu tố anode đến bề dày màng xốp .......... 93
5.2 KIỂM CHỨNG SỰ THẨM THẤU SƠN HẤP THỤ TRONG ỐNG Al2O3..............95
5.3 ẢNH HƯỞNG CỦA CẤU TRÚC VẬT LIỆU ĐẾN KHẢ NĂNG HẤP THỤ HỒNG
NGOẠI. ......................................................................................................102
5.3.1 Đánh giá độ hấp thụ NIR và MIR của MTMs theo bề dày lớp màng Al2O3 .... 104
5.3.1 Đánh giá độ hấp thụ NIR và MIR của MTMs theo đường kính lỗ Al2O3 ........ 107
5.4 ẢNH HƯỞNG CỦA CẤU TRÚC ĐẾN KHẢ NĂNG HẤP THỤ UV-VIS. ..........112

CHƯƠNG VI: KẾT LUẬN VÀ KIẾN NGHỊ ............................................................116

6.1 KẾT LUẬN ..............................................................................................................117
6.2 KIẾN NGHỊ .............................................................................................................118

TÀI LIỆU THAM KHẢO ............................................................................................119


xiii

DANH MỤC HÌNH VẼ
Hình 1.1:
Hình 1.2:
Hình 2.1:
Hình 2.2:
Hình 2.3:

Hình 2.4:
Hình 2.5:
Hình 2.6:
Hình 2.7:
Hình 2.8:
Hình 2.9:
Hình 2.10:
Hình 2.11:
Hình 2.12:
Hình 2.13:
Hình 2.14:
Hình 2.15:
Hình 2.16:
Hình 2.17:
Hình 2.18:
Hình 2.19:
Hình 2.20:
Hình 2.21 :
Hình 2.22:
Hình 2.23:
Hình 2.24:
Hình 2.25:
Hình 2.26:
Hình 2.27:
Hình 2.28:
Hình 2.29:
Hình 2.30:
Hình 2.31:
Hình 2.32:
Hình 2.33:

Hình 2.34:

2 cấu trúc tạo ra hiệu ứng Plasmon ở dải vi sóng. ..........................................3
Nguyên tắc làm việc của pin mặt trời dựa trên hiệu ứng Plasmon của các
hạt nano kim loại. ...........................................................................................6
SĐT: điện trườngE, từ trường B và bước sóng  ..........................................8
Dải sóng điện từ. .............................................................................................8
Các cấu trúc vùng điện tử khác nhau có thể có trong các vật rắn ................11
Sự chiếm các trạng thái điện tử trong kim loại.............................................12
Sự chiếm các trạng thái điện tử trong chất cách điện và chất bán dẫn .........12
Hiệu ứng lượng tử làm rời rạc hóa cấu trúc vùng năng lượng .....................13
Sơ đồ phản xạ, hấp thụ và truyền qua ...........................................................14
Sơ đồ sự hấp thụ photon ...............................................................................15
Hiệu ứng cảm ứng điện từ ............................................................................19
Sơ đồ biểu diễn các trạng thái phân cực điện tử ...........................................20
Sự hình thành lưỡng cực điện hạt kim loại phân tán trong chất điện môi ....21
Cơ chế hấp thụ và phát xạ photon của vật liệu phi kim loại.........................22
Cơ chế kích thích điện tử ..............................................................................22
Thứ phát do nhiều kích thích ........................................................................23
Sơ đồ sắp xếp các đomen từ theo từng giai đoạn từ hóa ..............................24
Sơ đồ biểu diễn hiện tượng khúc xạ:a) dương n>0 b) âm n<0 .....................27
Giao thoa trên bản mỏng ..............................................................................29
Sự tán xạ sóng điện từ trên bề mặt nhấp nhơ ................................................31
Sơ đồ tán xạ trong lỗ xốp hình cầu. ..............................................................31
Mật độ bề mặt và sự phản xạ trong sợi quang. .............................................32
Tổ hợp các loại vật liệu với ε và µ ...............................................................35
Thành phần SĐT theo quy tắc: (a) bàn tay phải (b) bàn tay trái ..................36
Định luật Snell ..............................................................................................36
Lớp vật liệu MTMs ở giữa 2 lớp vật liệu có chiết suất dương .....................37
Cấu trúc dây dẫn mảnh (thin wires) sắp xếp song song tuần hồn...............39

