Bài giảng: Phún xạ_Đại học Bách khoa Hà Nội pdf

Ph
Ph
ú
ú
n x
n x
ạ
ạ
Lê Tuấn
Đại học Bách khoa Hà Nội
Simpo PDF Merge and Split Unregistered Version -
2
2
2/2/2006
2/2/2006
Đ
Đ
ạ
ạ
i h
i h
ọ
ọ
c B
c B
á
á
ch khoa H
ch khoa H
à
à

N
N
ộ
ộ
i
i
Ph
Ph
ú
ú
n x
n x
ạ
ạ
(ti
(ti
ế
ế
p)
p)
Sơ đồ hệ thống thiết bị phún xạ
Bia
Nước
làm lạnh
Mâm đỡ
bằng Cu
Nguyên tử
phún xạ
Nguyên tử
Ar nhanh

Đế bán dẫn
Nguyên tử
phún xạ
ngược
Súng ion
Plasma Ar
Simpo PDF Merge and Split Unregistered Version -
3
3
2/2/2006
2/2/2006
Đ
Đ
ạ
ạ
i h
i h
ọ
ọ
c B
c B
á
á
ch khoa H
ch khoa H
à
à
N
N
ộ

ộ
i
i
Ph
Ph
ú
ú
n x
n x
ạ
ạ
(ti
(ti
ế
ế
p)
p)
Sơ đ
Sơ đ
ồ
ồ
b
b
ố
ố
tr
tr
í
í
c

c
á
á
c b
c b
ộ
ộ
ph
ph
ậ
ậ
n thi
n thi
ế
ế
t b
t b
ị
ị
ph
ph
ú
ú
n x
n x
ạ
ạ
Khí
vào
Bơm chân

không
Nguồn
điện
Bia
Phiến
bán dẫn
Đế
Simpo PDF Merge and Split Unregistered Version -
4
4
2/2/2006
2/2/2006
Đ
Đ
ạ
ạ
i h
i h
ọ
ọ
c B
c B
á
á
ch khoa H
ch khoa H
à
à
N
N

ộ
ộ
i
i
Ph
Ph
ú
ú
n x
n x
ạ
ạ
(ti
(ti
ế
ế
p)
p)
Cơ ch
Cơ ch
ế
ế
th
th
ự
ự
c hi
c hi
ệ
ệ

n qu
n qu
á
á
tr
tr
ì
ì
nh ph
nh ph
ú
ú
n x
n x
ạ
ạ
Simpo PDF Merge and Split Unregistered Version -
5
5
2/2/2006
2/2/2006
Đ
Đ
ạ
ạ
i h
i h
ọ
ọ
c B

c B
á
á
ch khoa H
ch khoa H
à
à
N
N
ộ
ộ
i
i
Cơ ch
Cơ ch
ế
ế
th
th
ự
ự
c hi
c hi
ệ
ệ
n qu
n qu
á
á
tr

tr
ì
ì
nh ph
nh ph
ú
ú
n x
n x
ạ
ạ
(ti
(ti
ế
ế
p)
p)
Ph
Ph
ú
ú
n x
n x
ạ
ạ
(ti
(ti
ế
ế
p)

p)
1. Nguyên t
1. Nguyên t
ử
ử
kh
kh
í
í
Ar b
Ar b
ị
ị
phân ly do ion h
phân ly do ion h
ó
ó
a
a
Ar
Ar
→
→
Ar
Ar
+
+
+ e
+ e
-

-
2.
2.
Đi
Đi
ệ
ệ
n t
n t
ử
ử
đư
đư
ợ
ợ
c tăng t
c tăng t
ố
ố
c nh
c nh
ờ
ờ
đi
đi
ệ
ệ
n trư
n trư
ờ

ờ
ng.
ng.
Trong qu
Trong qu
á
á
tr
tr
ì
ì
nh chuy
nh chuy
ế
ế
n đ
n đ
ộ
ộ
ng t
ng t
ớ
ớ
i
i
anode,
anode,


trên đư

trên đư
ờ
ờ
ng đi
ng đi
, ch
, ch
ú
ú
ng ti
ng ti
ế
ế
p t
p t
ụ
ụ
c gây ra c
c gây ra c
á
á
c
c
phân ly nguyên t
phân ly nguyên t
ử
ử
Ar m
Ar m
ớ

