Khuếch đại tạp chất vi điện tử
Bạn đang xem bản rút gọn của tài liệu. Xem và tải ngay bản đầy đủ của tài liệu tại đây (1.84 MB, 22 trang )
Khu
Khu
ch t
ch t
á
á
n t
n t
p ch
p ch
t
t
Lê Tun
i hc Bách khoa Hà Ni
2
2
1/8/2006
1/8/2006
i h
i h
c B
c B
á
á
ch khoa H
ch khoa H
à
à
N
N
i
i
Khu
Khu
ch t
ch t
á
á
n t
n t
p ch
p ch
t
t
M
M
c đ
c đ
í
í
ch:
ch:
Khuch tán là phng pháp c đin đ đa tp cht vào đ bán
dn nhm to các loi dn khác nhau (chuyn tip p-n) và điu khin
đ dn ca các lp.
Tuy
cy ion hin nay hu nh đã thay th vai trò ca khuch tán c
đin trong sn xut các linh kin bán dn và vi đin t, nhng các
nguyên lý và t tng c
a lý thuyt khuch tán vn đc s dng vì
chúng mô t tt s chuyn đng và vn chuyn các cht pha tp và tp
cht trong môi trng nhit đ cao ca các bc công ngh ch to
mch vi đin t.
3
3
1/8/2006
1/8/2006
i h
i h
c B
c B
á
á
ch khoa H
ch khoa H
à
à
N
N
i
i
Khu
Khu
ch t
ch t
á
á
n
n
(ti
(ti
p)
p)
C
C
á
á
c lo
c lo
i t
i t
p ch
p ch
t đ
t đ
c d
c d
ù
ù
ng cho Si
ng cho Si
Ion kim
Mc tp cht sâu trong Si
Acceptor nông
Donor nông
Bán dn
đn cht
Khí tr
Chu k
4
4
1/8/2006
1/8/2006
i h
i h
c B
c B
á
á
ch khoa H
ch khoa H
à
à
N
N
i
i
Khu
Khu
ch t
ch t
á
á
n
n
(ti
(ti
p)
p)
C
C
á
á
c ngu
c ngu
n khu
n khu
ch t
ch t
á
á
n
n
̈
̈
Ngu
Ngu
n kh
n kh
í
í
: t
: t
h
h
ng đ
ng đ
c pha loãng trong kh
c pha loãng trong kh
í
í
mang Ar hay H
mang Ar hay H
2
2
.
.
C
C
á
á
c kh
c kh
í
í
PH
PH
3
3
(phosphin), B
(phosphin), B
2
2
H
H
6
6
(diboran), AsH
(diboran), AsH
3
3
(arsin) pha trong Ar.
(arsin) pha trong Ar.
̈
̈
Ngu
Ngu
n r
n r
n:
n:
th
th
ng đ
ng đ
c x
c x
p bên c
p bên c
nh c
nh c
á
á
c phi
c phi
n trong lò khu
n trong lò khu
ch t
ch t
á
á
n.
n.
̈
̈
Trong l
Trong l
p SiO
p SiO
2
2
pha t
pha t
p m
p m
nh (Spin
nh (Spin
-
-
on
on
-
-
glass)
glass)
̈
̈
Ngu
Ngu
n l
n l
ng: r
ng: r
t ph
t ph
bi
bi
n trong công nghi
n trong công nghi
p, qua c
p, qua c
á
á
c
c
ng s
ng s
c kh
c kh
í
í
v
v
à
à
đi
đi
u ch
u ch
nh b
nh b
ng lu l
ng lu l
ng k
ng k
.
.
5
5
1/8/2006
1/8/2006
i h
i h
c B
c B
á
á
ch khoa H
ch khoa H
à
à
N
N
i
i
Khu
Khu
ch t
ch t
á
á
n
n
(ti
(ti
p)
p)
Các c ch khuch tán tp cht
C ch th ch –khuch tán nút khuyt (a) :
Trong mng tinh th luôn tn ti nút khuyt. Nhit đ càng cao, s lng nút khuyt càng tng lên. Nguyên t tp cht th ch ca
nguyên t Si ti v trí các nút khuyt, cng nh nhy t nút khuyt này sang nút khuyt khác trong mng tinh th. Các tp cht thông
thng nh B, P, As, Sb tuân theo c ch này. Khuch tán theo c ch th ch xy ra vi tc đ tng đi ch
m, nên v mt công
ngh là d điu khin.
C ch di chuyn gia các nút mng –khuch tán xen k (b):
Nguyên t tp cht khuch tán bng cách chen ln trong khong không gian gia các nguyên t Si các nút mng. C ch này không
đòi hi vic to ra và di chuyn các nút khuyt nên khuch tán xy ra nhanh hn nhiu so vi c ch th ch. Các nguyên t Fe, Cu và
các kim loi nng khác - là các tp cht không mong mun – thng khuch tán nhanh và b bt ti các by nm xa vùng hot đng
ca IC (mt sau ca phin Si) nh s
dng hiu ng
gettering.
C ch hn hp (c):
Nguyên t Si di chuyn trong khong không gian gia các nút mng, ri th ch nguyên t tp cht đang nm nút mng, đy bt
nguyên t tp cht vào khong không gian gia các nút mng. Nguyên t tp cht b th ch sau mt thi gian khuch tán li chim
ch trong nút mng, đi vai trò cho nguyên t Si.
C ch đánh bt – kick-out (d):
Nguyên t tp cht đánh bt nguyên t Si ra khi v trí nút mng tinh th
C ch Frank – Turnbull (e):
Nguyên t tp cht sau khi di chuyn khá dài trong tinh th s chim mt nút mng tinh th còn trng.
