TỰ ĐỘNG hóa QUÁ TRÌNH CÔNG NGHỆ điều KHIỂN QUÁ TRÌNH sản XUẤT

TRƯỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHIỆP TP.HCM
KHOA CÔNG NGHỆ ĐIỆN

TIỂU LUẬN
MÔN: TỰ ĐỘNG HÓA QUÁ TRÌNH CÔNG NGHỆ
ĐỀ TÀI : ĐIỀU KHIỂN QUÁ TRÌNH SẢN XUẤT
GVHD: NGUYỄN ĐỨC TOÀN
NHÓM SVTH:NGÔ QUỐC PHƯƠNG
LỚP: DHDI6A
GIỚI THIỆU
Trong các hệ thống tự động ,cảm biến đóng vai trò hết sức quan trọng vì nó là thiết bị cung cấp thong tin
của quá trình điều khiển cho bộ điều khiển để bộ diều khiện đưa ra quyết định phù hợp . Có thể so sánh
các cảm biến trong hệ thống điều khiển tự động như là những giác quan của con người.cảm biến được
định nghĩa như một thiết bị dùng để cảm nhận và biến đổi các đại lượng vật lý và các đại lượng không
mang tính chất điện thành các đại lượng điện có thể đo được.nhờ các tiến bộ của khoa học và công nghệ
trong lĩnh vực vật liệu, thiết bị điện tử và tin học, các cảm biến đã được giảm thiểu kích thước, cải thiện
tính năng và ngày càng mở rộng phạm vi ứng dụng. Giờ đây không có một lĩnh vực nào mà
ở đó không sử dụng
cảm biến.Chúng có mặt trong các hệ thống tự động phức tạp,
người máy, kiểm tra chất lượng sản phẩm, tiết kiệm
năng lượng, chống ô nhiễm môi trường. Cảm biến cũng được ứng dụng rộng rãi trong lĩnh vực giao thôngvậntải, sản
xuất hàng tiêu dùng, bảo quản thực phẩm, sản xuất ô tô Bởi vậy trang bị những kiến thức cơ bản về cảm biến trở thành
một yêu cầu quan trọng đối với các cán bộ kỹ thuật.
khái niệm
Cảm biến là thiết bị dùng để cảm nhận biến đổi các đại lượng vật lý và các đại
lượng không có tính chất điện cần
đo thành các đại lượng điện có thể đo và xử lý được.
Các đại lượng cần đo (m) thường không có tính chất điện
(như nhiệt độ, áp suất ) Tác động lên cảm biến cho ta một đặc trưng (s) mang tính chất điện (như điện tích, điện áp,
dòng điện hoặc trở kháng) chứa đựng thông tin cho phép xác định giá trị của đại lượng đo. Đặc trưng (s) là hàm của đại
lượng cần đo (m): s =f(m) .người ta gọi (s) là đại lượng đầu ra hoặc là phản ứng của cảm biến, (m) là đại lượng đầu

vào hay kích thích (có nguồn gốc là đại lượng cần đo). Thông qua đo đạc (s) cho phép nhận biết giá trị của (m).
Độ nhạy của cảm biến: đối với cảm biến tuyến tính, giữa biến thiên đầu ra δs và biến thiên đầu vào δm có sự liên hệ
tuyến tính: δs=sδm gọi s là độ nhạy của cảm biến ta có:
0m m
X
S
m
−>
∆
 