ớ
i
i
.
.
3. C
3. C
á
á
c ion đư
c ion đư
ợ
ợ
c tăng t
c tăng t
ố
ố
c c
c c
ũ
ũ
ng b
ng b
ở
ở
i đi
i đi
ệ
ệ
n

n
trư
trư
ờ
ờ
ng v
ng v
à
à
chuy
chuy
ể
ể
n đ
n đ
ộ
ộ
ng t
ng t
ớ
ớ
i c
i c
ự
ự
c âm, va
c âm, va
ch
ch
ạ

ạ
m v
m v
ớ
ớ
i v
i v
ậ
ậ
t li
t li
ệ
ệ
u bia, l
u bia, l
à
à
m b
m b
ắ
ắ
n ra c
n ra c
á
á
c h
c h
ạ
ạ
t

t
v
v
ậ
ậ
t li
t li
ệ
ệ
u bia v
u bia v
à
à
c
c
á
á
c đi
c đi
ệ
ệ
n t
n t
ử
ử
th
th
ứ
ứ
c

c
ấ
ấ
p. C
p. C
á
á
c
c
h
h
ạ
ạ
t v
t v
ậ
ậ
t li
t li
ệ
ệ
u bia b
u bia b
ị
ị
ph
ph
ú
ú
n x

n x
ạ
ạ
ra khi đư
ra khi đư
ợ
ợ
c
c
đưa t
đưa t
ớ
ớ
i b
i b
ề
ề
m
m
ặ
ặ
t c
t c
á
á
c phi
c phi
ế
ế
n đ

n đ
ế
ế
s
s
ẽ
ẽ
l
l
ắ
ắ
ng
ng
đ
đ
ọ
ọ
ng v
ng v
à
à
t
t
ạ
ạ
o ra m
o ra m
à
à
ng m

ng m
ỏ
ỏ
ng trên đ
ng trên đ
ó
ó
, còn
, còn
c
c
á
á
c đi
c đi
ệ
ệ
n t
n t
ử
ử
th
th
ứ
ứ
c
c
ấ
ấ
p khi đi t

p khi đi t
ớ
ớ
i anode g
i anode g
ó
ó
p
p
ph
ph
ầ
ầ
n tăng cư
n tăng cư
ờ
ờ
ng qu
ng qu
á
á
tr
tr
ì
ì
nh ion h
nh ion h
ó
ó
a c

a c
á
á
c
c
nguyên t
nguyên t
ử
ử
Ar.
Cột
plasma
Ar.
Simpo PDF Merge and Split Unregistered Version -
6
6
2/2/2006
2/2/2006
Đ
Đ
ạ
ạ
i h
i h
ọ
ọ
c B
c B
á
á

ch khoa H
ch khoa H
à
à
N
N
ộ
ộ
i
i
Ph
Ph
ú
ú
n x
n x
ạ
ạ
(ti
(ti
ế
ế
p)
p)
M
M
ộ
ộ
t v
t v

à
à
i đ
i đ
ặ
ặ
c đi
c đi
ể
ể
m c
m c
ủ
ủ
a c
a c
á
á
c h
c h
ạ
ạ
t nh
t nh
ỏ
ỏ
v
v
ậ
ậ

t li
t li
ệ
ệ
u bia ph
u bia ph
ú
ú
n x
n x
ạ
ạ
Trư
Trư
ớ
ớ
c h
c h
ế
ế
t, c
t, c
á
á
c h
c h
ạ
ạ
t nh
t nh

ỏ
ỏ
v
v
ậ
ậ
t li
t li
ệ
ệ
u bia b
u bia b
ị
ị
ph
ph
ú
ú
n x
n x
ạ
ạ
ra ngo
ra ngo
à
à
i bia
i bia
trung hòa v
trung hòa v

ề
ề
đi
đi
ệ
ệ
n
n
t
t
í
í
ch
ch
, nên chuy
, nên chuy
ể
ể
n đ
n đ
ộ
ộ
ng c
ng c
ủ
ủ
a ch
a ch
ú
ú

ng không ph
ng không ph
ụ
ụ
thu
thu
ộ
ộ
c chi
c chi
ề
ề
u đi
u đi
ệ
ệ
n trư
n trư
ờ
ờ
ng m
ng m
à
à


đư
đư
ợ
ợ

c quy
c quy
ế
ế
t đ
t đ
ị
ị
nh b
nh b
ở
ở
i c
i c
á
á
c va ch
c va ch
ạ
ạ
m v
m v
ớ
ớ
i c
i c
á
á
c ion Ar
c ion Ar

+
+
.
.
Năng lư
Năng lư
ợ
ợ
ng liên k
ng liên k
ế
ế
t c
t c
ủ
ủ
a c
a c
á
á
c nguyên t
c nguyên t
ử
ử
h
h
ạ
ạ
t v
t v