Cấu trúc các vịng trịn hở cộng hưởng từ (SRR) sắp xếp có chu kì ..............40
Cơ chế bẫy của các hạt nano kim loại .........................................................41
Liên hệ giữa đường kính dây dẫn và khả năng truyền SĐT của dây dẫn .....42
Mơ hình bẫy SĐT của sợi nano dẫn điện ....................................................42
Thiết kế MTMs và cơ chế bẫy và hấp thụ SĐT............................................43
Sơ đồ lắp đặt hệ thống anode ........................................................................45
(a) Kết hợp imprint và anode hóa (b) Anode hóa 2 lần ................................46
Các yếu tố ảnh hưởng tới đường kính lỗ ......................................................47
Khối lượng lớp anode theo thời gian anode theo nhiệt độ ...........................50


xiv

Hình 2.35: So sánh độ dày lớp anode hóa lý thuyết và thực tế. .....................................50
Hình 3.1a: Quy trình cơng nghệ chế tạo màng oxit nhơm bằng phương pháp anode
hóa trong axit oxalic .....................................................................................52
Hình 3.1b: Quy trình cơng nghệ chế tạo màng oxit nhơm bằng phương pháp anode
trong axit sulfuric..........................................................................................53
Hình 3.2: Q trình ủ nhơm ..........................................................................................54
Hình 3.3: Lị nung tại phịng thí nghiệm nhiệt luyện ....................................................55
Hình 3.4: Dung dịch tẩy dầu mỡ đặt trên bếp nung ......................................................56
Hình 3.5: (a) Mẫu đã ủ (b) mẫu đã tẩy lớp oxit, đánh bóng và dán keo một mặt.........56
Hình 3.6: Dung dịch đánh bóng bề mặt đặt trên bếp nung ...........................................57
Hình 3.7: Hệ thống anode hóa ......................................................................................57
Hình 3.8: Dung dịch tẩy lớp màng anode hóa lần 1 trên bếp nung ..............................59
Hình 3.9: (a) Mẫu mới ủ, (b)Mẫu đã anode ..................................................................60
Hình 3.10: Thiết bị tẩy sạch bằng siêu âm......................................................................61
Hình 3.11: Quy trình chế tạo sơn hấp thụ .......................................................................62
Hình 3.12: (a) Mẫu nhơm ban đầu (b)Mẫu đã anode và phủ sơn ...................................65
Hình 3.13: Các mẫu sau khi đã anode và phủ sơn. .........................................................65

Hình 4.1: Kính hiển vi quang học soi kim tương OLYMPUS GX51 ..........................68
Hình 4.2: Kính hiển vi điện tử quét phát xạ trường ......................................................69
Hình 4.3: Sơ đồ cấu tạo SEM .......................................................................................70
Hình 4.4: Các chùm tia xuất hiện trong SEM ...............................................................70
Hình 4.5 : Ống phát xạ trường (Field Emission Gun) ...................................................71
Hình 4.6: Kính hiển vi điện tử quét phát xạ trường JEOL - JSM-7401F .....................73
Hình 4.7: Nguyên tắc cơ bản của máy đo quang phổ ...................................................74
Hình 4.8: Máy quang phổ dùng 2 chùm tia ..................................................................75
Hình 4.9: Sơ đồ quang học toàn bộ máy UV VIS spectrophotometer .........................77
Hình 4.10: Phần chính của máy quang phổ UV – VIS Shimazu 2450 ...........................77
Hình 4.11: Sơ đồ bộ phận chính của máy UV – VIS Shimazu 2450 .............................78
Hình 4.12: Đo tín hiệu phản xạ cho mẫu dạng tấm mỏng .............................................78
Hình 4.13: Máy FTIR EQUINOX55 ..............................................................................79
Hình 4.14: Nguyên lý chung của FTIR ..........................................................................79
Hình 4.15: Nguyên lý hoạt động của bộ phận đo của FTIR ...........................................80
Hình 4.16: Cấu tạo máy EQUINOX 55 ..........................................................................81
Hình 5.1: Hình phân tích bề mặt FESEM của các mẫu M1, M2, M3, M4 ...................84
Hình 5.2: Biểu đồ sự thay đổi đường kính lỗ và bề dày vách theo điện thế anode ......85
Hình 5.3: Hình FESEM của mẫu anode hóa ở điện thế 65V. .......................................86
Hình 5.4: Biểu đồ sự thay đổi đường kính lỗ theo thời gian anode ..............................87
Hình 5.5: So sánh sự thay đổi đường kính lỗ trong 2 dung dịch anode .......................88
Hình 5.6a: Hình kim tương bề dày lớp Al2O3 mẫu M1, M2 ..........................................90
Hình 5.6b: Hình kim tương bề dày lớp Al2O3 mẫu M3, M4. .........................................90


