Ứng dụng cảm biến khoảng cách laser trong đo lường

1
M
ỤC LỤC
CHƯƠNG 1. CÁC KHÁI NI
ỆM C
Ơ BẢN
V
Ề ĐO L
ƯỜNG
5
1.1. Khái ni
ệm đo lường
5
1.2. Phân lo
ại các ph
ương pháp đo
5
1.2.1.Phân lo
ại theo quan hệ giữa đầu đo và chi tiết đo
6
1.2.2.Phân lo
ại theo quan hệ giữa giá trị chỉ thị v
à giá trị đại lượng đo
6
1.2.3.Phân lo
ại theo quan hệ giữa đại lượng cần đo và đại lượng được
đo…………… 7
1.3. Các nguyên t
ắc cơ bản trong đo lường
8
1.3.1. Nguyên t

ắc Abbe
8
1.3.2. Nguyên t
ắc xích truyền động ngắn nhấ
t 10
1.3.3. Nguyên t
ắc chuẩn thống nhất (tr
ùng chuẩn)
10
1.3.4. Nguyên tắc kinh tế 10
1.4. Các nguyên lý chuy
ển đổi v
à khuếch đại trong đo lường
11
1.4.1. Khái niệm chung 11
1.4.2. Chuy
ển đổi
cơ khí và phương pháp khuy
ếch đại c
ơ khí
14
1.4.3. Chuy
ển đổi quang học
16
1.4.4. Các phương pháp chuy
ển đổi v
à khuếch đại điện
18
CHƯƠNG 2. NGUYÊN LÝ C
ẤU TẠO OPTIMET ĐỨNG

ИКВ 23
2.1. C
ấu tạo v
à nguyên lý hoạt động của optimet ИКВ
23
2.1.1. C
ấu tạo của optimet đứng ИКВ
23
2.1.2. Nguyên lý ho
ạt động
26
2.2. Các h
ỏng hó
c và gi
ải pháp cải tiến
28
2.2.1. Tình tr
ạng hỏng hóc của optimet đứng
ИКВ
28
2.2.2. Gi
ải pháp cải tiến
29
CHƯƠNG 3. THIẾT KẾ CẢI TIẾN OPTIMET ĐỨNG ИКВ 32
3.1. C
ảm biến khoảng cách laser CD1
-30N 32
3.1.1. Các thông s
ố kỹ thuật
32

3.1.2. Nguyên lý ho
ạt động của cảm biến
36
2
3.1.3. Nguyên lý
đo tam giác
ứng dụng trong cảm
bi
ến khoảng cách
40
3.2. Thi
ết kế cơ cấu gá đặt cảm biến trên optimet
45
3.2.1. Ph
ần hộp đỡ
45
3.2.2. Ph
ần thân trụ
46
3.3. Thi
ết kế bộ xử lý
s
ố
48
3.3.1. Các khái niệm chung 48
3.3.2. H
ệ thống xử lý số liệu
51
3.3.3. Thi
ết kế phần cứng xử lý tín hiệu

55
3.3.4. Thu
ật toán xử lý kết quả đo
73
CHƯƠNG 4. TH
ỰC NGHIỆM ĐÁNH GIÁ
Đ
Ộ CHÍNH XÁC CỦA
OPTIMET C
ẢI TIẾN
76
4.1. Các bư
ớc tiến h
ành đo trên optimet c
ải tiến
76
4.1.1. Các bư
ớc tiến h
ành đo
76
4.1.2. M
ột số trường hợp đo cần lưu ý
76
4.2. Đánh giá đ
ộ chính xác của optimet cải tiến
79
4.2.1. Xác đ
ịnh sai lệch trung bình số học và sai lệch bình phương
trung bình c
ủa một loạt chi tiết.

79
4.2.2. Ki
ểm tra chi tiết đánh giá sai số hình dáng.
82
CHƯƠNG 5. PHỤ LỤC 87
5.1. Chương tr
ình trên bộ xử lý.
87
5.1.1. Quét l
ệnh bàn phím.
88
5.1.2. Quét l
ệnh máy tính.
88
5.1.3. Đ
ọc giá trị từ khối A/D
90
5.1.4. Quy đ
ổi giá trị đo
91
5.2. Chương tr
ình
x
ử lý trên máy tính.
93
5.2.1. X
ử lý các chức năng truyền dữ liệu.
94
5.2.2. X
ử lý số liệu

96
3
L
ỜI NÓI ĐẦU
Ngày nay, v
ới sự phát triển của các ng
ành khoa học kĩ thuật nói chung và
ngành s
ản xuất c
ơ khí
nói riêng, đ
ã t
ạo ra các sản phẩm phục vụ quá trình sản xuất
và đ
ời sống x
ã hội có chất lượng cao, đa dạng về chủng loại. Vì vậy trong quá trình
s
ả
n xu
ất cần phải đảm bảo mức độ chất l
ượng sản phẩm cho trước
, gi
ảm đến mức
th
ấp nhất các hao phí trong khi chế tạo sản phẩm. Điều đó nói l
ên vai trò của ngành
đo lư
ờng l
à rất quan trọng, để cung c
ấp nhanh chóng và chính xác các thông tin v

ề
chất lượng của sản phẩm ở từng giai đoạn sản xuất, xử lý các thông tin đó để có
nh
ững biện pháp công nghệ thích hợp.
Vì v
ậy, người kỹ sư c
ơ khí c
ần phải nắm
v
ững các kiến thức cơ bản về quá trình vật lý của đo lường, biết chọn phương
pháp đo và d
ụng cụ đo thích hợp, biế
t x
ử lý các thông tin về quá trình công nghệ
qua quá trình
đo.
Tuy nhiên v
ới hệ thống dụng cụ đo lường hiện tại có thể không
đáp
ứng được yêu cầu trên do được trang bị lâu năm đã trở nên lỗi thời hoặc hỏng
hóc. Vì vậy hướng giải quyết là cần được trang bị mới hoặc cải tạo lại theo hướng
công ngh
ệ mới.
Trong đi
ều kiện
th
ực tế của phòng thí nghiệm
có m
ột số
d