Hai c ch (a) và (b) chim u th trong khuch tán. Mô hình khuch tán đc áp dng chung cho c hai c ch.
a b
c
de
6
6
1/8/2006
1/8/2006
i h
i h
c B
c B
á
á
ch khoa H
ch khoa H
à
à
N
N
i
i
Khu
Khu
ch t
ch t
á
á
n
n
(ti
(ti
p)
p)
Mô h
Mô h
ì
ì
nh khu
nh khu
ch t
ch t
á
á
n nguyên t
n nguyên t
̈
̈
nh lu
nh lu
t Fix th
t Fix th
nh
nh
t
t
T
T
mô h
mô h
ì
ì
nh đn gi
nh đn gi
n , so s
n , so s
á
á
nh thông l
nh thông l
ng khu
ng khu
ch t
ch t
á
á
n
n
(p
(p
hng tr
hng tr
ì
ì
nh liên t
nh liên t
c), ta r
c), ta r
ú
ú
t ra bi
t ra bi
u th
u th
c đ
c đ
nh lu
nh lu
t Fix , [D] = cm
t Fix , [D] = cm
2
2
/s
/s
̈
̈
Phng tr
Phng tr
ì
ì
nh khu
nh khu
ch t
ch t
á
á
n (1 chi
n (1 chi
u)
u)
T
T
phng tr
phng tr
ì
ì
nh liên t
nh liên t
c suy ra v
c suy ra v
à
à
c
c
ó
ó
phng tr
phng tr
ì
ì
nh khu
nh khu
ch t
ch t
á
á
n 1 chi
n 1 chi
u:
u:
C không ph
C không ph
thu
thu
c x
c x
H
H
s
s
khu
khu
ch t
ch t
á
á
n , v
n , v
i
i
E
E
A
A
–
–
nng l
nng l
ng ho
ng ho
t h
t h
ó
ó
a khu
a khu
ch
ch
t
t
á
á
n v
n v
à
à
D
D
0
0
đ
đ
c trng cho t
c trng cho t
p ch
p ch
t
t
v
v
à
à
tinh th
tinh th
n
n
n
n
.
.
7
7
1/8/2006
1/8/2006
i h
i h
c B
c B
á
á
ch khoa H
ch khoa H
à
à
N
N
i
i
Khu
Khu
ch t
ch t
á
á
n
n
(ti
(ti
p)
p)
S
S
ph
ph
thu
thu
c nhi
c nhi
t đ
t đ
c
c
a h
a h
s
s
khu
khu
ch t
ch t
á
á
n đ
n đ
i v
i v
i m
i m
t s
t s
ch
ch
t
t
8
8
1/8/2006
1/8/2006
i h
i h
c B
c B
á
á
ch khoa H
ch khoa H
à
à
N
N
i
i
Khu
Khu
ch t
ch t
á
á
n
n
(ti
(ti
p)
p)
Tr
Tr
ng h
ng h
p khu
p khu
ch t
ch t
á
á
n ngng đ
n ngng đ
ng
ng
–
–
C
C
o
o
không đ
không đ
i t
i t
i b
i b
m
m
t
t
(Predepossition dose case)
(Predepossition dose case)
D
D
ù
ù
ng đi
ng đi
u ki
u ki
n ban đ
n ban đ
u v
u v
à
à
đi
đi
u ki
u ki
n biên : C(x, 0) = 0; C(0,t) = C
n biên : C(x, 0) = 0; C(0,t) = C
o
o
; C(
; C(
, t) = 0. C
, t) = 0. C
o
o
–
–
n
n
ng đ
ng đ
t
t
p ch
p ch
t
t
ban đ
ban đ
u trên b
u trên b
m
m
t phi
t phi
n, c
n, c
ó
ó
gi
gi
á
á
tr
tr
b
b
ng gi
ng gi
i h
i h
n hòa tan bão hòa c
n hòa tan bão hòa c
a t
a t
p trong b
p trong b
á
á
n d
n d
n.
n.
9
9
1/8/2006
1/8/2006
i h
i h
c B
c B
á
á
ch khoa H
ch khoa H
à
à
N
N
i
i
Khu
Khu
ch t
ch t
á
á
n
n
(ti
(ti
p)
p)
Tr
Tr
ng h
ng h
p C
p C
o
o
không đ
không đ
i t
i t
i b
i b
m
m
t (ti
t (ti
p)
p)
Phân b
Phân b
t
t
p
p
t
t
ì
ì
m đ
m đ
c d
c d
i d
i d
ng
ng
V
V
i erf
i erf
–
–
h
h
à
à
m sai s
m sai s
; erfc
; erfc
–
–
h
h
à
à
m sai b
m sai b
ù
ù
;
;
–
–
chi
chi
u d
u d
à
à
i khu
i khu
ch t
ch t
á
á
n.
n.