ậ
ậ
t li
t li
ệ
ệ
u bia ph
u bia ph
ụ
ụ
thu
thu
ộ
ộ
c v
c v
à
à
o nhi
o nhi
ề
ề
u
u
y
y
ế
ế
u t
u t

ố
ố
như c
như c
á
á
c thông s
c thông s
ố
ố
c
c
ủ
ủ
a c
a c
á
á
c ion Ar tham gia va ch
c ion Ar tham gia va ch
ạ
ạ
m,
m,
đ
đ
ị
ị
nh hư
nh hư

ớ
ớ
ng tinh
ng tinh
th
th
ể
ể
, v.v
, v.v
…
…
V
V
í
í
d
d
ụ
ụ
, gi
, gi
á
á
tr
tr
ị
ị
đ
đ

ố
ố
i v
i v
ớ
ớ
i v
i v
ậ
ậ
t li
t li
ệ
ệ
u Ge khi d
u Ge khi d
ù
ù
ng c
ng c
á
á
c ion Ar
c ion Ar
+
+
c
c
ó
ó

đ
đ
ộ
ộ
ng năng
ng năng
1.2 KeV l
1.2 KeV l
à
à
v
v
à
à
o kho
o kho
ả
ả
ng ~ 15 eV.
ng ~ 15 eV.
Do c
Do c
ó
ó
đ
đ
ộ
ộ
ng năng l
ng năng l

ớ
ớ
n nên c
n nên c
á
á
c h
c h
ạ
ạ
t nh
t nh
ỏ
ỏ
v
v
ậ
ậ
t li
t li
ệ
ệ
u bia c
u bia c
ó
ó
th
th
ể
ể

gây ra c
gây ra c
á
á
c hi
c hi
ệ
ệ
u
u
ứ
ứ
ng
ng
ph
ph
ụ
ụ
như nhi
như nhi
ễ
ễ
m b
m b
ẩ
ẩ
n th
n th
ứ
ứ

c
c
ấ
ấ
p, v.v
p, v.v
…
…
Simpo PDF Merge and Split Unregistered Version -
7
7
2/2/2006
2/2/2006
Đ
Đ
ạ
ạ
i h
i h
ọ
ọ
c B
c B
á
á
ch khoa H
ch khoa H
à
à
N

N
ộ
ộ
i
i
Ph
Ph
ú
ú
n x
n x
ạ
ạ
(ti
(ti
ế
ế
p)
p)
C
C
á
á
c ph
c ph
ả
ả
n
n
ứ

ứ
ng do va ch
ng do va ch
ạ
ạ
m v
m v
ớ
ớ
i đi
i đi
ệ
ệ
n t
n t
ử
ử
Ion h
Ion h
ó
ó
a phân ly phân t
a phân ly phân t
ử
ử
:
:
AB + e
AB + e
-

-
→
→
A
A
+
+
+ B +2e
+ B +2e
-
-
Phân ly
Phân ly
AB + e
AB + e
-
-
→
→
A + B + e
A + B + e
-
-
Phân ly k
Phân ly k
è
è
m theo g
m theo g
ắ

ắ
n k
n k
ế
ế
t
t
đi
đi
ệ
ệ
n t
n t
ử
ử
AB + e
AB + e
-
-
→
→
A + B
A + B
-
-
Simpo PDF Merge and Split Unregistered Version -
8
8
2/2/2006
2/2/2006

Đ
Đ
ạ
ạ
i h
i h
ọ
ọ
c B
c B
á
á
ch khoa H
ch khoa H
à
à
N
N
ộ
ộ
i
i
Cơ ch
Cơ ch
ế
ế
v
v
à
à

hi
hi
ệ
ệ
u su
u su
ấ
ấ
t ph
t ph
ú
ú
n x
n x
ạ
ạ
c
c
ủ
ủ
a c
a c
á
á
c v
c v
ậ
ậ
t li
t li

ệ
ệ
u đơn ch
u đơn ch
ấ
ấ
t
t
Ph
Ph
ú
ú
n x
n x
ạ
ạ
(ti
(ti
ế
ế
p)
p)
Hiệu suất phún xạ S =
Số ion bứt ra/số ion bắn phá
Simpo PDF Merge and Split Unregistered Version -
9
9
2/2/2006
2/2/2006
Đ

Đ
ạ
ạ
i h
i h
ọ
ọ
c B
c B
á
á
ch khoa H
ch khoa H
à
à
N
N
ộ
ộ
i
i
Ph
Ph
ú
ú
n x
n x
ạ
ạ
(ti