=
 ÷
∆
 
V
1: PHÂN LOẠI CẢM BIẾN
Các bộ cảm biến được phân loại theo các đặc trưng cơ bản sau đây:
- theo nguyên lý chuyển đổi giữa đáp ứng và kích thích
Hiện tượng vật lý:nhiệt điện, quang điện, quang từ ,điện từ, quang đàn hồi ,từ điện, nhiệt từ…
Hiện tượng hóa học: biến đổi hóa học , biến đổi điện hóa , phân tích phổ…
Hiện tượng sinh học : biến đổi sinh hóa, biến đổi vật lý, hiệu ứng trên cơ thể sống…
-phân loại theo dạng kích thích
Âm thanh:biên pha , phân cực , tốc độ truyền song
Điện: điện tích, dòng điện ,điện thế, điện áp, điện trường (biên, pha, phân cực, phổ), điện dẫn, hằng số điện môi
Từ: từ trường (biên, pha, phân cực, phổ) ,từ thông, cường độ từ trường, độ từ thẩm
Quang: biên, pha, phân cực, phổ ,tốc độ truyền, hệ số phát xạ, khúc xạ , hệ số hấp thụ, hệ số bức xạ
Cơ: lực, áp suất, gia tốc, vận tốc ,ứng suất, độ cứng, mô men , khối lượng, tỉ trọng, vận tốc chất lưu, độ nhớt
Nhiệt: nhiệt độ, thông lượng, nhiệt dung, tỉ nhiệt
Bức xạ: kiểu, năng lượng, cường độ
- phân loại theo thông số của mô hình mạch thay thế :

+ cảm biến tích cực có đầu ra là nguồn áp hoặc nguồn dòng.
+ cảm biến thụ động được đặc trưng bằng các thông số r, l, c, m Tuyến tính hoặc phi tuyến.
2: NGUYÊN LÝ CHUNG CHẾ TẠO CẢM BIẾN
Các cảm biến được chế tạo dựa trên cơ sở các hiện tượng vật lý và được phân làm hai loại:
-cảm biến tích cực: là các cảm biến hoạt động như một máy phát, đáp ứng (s)
Là điện tích, điện áp hay dòng.
Cảm biến thụ động: là các cảm biến hoạt động như một trở kháng trong đó
đáp ứng (s) là điện trở, độ tự cảm hoặc điện dung.
Nguyên Lý Chế Tạo Các Cảm Biến Tích Cực
Các cảm biến tích cực được chế tạo dựa trên cơ sở ứng dụng các hiệu ứng vật lý biến đổi một dạng năng lượng nào đó
(nhiệt, cơ hoặc bức xạ) thành năng lượng điện
Nguyên Chế Tạo Cảm Biến Thụ Động
Cảm biến thụ động thường được chế tạo từ một trở kháng có các thông số chủ yếu nhạy với đại lượng cần đo. Giá trị của
trở kháng phụ thuộc kích thước hình học, tính chất điện của vật liệu chế tạo (như điện trở suất ρ, độ từ thẩm μ, hằng số
điện môi ε). Vì vậy tác động của đại lượng đo có thể ảnh hưởng riêng biệt đến kích thước hình học, tính chất điện
hoặc đồng thời cả hai.
3: MỘT SỐ HIỆU ỨNG VẬT LÝ KHI CHẾ TẠO CẢM BIẾN
3.1: Hiệu Ứng Nhiệt Điện
Hai dây dẫn (m
1
) và (m
2
) có bản chất hoá học khác nhau được hàn lại với nhau thành một mạch điện kín, nếu nhiệt độ
ở hai mối hàn là t
1
và t
2
khác nhau, khi đó trong mạch xuất hiện một suất điện động e(t
1
, t

2
) mà độ lớn của nó phụ
thuộc chênh lệch nhiệt độ giữa t
1
và t
2
.
hiệu ứng nhiệt điện được ứng dụng để đo nhiệt độ t
1
khi biết trước nhiệt độ t
2
, thường chọn t
2
= 0
o
c.
3.2: Hiệu Ứng Hoả Điện
một số tinh thể gọi là tinh thể hoả điện (ví dụ tinh thể sulfate triglycine) có tính phân cực điện tự phát với độ phân
cực phụ thuộc vào nhiệt độ, làm xuất hiện trên các mặt đối diện của chúng những điện tích trái dấu. Độ lớn của điện áp
giữa hai mặt phụ thuộc vào độ phân cực của tinh thể hoả điện.Hiệu ứng hoả điện được ứng dụng để đo thông lượng của
bức xạ ánh sáng. Khi ta chiếu một chùm ánh sáng vào tinh thể hoả điện, tinh thể hấp thụ ánh sáng và nhiệt độ của nó
tăng lên, làm thay đổi sự phân cực điện của tinh thể. Đo điện áp v ta có thể xác định được thông lượng ánh sáng φ.
3.4: Hiệu Ứng Áp Điện
một số vật liệu gọi chung là vật liệu áp điện (như thạch anh chẳng hạn) khi bị biến dạng dước tác động của lực cơ học,
trên các mặt đối diện của tấm vật liệu xuất hiện những lượng điện tích bằng nhau nhưng trái dấu, được gọi là hiệu
ứng áp điện. Đo v ta có thể xác định được cường độ của lực tác dụng f.
3.5: Hiệu Ứng Cảm Ứng Điện Từ
khi một dây dẫn chuyển động trong từ trường không đổi, trong dây dẫn xuất hiện một suất điện động tỷ lệ với từ thông
cắt ngang dây trong một đơn vị thời gian, nghĩa là tỷ lệ với tốc độ dịch chuyển của dây. Tương tự như vậy, trong một
khung dây đặt trong từ trường có từ thông biến thiên cũng xuất hiện một suất điện động tỷ lệ với tốc độ biến thiên của từ