T
T
ng s
ng s
t
t
p ch
p ch
t
t
khu
khu
ch t
ch t
á
á
n trong 1
n trong 1
đv di
đv di
n t
n t
í
í
ch:
ch:
Gradient n
Gradient n
ng đ
ng đ
t
t
p ch
p ch
t
t
theo chi
theo chi
u sâu
u sâu
khu
khu
ch t
ch t
á
á
n:
n:
Khuch tán ngng đng thng đt nng đ
tp ln
, nhng chiu sâu khuch tán nh
10
10
1/8/2006
1/8/2006
i h
i h
c B
c B
á
á
ch khoa H
ch khoa H
à
à
N
N
i
i
Khu
Khu
ch t
ch t
á
á
n
n
(ti
(ti
p)
p)
M
M
t s
t s
t
t
í
í
nh ch
nh ch
t c
t c
a c
a c
á
á
c h
c h
à
à
m sai s
m sai s
v
v
à
à
sai b
sai b
ù
ù
:
:
11
11
1/8/2006
1/8/2006
i h
i h
c B
c B
á
á
ch khoa H
ch khoa H
à
à
N
N
i
i
Khu
Khu
ch t
ch t
á
á
n
n
(ti
(ti
p)
p)
12
12
1/8/2006
1/8/2006
i h
i h
c B
c B
á
á
ch khoa H
ch khoa H
à
à
N
N
i
i
Khu
Khu
ch t
ch t
á
á
n
n
(ti
(ti
p)
p)
Tr
Tr
ng h
ng h
p khu
p khu
ch t
ch t
á
á
n v
n v
à
à
o
o
–
–
T
T
ng s
ng s
nguyên t
nguyên t
t
t
p Q không đ
p Q không đ
i
i
(Drive
(Drive
-
-
in case)
in case)
̈
̈
X
X
á
á
c đ
c đ
nh c
nh c
á
á
c đi
c đi
u ki
u ki
n
n
C
C
á
á
c
c
đi
đi
u ki
u ki
n biên
n biên
:
:
;
;
i
i
u ki
u ki
n ban đ
n ban đ
u
u
: T
: T
h
h
ng c
ng c
ó
ó
m
m
t giai đo
t giai đo
n
n
ngng đ
ngng đ
ng tr
ng tr
c giai đo
c giai đo
n khu
n khu
ch t
ch t
á
á
n v
n v
à
à
o, nên
o, nên
n
n
ng đ
ng đ
t
t
p ban đ
p ban đ
u:
u:
N
N
u coi l
u coi l
p ngng đ
p ngng đ
ng r
ng r
t nông, c
t nông, c
ó
ó
g
g
n đ
n đ
ú
ú
ng:
ng:
v
v
i
i
̈
̈
Phân b
Phân b
t
t
p
p
t
t
ì
ì
m đ
m đ
c (phân b
c (phân b
Gauss):
Gauss):
13
13
1/8/2006
1/8/2006
i h
i h
c B
c B
á
á
ch khoa H
ch khoa H
à
à
N
N
i
i
Khu
Khu
ch t
ch t
á
á
n
n
(ti
(ti
p)
p)
Phân b
Phân b
l
l
i t
i t
p ch
p ch
t sau qu
t sau qu
á
á
tr
tr
ì
ì
nh ngng đ
nh ngng đ
ng
ng
–
–
khu
khu
ch t
ch t
á
á
n v
n v
à
à
o
o
̈
̈
Gi
Gi
á
á
tr
tr
g
g
n đ
n đ
ú
ú
ng
ng
(x) ch
(x) ch
í
í
nh x
nh x
á
á
c đ
c đ
n đâu
n đâu
?
?
Khi so s
Khi so s
á
á
nh v
nh v
i nghi
i nghi
m ch
m ch
í
í
nh x
nh x
á
á
c, c
c, c
ó
ó
m
m
t tiêu chu
t tiêu chu
n , R c
n , R c
à
à
ng < 1 c
ng < 1 c
à
à
ng t
ng t
t.
t.
N
N
u g
u g
i:
i:
D
D
1
1
–
–
h
h
s
s
khu
khu
ch t
ch t
á
á
n c
n c
a t
a t
p trong giai đo
p trong giai đo
n khu
n khu
ch t
ch t
á
á
n ngng đ
n ngng đ
ng,
ng,
D
D
2
2
–
–
h
h
s
s
khu
khu
ch t
ch t
á
á
n c
n c
a t
a t
p trong giai đo
p trong giai đo
n khu
n khu
ch t
ch t
á
á
n v
n v
à
à
o,
o,
t
t
1
1
–
–
th
th
i gian khu
i gian khu
ch t
ch t
á
á
n ngng đ
n ngng đ
ng,
ng,
t
t
2
2
–
–
th
th
i gian khu
i gian khu
ch t
ch t
á
á
n v
n v
à
à
o,
o,
N
N
ng đ
ng đ
t
t
p ch
p ch
t phân b
t phân b
l
l
i theo bi
i theo bi
u th
u th
c:
c:
C
C
á
á
c tr
c tr
ng h
ng h
p sai l
p sai l
ch kh
ch kh
i lý thuy
i lý thuy
t khu
t khu
ch t
ch t
á
á
n đon gi
n đon gi
n:
n:
Tham kh
Tham kh
o trong
o trong
Physics and Technology of Semiconductor Devices
Physics and Technology of Semiconductor Devices
, A. S. Grove,
, A. S. Grove,
Univ. of California, Berkeley (B
Univ. of California, Berkeley (B
n d
n d
ch ti
ch ti
ng Vi
ng Vi
t:
t:
V
V
t lý v
t lý v
à
à
công ngh
công ngh
c
c
á
á
c d
c d
ng c
ng c
b
b
á
á
n d
n d
n
n
, Ph
, Ph
m Trung D
m Trung D
ng, NXB Khoa h
ng, NXB Khoa h
c & K
c & K
thu
thu
t, H
t, H
à
à
N
N
i, 1978).
i, 1978).
