ESD 防防防防防防防防
Khóa
Khóa đào
đào tạo
tạo cơ
cơ bản
bản về
về phịng
phịng ngừa
ngừa và
và bảo
bảo vệ
vệ ESD
ESD
By :Coca Li
Date :2017.6
Jan. 2012
靜靜靜靜靜
khái niệm về tĩnh điện
ESD (Electro-static Discharge/ ESD) 靜靜靜靜靜 : 靜靜靜靜 ;
Hàm ý tiếng trung về ESD (electro-static Discharge, ESD ) : phóng tĩnh điện
靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜 ESD 靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜 ;
Bởi vì phóng tĩnh điện trong quá trình sản xuất là một phần chủ yếu nguy hại
靜靜靜靜靜靜靜靜靜
Hiện tượng phóng tĩnh điện thường thấy
1. 靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜
Sấm sét : điện áp cao lên đến hàng trăm triệu vôn
2. 靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜
Sốc tĩnh điện trong môi trường khô : điện áp có thể lên đến hàng nghìn vơn
3. 靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜
Hầu hết sự phóng tĩnh chúng ta khơng thể nhìn thấy
Confidential Material for Internal Use Only
2
靜靜靜靜靜
Đặc điểm của phóng tĩnh điện
防防防防防防防防防防防防防防防防
mức tĩnh điện cao : cao nhất có thể lên đến hàng nghìn cho đến hàng vạn vôn
防防防防防防防防防 nc,10-9c 防防防
- -
-9
lượng điện thấp : nanocoulomb (nc,10 c) cấp độ
防防防防防防防防防防防 ns,10-9s 防防
-9
thời gian tác dụng ngắn : nanosecond (ns, 10 s)
防防防防防防防防防防防防防防防
hiệu ứng bề mặt : tĩnh điện chủ yếu chạy trên bề mặt của vật thể
防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防
thay đổi không ngừng : tùy thuộc vào điều kiện môi trường , đặc biệ là ảnh hưởng của nhiệt độ
tương đối lớn
3
Confidential Material for Internal Use Only
3
靜靜靜靜靜靜靜
Cảm giác của con người về tĩnh điện
靜靜靜靜靜靜靜靜靜
Điện áp tĩnh điện của các động tác thông thường
See
5000V
Hear
4500V
Touch
3000V
Component
Damage
15-30V
靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜 2000V 靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜
Khi cảm nhận được tĩnh điện không vượt quá 2000V.nguyên nhân tĩnh điện không dễ cảm nhạn :lượng điện nhỏ, thời gian phóng điện ngắn
Confidential Material for Internal Use Only
4
靜靜靜靜靜
Sự nguy hiểm của tĩnh điện
防防防防防防防防防防防防防防防防
đối với cơ thể con người không tốt : đặc biệt là đối với người suy nhược thần kinh
防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防
phóng tĩnh điện tạo ra lửa, vụ nổ : xưởng hóa dầu , dệt may dễ cháy và nổ
防防防防防防防防防防防防防防防
hút bụi : sản phẩm bẩn, bụi trong phong sạch
防防 IC 防防防防防防防防防防
nguyên nhân làm hỏng IC : là đại kẻ thù của ngành công nghiệp điện tử
防防 EMI 防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防 \ 防防防防……
gây nhiễu tín hiệu EDM : ví dụ : máy bay được sạc trong quá trình bay ảnh hưởng đến việc liên lạc \
tín hiêu phán đốn sai .......
