Bạn đang xem bản rút gọn của tài liệu. Xem và tải ngay bản đầy đủ của tài liệu tại đây (3.06 MB, 12 trang )
Kính hiển vi điện tử quétScanning Electron MicroscopeSEM
!"#$%&'(%!$!)$*+,-.*/!0!1
23!4!0!55!#6'#*+,-7
TRƯỜNG ĐH SƯ PHẠM KỸ THUẬT TP_HCM
89!1'0#!)$:;<
=>?@AB:;<CC'0#*D ZWORYKIN7
=>?@AEC. W. OatleyDFG! H$*#25I'0#:;<&!4
6'!"'(%JKKL1#7
=>?@MJ:;<NO'PCNQ!1%RS*DH$*#25:!5T!
U1#51<$#U7
Sơ đ khi ca SEM
Sơ đ khi ca SEM
Nguyên lý hoạt động và sự tạo ảnh trong SEM
Nguyên lý hoạt động và sự tạo ảnh trong SEM
<1V'''(!#:;<
<1V'''(!#:;<
WX$!$VH$2515!5Y8!0!010'0#$2NO0!!)$
!4 &*+,-7
Z(!'[$\\]#$^!#$$^11Y_NO0!`$ &.!S!"1%
1'[$\,!#NY'[01!>NQ$\'[01!*N&!1"$\7
<1V:;<D!(a1!$!"'(!'[ L5#7
WX$!$VH$2515!5Y8!0!010'0#$2NO0!!)$
!4 &*+,-7
Z(!'[$\\]#$^!#$$^11Y_NO0!`$ &.!S!"1%
1'[$\,!#NY'[01!>NQ$\'[01!*N&!1"$\7
<1V:;<D!(a1!$!"'(!'[ L5#7
b!)$:;<