ụng cụ đo đã giảm
ch
ất lượng hoặc hư hỏng, nhất là các thiết bị đo quang cơ bị mốc ẩm hệ thống quang
do đi
ều kiện khí hậu và bảo quản. Vì vậy tôi đã đượ
c giao đ
ề tài tốt nghiệp " Thiết kế
c
ải tạo optimet đứng ИКВ theo phương pháp đo không tiếp xúc hiện số"
nh
ằm phục
h
ồi các dụng cụ đo tại phòng thí nghiệm và có điều kiện tìm hiểu về các phương pháp
đo m
ới đã được ứng dụng trong thực tế.
N
ội dung nghiên cứ
u bao g
ồm:
Chương 1: Các khái ni
ệm c
ơ bản về đo lường.
Chương 2: Nguyên l
ý c
ấu tạo Optimet đứng
ИКВ.
Chương3: Thi
ết kế cải tiến Optimet đứng
ИКВ
Chương 4: Th

ực nghiệm đánh giá độ chính xác Optimet đứng
ИКВ.
Chương 5: Ph
ụ lục, tr
ình bày các thuật toán
x
ử lý số liệu trong bộ xử lý số
và chương tr
ình máy tính.
4
Tôi xin chân thành c
ảm
ơn thầy giáo Hồ Việt Hải
, cùng các th
ầy giáo trong
b
ộ môn chế tạo máy đ
ã tạo điều kiện giúp đỡ để tôi hoàn thành đồ án tốt nghiệp. V
ì
đây là l
ý thuy
ết mới có liên quan đến lý
thuy
ết chuy
ên ngành điện, kiến thức còn
h
ạn chế v
à kinh nghiệm còn ít nên một số nội dung nghiên cứu còn chưa hoàn
thiện. Vì vậy rất mong nhận được sự đóng góp của các thầy giáo và các bạn.
Tôi xin chân thành c

ảm ơn!
5
Chương 1. CÁC KHÁI NIỆM CƠ BẢN VỀ ĐO LƯỜNG
Đ
ể phục vụ tốt cho việc cải tiến
optimet, ta c
ần xem xét t
ìm hiểu một số khái
ni
ệm cơ bản về đo lường mà dụng cụ đó
đ
ã
ứng dụng hoặc ta sẽ ứng dụng trong
quá trình c
ải tiến
nó.
1.1. Khái niệm đo lường
Đo lư
ờng một đại lượng vật lý là việc thiết lập quan hệ giữ
a đ
ại lượng đó
v
ới đại l
ượng cùng tính chất vật lý nào đó được dùng làm đơn vị đo hay một đại
lư
ợng tiêu chuẩn được quy ước. Thực chất của việc đo lường là so sánh đại lượng
c
ần đo với đ
ơn vị đo hay đại lượng tiêu chuẩn quy ước để tìm ra tỷ lệ giữa chúng,
tức là xác định độ lớn (theo đơn vị ) bằng trị số của đại lượng đo.

u
Q
q 
(1-1)
Trong đó : Q : Đ
ại l
ượng cần đo
;
U : Đơn v
ị đo.
N
ếu chọn đơn vị đo là u thì kết quả
đo là
uqQ .
. N
ếu chọn đơn vị đo là
u

u
thì k
ết quả đo là
uqQ

 .
.
T
ừ đó ta có hằng số quy đổi đơn vị
:
u
u

q
q
K




(1-2)
1.2. Phân lo
ại
các phương pháp đo
Phương pháp đo là cách th
ức thủ thuật để xác định thông số cần đo. Đó là
t
ập hợp mọi c
ơ sở khoa học có thể thực hiện phép đo, trong đo nói rõ nguyên tắc
đ
ể xác định thông số đo. Các nguyên tắc này có thể dựa trên mối quan hệ toá
n h
ọc
hay m
ối quan hệ vật lý có li
ên quan đến đại lượng đo.
Các phương pháp đo đư
ợc phân loại trên cơ sở:
 Quan h
ệ giữa đầu đo và chi tiết đo.
 Quan h
ệ giữa giá trị chỉ thị tr
ên dụng cụ đo và giá trị đại lượng đo.

 Quan h
ệ giữa đại l
ượng cần đo và đại lượng đ
ư
ợc đo.
6
1.2.1. Phân lo
ại t
heo quan h
ệ giữa đầu đo v
à chi tiết đo
D
ựa tr
ên quan hệ giữa đầu đo và chi tiết đo các phương pháp đo phân
thành :
 Phương pháp đo ti
ếp xúc.
 Phương pháp đo không ti
ếp xúc.
Phương pháp đo ti
ếp xúc là phương pháp đo mà giữa đầu đo và bề mặt
chi ti
ết
đo t
ồn tại một áp lực gọi là áp lực đo, áp lực này làm cho vị trí đo ổn định vì thế kết
qu
ả đo tiếp xúc rất ổn định.
Tuy nhiên, vì có áp l
ực đo sẽ gây biến dạng bề mặt vật
đo, nh

ất là các chi tiết làm b
ằng vật liệu mềm dẻo ho
ặc hệ đo kém cứng vữn
g.
Phương pháp đo không ti
ếp xúc là phương pháp đo không có áp lực đo giữa
y
ếu tố đo và bề mặt chi tiết đo. Chính vì vậy phương pháp này có những ưu điểm sau:
 Không gây bi
ến dạng bề mặt chi tiết đo, không gây sai số do biến
d
ạng bề mặt dưới tác dụng của lự
c đo.
 Không có sai số do mòn đầu đo.
 Không có sai s
ố đo gây nên bởi hình dáng bề mặt chi tiết đo làm chất
lư
ợng tiếp xúc của đầu đo và chi tiết đo không tốt.
 Không ch
ịu tác dụng của độ không ổn định lực đo.
 Có h
ệ số khuyếch đại lớn
nên sai s
ố nhỏ.
Nh
ờ nhữn
g ưu đi
ểm tr
ên làm cho phương pháp đo không tiếp xúc được sử
d

ụng rộng rãi trong thực tế. Đặc biệt là để đo các chi tiết mềm, mỏng dễ biến dạng
ho
ặc các sản phẩm y
êu cầu cao về chất lượng bề mặt.
1.2.2. Phân lo
ại t
heo quan h
ệ giữa giá trị chỉ thị và giá trị đại l
ư
ợng đo
D
ựa trên quan hệ giữa giá trị chỉ thị trên dụng cụ đo và giá trị của đại lượng
đo các phương pháp đo phân thành :
 Phương pháp đo tuy
ệt đối.
 Phương pháp đo so sánh.
Trong phương pháp đo tuy
ệt đối, giá trị chỉ thị trên đụng cụ đo là giá trị đo
đư
ợc.
Phương pháp đo này đơn gi
ản, ít nhầm lẫn, nh
ưng vì hành trình đo dài nên
đ
ộ chính xác đo kém.
7
Trong phương pháp đo so sánh, giá tr
ị chỉ thị tr
ên dụng cụ đo chỉ cho ta sai
l