14
14
1/8/2006
1/8/2006
i h
i h
c B
c B
á
á
ch khoa H
ch khoa H
à
à
N
N
i
i
Khu
Khu
ch t
ch t
á
á
n
n
(ti
(ti
p)
p)
Khu
Khu
ch t
ch t
á
á
n nhi
n nhi
u giai đo
u giai đo
n
n
Khi phi
Khi phi
n đ
n đ
b
b
á
á
n d
n d
n tr
n tr
i qua n l
i qua n l
n khu
n khu
ch t
ch t
á
á
n, ta c
n, ta c
ó
ó
:
:
v
v
i D
i D
i
i
, t
, t
i
i
–
–
tng
tng
ng l
ng l
à
à
h
h
s
s
khu
khu
ch t
ch t
á
á
n t
n t
p ch
p ch
t
t
v
v
à
à
th
th
i gian khu
i gian khu
ch t
ch t
á
á
n c
n c
a giai đo
a giai đo
n khu
n khu
ch t
ch t
á
á
n th
n th
i
i
Khu
Khu
ch t
ch t
á
á
n t
n t
o chuy
o chuy
n ti
n ti
p p
p p
-
-
n
n
Trong nhi
Trong nhi
u tr
u tr
ng h
ng h
p,
p,
ng
ng
i ta khu
i ta khu
ch t
ch t
á
á
n v
n v
à
à
o b
o b
á
á
n d
n d
n lo
n lo
i t
i t
p ch
p ch
t ng
t ng
c
c
lo
lo
i d
i d
n v
n v
i t
i t
p ch
p ch
t c
t c
ó
ó
s
s
n trong đ
n trong đ
b
b
á
á
n d
n d
n v
n v
à
à
t
t
o ra chuy
o ra chuy
n ti
n ti
p p
p p
-
-
n khu
n khu
ch t
ch t
á
á
n
n
(c
(c
á
á
c transistor l
c transistor l
ng c
ng c
c công ngh
c công ngh
khu
khu
ch t
ch t
á
á
n s
n s
n xu
n xu
t nh
t nh
ng nm
ng nm
1960
1960
–
–
1970,
1970,
c
c
á
á
c v
c v
ù
ù
ng c
ng c
á
á
ch ly trong công ngh
ch ly trong công ngh
planar s
planar s
n xu
n xu
t c
t c
á
á
c IC CMOS,
c IC CMOS,
BiCMOS
BiCMOS
,
,
l
l
ng
ng
c
c
c v
c v
i c
i c
transistor lo
transistor lo
i n
i n
-
-
p
p
-
-
n v
n v
à
à
p
p
-
-
n
n
-
-
p, v.v
p, v.v
…
…
)
)
Chi
Chi
u sâu l
u sâu l
p chuy
p chuy
n ti
n ti
p luy
p luy
n kim do khu
n kim do khu
ch t
ch t
á
á
n (k
n (k
í
í
ch th
ch th
c m
c m
t v
t v
ù
ù
ng c
ng c
a
a
chuy
chuy
n ti
n ti
p p
p p
-
-
n:
n:
(C
(C
o
o
–
–
n
n
ng đ
ng đ
t
t
p
p
b
b
m
m
t; C
t; C
B
B
–
–
n
n
ng đ
ng đ
t
t
o trong đ
o trong đ
)
)
̈
̈
Trong tr
Trong tr
ng h
ng h
p khu
p khu
ch t
ch t
á
á
n ngng đ
n ngng đ
ng
ng
(n
(n
ng đ
ng đ
t
t
p b
p b
m
m
t không đ
t không đ
i):
i):
̈
̈
Trong tr
Trong tr
ng h
ng h
p khu
p khu
ch t
ch t
á
á
n v
n v
à
à
o
o
(t
(t
ng s
ng s
nguyên t
nguyên t
t
t
p không đ
p không đ
i):
∑
=
=
n
i
iitot
tDDt
1
)(
⎟
⎟
⎠
⎞
⎜
⎜
⎝
⎛
=
o
B
j
C
C
erfc
Dt
x
2
i):
⎟
⎟
⎠
⎞
⎜
⎜
⎝
⎛
=
B
o
j
C
C
Dtx ln2
15
15
1/8/2006
1/8/2006
i h
i h
c B
c B
á
á
ch khoa H
ch khoa H
à
à
N
N
i
i
Khu
Khu
ch t
ch t
á
á
n
n
(ti
(ti
p)
p)
Hi
Hi
u
u
ng
ng
gettering
gettering
(lo
(lo
i b
i b
c
c
á
á
c ion kim lo
c ion kim lo
i ki
i ki
m v
m v
à
à
kim lo
kim lo
i kh
i kh
á
á
c kh
c kh
i v
i v
ù
ù
ng
ng
ho
ho
t đ
t đ
ng c
ng c
a linh ki
a linh ki
n)
n)
i v
i v
i c
i c
á
á
c
c
ion ki
ion ki
m
m
̈
̈
Ph
Ph
l
l
p th
p th
y tinh phosphor
y tinh phosphor
silicat (PSG) hay Si
silicat (PSG) hay Si
3
3
N
N
4
4
bên
bên
trên m
trên m
u
u
̈
̈
X
X
lý nhi
lý nhi
t đ
t đ
c
c
á
á
c ion ki
c ion ki
m
m
v
v
n linh đ
n linh đ
ng b
ng b
b
b
t t
t t
i c
i c
á
á
c
c
tâm t
tâm t
p ch
p ch
t trong PSG hay
t trong PSG hay
Si
Si
3
3
N
N
4
4
.
.
i v
i v
i c
i c
á
á
c
c
ion kim
ion kim
lo
lo
i
i
kh
kh
á
á
c
c
G
G
m 3
m 3
b
b
c:
c:
̈
̈
L
L
à
à
m cho c
m cho c
á
á
c ion kim lo
c ion kim lo
i tr
i tr
nên linh đ
nên linh đ
ng.
ng.