5
Confidential Material for Internal Use Only
5
靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜
Ảnh hưởng của sự tĩnh điện đối với sản phẩm điện tử
防防防防防防防防防防防防防防防 2006 防防防防防防防防
Ghi chú : dưới đây trích dẫn thống kê số liệu về sản phẩm lỗi của một cơng ty sản xuất chíp nổi tiếng
EOS/ESD 59%
防防防防 3%
thử nghiệm điện tử 3%
防防 / 防防 3%
oxi hóa / sự oxi hóa 3%
防防防防 3%
hỏng dây dẫn 3%
防防防防 4%
防防防防防防防防防
đứt silicon 4%
Phân bố tỉ lệ thất bại của chất bán dẫn
防防防防 / 防防 7%
dòng ngắn mạch /hở mạch 7%
防防防防防防防防防防
防防防防 15%
So sánh các mẫu tĩnh điện hỏng
chân kết nối 15%
防防 6%
6
những thứ khác 6%
Confidential Material for Internal Use Only
6
靜靜靜靜靜靜靜 (ESDS)
Các thành phần nhạy cảm của tĩnh điện (ESDS)
防防防防防防 16000V 防防防防防防防 ESD 防防防防防防防防防 ESDS 防 ESDS—Electrostatic Discharge Sensitivity 防防防防防防防防防防防防防防
(ESSD—Electrostatic Sensitive Devices) 防
Khi điện áp tĩnh điện thấp hơn 16000V, các thành phần bị hỏng do ESD được gọi là các thành phàn nhạy cảm tĩnh điện ESDS(ESDS- Elctrostartic Discharge Sensitivity ) hoặc thiết bị
nhạy cảm với tĩnh điện (ESSD- Electrostatic Sensitive Devices)
防防 30 v 防防防防防防防防防防防防防
Tĩnh điện 30V của con người sẽ làm hỏng một số thiết bị nhạy cảm
防防防防防防 10 v 防防防防防防防防防
một số thiết bị có thể bị hỏng do chính thiết bị phóng điện 10V
Confidential Material for Internal Use Only
7
ESD 靜靜靜靜靜靜靜靜
ESD làm hỏng thiết bị điện tử
防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防
Ngay cả sự phóng điện khá nhỏ cũng làm hỏng các thiết bị điện tử
Bipolar IC
防防防防防防防防防防防防防 ESDS
Viết tắt tiếng anh của thiết bị nhạy cảm tĩnh điện - ESDS
防防防防防防防防防防防防防 :84.50184.A30 防防防防防 <140V
Số vật liêu thiết bị nhạy cảm nhất với sự tĩnh điện trong nhà máy là:84.50184.A30 bảo vệ điện áp tĩnh<140 V
Confidential Material for Internal Use Only
8
ESD 靜靜靜靜靜靜靜靜
•
ESD làm hỏng thiết bị điện tử
防防防防防 ( 防防 ) 防防防防防防防防防防防防防防 , 防防防防
防防防防防防防防 : 防防防防
Tĩnh điện gây ra một số hư hỏng lạ và không thể nhận thấy đối với các thành
phần(mạch) kết luận phân tích của các kỹ sư thường là : không rõ nguyên nhân
Confidential Material for Internal Use Only
9
靜靜靜靜靜靜靜
Cách tĩnh điện được tạo ra
A 防防防防防 :
ma sát tạo ra điện
防防防防
Ma sát tạo ra điện
B 防防防防防 :
tách,bóc các vật dụng
C 防防防防防防
防防防防
Tách bóc các vật dụng
tách rời dây điện
D 防防防防防 :
防防防防
cảm ứng, tác động qua lại
Tách rời dây điện
E 防防防防防 :
sạc dẫn điện
F 防防防防防
防防防防
hiệu ứng điện dung
Cảm ứng tác động qua lại
……
10
Confidential Material for Internal Use Only
10
靜靜靜靜靜靜靜
Tác dụng của việc bảo vệ tĩnh điện
防防防防防防 Increased Yields 防
tăng sản lượng 防 Increased Yields 防
防防防防防 Cost Saving 防
tiết kiệm chi phí 防 Cost Saving 防
防防防防防防防防 Better Product Reliability 防
độ tin cậy của sản phẩm được gia tăng 防 Better Product Reliability 防
防防防防防防防 Extended Usage Life)
tuổi thọ của sản phẩm dài hơn 防 Extended Usage Life)
•防防 Ryne
C. Allen 防防防防 : 防防防防防防防防防 1 防防防防防防防 95 防 , 防防防防 (ROI) 防 95:1
Nghiên cứa của Ryne C. Allen tại mỹ cho thấy : mỗi một nhân dân tệ đầu tư vào bảo vệ tĩnh điện, lợi tức đạt 95 nhân dân tệ , tức là tỉ xuất sinh lợi (ROI) là 95:1
11
Confidential Material for Internal Use Only
11
靜靜靜靜靜靜靜 --- 靜靜靜靜靜靜靜
Tĩnh điện trong quá trình làm việc --- ma sát hoặc là tách tiếp xúc
靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜
khi con người di chuyển trong lúc làm việc , lấy và đặt các vật dụng sẽ sản sinh ra
tĩnh điện
靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜
chuyện động của các thiết bị cũng có ma sát hoặc tách tiếp xúc, do đó tĩnh điện cũng
được tạo ra
靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜
thiết bị di động giống như xe đẩy, ma sát sản sinh tĩnh điện
靜靜靜靜靜靜靜靜靜
Nhân tố quyết định điện áp ma sát
靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜
mức độ tiếp xúc ,độ đều đặn về bề mặt, áp lực tiếp xúc , các yếu tố phân tách vừa
phải cũng ảnh hưởng đến áp lực ma sát lớn hay nhỏ
靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜
vật liệu khác nhau áp lực ma sát cũng khác nhau
靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜
sự khác biệt về nhiệt độ mơi trường , độ ẩm có ảnh hưởng to lớn đới với áp lực
ma sát
Confidential Material for Internal Use Only
12
靜靜靜靜靜靜靜 --- 靜靜
Trong quá trình làm việc sản sinh ra tĩnh điện --- phân tách
+
+
+
+
+
+
防防 (bánh xe)
防 (trục)
防防 (dây tải)
防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防
Cân bằng điện tích của vật chất ban đầu bị phá vỡ , hai bên mang điện tích trái dấu
防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防
Việc bóc cùng một chất và bóc khác chất đều sinh ra tĩnh điện
防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防
Băng dính, miếng dán, băng tải sẽ bị tính phí do bong tróc
Confidential Material for Internal Use Only
13
靜靜靜靜靜靜靜 --- 靜靜 , 靜靜 , 靜靜
Trong quá trình làm việc sản sinh ra tĩnh điện --- đứt, cảm ứng , dẫn truyền
防防防防防防防防防防防防防防防防防防
Mỗi một vật sau khi bị phá vỡ , mỗi một bộ phận sẽ mang điện tích khác
nhau
防防防防
防防防防
cảm ứng điện từ
Dây điện đứt
防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防
Khi một vật mang điện tiếp xúc với một vật khơng mang điện điện tích giống nhau sẽ được chuyển qua vùng dẫn
Confidential Material for Internal Use Only
14
靜靜靜
Nguồn tĩnh điện
•防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防
Vật thể dễ dễ dàng tạo ra và tích tụ điện tích dưới tác động bên ngồi như ma sát và phân tách.
•
防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防
Có rất ít electron chuyển đọng trong một vật cách điện, duy trì diện tích âm và điện tích dương ở vị trí khác nhau
trên cùng một vật
•
防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防 .
Giảm tĩnh điện của chất cách điện chỉ có thể thơng qua mơi trường, khơng thể thơng qua chính mặt tiếp xúc mà giảm bớt
•
防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防 50% 防防防防防防防防防防防防
Lưu ý: Thùng carton và gỗ có đặc tính tiêu tán tĩnh do hấp thụ nước khi độ ẩm cao và hiệu suất cách nhiệt khi độ ẩm thấp (thường nhỏ hơn
50%).
15
Confidential Material for Internal Use Only
15
靜靜靜
Nguồn tĩnh điện
靜靜靜靜
Bàn làm việc
靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜 WI 靜 (bề mặt sơn hoặc là phủ bóng,sáp đánh bóng, thủy tinh nilon hoặc nhựa chưa qua sử lí,sở tay bằng
nhựa, bao WI )
靜靜
靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜
Mặt đất
Bê tơng kín,gỗ phủ sáp hoặc đánh bóng , gạch men và thảm
靜靜靜靜靜
靜 ESD 靜靜靜靜靜靜靜靜靜 ESD 靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜
Quần áo và nhân viên
Quần áo không áo không chứa ESD,vật liệu tổng hợp, giày khơng chứa ESD,tóc, lược nhựa
靜靜
靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜
Ghế
Bánh xe đánh bóng, nhựa sợi thủy tinh khơng dẫn điện
靜靜靜靜靜靜靜
靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜 ESD 靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜
Vật liệu đóng gói và xử lí
Túi nilon thơng thường, túi bao bì, màng bao bì, túi xốp, polystyrene, dụng cụ cầm tay khơng ESD, hộp nhựa, giấy, hộp giấy, băng dính trong
suotts đẻ niêm phong
靜靜靜靜靜靜靜
靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜 (máy phun áp lực , khí nén, chổi tổng hợp, súng nhiệt, máy sấy , máy photocopy, máy in)
Vật liệu và dụng cụ lắp ráp
Confidential Material for Internal Use Only
16
靜靜 ESD 靜靜靜靜靜靜靜靜靜
Nhân tố chính của việc thiếu nhận thức về kiểm soát ESD
1. 防防防防防防防防防防防防防防 2,000 ~ 4,000 volts 防防
防防防防防防 < 100 volts 防防防防防 ( 防防防 < 1,000 volts )
Cơ thể con người có thể cảm nhận được sự tồn tai tĩnh điện ở mức 2,000 ~ 4,000 volts, nhưng linh kiện nhạy cảm
Chỉ cần < 100 volts là hỏng (đa số là < 1,000 volts)
2.
防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防
hầu hết các thiệt hại tĩnh điện là tiềm ẩn , không thể xác định ngay lập tức .
3.
防防防防防防防防防防防防防 , 防防防防防防防防
hiện tượng hỏng tĩnh diện có tính chất lặp lại kém , đồng thời khơng dễ mơ phỏng.
4.
防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防
防防防
Để tìm ra nguồn gốc và ngun nhân nói chung là khơng dễ dàng, hơn nữa chi phí có thể rất cao
( ESD 防防防防防防防 EOS 防防 )
thiệt hại ESD thường bị đánh giá sai thành EOS
5.
防防防防防防防防防防防
thiếu đào tạo và xem trọng các vấn đề
Confidential Material for Internal Use Only
17
靜靜靜靜靜靜靜靜靜 (EPA)
Thiết lập khu vực làm việc chống tĩnh điện (EPA
EPA 靜 electrostatic discharge protected area 靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜
EPA 靜 electrostatic discharge protected area 靜 có nghĩa là khu vực làm việc bảo hộ phóng tĩnh điện
EPA 靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜
EPA là khu vực làm việc có thể cung cấp đầy dử các diều kiện bảo vệ thiết bị
防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防
靜靜
防防防防防防防防防防防
靜靜
防防防防防防防防防
靜靜靜靜
防防防防
防防防防
防防防防防防防防防防防防
防防防防防防防防防防防防
防防防防
防防防防
防防防防防防防防防防防
Confidential Material for Internal Use Only
防防防防防 / 防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防
18
防防防防防防防防防防防防防防防防防
靜靜靜靜靜靜靜靜靜 (EPA)
Thiết lập khu vực làm việc chống tĩnh điện (EPA
靜靜
靜靜
靜靜靜靜
Loại hình
yêu cầu
Bộ phận liên quan
防防防防防防防防防防防
防防防防防防防防防
防防防防
Lưa trữ các thiết bị nhạy cảm đóng gói hồn chỉnh
Gủi tập chung , nhắc nhở cảnh cáo
Kho nguyên liệu
防防防防
Kho hàng
防防防防防防防防防防防防
防防防防防防防防防防防防
防防防防
Lưa trữ các thiệt bị nhạy cảm chưa hoàn chỉnh
Yêu cầu tương tự như khu vực thao tác linh kiện nhạy cảm
Kho hàng
防防防防
Kho nguyên liệu
防防防防防防防防防防防
防防防防防 / 防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防
防防防防防防防防防防防防防防防防防
Khu vực thao tác thiết bị nhạy cảm (trạm)
Cảnh cáo, tiếp đất/điện thế , điều khiển điện áp tĩnh, điều khiển
Dây truyền sản xuất, trạm kiểm tra,trạm phân phối, trạm bảo trì
vật liệu cách điện, yêu cầu vận hành
Confidential Material for Internal Use Only
19
靜靜靜靜靜靜靜靜靜
Yêu cầu cơ bản vê phóng tĩnh điện
靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜 EPA 靜靜靜
Nguyên tắc 1 : thao tác mở bao bì thiết bị nhạy cảm chỉ có thể được tiến hành trong EPA
靜靜靜靜靜靜 EPA 靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜
Nguyên tắc 2 :thiết bị nhạy cảm rời khỏi EPA phải được đóng gói hoặc đựng trong thùng kín để vận chuyển
靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜
Nguyên tắc 3 : kiểm tra định kì thiết bị bảo vệ tĩnh điện được lắp đặt và sử dụng bình thường hay khơng
靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜
Nguyện tắc 4: đảm bảo rằng nhà cung cấp hiểu và tuân thủ các nguyên tắc trên
Confidential Material for Internal Use Only
20
靜靜靜靜靜靜靜
Phương pháp làm tiêu hao tĩnh điện
靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜
Ba phương pháp cơ bản tiêu hao phóng tĩnh điện
1. 靜靜
Tiếp đất
2. 靜靜靜靜
Ngăn tĩnh điện
3. 靜靜靜靜
Trung hòa ion
Confidential Material for Internal Use Only
21
靜靜 ESD 靜 3 靜靜靜靜 4M1E
Three fundamental principles
Ba nguyên lý điều khiển ESD và 4M1E
防防防防防防防防防
Ba nguyên lí khống chế cơ bản
-- Ground/Bond all conductors ( 防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防防
Ground/Bond all conductors ( tất cả vật chất dẫn điện tiến hành tiếp đất. Chú ý : con người cũng là chất dẫn)
-- Control Charges on Nonconductors ( 防防防防防防防防防防防防防防防
Control Charges on Nonconductors(kiểm soát các vật liệu cách điện dễ sinh ra tĩnh điện
-- Use protective packaging for transit and storage ( 防防防防防防防防防防防防防 ESD 防防防防防
Use protective packaging for transit and storage(sử dụng bao bì bảo vệ ESD trong quá trình vận chuyển và bảo quản sản phẩm
ESD 靜靜
= Man ( 人 ) + Machine ( 人 ) +Material ( 人 )+Method( 人 )+ Environment( 人
Kiểm soát ESD = Man(con người)+ Machine ( máy ) + Material ( vật liệu ) + Method ( phương pháp )+ Environment(môi trường)
Man ( 人 )
Method ( 人人 )
-- 人人人 人 ESD 人人 ESD 人人 , 人人 …
-- 人人 ((( ESD ((((((
-- 人人 (((( ESD (((((((((((((((
Machine ( 人
(((( (
)
-- 人人人人人人人人人
-- 人人 / 人人 人人人人人人人人人
Material ( 人人 )
-- 人人 ((( ESD ((((((((((((((( (
-- 人人 (((((((((((((((((
Environment ( 人人
-- 人人人人人人
--
-- 人人人人人人人人人人
-- 人人人人人人人人
-- 人人 ESD 人人人 ESD 人人
-- 人人 ESD 人人
-- 人人人人人人人人人人人
-- 人人
Confidential Material for Internal Use Only
22
人人 / 人人人人
)
Man ( 人 )
Method ( 人人 )
Man (con người )
Method (phương pháp )
-- 人人人 人 ESD 人人 ESD 人人 , 人人 …
-- 人人 ((( ESD ((((((
phịng ngừa ( tạo mơi trường an toàn cho ESD )
dây đeo cổ tay, giày ESD, ghế ESD, quần
-- 人人 (((( ESD (((((((((((((((
áo.....
bảo vệ (bảo vệ các bộ phận hoặc là sản phẩm nhạy cảm với ESD tránh kim loại nhỏ)
Machine ( 人
(((( (
)
tiếp điểm điện trở
Machine ( máy )
-- 人人人人人人人人人
tiếp đất, khống chế luồng tĩnh điện
-- 防防 / 防防 防防防防防防防防防
loại bỏ, ngăn nhiễm điện từ và điện trường xoay chiều
Material ( 人人 )
Material ( vật liệu )
-- 人人 ((( ESD (((((((((((((((
che chắn ( đối với mặt hàng không ESD tiến hành
Fraday hoặc là ngăn khoảng cách)
-- 人人 (((((((((((((((((
loại bỏ (thông qua tiếp đất , ion hóa loại bỏ tĩnh điện )
Environment ( 人人
)
Environment (mơi trường )
-- 人人人人人人
sử dụng vật liệu dẫn điện
--
人人 / 人人人人
kiểm soát nhiệt độ / độ ẩm
-- 人人人人人人人人人人
cố gắng sử dụng vật liệu tiêu hao tĩnh điện
-- 人人 ESD 人人人 ESD 人人
sử dụng mặt sàn ESD, thảm bàn ESD
-- 人人人人人人人人人人人
không dùng hoặc cố gắng ít dùng
-- 人人人人人人人人
khu vực sử dụng máy ion
-- 人人 ESD 人人
đào tạo về ESD cho công nhân
-- 人人
quản lí
vật liệu cách điện
Confidential Material for Internal Use Only
23
靜靜靜靜靜靜靜靜
Chọn vật liệu phóng tĩnh điện
防防防防防防
loại vật liệu tĩnh điện
5
防防 (Conductive) 防防 :10 Ω/square 防防
5
Vật liệu dẫn điện (Conductive) : 10 Ω/square trở xuống
5
11
防防防防 (Static Dissipative) 防防防 10 ~10 Ω/square
5
11
Vật liệu giảm tĩnh điện (Static Dissipative): 10 ~10 Ω/square
9
11
防防防 (Anti-Static) 防防 : 防防 10 ~10 Ω/square 防
9
11
Vật liệu chống tĩnh điện (Anti-Static): thông thường 10 ~10 Ω/square
12
防防 (Insulator) 防防 : 10 Ω/square 防防
Vật liệu cách điện (Insulator): 10
12
9
11
10 ~10 Ω/square 防防防防防
Vật liệu chống tĩnh điện
Ω/square trở lên
4
10 Ω/square 防防防防
4
Vật liệu che chắn 10 Ω/square
24
Confidential Material for Internal Use Only
24
靜靜 EPA 靜靜靜靜靜靜靜靜
Quy tắc công việc yêu cầu nhập EPA
靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜 .
Mặc đồ chống tĩnh điện đủ tiêu chuẩn: quần áo chống tĩnh điện, giày chống tĩnh điện, dây đeo chống tĩnh điện, phải thông qua kiểm tra trước khi vào
靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜 EPA 靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜 .
Nhân viên trong khu vực chống tĩnh điện có quyền và nghĩa vụ giám sát nhứng người bên ngồi vào EPA theo u cầu, nhứng người khơng dấp ứng như cấu có thể từ chối cho vào
靜靜靜靜 EPA 靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜 .
Mỗi lần vào EPA đều tiến hành kiểm tra giày và dây đeo .
靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜 .
Trước khi thao tác thiết bị nhạy cảm nhất định đeo dây đeo, và đảm bảo rằng sau khi tiếp đất mới tiến hành thao tác
靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜 .
Người ngoài vào làm việc phải được sự đồng ý của nhân viên trong khu vực mới có thể vào khu làm việc, phải đeo dây đeo, tiếp nối đất trước khi tiến hành kiểm tra hoặc thao tác
靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜 .
Đối với bàn làm việc sử dụng máy thổi ion, phải bật máy thổi trước khi thao tác, sau khi hồn thành cơng việc phải tắt máy thổi ion
靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜 .
Giữ gìn mà hình sạch sẽ và loại bỏ những thứ không cần thiết ra khỏi khu vực làm việc
靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜靜 30 靜靜靜靜 .
Vật liệu cách điện không thể tránh khỏi cho vào túi ngăn cách hoặc là cách xa các thiết bị nhạy cảm hơn 30m
Confidential Material for Internal Use Only
25