ệch giữa giá trị của chuẩn dùng khi chỉnh "0" cho dụng cụ đo
và giá tr
ị của đại
lư
ợn
g c
ần đo
. K
ết quả đo phải l
à tổng của giá trị chuẩn và giá trị chỉ thị
:
0
Q Q x  
(1-3)
Trong đó: Q
0
- kích thước mẫu chỉnh "0" ;
x - giá tr
ị chỉ thị của dụng cụ.
Đ
ộ chính xác của phép đo
so sánh cao hơn c
ủa phép đo tuyệt đối v
à phụ
thu
ộc chủ yếu vào độ chính xác của mẫu và quá trình chỉnh "0".
1.2.3. Phân loại theo quan hệ giữa đại lượng cần đo và đại lượng được
đo
D
ựa tr

ên quan hệ giữa đại lượng cần đo và đại lượng được đo
các phương
pháp đo được phân thành :
 Phương pháp đo tr
ực tiếp.
 Phương pháp đo gián ti
ếp.
Phương pháp đo tr
ực tiếp
(đo th
ẳng)
là phương pháp đo mà đ
ại l
ượng đo
chính là đ
ại lượng
c
ần đo
.
Phương tr
ình c
ơ bản của phép đo là:
Q X
Trong đó: Q- Đại l
ượng th
ực cần đo ;
X- Ch
ỉ số của máy đo.
Phương pháp đo tr
ực tiếp có độ chính xác cao

nhưng trong m
ột số trường
h
ợp
kém hi
ệu quả.
Phương pháp đo gián ti
ếp
là phương pháp mà giá tr
ị của đại lượng cần đo
đư
ợc xác định
thông qua các m
ối quan hệ
hàm toán h
ọc hoặc vật lý giữa đại l
ượng
đư
ợc đo và đại lượng cần đo
. Phương pháp đo gián ti
ếp thông qua các mối quan hệ
toán h
ọc hoặc vật lý học giữa đại l
ượng được đo và đại lượng cần đo là
m phương
pháp đo phong phú, đa dạng và rất hiệu quả. Tuy nhiên, nếu h àm quan hệ càng
ph
ức tạp th
ì độ chính xác đo càng thấp.
Vi

ệc tính toán xử lý kết quả đo v
à độ chính
xác đo ph
ụ thuộc
nhi
ều
vào vi
ệc chọn mối quan hệ này.
8
Phương tr
ình c
ơ bản của phép đo gián tiếp là:
1 2
( , , , )
n
Q f x x x
(1-4)
Trong đó x
i
là các giá trị đo trực tiếp, có quan hệ hàm với đại lượng cần tìm Q.
1.3. Các nguyên t
ắc
cơ b
ản
trong đo lư
ờng
Trong khi thi
ết kế một phương án đo, lập qui trình để kiểm tra đo lường một
chi ti
ết, để đảm

b
ảo độ chính xác v
à chỉ tiêu kinh tế cho phép đo cần phải dựa t
rên
nh
ững nguyên tắc cơ bản được trình bày dưới đây.
1.3.1. Nguyên t
ắc Abbe
Nguyên tắc: Đường tâm của kích thước đo và đường tâm kích thước mẫu
(t
ức là thước đo) phải nằm trên cùng đường thẳng.
Trong khi đo có hai cách gá đặt kích thước đo và kích thước mẫu.
 Đ
ặt nối tiếp (nh
ư khi đo trên pan me)
.
 Đ
ặt song song (nh
ư khi đo trên thước cặp)
.
Đ
ặt nối tiếp kích thước đo và kích thước mẫu là phù hợp với nguyên tắc
Abbe. Có th
ể chứng minh được rằng cùng k
ích thư
ớc và sai số công nghệ của máy
đo (ví d
ụ khe hở, độ song song của sống trượt ) thì đặt kích thước theo nguyên tắc
Abbe s
ẽ cho sai số đo nhỏ hơn.

Trên Hình 1-1 bi
ểu diễn nguyên tắc đo kích thước trên thước cặp. Ta có thể
tính đư
ợc sai số lớn nhất phạm phải là:
f
1
= L - L
'
= S . tg
Tính g
ần đúng tg
 =  +

15
2
3
1
52
 
Với  nh
ỏ bỏ qua các số hạng bậc cao ta có tg
 , do đó: f
1
= S.
9
Hình 1-1. Nguyên t
ắc đo kích thước trên thước cặp.
Trư
ờng hợp kích thước đặt nối tiếp ta có thế lấy ví dụ đo trên pan me hay
Komparato ki

ểu Abbe (
Hình 1-2) bi
ểu diễn nguy
ên tắc đo và cho phép ta cách tính
toán sai s
ố phạm phải:
f
2
= L –L’ = L (1- cos).
Hình 1-2. Nguyên t
ắc đo kích thước trên panme (Komparao) kiểu Abbe.
Tính g
ần đúng cos
 =
2
1
2
1
22


Nên f
2
= L [ 1-(1
2
.)]
2
22

L

So sánh f
1
và f
2
th
ấy
r
ằng sai số f
1
l
ớn hơn
f
2
nhi
ều vì
 là góc l
ệch do khe
h
ở của sống trượt rất nhỏ nên sai số bậc 2 sẽ rất nhỏ.
10
1.3.2. Nguyên t
ắc xích truyền động ngắn nhất
Nói chung do h
ạn chế của tr
ình độ công nhân chế tạo, các chi tiết máy đều
mang sẵn sai số chế tạo ngoài ra khi lắp ráp còn có sai số do lắp rắp các sai số
trên s
ẽ ảnh h
ưởng trực tiếp đến chất lượng làm việc của từng khâu, nhóm chi tiết
và nói chung c

ả xích truyền của máy. Nếu xích truyền dài, số chi tiết, khâu khớp
tham gia s
ẽ c
àng
l
ớn v
à sai số tích luỹ sẽ
c
ủa
máy s
ẽ c
àng lớn. Bởi vậy trong thiết
k
ế nêu ra nguyên tắc xích truyền động ngắn nhất
, đó là: v
ới tỷ số truyền
yêu c
ầu,
gi
ảm đến mức ít nhất số khâu tham gia v
ào xích truyền để giảm sai số của máy.
1.3.3. Nguyên t
ắc chuẩn thống nhất
(trùng chu
ẩn)
Trong công ngh
ệ sản xuất phân ra:
 Chuẩn thiết kế (do người thiết kế dùng).
 Chu
ẩn gia công (cho người chế tạo dùng)