̈
̈
Di chuy
Di chuy
n c
n c
á
á
c ion kim lo
c ion kim lo
i v
i v
ph
ph
í
í
a c
a c
á
á
c tâm b
c tâm b
y.
y.
̈
̈
B
B
y c
y c
á
á
c ion kim lo
c ion kim lo
i v
i v
à
à
gi
gi
ch
ch
ú
ú
ng t
ng t
i đ
i đ
ó
ó
.
.
16
16
1/8/2006
1/8/2006
i h
i h
c B
c B
á
á
ch khoa H
ch khoa H
à
à
N
N
i
i
Khu
Khu
ch t
ch t
á
á
n
n
(ti
(ti
p)
p)
Khu
Khu
ch t
ch t
á
á
n ngang d
n ngang d
i m
i m
t n
t n
khu
khu
ch t
ch t
á
á
n
n
T
T
p ch
p ch
t khu
t khu
ch t
ch t
á
á
n theo c
n theo c
chi
chi
u ngang d
u ngang d
i l
i l
p m
p m
t n
t n
b
b
o v
o v
, d
, d
o đ
o đ
ó
ó
, m
, m
r
r
ng
ng
v
v
ù
ù
ng c
ng c
a s
a s
khu
khu
ch t
ch t
á
á
n th
n th
c t
c t
.
.
Do hi
Do hi
n t
n t
ng khu
ng khu
ch t
ch t
á
á
n ngang,
n ngang,
đi
đi
n
n
á
á
p đ
p đ
á
á
nh th
nh th
ng gi
ng gi
a c
a c
á
á
c v
c v
ù
ù
ng n v
ng n v
à
à
p c
p c
ó
ó
th
th
b
b
gi
gi
m, k
m, k
í
í
ch th
ch th
c h
c h
ì
ì
nh h
nh h
c c
c c
á
á
c ph
c ph
n c
n c
a linh ki
a linh ki
n c
n c
ó
ó
th
th
b
b
sai l
sai l
ch, d
ch, d
n t
n t
i s
i s
thay đ
thay đ
i
i
thông s
thông s
đi
đi
n c
n c
a linh ki
a linh ki
n.
n.
T l chiu dài khuch tán
ngang và thng đng d
t
/d
n
:
• Trng hp nng đ b mt
ca tp cht không đi (C
S
=
const):
•Trng hp tng s tp cht
không đi (Q = const):
()
%8075 ÷≈
=constC
n
t
s
d
d
()
%7065 ÷≈
=constQ
n
t
d
d
17
17
1/8/2006
1/8/2006
i h
i h
c B
c B
á
á
ch khoa H
ch khoa H
à
à
N
N
i
i
Khu
Khu
ch t
ch t
á
á
n
n
(ti
(ti
p)
p)
X
X
á
á
c đ
c đ
nh chi
nh chi
u sâu l
u sâu l
p khu
p khu
ch t
ch t
á
á
n
n
Phng ph
Phng ph
á
á
p đn gi
p đn gi
n nh
n nh
t l
t l
à
à
m
m
à
à
i bi. Viên bi
i bi. Viên bi
ho
ho
c m
c m
t tr
t tr
tròn b
tròn b
á
á
n k
n k
í
í
nh R đ
nh R đ
c ln t
c ln t
i ch
i ch
, do
, do
ma s
ma s
á
á
t s
t s
t
t
o trên m
o trên m
u m
u m
t l
t l
hay rãnh tròn.
hay rãnh tròn.
Sau khi t
Sau khi t
m th
m th
c l
c l
a ch
a ch
n (dung d
n (dung d
ch: v
ch: v
à
à
i gi
i gi
t
t
HNO
HNO
3
3
trong 100 cm
trong 100 cm
3
3
HF, nhi
HF, nhi
t đ
t đ
phòng, th
phòng, th
i
i
gian 30
gian 30
–
–
60 s; ho
60 s; ho
c dung d
c dung d
ch HF:HNO
ch HF:HNO
3
3
:C
:C
2
2
H
H
4
4
O
O
2
2
= 1:3:10), v
= 1:3:10), v
ù
ù
ng p
ng p
-
-
Si s
Si s
s
s
m m
m m
à
à
u hn v
u hn v
ù
ù
ng n
ng n
-
-
Si;
Si;
ho
ho
c phân bi
c phân bi
t c
t c
á
á
c v
c v
ù
ù
ng khu
ng khu
ch t
ch t
á
á
n c
n c
ù
ù
ng m
ng m
t
t
lo
lo
i d
i d
n,
n,
nhng v
nhng v
i c
i c
á
á
c n
c n
ng đ
ng đ
t
t
p ch
p ch
t kh
t kh
á
á
c
c
nhau đ
nhau đ
á
á
ng k
ng k
b
b
ng đ
ng đ
đ
đ
m nh
m nh
t c
t c
a c
a c
á
á
c v
c v
ù
ù
ng
ng
đ
đ
c t
c t
m th
m th
c v
c v
à
à
đ
đ
(C(x
(C(x
j
j
) = C
) = C
B
B
).
).