xv

Hình 5.7:
Hình 5.8:
Hình 5.9:

Hình 5.10:
Hình 5.11:
Hình 5.12:
Hình 5.13:
Hình 5.14:
Hình 5.15:
Hình 5.16:
Hình 5.17:
Hình 5.18:
Hình 5.19:
Hình 5.20:
Hình 5.21:
Hình 5.22:
Hình 5.23:
Hình 5.24:
Hình 5.25:
Hình 5.26:
Hình 5.27:

Biểu đồ sự thay đổi bề dày lớp màng Al2O3 theo điện thế anode ................91
Biểu đồ sự thay đổi bề dày lớp màng Al2O3 theo thời gian anode ...............93
So sánh sự thay đổi bề dày lớp màng Al2O3 trong 2 dung dịch anode .........94
Các vị trí chụp EDS xác định thành phần .....................................................95
Hình FE SEM tại các vị trí chụp EDS ..........................................................96
Phổ tán sắc năng lượng tia X tại vị trí 1 .......................................................97
Phổ tán sắc năng lượng tia X tại vị trí 2 .......................................................97
Phổ tán sắc năng lượng tia X tại vị trí 3 .......................................................98
Phổ tán sắc năng lượng tia X tại vị trí 4 .......................................................98
Thành phần % Carbon tại các vị trí chụp EDS ...........................................101
Độ hấp thụ hồng ngoại của mẫu M0, M1’, M2’, M3’, M4’ .......................104

Độ hấp thụ hồng ngoại của mẫu M1, M2, M3, M4 ....................................105
Độ hấp thụ hồng ngoại của mẫu M0, M1, M2, M3, M4 ............................105
Độ hấp thụ hồng ngoại của mẫu M0, M4 và M4’ ......................................106
Độ hấp thụ hồng ngoại của mẫu M0, M1’, M2’, M3’, M4’ .......................107
Độ hấp thụ hồng ngoại của mẫu M0, M1 và M4’ ......................................108
Độ hấp thụ hồng ngoại của mẫu M1, M2, M3, M4 ....................................109
Độ hấp thụ hồng ngoại của mẫu M0, M1, M2, M3, M4 ............................109
Độ phản xạ UV-VIS của mẫu M1 ..............................................................112
Độ hấp thụ UV-VIS của mẫu M1, M2, M3, M4 ........................................113
Độ hấp thụ UV-VIS của mẫu M1 và M0 ...................................................114


xvi

DANH MỤC BẢNG BIỂU
Bảng 3.1:
Bảng 3.2:
Bảng 3.3a:
Bảng 3.3b:
Bảng 3.4:
Bảng 3.5a:
Bảng 3.5b:
Bảng 3.6:
Bảng 3.7:
Bảng 3.8:
Bảng 3.9:
Bảng 5.1:
Bảng 5.2:
Bảng 5.3:
Bảng 5.4:

Bảng 5.5:
Bảng 5.6:
Bảng 5.7:
Bảng 5.8:
Bảng 5.9:
Bảng 5.10:
Bảng 5.11:
Bảng 5.12:
Bảng 5.13:

Thành phần và chế độ công nghệ tẩy dầu mỡ. .............................................55
Thành phần và chế độ cơng nghệ đánh bóng ...............................................56
Thành phần và chế độ cơng nghệ anode hóa lần 1 trong H2C2O4 ................58
Thành phần và chế độ cơng nghệ anode hóa lần 1 trong H2SO4 ..................58
Thành phần và chế độ công nghệ tẩy lớp anode hóa lần 1 ...........................59
Thành phần và chế độ cơng nghệ anode hóa lần 2 trong H2C2O4 ................59
Thành phần và chế độ cơng nghệ anode hóa lần 2 trong H2SO4 ..................60
Thành phần và chế độ công nghệ làm sạch bước 1 ......................................61
Thành phần và chế độ công nghệ làm sạch bước 2 ......................................61
Kí hiệu các mẫu chế tạo. ...............................................................................64
Bảng thành phần sơn ....................................................................................65
Đường kính lỗ và bề dày vách thay đổi theo điện thế anode ........................85
Sự thay đổi đường kính lỗ theo thời gian anode...........................................87
Sự thay đổi đường kính lỗ trong 2 dung dịch anode ....................................88
Bề dày màng Al2O3 thay đổi theo điện thế anode ........................................91
Sự thay đổi bề dày lớp màng Al2O3 theo thời gian anode ...........................92
Sự thay đổi bề dày lớp màng Al2O3 trong 2 dung dịch anode ......................94
Thành phần % nguyên tố phân tích EDS tại vị trí 1 .....................................99
Thành phần % nguyên tố phân tích EDS tại vị trí 2 .....................................99
Thành phần % nguyên tố phân tích EDS tại vị trí 3 ...................................100

Thành phần % nguyên tố phân tích EDS tại vị trí 4 ...................................100
Độ hấp thụ NIR và MIR của mẫu M0, M1, M2, M3, M4 ..........................103
Độ hấp thụ NIR và MIR của mẫu M0, M1’, M2’, M3’, M4’.....................103
Độ hấp thụ UV –VIS của mẫu M1, M2, M3, M4 .....................................113


xvii

CÁC THUẬT NGỮ VÀ TỪ VIẾT TẮT

Thuật ngữ, kí hiệu,
viết tắt

Diễn giải

µ

Hằng số từ thẩm

AAO

Anodic aluminum oxide hay nhơm oxit dương cực

Al2O3

Nhơm oxit

anode

Anốt hóa

Dlỗ

Đường kính lỗ xốp Al2O3

dmàng

Bề dày màng xốp Al2O3

dv

Bề dày vách lỗ xốp Al2O3

H2C2O4

Axit oxalic

H2SO4

Axit sulfuric

IR

Infrared Radiation hay tia hồng ngoại

LHM

Left hand material hay vật liệu nghịch

MIR

Mid Infrared hay hồng ngoại trung

MTMs

Metamaterials hay giả vật liệu

NIR

Near Infrared hay hồng ngoại gần

RHM

Right hand material hay vật liệu thuận

SĐT

Sóng điện từ

template

Khuôn

UV – VIS

Ultra Violet – Visible Light hay tia cực tím - tia khả kiến

ε

Hằng số điện mơi

1

CHƯƠNG I: ĐẶT VẤN ĐỀ


2

1.1 TÌNH HÌNH NGHIÊN CỨU METAMATERIALS – GIẢ VẬT LIỆU.
Kể từ khi John Dalton thuyết phục thế giới về sự tồn tại của nguyên tử vào năm
1803, các nhà khoa học đã muốn làm nhiều điều với chúng. Vật liệu Nano - theo
định nghĩa chung nhất - là vật liệu với ít nhất một kích thước trong khoảng từ 1 đến
100 nanomet (1 nanomet bằng 1 phần tỷ của 1 met). Nghe có vẻ mới nhưng vật liệu
nano khơng mới mẻ với thế giới, chúng tồn tại trong tự nhiên, ngồi tầm nhận biết
của con người. Đó là cấu trúc ADN - tồn tại trong bất kỳ sinh vật hữu sinh nào, đó
là đất sét hịn (ball clay) vốn rất thơng dụng. Cũng như thế, sóng điện từ là vật chất
tự nhiên có “kích thước” trải dài từ 10-5nm cho đến km. Cho tới khi con người chế
tạo được những thiết bị để nhận biết và khống chế vật liệu ở kích thước nanomet và
tìm hiểu về SĐT thì theo đó vật liệu nano điện từ trở thành một cánh cửa mở vào
thế giới mới.
Năm 1967 nhà vật lý Victor Veselago hình thành khái niệm chiết suất âm hay
vật liệu nghịch (Left-hand material, vật liệu cổ điển là Righ-hand material) và
chứng minh các chất có thể truyền áng sáng [26] trên cơ sở hiệu ứng Plasmon [11],
đây chính là tiền đề mở đường cho các nhà khoa học nghiên cứu và phát triển các
tính năng lạ thường của loại vật liệu này. Tuy nhiên Veselago cũng khẳng định rằng
vật liệu LH khơng tồn tại trong tự nhiên vì khơng có chất nào vừa đẳng hướng vừa
có ε, µ< 0.
Đến năm 2001 thì thuật ngữ Metamaterials (MTMs) đã được Rodger M. Walser
của Trường Đại học Texas tại Austin định nghĩa cho các vật liệu có tính chất phụ

thuộc cấu trúc chứ không phụ thuộc vào thành phần [23]. MTMs là từ để phân biệt
với các vật liệu composite, tên MTMs thường được sử dụng cho một vật liệu có tính
chất khác thường trong vật liệu điện từ. Ông đã xác định MTMs là:
-

Vật liệu kết hợp nhân tạo, ba chiều, cấu trúc dạng ơ có chu kì được thiết kế
để tạo ra một sự kết hợp tối ưu, khơng có sẵn trong tự nhiên, đáp ứng lại 2
hay nhiều kích ứng đặc trưng.

Năm 2004, Pendry và các đồng sự tại Imperial College London đã đề xuất 2 cấu
trúc nhân tạo đồng nhất có hiệu quả cho sóng điện từ [19]. Pendry đã thiết kế loại


3

vật liệu Plasmonic (plasmonic-type): 1 loại là cấu trúc có ε < 0, µ > 0 và 1 là có
ε>0, µ<0. Cả hai đều có được tần số plasmonic trong dải vi sóng (plasmonic
frequency in microwave range). Cả 2 cấu trúc này đều phải có kích thước đặc trưng
nhỏ hơn rất nhiều lần bước sóng tác dụng (p<<λtd) và vật liệu này chính là MTMs.

Hình 1.1: 2 cấu trúc tạo ra hiệu ứng Plasmon ở dải vi sóng.
Cấu trúc (hình 1a) là cấu trúc hệ dây dẫn mảnh (thin wires - TW), cấu trúc này
thể hiện được tính chất ε < 0, µ > 0 khi thành phần điện trường của sóng tác dụng
song song trục dây dẫn. Hình 1b là cấu trúc các vòng hở cộng hưởng (split-ring
resonator – SSR), cấu trúc này thể hiện ε > 0, µ < 0 khi thành phần từ trường vng
góc với mặt phẳng chứa vịng cộng hưởng.
Các tính chất độc đáo của MTMs đã được xác minh đầy đủ trong phân tích tồn
sóng của Caloz và đồng sự [12].
Như đã nói ở trên, để kết cấu ảnh hưởng đến sóng điện từ (SĐT), MTMs phải có
cấu trúc nhỏ hơn bước sóng của bức xạ điện từ tương tác với nó. Ví dụ, nếu MTMs

thể hiện như một vật liệu đồng nhất đặc trưng một cách chính xác bởi một hệ số
chiết suất tác động, kích thước đặc trưng phải nhỏ hơn nhiều so với bước sóng tác
dụng lên nó. Với ánh sáng nhìn thấy có bước sóng nhỏ hơn một micrometre (560
nanomet cho ánh sáng mặt trời), các cơ cấu này có thể bằng một nửa hoặc ít hơn
một nửa kích thước này; nghĩa là, ít hơn 280 nanomet. Đối với bức xạ vi-ba, các cơ
cấu chỉ cần được xếp trật tự trên 1 decimet. MTMs cho vi sóng gần như ln luôn là


4

nhân tạo, cấu trúc như một dãy các thành phần dây dẫn có đặc điểm phù hợp điện
mơi và điện dung [26].
Do công nghệ chế tạo MTMs cần phải ứng dụng rõ cho từng dải bước sóng của
SĐT (như đã nói ở trên), như vậy các cấu trúc bị kích ứng bởi dải sóng Radio (bước
sóng lớn) sử dụng trong truyền dẫn thơng tin thì vẫn cịn dễ chế tạo bởi kích thước
chưa q bé [13]. Trong khi đó muốn sử dụng cho các dải sóng có bước sóng nhỏ
thì cần phải có một cơng nghệ chế tạo vật liệu đến kích cỡ micro hoặc nano.
Năm 2006 nhà khoa học Nhật Riken và các đồng sự tại Viện nghiên cứu Vật lý
và Hóa học Nhật Bản (Japan’s Institute of Physical and Chemical Research) đã chế
tạo ra kính khơng phản xạ (zero-reflection looking glass). Vật liệu được chế tạo
bằng cách cấy những vịng hở (split ring) cộng hưởng kích thước nano của kim loại
quí như vàng và bạc gắn vào một tấm Silic, sự sắp xếp này mang đến cho vật liệu hệ
số chiết suất âm. Phương pháp chế tạo vật liệu này là ứng dụng của phương pháp
quang khắc, phải sử dụng máy E- beam Lithography khá đắt và tinh vi [27].
Một phương pháp có thể tạo ra cấu trúc những sợi dẫn điện kích cỡ nano đặt
song song với nhau, phương pháp này dựa trên ứng dụng của phương pháp AAO
(anodic aluminum oxide) template [24]. Bằng phương pháp Template người ta tạo
ra những khn có kích cỡ nano bằng phương pháp anode hóa. Với những lỗ xốp
sắp xếp song song trên vật liệu nền người ta có thể đưa các chất dẫn điện vào trong
tạo nên các sợi dẫn điện có kích thước nano đặt song song với nhau [7].

1.2 CƠ SỞ LỰA CHỌN ĐỀ TÀI
Hiện nay vấn đề tận thu năng lượng tái tạo (gió, thủy triều, mặt trời…) được
xem là 1 vấn đề gây đau đầu cho các nhà khoa học. Trong đó, năng lượng mặt trời
bức xạ ra 1400J/m2.s, trong khi đó 1 gia đình bình thường sử dụng lượng năng
lượng khoảng 408J/s, nghĩa là cứ tận dụng được 35% năng lượng mặt trời thì chỉ
cần 1m2 vật liệu hấp thụ là cung cấp đủ năng lượng cho 1 gia đình trong ngày.
Trong vùng quang phổ mặt trời được chia thành 3 vùng:
-

Vùng tử ngoại (UV) 300nm – 380nm chiếm 3% năng lượng mặt trời.

-

Vùng khả kiến (VIS) 380nm – 780nm chiếm 44% năng lượng mặt trời.


5

-

Vùng hồng ngoại (IR) 780nm – 2500nm chiếm 53% năng lượng mặt trời.

Sự truyền ánh sáng mặt trời trong các môi trường một phần bị phản xạ, một
phần truyền qua và một phần năng lượng bị hấp thụ. Sự tán xạ tia mặt trời trên bề
mặt môi trường làm tổn thất năng lượng mà ta có thể thu được. Giảm sự tán xạ và
tập trung năng lượng mặt trời sẽ nâng cao hiệu suất hấp thụ và chuyển đổi năng
lượng. Với MTMs có kích cỡ nano thì việc hấp thụ bức xạ mặt trời là hồn tồn có
thể. Việc chế tạo và nghiên cứu khả năng hấp thụ của vật liệu MTMs lên vùng
quang phổ mặt trời sẽ là tiền đề biến nguồn năng lượng hấp thụ được thành các