thông qua khung dây.Hiệu ứng cảm ứng điện từ được ứng dụng để xác định tốc độ dịch chuyển của vật thông qua việc đo
suất điện động cảm ứng
3.6: Hiệu Ứng Quang Điện
Hiệu ứng quang dẫn: (hay còn gọi là hiệu ứng quang điện nội) là hiện tượng giải phóng ra các hạt dẫn tự do trong vật
liệu (thường là bán dẫn) khi chiếu vào chúng
một bức xạ ánh sáng (hoặc bức xạ điện từ nói chung) có bước sóng
nhỏ hơn một ngưỡng nhất định.
Hiệu ứng quang phát xạ điện tử: (hay còn gọi là hiệu ứng quang điện ngoài) là hiện
tượng các điện tử được giải phóng và thoát khỏi bề mặt vật liệu tạo thành dòng có thể thu lại nhờ tác dụng của điện
trường.
3.7: Hiệu Ứng Quang - Điện - Từ
khi tác dụng một từ trường b vuông góc với bức xạ ánh sáng, trong vật liệu bán
dẫn được chiếu sáng sẽ xuất hiện
một hiệu điện thế theo hướng vuông góc với từ trường b và hướng bức xạ ánh sáng.
3.8:Hiệu Ứng Hall
Khi đặt một tấm mỏng vật liệu mỏng (thường là bán dẫn), trong đó có dòng điện chạy qua, vào trong một từ trường b
có phương tạo với dòng điện i trong tấm một góc θ, sẽ xuất hiện một hiệu điện thế v
h
theo hướng vuông góc với b và i.
Biểu thức hiệu điện thế có dạng:
V
h
=k
h
ibsinθ
trong đó k
h
là hệ số phụ thuộc vào vật liệu và kích thước hình học của tấm vật liệu
4: MẠCH ĐO
Mạch đo bao gồm toàn bộ thiết bị đo (trong đó có cảm biến) cho phép xác định chính xác giá trị của đại lượng cần đo

trong những điều kiện tốt nhất có thể. Ở đầu vào của mạch, cảm biến chịu tác động của đại lượng cần đo gây nên tín
hiệu điện mang theo thông tin về đại cần đo.
Ở đầu ra của mạch, tín hiệu điện đã qua xử lý được chuyển đổi sang
dạng có thể đọc
được trực tiếp giá trị cần tìm của đại lượng đo. Việc chuẩn hệ đo đảm bảo cho mỗi giá trị của
chỉ thị đầu ra tương ứng với một giá trị của đại lượng đo tác động ở đầu vào của mạch. Dạng đơn giản của mạch đo
gồm một cảm biến, bộ phận biến đổi tín hiệu và thiết bị chỉ thị,
Một số phần tử cơ bản của mạch đo
4.1: Bộ Khuếch Đại Thuật Toán (Kđtt)
Bộ khuếch đại thuật toán mạch tích hợp là bộ khuếch đại dòng một chiều có hai đầu vào
và một
Đầu ra chung, thường gồm hàng trăm tranzito và các điện trở, tụ điện ghép nối với nhau
Các đặc tính cơ bản của bộ khuếch đại thuật toán:
- bộ khuếch đại có hai đầu vào: một đầu đảo (-), một đầu không đảo (+). - điện trở vào rất lớn, cỡ hàng trăm mω đến gω.
- điện trở ra rất nhỏ, cỡ phần chục ω.
- điện áp lệch đầu vào rất nhỏ, cỡ vài nv.
- hệ số khuếch đại hở mạch rất lớn, cỡ 100.000. - dải tần làm việc rộng.
Hệ số suy giảm theo cách nối chung cmrr là tỷ số hệ số khuếch đại của bộ khuếch
Đại thuật toán đối với các tín hiệu sai lệch và hệ số khuếch đại theo cách nối chung của cùng bộ khuếch đại thuật toán.
Thông thường cmrr vào khoảng 90 db.
- tốc độ tăng hạn chế sự biến thiên cực đại của điện áp tính bằng v/μs.
4.2: Bộ Khuếch Đại Đo Lường Ia
bộ khuếch đại đo lường ia có hai đầu vào và một đầu ra. Tín hiệu đầu ra tỷ lệ với hiệu của hai điện áp đầu vào:
4.3: Khử Điện Áp Lệch
đối với một bộ khuếch kđtt lý tưởng khi hở mạch phải có điện áp ra bằng không khi hai đầu vào nối mát. Thực tế vì
các điện áp bên trong nên tạo ra một điện áp nhỏ (điện áp phân cực) ở đầu vào kđtt cỡ vài mv, nhưng khi sử dụng
mạch kín điện áp này được khuếch đại và tạo nên điện áp khá lớn ở đầu ra. Để khử điện áp lệch có thể sử dụng sơ đồ
hình 2.11, bằng cách điều chỉnh biến trở r .
4.4: Mạch Lặp Lại Điện Áp
Để lặp lại điện áp chính xác, người ta sử dụng bộ kđtt làm việc ở chế độ không đảo với hệ số khuếch đại bằng 1 sơ

đồ như hình 2.12. Trong bộ lặp điện áp, cực dương của kđtt được nối trực tiếp với tín hiệu vào, còn cực âm được nối
trực tiếp với đầu ra, tạo nên điện áp phản hồi 100% do đó hệ số khuếch đại bằng 1. Mạch lặp điện áp có chức năng
tăng điện trở đầu vào, do vậy thường dùng để nối giữa hai khâu trong mạch đo.
4.5: Mạch Cầu
Cầu wheatstone thường được sử dụng trong các mạch đo nhiệt độ, lực, áp suất, từ trường Cầu gồm bốn điện trở r1,
r2, r3 cố định và r4 thay đổi (mắc như hình 2.13) hoạt động như cầu không cân bằng dựa trên việc phát hiện điện áp
qua đường chéo của cầu.
5: CẢM BIẾN VÀ ỨNG DỤNG
5.1: Cảm Biến Quang:
Tế bào quang dẫn: tế bào quang dẫn là một loại cảm biến quang dựa trên hiện tượng quang dẫn do kết quả của hiệu ứng
quang điện bên trong.đó là hiện tượng giải phóng các hạt tải điện trong vật liệu bán dẫn dưới tác dụng của ánh sáng các
tính chất của tế bào quang dẫn:
Điện trở vùng tối rco phụ thuộc vào hình dạng , kích thước , nhiệt độ và bản chất lý hóa của vật liệu . Các chất pbs, cds,
cdse có điện trở vùng tối caotrong khi đó sbin , abss, cdhgte, có điện trở vùng tối tương đối nhỏ. Khi được chiếu sáng
điện trở của vùng tối giảm xuống rất nhanh quang hệ giữa điện trở vùng tối và độ rọi sáng:
y
C
R a
−
= Φ
Trong đó a là hằng số phụ thuộc vào liệu ,0.5<y<1
Ứng dụng cuả tế bào quang dẫn: tế bào quang dẫn thường được dùng để đo thông lượng ánh sáng ,kết hợp với nguồn
sáng để dò vạch dẫn đườngcho các mobile robot đọc mã vạch phát hiện đầu bang trắng điều khiển đóng ngắt relay theo
ánh sáng
5.2:Photo Diode
Cấu tạo của photo diode: photo diode là một tiếp dáp p-n được tạo bởi các vật liệu như: ge, si ( cho vùng ánh sáng trông
thấy và gần hồng ngoại),gaas,inas,cdhgte,insb cho vùng ánh sáng hồng ngoại
Nguyên lý làm việc của photo diode: khi chiếu lên bề mặt của photo diode bằng bức xạ có bước sóng nhỏ hơn bước sóng
ngưỡng
n

λ λ
<
sẽ xuất hiện thêm các cặp điện tử và lỗ trống. Để các hạt này có thể tham gia vào độ dẫn và làm tang
dòng điện i ta cần phải ngăn quá trình tái hợp của chúng nghĩa là phải nhanh chống tách cặp điện tử lỗ trống dưới tác
dụng của điện trường quá trình này chỉ xảy ra trong vùng nghèo và làm tang dòng điện ngược.
Photo dipde làm việc ở hai chế độ:
Chế độ quang dẫn photo diode được phân cực ngược bởi nguồn suất điện động e
Chế độ quang thế : không có điện áp ngoài đặt vào diode, photo diode làm việc như một nguồn dòng.
Ứng dụng của photo diode photo diode có thể dùng để đo thông lượng ánh sáng, do vạch dẫn đường cho mobile robot,
làm đầu thu trong các bộ điều khiển từ xa không day đọc mã vạch
Photo transistor:
Cấu tạo và nguyên lý hoạt động
Photo transistor là transistor silic loại npn mà vùng bazo có thể được chiếu sáng. Khi khộng có điện áp đặt lên bazo chỉ
có điện áp đặt lên collector chuyển tiếp bc được phân cực ngược, điện áp đặt vào e hầu như tập chung toàn bộ trên
chuyển tiếp b-c trong khi đó sự trên lệch điện thế giữa emitter và bazo là không đáng kể
0.7( )
BE
V V=
. Khi chuyển
tiếp b-c được chiếu sáng nó hoạt động như một photo diode ở chế độ quang dẫn với dòng điện ngược
r O P
I I I
= +
O
I
là dòng điện ngực khi không được chiếu sáng,
P
I
là dòng quan điện khi có quang thông
r

I
đóng vai trò như dòng bazo , nó sẽ gây ra dòng collector ic:
( )
1
C r
I I
β
= +
Ứng dụng của transistor quang: transistor có thể dùng để đo thông lượng ánh sáng, dò vạch dẫn đường cho mobile robot,
làm đầu thu trong các bộ điều khiển từ xa không dây, đọc mã vạch chế tạo các cảm biến quang trong công nghiệp…
5.3: CẢM BIẾN QUANG TRONG CÔNG NGHIỆP
Cấu tạo : cảm biến gồm phần phát và phần thu:
Phần phát gồm một led phát hồng ngoại hoặc một led phát laser có vai trò như một nguồn phát sáng được đặt ngay tại
tiêu điểm của thấu kính hội tụ phát nhằm mục đích tạo ra chùm tia sáng hẹp để chiếu đến phần thu.
Phần thu gồm một transistor quang đặt ngay tại tiêu điểm của thấu kính hội tụ thu nhập mục đích tập trung ánh sáng rọi
vào trên transistor.transistro quang thu được nối vào mạch ra để tạo mức logic ở ngõ ra.
Ứng dụng của cảm biến quang: dùng để xác định vật thễ tại một vị trí định trước như:dùng làm cảm biến phát hiện sản
phẩm trong các hệ thống đếm sản phẩm và đóng thùng sản phẩm,phát hiện có vật cản ngay trước cửa của các thang
máy, phát hiện chấm đen ở đầu các bao bì trong các hệ thống đóng gói sản phẩm, dùng đo tốc độ đông cơ…
5.4: CẢM BIẾN LÂN CẬN
Cảm Biến Lân Cận Dạng Điện Cảm: đầu phát hiện gồm một cuộn dây quấn trên lõi sắt từ có nhiệm vụ tạo ra từ trường
biến thiên trong không gian phía trước , mạch dao động có nhiệm vụ tạo dao động điện từ tần số radio, mạch phát hiện
mức dùng để so sánh biên độ tín hiệu của mạch dao động, mạch ngõ ra dùng để tạo mức logic cho tín hiệu ngõ ra của
cảm biến.
Nguyên lý hoạt động của cảm biến lân cận dạng điện cảm:
Khi có mục tiêu cần phát hiện bằng kim loại tới gần cảm biến , từ trường biến thiên do mạch dao động gây ra tập trung ở
lõi sắt sẽ gây nên một dòng điện xoáy trên bề mặt của đối tượng. Dòng điện xoáy sinh ra trên bề mặt đối tượng tạo nên
một tải làm giảm biên độ tín hiệu của mạch dao động.Khi biên độ của tín hiệu dao động nhỏ hơn một ngưỡng định trước
mạch phát hiện mức sẽ tác động mạch ngõ ra để đặt trạng thái ngõ lên on. Khi đối tượng rời khỏi vùng từ trường cảm
biến, biên độ tín hiệu ở mạch dao động tăng lên, khi tín hiệu ở mạch dao động có biên độ lớn hơn ngưỡng, mạch phát