N
N
u g
u g
i c
i c
á
á
c b
c b
á
á
n k
n k
í
í
nh ngo
nh ngo
à
à
i v
i v
à
à
trong c
trong c
a c
a c
á
á
c
c
h
h
ì
ì
nh t
nh t
m th
m th
c l
c l
n l
n l
t l
t l
à
à
a
a
v
v
à
à
b
b
(
(
th
th
ng
ng
a
a
<
<
R
R
),
),
chi
chi
u d
u d
à
à
y
y
x
x
j
j
l
l
p khu
p khu
ch t
ch t
á
á
n đ
n đ
c x
c x
á
á
c đ
c đ
nh b
nh b
i
i
công th
công th
c:
c:
b
R
a
R
ba
xaRbRx
jj
2
22
2222
−
≅⇒−−−=
18
18
1/8/2006
1/8/2006
i h
i h
c B
c B
á
á
ch khoa H
ch khoa H
à
à
N
N
i
i
Khu
Khu
ch t
ch t
á
á
n
n
(ti
(ti
p)
p)
X
X
á
á
c đ
c đ
nh đ
nh đ
d
d
n đi
n đi
n (
n (
hay đi
hay đi
n tr
n tr
su
su
t) c
t) c
a l
a l
p
p
khu
khu
ch t
ch t
á
á
n
n
i
i
n tr
n tr
b
b
m
m
t
t
R
R
s
s
(
(
đi
đi
n tr
n tr
vuông
vuông
,
,
đn v
đn v
Ohm
Ohm
/vuông)
/vuông)
đ
đ
c x
c x
á
á
c đ
c đ
nh
nh
b
b
ng công th
ng công th
c (
c (
µ
µ
–
–
đ
đ
linh đ
linh đ
ng c
ng c
a h
a h
t t
t t
i đi
i đi
n):
n):
̈
̈
Phng ph
Phng ph
á
á
p b
p b
n m
n m
i dò
i dò
B
B
n m
n m
i dò đ
i dò đ
c x
c x
p th
p th
ng h
ng h
à
à
ng, c
ng, c
á
á
ch đ
ch đ
u nhau m
u nhau m
t kho
t kho
ng
ng
s
s
hay
hay
đ
đ
c d
c d
ù
ù
ng nhi
ng nhi
u nh
u nh
t
t
.
.
M
M
t dòng đi
t dòng đi
n nh
n nh
I
I
đ
đ
c đa qua hai đ
c đa qua hai
đ
u m
u m
i dò
i dò
ngo
ngo
à
à
i c
i c
ù
ù
ng, còn gi
ng, còn gi
a hai m
a hai m
i dò bên trong,
i dò bên trong,
ng
ng
i ta đo s
i ta đo s
t
t
á
á
p
p
V.
V.
N
N
u k
u k
í
í
ch th
ch th
c c
c c
a m
a m
u
u
(
(
đ
đ
ng k
ng k
í
í
nh phi
nh phi
n) l
n) l
à
à
d
d
, chi
, chi
u d
u d
à
à
y c
y c
a m
a m
u
u
b
b
á
á
n d
n d
n l
n l
à
à
W
W
, công th
, công th
c g
c g
n đ
n đ
ú
ú
ng đ
ng đ
t
t
í
í
nh đi
nh đi
n tr
n tr
su
su
t khi
t khi
W
W
<<
<<
d :
d :
a
a
–
–
h
h
s
s
đi
đi
u ch
u ch
nh, c
nh, c
ó
ó
gi
gi
á
á
tr
tr
b
b
ng 4,5325 khi d/s
ng 4,5325 khi d/s
20.
20.
̈
̈
Phng ph
Phng ph
á
á
p C
p C
-
-
V:
V:
N
N
ng đ
ng đ
h
h
t t
t t
i c b
i c b
n (l
n (l
à
à
n
n
ng đ
ng đ
c
c
a t
a t
p ion h
p ion h
ó
ó
a m
a m
t l
t l
n ho
n ho
à
à
n to
n to
à
à
n)
n)
c
c
ó
ó
th
th
x
x
á
á
c đ
c đ
nh qua đ
nh qua đ
c tuy
c tuy
n đi
n đi
n dung
n dung
–
–
đi
đi
n
n
á
á
p ng
p ng
c trên chuy
c trên chuy
n
n
ti
ti
p p
p p
-
-
n ho
n ho
c c
c c
a diode Schottky (q
a diode Schottky (q
–
–
đi
đi
n t
n t
í
í
ch electron; C
ch electron; C
’
’
–
–
đi
đi
n dung
n dung
trên 1
trên 1
đn v
đn v
di
di
n t
n t
í
í
ch m
ch m
u;
u;
s
s
–
–
h
h
ng s
ng s
đi
đi
n môi c
n môi c
a b
a b
á
á
n d
n d
n):
∫
=
l
s
dxxCq
R
0
)(
1
µ
W
I
V
αρ
=
⎥
⎥
⎥
⎥
⎥
⎥
⎥
⎦
⎤
⎢
⎢
⎢
⎢
⎢
⎢
⎢
⎣
⎡
⎟
⎠
⎞
⎜
⎝
⎛
−
=
dV
C
d
q
n
s
2'
1
12
ε
n):
19
19
1/8/2006
1/8/2006
i h
i h
c B
c B
á
á
ch khoa H
ch khoa H
à
à
N
N
i
i
Khu
Khu
ch t
ch t
á
á
n
n
(ti
(ti
p)
p)
̈
̈
Phng ph
Phng ph
á
á
p Van der Pauw
p Van der Pauw
Ta c
Ta c
ng l
ng l
i d
i d
ù
ù
ng b
ng b
n ti
n ti
p x
p x
ú
ú
c,
c,
nhng đ
nhng đ
c b
c b
tr
tr
í
í
đ
đ
i x
i x
ng v
ng v
à
à
đ
đ
á
á
nh s
nh s
đ
đ
ti
ti
n theo dõi.
n theo dõi.