.
 Chu
ẩn lắp ráp
.
 Chu
ẩn kiểm tra (cho người kiểm tra dùg khi kiểm tra).
Nguyên t
ắc chuẩn thống nhất nêu là khi các chuẩn trên đượ
c dùng th
ống
nh
ất (chọn trùng nhau) thì sai số đo sẽ nhỏ nhất.
Đi
ều đó có thể giải thích như sau:
mỗi kích th
ước chi tiết thường có cho
dung sai. N
ếu vì lý do nào đó mà ta phải chuyển chuẩn thì bản thân chuẩn đã mang
trong đó dung sai c
ủa kích thước, dung
sai đó là sai s
ố chuyển chuẩn và nếu
chuy
ển chuẩn càng nhiều thì độ chính xác của kết quả đo càng kém.
Nguyên t
ắc chuẩn thống nhất là cần để đảm bảo độ chính xác khi kiểm tra
đo lư
ờng song cần phải giành ưu tiên cho công nghệ để tránh khó khăn phiền phức
cho s
ản xuất ảnh hưởng đến giá thành sản phẩm.

1.3.4. Nguyên t
ắc kinh tế
N
ội dung của nguy
ên tắc này là: Cần đảm bảo được độ chính xác đo lường
theo yêu c
ầu trong điều kiện kinh tế nhất, tức là yêu cầu về điều kiện kinh tế là thấp
nh
ất (đ
ơn giản, rẻ tiền) mà vẫn đ
ảm bảo độ chính xác đo l
ư
ờng yêu cầu. Cụ thể là:
 Đ
ộ chính xác máy (máy và dụng cụ đo) đủ dùng.
 Hi
ệu suất ca
o thao tác nhanh, d
ễ điều chỉnh, đo hàng loạt, tự động
.
 Trình
độ nhân viên đo lường kiểm tra thấp (có quan hệ tới tiền lương
11
ngư
ời kiểm tra).
 Thi
ết
b
ị phục vụ việc kiểm tra đo lường đơn giản, dễ chỉnh, rẻ tiền,
v

ạn năng, dễ mua, dễ chế tạo, có điều kiện tự trang tự chế.
 D
ựa v
ào thiết bị sẵn có của phòng thí nghiệm để đỡ tốn phí mua sắm thêm.
Trên đây đ
ã trình bày 4 nguyên tắc cơ bản trong đo lường nh
ằm đảm bảo
tính chính xác và tính kinh t
ế của việc kiểm tra đo l
ường. Tuỳ trường hợp cụ thể
c
ủa trình độ và nhịp độ sản xuất mà c
oi tr
ọng nguyên tắc nào. Tuỳ điều kiện kỹ
thu
ật v
à khó khăn của chế tạo và khả năng điều chỉnh có thể dùng những kết cấu
không hoàn toàn tôn tr
ọng các nguyên tắc trên.
1.4. Các nguyên lý chuy
ển đổi v
à khuếch đại trong đo lường
1.4.1. Khái ni
ệm chung
Công c
ụ thực hiện nhiệm vụ đo l
ường là các thiết bị đo, về nguyên lý cấu tạo
bao g
ồm các bộ phận chính sau
:

 B
ộ chuyển đổi dùng để tiếp nhận t
hông tin vào.
 B
ộ khuyếch đại thông tin.
 B
ộ chỉ thị để biểu đạt hoặc ghi nhận thông tin ra.
 Đ
ể đạt độ chính xác cao trong khi đo th
ì các bộ phận này cần phải đạt
nh
ững yêu cầu
sau:
 Chuy
ển đổi có độ nhạy giới hạn với độ ổn định cao.
 H
ệ số khuếch đại lớn.
 Thông tin chính xác, đ
ộ tin cậy cao, thông tin ra cần dễ ghi nhận v
à
quan sát.
Hình 1-3. Các b
ộ phận trong dụng cụ đo.
12
1. B
ộ chuyển đổi
B
ộ c
huy
ển đổi là một bộ phận cấu trúc đo dùng để

phát hi
ện biến thiên của
thông s
ố đo. Nếu đ
ưa tín hiệu vào
b
ộ
chuy
ển đổi l
à biến thiên kích thước X, ta
nh
ận được Y là thông tin ra của chuyển đổi để đưa vào bộ khuyếch đại. Nếu X
và
Y có cùng đ
ặc tính vật lý th
ì ta nói đó là chuyển đổi trực tiếp, nếu X
và Y khác
loại thì ta có chuyển đổi gián tiếp.
D
ựa v
ào cơ sở vật lý của các chuyển đổi người ta phân ra các loại chuyển
đ
ổi sau: chuyển đổi cơ, chuyển đổi điện, chuyển đổi quang hình quang lý, quang
đi
ện, chuyển đổi khí nén, chuyển đổi thuỷ lực, chuyển đổi
ti
ếp xúc, điện từ, điện
c
ảm, điện dung.

C
ảm biến l
à dụng cụ, ph
ần t
ử thực hiện việc chuyển đổi để phát hiện biến
thiên c
ủa thông số đo. Tùy thuộc cảm biến dựa trên nguyên lý chuyển đổi nào mà
có các tên g
ọi t
ương ứng như: cảm biến điện trở, cảm biến điệ
n c
ảm, cảm biến điện
dung, c
ảm biến điện áp
Trong ph
ần sau sẽ nói rõ về nguyên lý hoạt động của các
lo
ại cảm biến n
ày.
2. B
ộ khuếch đại
Thông tin Y t
ừ chuyển đổi ra thường là rất nhỏ và có th
ể là lo
ại tín hiệu
ph
ức tạp rất khó diễn đạt và ghi nhận ở bộ ch
ỉ thị, v
ì vậy phần khuếch đại và chế
bi

ến thông tin có nhiệm vụ truyền và chế biến nó thành dạng tín hiệu dễ diễn đạt và
ghi nh
ận bằng các thiết bị chỉ thị, ghi nhận
Ch
ất lượng của bộ khuếch đại và chế
bi
ến thông tin đ
ược đánh giá qua chỉ tiêu độ nhạy
và đ
ộ méo của thông tin ra Y
2
.
 N
ếu Y
1
và Y
2
cùng lo
ại ta có bộ khuếch đại không chuyển đổi tín
hi
ệu.
 N
ếu Y
1
và Y
2
khác lo
ại ta có bộ khuếch đại có chuyển đổi tín hiệu.
 N
ếu ta có quan hệ

Y
2
= f (Y
1
) thì
độ nhạy
1
f
K
Y



( 1-5)
 N
ếu f l
à quan hệ tuyến tính ta sẽ có K là hằng số.
13
 V
ấn đề méo tín hiệu ở đây không trình bày cụ thể vì rất phức tạp và
ph
ụ thuộc vào điều kiện cụ thể của mạch khuếch đại.
Trong b
ộ khuếch đại ngoài
b
ộ phận khuếch đại là chính
, tùy theo yêu c
ầu còn có các mạch sau
:
 Mạch tỉ lệ thực hiện một phép nhân (hoặc chia) với một hệ số K.

 M
ạch gia công v
à tính toán thực hiện các phép tính đại số như cộng,
trừ, nhân, chia, tích phân, vi phân
 M
ạch đạo hàm tạo ra những hàm số theo yêu cầ
u c
ủa phép đo nhằm mục
đích tuy
ến tính hóa các đặc tính của tín hiệu đo ở đầu ra các bộ phận cảm biến.
 M
ạch biến đổi A/D, D/A biến đổi tín hiệu đo tương tự thành tín hiệu
s
ố và ngược lại. Mạch này
thư
ờng được
s
ử dụng cho kỹ thuật đo số và chế tạo các
m
ạch
ghép n
ối với máy tính.
 M
ạch đo sử dụng kỹ thuật vi xử lý là mạch đo có cài đặt bộ vi xử lý để
t
ạo ra các cảm biến thông minh, khắc độ bằng máy tính v
à gia công sơ bộ số liệu đo
Thi
ết bị đo ngày càng hiện đại thì khối khuếch đại ngày càng phức tạp.
Ngư

ời
ta thư
ờng d
ùng nhiều loại mạch đo
khác nhau đ
ể ho
àn thành nhiều chức
năng, tăng đ
ộ nhạy và độ chính xác.
3. B
ộ chỉ thị
B
ộ chỉ thị có nhiệm vụ ghi lại kết quả đo được. Có nhiều loại thiết bị ghi tùy
theo lo
ại cảm biến, tính chất đo tĩnh hay động, mức độ chính
xác c
ần đạt được. Các
thi
ết bị ghi thường phân chia thành các loại
:
 Thi
ết bị chỉ thị.
 Thi
ết bị chỉ thị tự ghi.
 Thi
ết bị chỉ thị số.
B
ộ chỉ thị rất đa dạng, tùy vào ứng dụng cụ thể mà có thể có dạng khác
nhau, nó có th
ể l

à thiết bị chỉ thị kim, thiết bị h
i
ển thị tr
ên ống phóng điện tử, thiết
b
ị ghi trên băng giấy cuốn
14
1.4.2. Chuy
ển đổi c
ơ khí và phương pháp khuyếch đại cơ khí
1. Các chuy
ển đổi cơ khí
Chuyển đổi cơ khí thường dùng trong thực tế là chuyển đổi có tiếp xúc. Giả
s
ử
trong quá trình
đo, sự tiếp xúc g
i
ữa đầu đo và chi tiết đo không gây ra một sự
biến dạng nào, nghĩa là hệ cứng tuyệt đối thì khi kích thước L biến thiên một lượng
X = l thì tr
ục đo
(c
ụ thể l
à tiếp điểm A thuộc trục đo
) s
ẽ có một chuyển vị t
ương
ứng theo ph
ương bi

ến thiên của kích thước
đó lư
ợng Y =
l. Đây là m
ột chuyển
đ
ổi trực tiếp. Độ chính xác của chuyển đổi này phụ thuộc vào 2 yếu tố:
 Ch
ất lượng tiếp xúc của đầu đo và chi tiết đo.
 Bi
ến dạng của mặt chi tiết đo dưới tác dụng của lực đo và biến dạng
c
ủa c
ơ cấu chuyển đổi do lực phản t
ác d
ụng gây ra.
Hình 1-4. H
ệ thống đo cơ khí.
2. Các phương pháp khuy
ếch đại cơ khí
Optimet đ
ứng là dụng cụ đo kích thước thẳng theo phương pháp đo so sánh
v
ới mẫu chuẩn. Vì vậy
, theo hư
ớng cải tiến optimet, t
a ch
ỉ đề cập đến các phương
pháp khuy
ếch đại cơ khí kích thước thẳng.

a.Truy
ền động đòn bẫy
Dư
ới tác dụng của lực đo P các điểm A sẽ dịch tới A'
,
B t
ới B
'
. Ta có h
ệ số
khu
ếch đại của chuyển vị như sau:
15
a
b
OA
OB
s
S
K 
(1-6)
T
ừ công thức trên ta thấy hệ số khuyếch đại K phụ thuộc vào độ lớn của
tay
đ
òn
a và b. Vì v
ậy để tăng độ khuyếch đại ng
ười ta giảm a đến mức thấp nhất, thực
t

ế có thể đạt
K = 10
3
. K
ết cấu thực của các cánh tay đòn thường tạo với nhau
m
ột
góc nh
ất định. Hệ số khuyếch đại không phụ thuộc v
ào góc giữa hai cánh tay đòn
mà ch
ỉ phụ thuộc vào độ lớn của hai đòn.
Hình 1-5. Cơ c
ấu khuyếch đại bằng đ
òn bẫy.
b.Truy
ền động kiểu ăn khớp
Trong máy đo ngư
ời ta dùng nhiều truyền động kiểu ăn khớp như bánh răng
-
thanh răng, vít-đai ốc, kết hợp bộ truyền ăn khớp với bộ truyền đòn.
Hình 1-6. Cơ c
ấu truyền động kiểu ăn khớp.
Truyền động bánh răng-thanh răng dùng trong các đồng hồ đo chuyển vị.
Khi tr
ục đo di chuyển sẽ làm quay
Z
2
, Z
3

, Z
1
và kim R quay ch
ỉ thị chuyển vị trên
b
ảng chia
đ
ộ
. T
ỷ số truyền của đồng hồ là:
16
2
3
12
3
1
22
Z
Z
tZ
R
Z
Z
mZ
R
K 

( 1-7)
Trong đó: t - bước răng ;
m- môđun c

ủa
các bánh răng.
Có th
ể tăng K bằng cách tăng cấp truyền
, tuy nhiên ngư
ời ta chỉ dùng đến
hai c
ấp là cùng vì bánh răng chế tạo rất khó chính xác, chúng có sai số tích luỹ, bởi
th
ế nếu tăng nhiều cấp truyền sai số đo sẽ rất lớn. Thườ
ng ngư
ời ta tăng K bằng
cách k
ết hợp th
êm bộ truyền đòn
, lúc này K = K
1
. K
2
.
1.4.3. Chuyển đổi quang học
1. Các phương pháp chuy
ển đổi
Ứng dụng quang học trong kĩ thuật đo l
ường có nhiều ưu điểm, bởi vì tính
ch
ất của ánh sáng l
à truyền thẳng và không bị thay đổi t
ính ch
ất khi qua hệ thống

khu
ếch đại. Vì thế người ta có thể chế tạo ra các máy đo với độ chính xác rất cao
mà các h
ệ thống đo c
ơ khí không thể đạt được. Do đặc trưng riêng như vậy mà các
phương pháp chuy
ển đổi cũng rất khác nhau
, chúng bao g
ồm
:
a.Chuyển đổi quang hình
Ảnh của vật thể sau khi đi qua hệ thống thấu kính quang học đ
ược phóng đại
lên r
ất nhiều lần.
B
ằng các cách quan trắc khác nhau người ta đo được biến thiên
c
ủa kích thước ảnh, thường là đọc số trực tiếp biến thiên kích thước vật (chi tiết
đo). Chuy
ển đổi này có ưu điểm là có độ chính xác cao do có độ khuếch đại lớn, có
kh
ả năng đo các kích thước nhỏ, chi tiết phức tạp, mềm, không cần có sự tiếp xúc
nên không có sai s
ố do lực đo, sai số do bề mặt chi tiết đo
b.Chuy
ển đổi quang điện
17
Kích thư
ớ

c bi
ến thi
ên làm quay
gương ph
ản xạ đi một góc nào đó, tia
sáng ph
ản xạ
c
ũng bị xoay đi một góc
tương
ứng. Tia phản xạ chiếu lên các tế
bào quang đi
ện khác nhau sẽ đ
ưa ra tín
hiệu đo tương ứng. Tế bào quang điện
nh
ận đ
ược tia phản xạ sẽ đưa ra mức
đi
ện áp
đi
ều khiển, vị trí của tế bào
quang đi
ện nhận đ
ược sẽ tương ứng với
góc l
ệch gương, cũng là mức độ chuyển
v
ị của đầu đo.
Hình 1-7. Chuyển đổi quang điện.

c. Chuy
ển đổi laser
Lo
ại n
ày c
ó k
ết cấu giống nh
ư hệ
th
ống d
ùng quang điện
đ
ã nêu
ở trên
, ánh
sáng đư
ợc thay bằng ánh sáng laser có cường độ chiếu sáng lớn với tia chiếu rất
m
ảnh. Hệ thống tế b
ào quang điện được thay bằng đầu đọc ảnh (PSD hoặc CCD).
2. Các phương pháp khuy
ếch đại
Các phương pháp khuy
ếch đại
thường d
ùng
có th
ể là hệ thống khuếch đại
quang ho
ặc khuếch đại điện. Với hệ thống khuếch đại quang được dùng trong hệ

th
ống optimet đứng ta sẽ nghiên cứu sâu hơn trong mục sau.
Có th
ể nêu ra một số
phương pháp khu
ếch đại
sau :
 Phương pháp khu
ếch đại
đ
òn bẫy
–quang.
 Phương pháp khu
ếch đại
chi
ếu h
ình.
 Phương pháp khu
ếch đại
giao thoa.
18
1.4.4. Các phương pháp chuy
ển đổi
và khu
ếch đại điện
1. Chuy
ển đổi điện cảm
Nguyên tắc ứng dụng chuyển đổi điện cảm làm chuyển đổi đo lường như
sau: bi
ến thiên kích thước chi tiết sẽ được ch

uy
ển đổi thành biến thiên điện cảm L.
Đo biến thiên điện cảm ta có thể suy ra biến thiên kích thước.
a.Chuy
ển đổi điện cảm có khe hở không khí
Hình 1-8. Quan h
ệ trở kháng
– chuy
ển vị
trong chuy
ển đổi điện cả
m.
Đây là lo
ại
c
ảm biến không tiếp xúc, ứng dụng để đo các vật thể bằng kim
lo
ại có từ tính.
Cấu tạo gồm: Cuộn dây 1 quấn tr
ên lõi thép 2. Vật đo 3 di chuyển làm khe
h
ở không khí thay đổi l
àm thay đổi từ trở, dẫn đến điện cảm cuộn dây thay đổi làm
t
ổng tr
ở cuộn dây thay đổi. Do đó chuyển vị có quan hệ với điện cảm theo công
th
ức
 
 fZ

. Lo
ại cảm biến này dùng để đo chuyển vị từ
m
đ
ến
mm
.
Đ
ặc tính của chuyển đổi điện cảm có khe hở không khí thường
là phi tuy
ến
 
 fZ
ph
ụ thuộc v
ào tần số kích thích, tần số càng cao thì càng nhạy. Ta chỉ
ch
ọn khoảng đo nhất định
(δ trên Hình 1-8), v
ới khoảng đo
đó s
ẽ gần như tuyến
tính ho
ặc thực hiện tuyến tính hóa tín hiệ
u đó.
Khi đó cuộn dây có dòng điện xoay chiều đi qua thì tổng trở là:
 
2
2
2 RfLZ  

(1-8)
19
Trong đó Z: t
ổng trở cuôn dây (Ω)
;
F: T
ần số dòng xoay chiều (Hz)
;
L: Đi
ện cảm cuộn dây (H)
;
R: Đi
ện
tr
ở thuần (Ω).
Bi
ểu thức
 
fL2
th
ể hiện điện trở cảm ứng, đối với dây quấn chất l
ượng cao
thì tr
ở cảm ứng lớn h
ơn nhiều so với trở thuần. Khi đo coi như tổng trở Z phụ thuộc
tuy
ến tính vào điện cảm.
b.Chuyển đổi điện cảm có lõi chuyển động
K
ết cấu như một máy biến thế

đi
ện gồm 1 cuộn dây sơ cấp và 2 cuộn
th
ứ cấp. Dây có dạng ống để cho lõi
thép đi
ện từ có thể dịch chuyển bên
trong. Lõi thép
điện từ sẽ là môi trường
d
ẫn cho từ trường liên kết giữa các
cu
ộn dây. Khi ta nối hai đầu dây của
cu
ộ
n sơ c
ấp vào nguồn điện xoay chiều,
cu
ộn thứ cấp sẽ có dòng điện cảm ứng,
mô hình ho
ạt động như sau:
Hình 1-9. C
ấu tạo của cảm biến điện cảm
có lõi.
Hai cu
ộn thứ cấp được mắc nối tiếp nhau do đó điện thế
đ
ầu ra V
A
và V
B

ngư
ợc pha nhau, tổng điện thế đầu ra là V
A
– V
B
. N
ếu lõi thép đặt ở vị trí giữa, khi
đó V
A
và V
B
cùng giá tr
ị nh
ưng ngược dấu nên đầu ra bằng 0.
Khi lõi thép d
ịch chuyển về một phía (phía cuộn A), giá trị V
A
tăng và giá tr
ị
V
B
gi
ảm do
đó hi
ệu V
A
– V
B
thay đ
ổi phụ thuộc v

ào vị trí của lõi thép. Nếu ta biết
cư
ờng độ và pha của đi
ện th
ế ra thì có thể xác định được khoảng cách và hướng
d
ịch chuyển từ vị trí “0” ban đầu.
Giá tr
ị đầu ra l
à một hàm tuyến tính trong khoảng
đo, ngoài kho
ảng này
thì không tuy
ến tính nữa.
20
Trong th
ực tế để mở rộng khoảng đo, ng
ười ta ghép nối tiếp các cuộn dây với
nhau, khi đó giá tr
ị đo vẫn đảm bảo tuyến tính trong khoảng rộng.
2. Chuy
ển đổi
đi
ện dung
Công c
ụ chuyển đổi điện dung l
à tụ điện. Chuyển vị cần đo là hàm
s
ố của sự
thay đ

ổi điện dung của cảm biến. Công thức tính điện dung của một tụ điện cơ bản
là:

 S
C
.

(1-9)
Trong đó: ε – hằng số điện môi của môi tr
ư
ờng
;
S – di
ện tích hai cực
;
δ – khoảng cách khe hở hai cực.
Trong môi trư
ờng đồng nhất thì hằng số điện môi là không đổi, vậy điện
dung ch
ỉ phụ thuộc v
ào hai đại lượng S và δ.
C
ấu hình đơn giản nhất của một
c
ảm biến
đo kho
ảng cách là hai tấm đặt song
song nhau v
ới một khe hở nhỏ. Điện dung
c

ủa
c
ảm biến
là t
ỷ lệ của tiết diện của
điện cực, hằng số điện môi hoặc khoảng cách giữa hai bản cực. Do đó, cảm biến
đi
ện dung có thể đ
ược dùng để đo chính xác khoảng cách, hoặc các đại lượng gián
ti
ếp khác như: áp suất, gia tốc, mức chất lỏng…
Hình 1-10. Hai d
ạng hoạt động của sensor điện dung.
21
Hai bi
ến khoảng cách v
à diện tích được dùng để đo góc,
kích thư
ớc
th
ẳng.
Kho
ảng cách thay đổi của hai tấm phẳng đặt song song thường áp dụng để xác định
s
ự dịch ch
uy
ển nếu khoảng cách đó thay đổi nhỏ h
ơn kích thước của bản cực. Khi
kho
ảng cách tăng lên đến kích thước của bản cực thì độ chính xác của phép đo thay

đ
ổi do mức tín hiệu giảm mạnh
, do đó d
ựa v
ào sự thay đổi tiết diện thường dùng
hơn. Khi hai bản cực trượt trên nhau sẽ làm thay đổi điện dung tuyến tính với sự
d
ịch chuyển đó. Sử dụng bộ chuyển đổi điện kháng
-đi
ện áp ta có thể đo đ
ược điện
dung c
ủa hệ thống, điện dung được chuyển thành điện áp cho các quá trình xử lý
ti
ếp theo.
Hình 1-11. B
ộ chuyển đổi trở kháng
– đi
ện áp khi l
àm việc gần tần số cộng hưởng.
C
ảm biến
đi
ện dung được kích thích với bộ dao động tần số cao gần tần số cộng
hư
ởng của mạch để trở kháng điện giảm thấp nhất
nh
ằm
tăng đ
ộ nhạy

khi đo kho
ản
g
cách là l
ớn nhất.
Tần số cộng h
ưởng của bộ chuyển đổi phụ thuộc vào các tham số hình
học của cảm biến và trở kháng mắc nối tiếp Zs. Trở kháng mắc nối tiếp phải đủ lớn để
đo đư
ợc khoảng cách lớn nhất.
Sau khi đi
ều chế điện áp ra
ta thu đư
ợc điện áp ra U.
Hình 1-12 mô t
ả các mức tín hiệu tại các tần số kích thích khác nhau.
Ho
ạt động của cảm biến
quan h
ệ với sự thay đổi điện dung/trở kháng trong
kho
ảng hiệu chỉnh của vật đo. Khoảng đo được mở rộng với tần số kích
thích, trong
khi đ
ộ nhạy của
c
ảm biến
l
ại giảm đi theo tần số kích thích. Tại tần số cộng hưởng,
giá tr

ị điện áp ra thay đổi từ 6 V/mm đến 12V/mm trong khoảng đo là 4mm.
Giá tr
ị
22
đi
ện áp ra thay đổi từ 21 V/mm đến 97 V/mm tại tầ
n s
ố 28Khz để đo khoảng nhỏ
1mm, do đó c
ảm biến
có đ
ộ nhạy rất cao. Với độ phân giải khoảng 0
,5nm đ
ể đo
d
ịch chuyển có thể thực hiện đ
ược khi tần số kích thích gần với tần số cộng hưởng.
Hình 1-12. Đi
ện áp của
c
ảm biến
khi g
ần giá trị cộng h
ưởng 30.4Khz
v
ới
kho
ảng cách thay đổi.
Để tăng khoảng đo và cải thiện độ tuyến tính của cảm biến, tần số kích thích
và m