(ti
ế
ế
p)
p)
C
C
á
á
c h
c h
ợ
ợ
p ch
p ch
ấ
ấ
t v
t v
ậ
ậ
t li
t li
ệ
ệ
u bia c
u bia c
ó
ó
th

th
ể
ể
đư
đư
ợ
ợ
c d
c d
ù
ù
ng đ
ng đ
ể
ể
t
t
ạ
ạ
o m
o m
à
à
ng
ng
trên phi
trên phi
ế
ế
n đ

n đ
ế
ế
Ở
Ở
đi
đi
ề
ề
u ki
u ki
ệ
ệ
n tương quan t
n tương quan t
ố
ố
c đ
c đ
ộ
ộ
A = 0.8 B
A = 0.8 B
V
V
ậ
ậ
t li
t li
ệ

ệ
u đ
u đ
ế
ế
A
A
5
5
B
B
5
5
A
A
5
5
B
B
4
4
A
A
5
5
B
B
4
4
.

V
V
ậ
ậ
t li
t li
ệ
ệ
u m
u m
à
à
ng m
ng m
ỏ
ỏ
ng
ng
A
A
4
4
B
B
5
5
A
A
4
4

B
B
4
4
A
A
4
4
B
B
4
4
.
Simpo PDF Merge and Split Unregistered Version -
10
10
2/2/2006
2/2/2006
Đ
Đ
ạ
ạ
i h
i h
ọ
ọ
c B
c B
á
á

ch khoa H
ch khoa H
à
à
N
N
ộ
ộ
i
i
H
H
ệ
ệ
th
th
ố
ố
ng ph
ng ph
ó
ó
ng đi
ng đi
ệ
ệ
n c
n c
ó
ó

hai
hai
b
b
ả
ả
n c
n c
ự
ự
c song song cho ph
c song song cho ph
ú
ú
n
n
x
x
ạ
ạ
m
m
ộ
ộ
t chi
t chi
ề
ề
u
Ph

Ph
ú
ú
n x
n x
ạ
ạ
(ti
(ti
ế
ế
p)
p)
u
Các thông số công nghệ thường dùng:
• Chân không: 10
-7
torr
•Áp suất hơi Ar: 20 – 100 mtorr
• Điện áp: 2 – 5 kV
Simpo PDF Merge and Split Unregistered Version -
11
11
2/2/2006
2/2/2006
Đ
Đ
ạ
ạ
i h

i h
ọ
ọ
c B
c B
á
á
ch khoa H
ch khoa H
à
à
N
N
ộ
ộ
i
i
Ph
Ph
ú
ú
n x
n x
ạ
ạ
(ti
(ti
ế
ế
p)

p)
H
H
ệ
ệ
th
th
ố
ố
ng ph
ng ph
ó
ó
ng đi
ng đi
ệ
ệ
n c
n c
ả
ả
i ti
i ti
ế
ế
n cho ph
n cho ph
ú
ú
n x

n x
ạ
ạ
Các thông số công nghệ
thường dùng:
 Chân không: 10
-7
torr
 Áp suất hơi Ar: 1 – 5 mtorr
 Điện áp: 500 – 1000 V
(một chiều hay xoay chiều
tần số radio)
Simpo PDF Merge and Split Unregistered Version -
12
12
2/2/2006
2/2/2006
Đ
Đ
ạ
ạ
i h
i h
ọ
ọ
c B
c B
á
á
ch khoa H

ch khoa H
à
à
N
N
ộ
ộ
i
i
Ph
Ph
ú
ú
n x
n x
ạ
ạ
(ti
(ti
ế
ế
p)
p)
Ph
Ph
ú
ú
n x
n x
ạ

ạ
h
h
ó
ó
a h
a h
ọ
ọ
c
c
Trong qu
Trong qu
á
á
tr
tr
ì
ì
nh ph
nh ph
ú
ú
n x
n x
ạ
ạ
, m
, m
ộ

ộ
t hay nhi
t hay nhi
ề
ề
u th
u th
à
à
nh ph
nh ph
ầ
ầ
n c
n c
ủ
ủ
a v
a v
ậ
ậ
t li
t li
ệ
ệ
u
u
m
m
à