hiện mức sẽ tác động ngõ ra tạo trạng thái ngõ ra là off.
Cảm Biến Lân Cận Dạng Điện Dung: khi mục tiêu cần phát hiện di chuyển đến gần đầu phát hiện của cảm biến sẽ lám
điện dung của tụ điện c bị thay đổi. Khi điện dung của tụ điện bị thay đổi thì mạch giao động sẽ tạo ra tính hiệu dao
động. khi tín hiệu dao dộng lớn hơn một ngưỡng định trước mạch phát hiện mức sẽ điều khiển mạch ra ở trạng thái on.
Khi đối tượng ở xa cảm biến , biên độ tín hiệu ở mạch dao động sẽ nhỏ mạch phát hiện mức sẽ điều khiển mạch ra ở
trạng thái off.
Ứng Dụng Của Cảm Biến Lân Cận: cảm biến lân cận điện cảm được dùng để phát hiện sự xuất hiện của một vật
the63kim loại tại một vị trí xác định trước(vị trí vị trí đặt cảm biến) như phát hiện cabin thang máy tại các tầng, phát hiện
chai nước ngọt có nắp hay không(nắp của chai nước ngọt làm bằng kim loại ), xaac1 định vị trí hai đầu mút của mũi
khoan, phát hiện trạng thái đóng hay mở van, đo tốc độ quay của động cơ, phát hiện trạng thái đóng mở của các xilanh
cảm biến lân cận dạng điện dung được dùng để phát hiện sự xuật hiện của một vật thể kim loại hoặc phi kim loại tại một
vị trí xác định trước ( vị trí đặt cảm biến ) như: phát hiện thủy tinh nhựa chất lỏng…
5.5: BỘ ĐIỀU KHIỂN NHIỆT ĐỘ
Con nười đã dựa vào sự tăng giảm nhiệt độ để điều khiển một số quá trình công nghệ nhằm đáp ứng sự phát triền của xã
hội , chính vì thế bộ điều khiển nhiệt độ ra đời kết hợp cảm biến nhiệt( đầu dò)với bộ điều khiển nhiệt độ người ta có thể
điều khển xuất ra 3 tín hiệu cơ bản là để điều khiển công nghệ: điện áp xung, dòng điện ra, sự thay đổi tiếp điểm relay.
Trên thị trường có rất nhiều cảm biến nhiệt đồng hồ đo nhiệt độ của các nhà sản xuất khác nhau.các thiết bị này có chung
mục đích mà con người cần quan tâm đến là: cho kết quả đo chính xác cao, xuất ra đúng tí hiệu yêu cầu, kích thước gọn
nhẹ đơn giản độ bền và tín hiệu cao, giá cả phải chăng,chế độ bảo hành hợp lý.
Ứng Dụng:
Bộ điều khiển nhiệt độ được dùng để nhận biết sự thay đổi nhiệt độ của môi trường tạo ra tín hiệu cho inverter hoạt
động.khi nhiệt độ của môi trường lớn hơn nhiệt độ cho phép đã cài trước cho bộ điều khiển nhiệt độthì nó sẽ nhận biết và
truyền tín hiệu cho inverter để inverter thay đổi tốc độ động cơ làm giảm nhiệt độ của bộ phận làm việc. khi nhiệt độ
tang thì tốc độ động cơ phải tăngđể làm giảm nhiệt độ, khi nhiệt độ giảm thì tốc độ động cơ giảm theo.
5.6: CẢM BIẾN ÁP ĐIỆN
Cấu tạo và nguyên lý hoạt động
Cảm biến áp điện hoạt động dựa trên nguyên lý của hiệu ứng áp điện.Phần tử cơ bản của một cảm biến áp điện có cấu
tạo tương tự một tụ điện được chế tạo bằng cách phủ hai bản cực lên hai mặt đối diện của một phiến vật liệu áp điện
mỏng.Vật liệu áp điện thường dùng là thạch anh vì nó có tính ổn định và độ cứng cao. Tuy nhiên hiện nay vật liệu
gốm (ví dụ gốm PZT) do có ưu điểm độ bền và độ nhạy cao, điện dung lớn, ít chịu ảnh hưởng của điện trường ký