ạch xử lý tín hiệu phải đồng bộ.
Đồng bộ tần số kích thích cho một c
ảm biến
m
ẫu trên hình là 30
,8Khz, trư
ờng hợp này độ nhạy
c
ảm biến
thay đ
ổi từ 7
,1 đ
ến
7,2
và đ
ộ tuyến tính 0
,05% là có th
ể đạt đ
ược bằng cách đồng bộ tần số kích thích, kết
c
ấ
u c
ảm biến
và m
ạch xử lý tín hiệu.
23
Chương 2. NGUYÊN LÝ CẤU TẠO OPTIMET Đ
ỨNG
ИКВ
2.1. Cấu tạo và nguyên lý ho

ạt động của optimet
ИКВ
Optimet đ
ứng
ИКВ đư
ợc d
ùng để đo các kích thước bên ngoài của các chi
ti
ết được chế tạo chính xác bằng cách so sánh nó với kích thước
c
ủa căn mẫu, hoặc
dùng đ
ể đo đ
ường kính của dây nhỏ, đường kính viên bi và các tấm mỏng có các
m
ặt song song
2.1.1. C
ấu tạo của optimet đứng
ИКВ
Các b
ộ phận chính của Optimet
ИКВ bao g
ồm
:
1. Ph
ần thân
Ph
ần thân giá
1(Hình 2-1) đư
ợc đ

úc b
ằng gang, có khối lượng lớn nhằm tạo
đ
ộ cứng vững và chống rung động. Phần đế dạng đĩa độ dày 13mm được đúc đặc và
li
ền khối với bộ phận mang bàn đo. Phần sau được liên kết cứng với
tr
ụ
đ
ứng, trên
tr
ụ
có ren thang đ
ể điều chỉnh độ cao của đầu đo bằng đ
ai
ốc 2.
L
ỗ trụ mang bàn đo được chế tạo thẳng góc với mặt phẳng ngang, khoảng
cách gi
ữa lỗ trụ và
tr
ụ
đ
ứng là 100mm. Lỗ trụ mang bàn đo có đường kính 24mm
b
ề mặt bên trong được gia công
nh
ẵn bóng
đ
ể thân bàn đo xoay dễ dàng,

có ph
ần
khoang r
ỗng để bố trí
lò xo ép bàn
đo và lắp các cơ cấu hãm. Vít hãm 4 bắt xuyên
qua tr
ục bàn đo dùng để hãm chặt thân bàn đo với
ph
ần
thân giá. Đ
ể điều chỉnh độ
cao c
ủa bàn đo, thân bàn đo
đư
ợc
g
ối lên vít chỉnh 3, lực nén
đ
ể ép thân bàn đo lên
vít 3 luôn đư
ợc đảm bảo nhờ c
ơ c
ấu l
ò xo bên trong. Khi
điều chỉnh vít 3
(bư
ớc ren
1mm) s
ẽ làm thân bàn đo dịch chuyển lên xuống theo phương thẳng đứng.

Bàn đo 8 đư
ợc đặt tr
ên ba điểm đỡ, một là viên bi thép Φ10 (cố định),
hai
đi
ểm còn lại là vít chỉnh 6. Vít chỉnh 6 ăn khớp với phần ren
đư
ợc tạo ngay trên
thân bàn đo, vít ch
ỉnh 6 đ
ược khoét rỗng để lồng vít hãm 7
. Khi mu
ốn điều chỉnh
đ
ộ phẳng
c
ủa bàn đo
, ta ch
ỉnh độ cao của các vít chỉnh
6 sau đó v
ặn chặt vít hãm
7
đ
ể
c
ố định
l
ại
.
24

Hình 2-1. C
ấu tạo optimet đứng.
Tr
ụ
đ
ứng có
ren thang đư
ờng kính
ngoài Φ50 trên toàn b
ộ chiều d
ài. Đai ốc 2
có tác d
ụng chỉnh độ cao của đầu đo theo chiều dọc trục, được đỡ bằng bộ đỡ 16.
B
ệ đỡ đầu đo 9 có thể tr
ượt dọc trên
tr
ụ
đ
ứng
v
ới
l
ỗ đ
ường kính Φ50. Vít hã
m 10
dùng đ
ể bắt chặt ng
àm
k

ẹp
v
ới
tr
ụ
đ
ứng.
L
ỗ lắp đầu đo có đ
ường kính
29.
25
2. Đ
ầu đo
Đ
ầu đo là một kết cấu hệ quang cơ
, h
ệ thống quang
-cơ c
ủa dụng cụ được đặt
trong m
ột ống hình thước thợ
. Đ
ể tạo lực đo là 2
 0,2 N thì
đầu đo luôn bị kéo về
phía dư
ới nh
ờ một l
ò xo.

Đ
òn b
ẩy 14 dùng để nhấc đầu đo khi đưa chi tiết cần đo
vào hay l
ấy chi tiết ra.
Gương ph
ản xạ 12 d
ùng để phản chiếu ánh sáng mặt trời hoặc ánh sáng từ
đèn chiếu dùng để chiếu sáng thước chia độ. Ngoài ra còn có hệ thống đèn chiếu
sáng bên trong (ngu
ồn 1
27/220V xoay chi
ều) để chiếu sáng th
ước vạch, hoặc
đư
ợc
chi
ếu sáng bằng
h
ệ thống gương chiếu
ánh sáng ngoài.
3. H
ệ thống quang học của máy
Hình 2-2. C
ấu tạo phần quang của optimet
đ
ứng.
H
ệ thống qua
ng h

ọc thực tế là
m
ột kính hiển vi để quan sát giá trị đ
ã
v
ạch trên
kính chu
ẩn
. C
ấu tạo của hệ
th
ống quang học gồm các bộ phận sau:
Gương nh
ận ảnh 3 có liên hệ với
đ
ầu đo 2, khi đầu đo dịch chuyển thì
gương 3 nghiêng đi m
ột góc
 tương
ứng. Ảnh của kích thư
ớc chia sẽ hiện
lên trong màn
ảnh nằm trên mặt tiêu cự
c
ủa vật kính 4. Hệ thống chiếu sáng có
màn ch
ắn 7 và lăng kính 8 đặt trong
h
ộp thị kính. Trên kính chuẩn 6 có
thư

ớc chia vạch và các con số, nó được
đ
ặt trong mặt tiêu cự của vật kính. Hệ
th
ấu kính
9 có tác d
ụng như kính hiển
vi đ
ể quan sát vạch chia. Lăng kính 5
dùng đ
ổi h
ướng tia sáng để đến mắt
ngư
ời quan sát.