dạng năng lượng khác phục vụ cho con người. Nghiên cứu sinh Kytie Catchpole
[20] người Australia tại Đại học quốc gia Canberra bằng cách bố trí một lớp MTMs
bằng Ag trên bề mặt pin mặt trời Si đã làm hiệu suất tăng từ 11% lên 30% đối với
pin màng mỏng đa lớp. Điều này đã được các nhà nghiên cứu về MTMs dự báo
trước và đã mở ra một trang mới cho cuộc cách mạng nghiên cứu về năng lượng tái
tạo. Bản chất của hiện tượng này là hiệu ứng Plasmon [11] khi tương tác tia mặt trời
(mở rộng ra với cả SĐT) với các màng mỏng, các quantum dot hoặc các dây kim
loại kích thước nano.
Plasmon là một loại sóng di chuyển trên bề mặt thông qua các electron dẫn của
kim loại bị kích thích bởi sóng điện từ. Hiệu ứng Plasmon làm chệch hướng các
photon ánh sáng, chúng bật lại và đi tiếp về phía pin. Tia sáng dường như bị nhốt
trong lớp bán dẫn mà không bị tán xạ, thất thốt năng lượng.Chính điều này đã làm
tăng mức hấp thụ những tia sáng có bước sóng dài hơn. Khoảng cách giữa các hạt
nano kim loại của giả vật liệu và chiều dày của lớp bán dẫn sẽ là các thông số quan
trọng nhất để nâng cao độ hấp thụ và chuyển hóa năng lượng.


6

Hình 1.2: Nguyên tắc làm việc của pin mặt trời dựa trên hiệu ứng Plasmon của các hạt
nano kim loại.

1.3 MỤC ĐÍCH VÀ NHIỆM VỤ LUẬN VĂN
1.3.1 Mục đích
Trong luận văn sẽ trình bày tóm tắt sự truyền dẫn hồn hảo SĐT và nghiên cứu
khả năng hấp thụ giả vật liệu trong vùng hồng ngoại gần và trung.
1.3.2 Nhiệm vụ nghiên cứu
Đề tài này nghiên cứu cấu trúc và độ hấp thụ hồng ngoại và UV – VIS của vật
liệu MTMs trên cơ sở AAO template- Sơn epoxy C, Ag nano tinh thể. Khi ta quét
lên trên bề mặt vật liệu có cấu trúc nano Al2O3 một lớp sơn hấp thụ, thì lúc SĐT đập

đến bề mặt thì do hiệu ứng Plasmon, SĐT không phản xạ trở lại mà bị khúc xạ vào
trong lỗ nano, khi vào trong lỗ nano SĐT sẽ bị “nhốt” lại và giải phóng nhiệt năng
cùng các năng lượng khác ra hai bên thành lỗ nano và đi ra ngồi tấm nhơm nền.
Chính ngun lý đó làm cho vật liệu MTMs có khả năng hấp thụ SĐT rất tốt.
Về lý thuyết: tìm hiểu lý thuyết MTMs và hiệu ứng Plasmon và sự hoạt động
của vật liệu MTMs dưới tác dụng của SĐT.
Về thực nghiệm: nghiên cứu cấu trúc và độ hấp thụ hồng ngoại, UV – VIS của
vật liệu MTMs, đưa ra một qui trình hồn chỉnh để chế tạo vật liệu MTMs.


7

CHƯƠNG II: CƠ SỞ LÝ THUYẾT


8

2.1 SÓNG ĐIỆN TỪ
Bức xạ điện từ được xem như là sóng gồm hai thành phần điện trường và từ
trường vng góc với nhau và với cả phương truyền [21] (Hình 2.1).

Hình 2.1: SĐT: điện trườngE, từ trường B và bước sóng 
Ánh sáng, nhiệt độ (hay năng lượng bức xạ), sóng RADAR, sóng radio, tia
Rontgen, tất cả đều là những dạng bức xạ điện từ. Mỗi một dạng được đặc trưng
trước tiên bởi một phạm vi đặc thù của bước sóng và kỹ thuật tạo ra nó. Phổ của
bức xạ điện từ trải rộng từ tia  (do các chất phóng xạ phát ra) có bước sóng cỡ 1012

m (10-3nm) đến sóng radio (sóng vơ tuyến điện) bước sóng trên 1m (Hình 2.2).

Hình 2.2: Dải sóng điện từ.