sinh, dễ sản xuất và giá thành chế tạo thấp cũng được sử dụng
đáng kể. Dưới tác dụng của lực cơ học, tấm áp điện bị biến dạng, làm xuất hiện trên hai bản cực
các điện tích trái dấu.Các biến dạng cơ bản xác định chế độ làm việc của bản áp điện. Trên hình dưới biểu
diễn các biến dạng cơ bản của bản áp điện
Hiệu điện thế xuất hiện giữa hai bản cực tỉ lệ với lực tác dụng.Các biến dạng cơ bản xác định chế độ làm việc của bản
áp điện.Trường hợp ghép song song hai bản áp điện, điện dung của cảm biến tăng
gấp đôi so với trường hợp một bản áp điện. Khi ghép nối tiếp điện áp hở mạch và
trở kháng trong tăng gấp đôi nhưng điện dung giảm xuống còn một nửa.
5.7: CẢM BIẾN THẠCH ANH KIỂU VÒNG ĐỆM
Các cảm biến thạch anh kiểu vòng đệm có cấu tạo như hình 6.3, chúng gồm các
phiến cắt hình vòng đệm ghép với nhau và chỉ nhạy với lực nén tác dụng dọc theo trục. Giới hạn trên của dải đo phụ
thuộc vào diện tích bề mặt của các vòng đệm, cỡ từ vài kN (với đường kính ~ 1 cm) đến 10
3
kN ( với đường kính ~ 10
cm). Người ta cũng có thể dùng cảm biến loại này để đo lực kéo bằng cách tạo lực nén đặt trước (dùng các bulông xiết
chặt các vòng đệm), khi đó lực kéo được đo như sự sụt giảm của lực nén. Tuy nhiên, khi đó độ nhạy giảm 5 - 10%.
1:các vòng đệm 2:các tấm đế 3: đầu nối dây
5.8: CẢM BIẾN THẠCH ANH NHIỀU THÀNH PHẦN
Trong cảm biến loại này, các vòng đệm thạch anh được cắt theo các hướng khác nhau, khi đó chúng chỉ nhạy với một
hướng xác định của lực
Thạch anh có năm hệ số điện áp d
11
, d
12
, d
14
, d
25
, d
26

, do đó một vòng đệm cắt theo
phương
của trục X chỉ nhạy với lực nén (vì có d
11
), các lực ký sinh tác động theo cạnh bên đều không gây nên hiệu ứng với
vòng đệm và các ứng lực mà hiệu ứng của chúng liên quan đến d
12
, d
14
sẽ không có mặt. Tương tự như vậy, một vòng
đệm cắt theo phương Y chỉ nhạy với lực cắt theo bề dày (vì có d
26
) và bằng cách lắp ghép hợp lý có thể loại trừ hiệu
ứng của các ứng lực liên quan đến d
25
(cắt theo mặt). Hai mặt cắt đặc biệt này biểu diễn trên hình 6.4b, chúng được sử
dụng để chế tạo các cảm biến thạch anh nhiều thành phần.Trên hình biểu diễn một cảm biến ba thành phần vuông góc
gồm ba cặp vòng tròn ghép với nhau, một cặp nhạy với lực nén F
x
, hai mặt còn lại nhạy với lực cắt F
y
và F
z
vuông góc
với F
x
.
THE END