à
ng m
ng m
ỏ
ỏ
ng ph
ng ph
ú
ú
n x
n x
ạ
ạ
t
t
ồ
ồ
n t
n t
ạ
ạ
i dư
i dư
ớ
ớ
i d
i d
ạ
ạ
ng c

ng c
á
á
c ion/t
c ion/t
ổ
ổ
h
h
ợ
ợ
p mang đi
p mang đi
ệ
ệ
n v
n v
à
à


đư
đư
ợ
ợ
c v
c v
ậ
ậ
n chuy

n chuy
ể
ể
n b
n b
ở
ở
i đi
i đi
ệ
ệ
n trư
n trư
ờ
ờ
ng. T
ng. T
ạ
ạ
i không gian g
i không gian g
ầ
ầ
n/t
n/t
ạ
ạ
i b
i b
ề

ề
m
m
ặ
ặ
t đ
t đ
ế
ế
,
,
c
c
á
á
c th
c th
à
à
nh ph
nh ph
ầ
ầ
n đ
n đ
ó
ó
tham gia ph
tham gia ph
ả

ả
n
n
ứ
ứ
ng h
ng h
ó
ó
a h
a h
ọ
ọ
c v
c v
ớ
ớ
i c
i c
á
á
c th
c th
à
à
nh ph
nh ph
ầ
ầ
n

n
kh
kh
á
á
c s
c s
ẵ
ẵ
n c
n c
ó
ó
hay c
hay c
ũ
ũ
ng đư
ng đư
ợ
ợ
c v
c v
ậ
ậ
n chuy
n chuy
ể
ể
n t

n t
ớ
ớ
i đ
i đ
ể
ể
t
t
ạ
ạ
o th
o th
à
à
nh v
nh v
ậ
ậ
t li
t li
ệ
ệ
u cu
u cu
ố
ố
i
i
c

c
ù
ù
ng v
ng v
à
à
l
l
ắ
ắ
ng đ
ng đ
ọ
ọ
ng trên b
ng trên b
ề
ề
m
m
ặ
ặ
t đ
t đ
ế
ế
.
.
C

C
ầ
ầ
n đ
n đ
ể
ể
ý t
ý t
ớ
ớ
i hi
i hi
ệ
ệ
n tư
n tư
ợ
ợ
ng ăn mòn
ng ăn mòn
(r
(r
ỉ
ỉ
) d
) d
o môi trư
o môi trư
ờ

ờ
ng kh
ng kh
í
í
.
.
Simpo PDF Merge and Split Unregistered Version -
13
13
2/2/2006
2/2/2006
Đ
Đ
ạ
ạ
i h
i h
ọ
ọ
c B
c B
á
á
ch khoa H
ch khoa H
à
à
N
N

ộ
ộ
i
i
Ph
Ph
ú
ú
n x
n x
ạ
ạ
(ti
(ti
ế
ế
p)
p)
Ph
Ph
ú
ú
n x
n x
ạ
ạ
m
m
ộ
ộ

t chi
t chi
ề
ề
u (DC) v
u (DC) v
à
à
xoay chi
xoay chi
ề
ề
u t
u t
ầ
ầ
n s
n s
ố
ố
radio (RF)
radio (RF)
Simpo PDF Merge and Split Unregistered Version -
14
14
2/2/2006
2/2/2006
Đ
Đ
ạ

ạ
i h
i h
ọ
ọ
c B
c B
á
á
ch khoa H
ch khoa H
à
à
N
N
ộ
ộ
i
i
Ph
Ph
ú
ú
n x
n x
ạ
ạ
(ti
(ti
ế

ế
p)
p)
Ph
Ph
ú
ú
n x
n x
ạ
ạ
d
d
ù
ù
ng s
ng s
ú
ú
ng magnetron
ng magnetron
Simpo PDF Merge and Split Unregistered Version -
15
15
2/2/2006
2/2/2006
Đ
Đ
ạ
ạ

i h
i h
ọ
ọ
c B
c B
á
á
ch khoa H
ch khoa H
à
à
N
N
ộ
ộ
i
i
Ph
Ph
ú
ú
n x
n x
ạ
ạ
(ti
(ti
ế
ế

p)
p)
S
S
ú
ú
ng magnetron thương m
ng magnetron thương m
ạ
ạ
i
i
Simpo PDF Merge and Split Unregistered Version -
16
16
2/2/2006
2/2/2006
Đ
Đ
ạ
ạ
i h
i h
ọ
ọ
c B
c B
á
á
ch khoa H

ch khoa H
à
à
N
N
ộ
ộ
i
i
Ph
Ph
ú
ú
n x
n x
ạ
ạ
(ti
(ti
ế
ế
p)
p)
Magnetron công nghi
Magnetron công nghi
ệ
ệ
p d
p d
ạ

ạ
ng tròn (tr
ng tròn (tr
á
á
i) v
i) v
à
à
ph
ph
ẳ
ẳ
ng (ph
ng (ph
ả
ả
i)
i)
Simpo PDF Merge and Split Unregistered Version -
17
17
2/2/2006
2/2/2006
Đ
Đ
ạ
ạ
i h
i h

ọ
ọ
c B
c B
á
á
ch khoa H
ch khoa H
à
à
N
N
ộ
ộ
i
i
Ph
Ph
ú
ú
n x
n x
ạ
ạ
(ti
(ti
ế
ế
p)
p)

Chuy
Chuy
ể
ể
n đ
n đ
ộ
ộ
ng c
ng c
ủ
ủ
a c
a c
á
á
c đi
c đi
ệ
ệ
n t
n t
ử
ử
trong s
trong s
ú
ú
ng magnetron
ng magnetron

Simpo PDF Merge and Split Unregistered Version -
18
18
2/2/2006
2/2/2006
Đ
Đ
ạ
ạ
i h
i h
ọ
ọ
c B
c B
á
á
ch khoa H
ch khoa H
à
à
N
N
ộ
ộ
i
i
Ph
Ph
ú

ú
n x
n x
ạ
ạ
(ti
(ti
ế
ế
p)
p)
Đư
Đư
ờ
ờ
ng s
ng s
ứ
ứ
c t
c t
ừ
ừ
trư
trư
ờ
ờ
ng
ng
Simpo PDF Merge and Split Unregistered Version -

19
19
2/2/2006
2/2/2006
Đ
Đ
ạ
ạ
i h
i h
ọ
ọ
c B
c B
á
á
ch khoa H
ch khoa H
à
à
N
N
ộ
ộ
i
i
Ph
Ph
ú
ú

n x
n x
ạ
ạ
(ti
(ti
ế
ế
p)
p)
Cơ ch
Cơ ch
ế
ế
c
c
ủ
ủ
a s
a s
ự
ự
r
r
ỉ
ỉ
(
(
ăn mòn
ăn mòn

) bia
) bia
Simpo PDF Merge and Split Unregistered Version -
20
20
2/2/2006
2/2/2006
Đ
Đ
ạ
ạ
i h
i h
ọ
ọ
c B
c B
á
á
ch khoa H
ch khoa H
à
à
N
N
ộ
ộ
i
i
Ph

Ph
ú
ú
n x
n x
ạ
ạ
(ti
(ti
ế
ế
p)
p)
C
C
ả
ả
i thi
i thi
ệ
ệ
n vi
n vi
ệ
ệ
c s
c s
ử
ử
d

d
ụ
ụ
ng bia
ng bia
Simpo PDF Merge and Split Unregistered Version -
21
21
2/2/2006
2/2/2006
Đ
Đ
ạ
ạ
i h
i h
ọ
ọ
c B
c B
á
á
ch khoa H
ch khoa H
à
à
N
N
ộ
ộ

i
i
Ph
Ph
ú
ú
n x
n x
ạ
ạ
(ti
(ti
ế
ế
p)
p)
C
C
ả
ả
i thi
i thi
ệ
ệ
n vi
n vi
ệ
ệ
c s
c s

ử
ử
d
d
ụ
ụ
ng bia nh
ng bia nh
ờ
ờ
thay đ
thay đ
ổ
ổ
i h
i h
ì
ì
nh d
nh d
ạ
ạ
ng c
ng c
á
á
c nam
c nam
châm (ti
châm (ti

ế
ế
p)
p)
Simpo PDF Merge and Split Unregistered Version -
22
22
2/2/2006
2/2/2006
Đ
Đ
ạ
ạ
i h
i h
ọ
ọ
c B
c B
á
á
ch khoa H
ch khoa H
à
à
N
N
ộ
ộ
i

i
Ph
Ph
ú
ú
n x
n x
ạ
ạ
(ti
(ti
ế
ế
p)
p)
Magnetron không cân b
Magnetron không cân b
ằ
ằ
ng
ng
Simpo PDF Merge and Split Unregistered Version -
23
23
2/2/2006
2/2/2006
Đ
Đ
ạ
ạ

i h
i h
ọ
ọ
c B
c B
á
á
ch khoa H
ch khoa H
à
à
N
N
ộ
ộ
i
i
C
C
á
á
c lo
c lo
ạ
ạ
i magnetron
i magnetron
Ph
Ph

ú
ú
n x
n x
ạ
ạ
(ti
(ti
ế
ế
p)
p)
Magnetron c
Magnetron c
á
á
c lo
c lo
ạ
ạ
i kh
i kh
á
á
c nhau cho ph
c nhau cho ph
é
é
p thay đ
p thay đ

ổ
ổ
i c
i c
á
á
c t
c t
í
í
nh ch
nh ch
ấ
ấ
t t
t t
ừ
ừ
trư
trư
ờ
ờ
ng c
ng c
ủ
ủ
a ngu
a ngu
ồ
ồ

n
n
v
v
ớ
ớ
i c
i c
á
á
c hi
c hi
ệ
ệ
u
u
ứ
ứ
ng đư
ng đư
ợ
ợ
c t
c t
ạ
ạ
o ra như sau
o ra như sau
:
:



Unbalance (Không cân b
Unbalance (Không cân b
ằ
ằ
ng): B
ng): B
ằ
ằ
ng c
ng c
á
á
ch thay đ
ch thay đ
ổ
ổ
i g
i g
ó
ó
c ra c
c ra c
ủ
ủ
a c
a c
á
á

c đư
c đư
ờ
ờ
ng s
ng s
ứ
ứ
c t
c t
ừ
ừ


trư
trư
ờ
ờ
ng trong c
ng trong c
á
á
c magnetron không cân b
c magnetron không cân b
ằ
ằ
ng c
ng c
ó
ó

th
th
ể
ể
đi
đi
ề
ề
u ch
u ch
ỉ
ỉ
nh s
nh s
ố
ố
lư
lư
ợ
ợ
ng đi
ng đi
ệ
ệ
n t
n t
ử
ử
đư
đư

ợ
ợ
c
c
tho
tho
á
á
t ra,
t ra,
do đ
do đ
ó
ó
, c
, c
ả
ả
m
m
ứ
ứ
c đ
c đ
ộ
ộ
b
b
ắ
ắ

n ph
n ph
á
á
ion đ
ion đ
ố
ố
i v
i v
ớ
ớ
i m
i m
à
à
ng m
ng m
ỏ
ỏ
ng đư
ng đư
ợ
ợ
c t
c t
ạ
ạ
o th
o th

à
à
nh.
nh.


Balance (Cân b
Balance (Cân b
ằ
ằ
ng): D
ng): D
ù
ù
ng đ
ng đ
ể
ể
gi
gi
ả
ả
m thi
m thi
ể
ể
u lư
u lư
ợ
ợ

ng năng lư
ng n
ăng lư
ợ
ợ
ng b
ng b
ổ
ổ
sung cho m
sung cho m
à
à
ng m
ng m
ỏ
ỏ
ng
ng
m
m
ọ
ọ
c trên đ
c trên đ
ế
ế
v
v
à

à
t
t
ạ
ạ
o ra đi
o ra đi
ề
ề
u ki
u ki
ệ
ệ
n b
n b
ắ
ắ
n ph
n ph
á
á
ion th
ion th
ấ
ấ
p.
p.


Field Strength

Field Strength
(
(
Cư
Cư
ờ
ờ
ng đ
ng đ
ộ
ộ
t
t
ừ
ừ
trư
trư
ờ
ờ
ng): T
ng): T
hay đ
hay đ
ổ
ổ
i cư
i cư
ờ
ờ
ng đ

ng đ
ộ
ộ
t
t
ừ
ừ
trư
trư
ờ
ờ
ng đ
ng đ
ể
ể
đi
đi
ề
ề
u ch
u ch
ỉ
ỉ
nh
nh
cư
cư
ờ
ờ
ng đ

ng đ
ộ
ộ
v
v
à
à
hi
hi
ệ
ệ
u đi
u đi
ệ
ệ
n th
n th
ế
ế
ph
ph
ó
ó
ng đi
ng đi
ệ
ệ
n. C
n. C
ó

ó
th
th
ể
ể
s
s
ử
ử
d
d
ụ
ụ
ng
đ
ng đ
ể
ể
b
b
ù
ù
tr
tr
ừ
ừ
v
v
ớ
ớ

i thay đ
i thay đ
ổ
ổ
i đi
i đi
ệ
ệ
n
n
á
á
p
p
gây ra b
gây ra b
ở
ở
i hi
i hi
ệ
ệ
n tư
n tư
ợ
ợ
ng ăn mòn bia trong qu
ng ăn mòn bia trong qu
á
á

tr
tr
ì
ì
nh ph
nh ph
ú
ú
n x
n x
ạ
ạ
.
.


Magnetic Field Shape (Phân b
Magnetic Field Shape (Phân b
ố
ố
t
t
ừ
ừ
trư
trư
ờ
ờ
ng): T
ng): T

hay đ
hay đ
ổ
ổ
i phân b
i phân b
ố
ố
t
t
ừ
ừ
trư
trư
ờ
ờ
ng trong không
ng trong không
gian gây ra s
gian gây ra s
ự
ự
bi
bi
ế
ế
n đ
n đ
ổ
ổ

i tương t
i tương t
á
á
c gi
c gi
ữ
ữ
a plasma v
a plasma v
ớ
ớ
i anode nh
i anode nh
ằ
ằ
m đi
m đi
ề
ề
u ch
u ch
ỉ
ỉ
nh
nh
á
á
p su
p su

ấ
ấ
t l
t l
à
à
m
m
vi
vi
ệ
ệ
c c
c c
ự
ự
c ti
c ti
ể
ể
u.
u.
Simpo PDF Merge and Split Unregistered Version -
24
24
2/2/2006
2/2/2006
Đ
Đ
ạ

ạ
i h
i h
ọ
ọ
c B
c B
á
á
ch khoa H
ch khoa H
à
à
N
N
ộ
ộ
i
i
Cơ ch
Cơ ch
ế
ế
l
l
ấ
ấ
p đ
p đ
ầ

ầ
y c
y c
á
á
c rãnh,
c rãnh,
bư
bư
ớ
ớ
c trong m
c trong m
à
à
ng m
ng m
ỏ
ỏ
ng ph
ng ph
ú
ú
n x
n x
ạ
ạ
Ph
Ph
ú

ú
n x
n x
ạ
ạ
(ti
(ti
ế
ế
p)
p)
Năng lư
Năng lư
ợ
ợ
ng c
ng c
ủ
ủ
a c
a c
á
á
c nguyên t
c nguyên t
ử
ử
t
t
ớ

ớ
i b
i b
ề
ề
m
m
ặ
ặ
t
t
m
m
à
à
ng ~ 1
ng ~ 1
–
–
15 eV.
15 eV.
C
C
á
á
c nguyên t
c nguyên t
ử
ử
v

v
ậ
ậ
t li
t li
ệ
ệ
u m
u m
à
à
ng b
ng b
ị
ị
b
b
ứ
ứ
t ra do
t ra do
qu
qu
á
á
tr
tr
ì
ì
nh b

nh b
ắ
ắ
n ph
n ph
á
á
b
b
ở
ở
i c
i c
á
á
c ion Ar
c ion Ar
+
+
s
s
ẽ
ẽ
l
l
ạ
ạ
i t
i t
á

á
i
i
l
l
ắ
ắ
ng đ
ng đ
ọ
ọ
ng sau khi truy
ng sau khi truy
ề
ề
n b
n b
ớ
ớ
t đ
t đ
ộ
ộ
ng năng cho
ng năng cho
c
c
á
á
c nguyên t

c nguyên t
ử
ử
kh
kh
á
á
c trong m
c trong m
à
à
ng v
ng v
à
à
t
t
ì
ì
m đư
m đư
ợ
ợ
c
c
v
v
ị
ị
tr

tr
í
í
c
c
ó
ó
l
l
ợ
ợ
i v
i v
ề
ề
m
m
ặ
ặ
t n
ăng lư
t năng lư
ợ
ợ
ng.
ng.
Quãng đư
Quãng đư
ờ
ờ

ng t
ng t
ự
ự
do trung b
do trung b
ì
ì
nh c
nh c
ủ
ủ
a c
a c
á
á
c
c
nguyên t
nguyên t
ử
ử
t
t
ớ
ớ
i đư
i đư
ợ
ợ

c t
c t
í
í
nh theo công th
nh theo công th
ứ
ứ
c th
c th
ự
ự
c
c
nghi
nghi
ệ
ệ
m:
m:
L (cm) = 5x10
L (cm) = 5x10
-
-
3
3
/P (torr)
/P (torr)
Simpo PDF Merge and Split Unregistered Version -
25

25
2/2/2006
2/2/2006
Đ
Đ
ạ
ạ
i h
i h
ọ
ọ
c B
c B
á
á
ch khoa H
ch khoa H
à
à
N
N
ộ
ộ
i
i
Vi c
Vi c
ấ
ấ
u tr

u tr
ú
ú
c c
c c
ủ
ủ
a c
a c
á
á
c m
c m
à
à
ng m
ng m
ỏ
ỏ
ng ph
ng ph
ú
ú
n x
n x
ạ
ạ
Ph
Ph
ú

ú
n x
n x
ạ
ạ
(ti
(ti
ế
ế
p)
p)
Simpo PDF Merge and Split Unregistered Version -