Dòng
Dòng
đi
đi
n
n
I
I
đ
đ
c đa qua hai ti
c đa qua hai ti
p x
p x
ú
ú
c k
c k
nhau, còn hi
nhau, còn hi
u đi
u đi
n th
n th
đ
đ
c đo trên hai ti
c đo trên hai ti
p x
p x
ú
ú
c còn l
c còn l
i.
i.
gi
gi
m thi
m thi
u sai s
u sai s
do s
do s
b
b
t đ
t đ
i x
i x
ng v
ng v
h
h
ì
ì
nh h
nh h
c c
c c
ó
ó
th
th
c
c
ó
ó
, ph
, ph
é
é
p đo đ
p đo đ
c ti
c ti
n h
n h
à
à
nh ba l
nh ba l
n
n
n
n
a, m
a, m
i l
i l
n m
n m
u đ
u đ
c xoay đi
c xoay đi
90
90
º
º
. Gi
. Gi
á
á
tr
tr
đi
đi
n tr
n tr
trung b
trung b
ì
ì
nh l
nh l
à
à
:
:
⎥
⎦
⎤
⎢
⎣
⎡
+++=
23
41
12
34
41
23
34
12
4
1
I
V
I
V
I
V
I
V
R
RQfR
s
)(
2ln
π
=
H s f(Q) ph thuc vào b trí hình hc ca mu đo. Nu mu đo hình vuông, f(Q) = 1.
Sai s ph thuc vào cht lng tip xúc (thng qua các mi dò kim
loi), vào s không đi xng hình hc ca mu và t l din tích gia
phn mu và tip xúc.
20
20
1/8/2006
1/8/2006
i h
i h
c B
c B
á
á
ch khoa H
ch khoa H
à
à
N
N
i
i
Khu
Khu
ch t
ch t
á
á
n
n
(ti
(ti
p)
p)
X
X
á
á
c đ
c đ
nh đ
nh đ
linh đ
linh đ
ng h
ng h
t t
t t
i đi
i đi
n qua hi
n qua hi
u
u
ng Hall
ng Hall
Dòng đi
Dòng đi
n
n
I
I
đi qua hai m
đi qua hai m
t đ
t đ
i di
i di
n c
n c
a m
a m
u đn gi
u đn gi
n c
n c
ó
ó
h
h
ì
ì
nh kh
nh kh
i ch
i ch
nh
nh
t. N
t. N
u không c
u không c
ó
ó
t
t
tr
tr
ng
ng
B
B
th
th
ì
ì
trên hai m
trên hai m
t bên vuông g
t bên vuông g
ó
ó
c v
c v
i chi
i chi
u
u
dòng đi
dòng đi
n c
n c
ó
ó
c
c
ù
ù
ng gi
ng gi
á
á
tr
tr
đi
đi
n th
n th
.
.
Khi t
Khi t
tr
tr
ng ngo
ng ngo
à
à
i
i
B
B
đ
đ
c đ
c đ
t vuông g
t vuông g
ó
ó
c v
c v
i chi
i chi
u dòng đi
u dòng đi
n l
n l
c Lorentz s
c Lorentz s
b
b
cong qu
cong qu
đ
đ
o c
o c
a
a
h
h
t t
t t
i đi
i đi
n, l
n, l
à
à
m cho ch
m cho ch
ú
ú
ng chuy
ng chuy
n đ
n đ
ng l
ng l
ch v
ch v
m
m
t ph
t ph
í
í
a, gây ra c
a, gây ra c
á
á
c n
c n
ng đ
ng đ
h
h
t t
t t
i đi
i đi
n
n
–
–
v
v
à
à
do
do
đ
đ
ó
ó
–
–
đi
đi
n th
n th
gi
gi
a hai m
a hai m
t đ
t đ
ó
ó
trên m
trên m
u s
u s
kh
kh
á
á
c nhau. Hi
c nhau. Hi
u đi
u đi
n th
n th
n
n
à
à
y đ
y đ
c goi l
c goi l
à
à
hi
hi
u đi
u đi
n th
n th
Hall UH
Hall UH
, t
, t
l
l
v
v
i v
i v
i đ
i đ
l
l
n c
n c
a t
a t
tr
tr
ng,
ng,
đ
đ
c coi nh do m
c coi nh do m
t
t
“
“
đi
đi
n tr
n tr
ng
ng
”
”
gây ra s
gây ra s
chuy
chuy
n
n
h
h
ng c
ng c
a c
a c
á
á
c h
c h
t t
t t
i đi
i đi
n:
n:
UH = E
UH = E
y
y
w = v
w = v
x
x
B
B
z
z
w
w
, v
, v
i v
i v
x
x
–
–
v
v
n t
n t
c trôi c
c trôi c
a h
a h
t t
t t
i đi
i đi
n, w
n, w
–
–
b
b
r
r
ng l
ng l
p
p
khu
khu
ch t
ch t
á
á
n, B
n, B
z
z
–
–
c
c
m
m
ng t
ng t
tr
tr
ng đ
ng đ
c đ
c đ
t ho
t ho
à
à
n to
n to
à
à
n theo phng tr
n theo phng tr
c z.
c z.
V
V
n t
n t
c trôi v
c trôi v
x
x
c
c
a h
a h
t t
t t
i đi
i đi
n, xu
n, xu
t ph
t ph
á
á
t t
t t
bi
bi
u th
u th
c dòng đi
c dòng đi
n,
n,
đ
đ
c vi
c vi
t:
t:
v
v
i <C>
i <C>
-
-
n
n
ng đ
ng đ
trung b
trung b
ì
ì
nh c
nh c
a t
a t
p ch
p ch
t trong l
t trong l
p khu
p khu
ch t
ch t
á
á
n. M
n. M
t kh
t kh
á
á
c,
c,
theo
theo
đ
đ
nh ngh
nh ngh
ĩ
ĩ
a , nên
a , nên
v
v
à
à
ta r
ta r
ú
ú
t ra bi
t ra bi
u th
u th
c
c
c
c
a đ
a đ
linh đ
linh đ
ng Hall:
ng Hall:
linh đ
linh đ
ng Hall
ng Hall
µ
µ
H
H
l
l
à
à
m
m
t thông s
t thông s
đi
đi
n quan tr
n quan tr
ng c
ng c
a l
a l
p b
p b
á
á
n d
n d
n,
n,
th
th
ng đ
ng đ
c x
c x
á
á
c đ
c đ
nh
nh
v
v
à
à
so s
so s
á
á
nh v
nh v
i gi
i gi
á
á
tr
tr
đ
đ
linh đ
linh đ
ng
ng
µ
µ
đo t
đo t
c
c
á
á
c ph
c ph
é
é
p đo đi
p đo đi
n kh
n kh
á
á
c.
c.
Cqwx
I
v
j
x
x
=
∫
=
j
x
j
Cdx
x
C
0
1
H
zx
j
x
qU
BI
CxCdx
j
==
∫
0
sj
H
RCqx
1
=
µ
21
21
1/8/2006
1/8/2006
i h
i h
c B
c B
á
á
ch khoa H
ch khoa H
à
à
N
N
i
i
Khu
Khu
ch t
ch t
á
á
n
n
(ti
(ti
p)
p)
CÁC PHÉP O CHÍNH XÁC
Phng ph
Phng ph
á
á
p kh
p kh
i ph
i ph
k
k
ion th
ion th
c
c
p (Secondary
p (Secondary
Ion Mass Spectroscopy
Ion Mass Spectroscopy
–
–
SIMS)
SIMS)
Cho đ
Cho đ
ch
ch
í
í
nh x
nh x
á
á
c t
c t
i 1 ppb (t
i 1 ppb (t
c 10
c 10
-
-
9
9
). M
). M
u đ
u đ
c đ
c đ
t trong chân
t trong chân
không cao ~ 10
không cao ~ 10
-
-
9
9
torr
torr
. I
. I
on đ
on đ
n đ
n đ
c gia t
c gia t
c 1
c 1
–
–
5 kV t
5 kV t
i b
i b
n ph
n ph
á
á
đ
đ
,
,
l
l
à
à
m b
m b
t ra c
t ra c
á
á
c ion th
c ion th
c
c
p.
p.
Sau khi đ
Sau khi đ
c t
c t
á
á
ch ra b
ch ra b
ng kh
ng kh
i ph
i ph
k
k
,
,
c
c
á
á
c ion t
c ion t
p đ
p đ
c thu l
c thu l
i b
i b
ng đ
ng đ
u dò, r
u dò, r
i t
i t
í
í
nh ra n
nh ra n
ng đ
ng đ
đã c
đã c
ó
ó
trong m
trong m
u b
u b
á
á
n d
n d
n.
n.
Phng ph
Phng ph
á
á
p t
p t
á
á
n x
n x
Rutherford
Rutherford
ng
ng
c (RBS
c (RBS
–
–
Rutherford Back
Rutherford Back
Scattering)
Scattering)
C
C
á
á
c ion He
c ion He
+
+
đ
đ
c gia t
c gia t
c t
c t
i MeV t
i MeV t
i b
i b
n
n
ph
ph
á
á
b
b
m
m
t m
t m
u v
u v
à
à
chui sâu v
chui sâu v
à
à
o m
o m
u,
u,
sau đ
sau đ
ó
ó
, b
, b
c
c
á
á
c nguyên t
c nguyên t
t
t
p
p
ch
ch
t (v
t (v
à
à
c
c
b
b
á
á
n d
n d
n, t
n, t
t nhiên!) t
t nhiên!) t
á
á
n x
n x
ng
ng
c tr
c tr
ra
ra
.
.
u dò thu
u dò thu
nh
nh
n l
n l
i c
i c
á
á
c ion He
c ion He
+
+
, phân t
, phân t
í
í
ch theo nng l
ch theo nng l
ng c
ng c
a ch
a ch
ú
ú
ng đ
ng đ
t
t
í
í
nh
nh
ra lo
ra lo
i v
i v
à
à
n
n
ng đ
ng đ
c
c
á
á
c nguyên t
c nguyên t
t
t
p ch
p ch
t. X
t. X
á
á
c xu
c xu
t t
t t
á
á
n x
n x
ng
ng
c
c
t
t
l
l
v
v
i b
i b
ì
ì
nh phng kh
nh phng kh
i l
i l
ng nguyên t
ng nguyên t
đ
đ
í
í
ch, nên ch
ch, nên ch
nh
nh
n bi
n bi
t
t
t
t
t c
t c
á
á
c t
c t
p ch
p ch
t c
t c
ó
ó
kh
kh
i l
i l
ng nguyên t
ng nguyên t
l
l
n hn c
n hn c
a ch
a ch
t b
t b
á
á
n d
n d
n
n
(As, Sb chi Si). K
(As, Sb chi Si). K
é
é
m ch
m ch
í
í
nh x
nh x
á
á
c hn SIMS
c hn SIMS
.
.
22
22
1/8/2006
1/8/2006
i h
i h
c B
c B
á
á
ch khoa H
ch khoa H
à
à
N
N
i
i
C
C
á
á
m n đã theo dõi
m n đã theo dõi
!!!
!!!
Mi góp ý, b sung xin gi đn:
Dr. Le Tuan
Hanoi University of Technology
Institute of Engineering Physics
Dept. of Electronic Materials
2
nd
Floor, C9 Building
1 Dai Co Viet Str., Hanoi, Vietnam
Mobile: 0912 560 536
E-mail:
