Nghiên cứu ảnh hưởng của một số điều kiện chế tạo lên tính chất quang của bán dẫn vùng cấm rộng.PDF

Đ Ạ I H Ọ C Q U Ó C G IA HÀ N Ộ I
T R Ư Ờ N G Đ Ạ I HỌ C K H O A H Ọ C T ự N H I Ê N
Đ Ể T À I:
NGHIÊN CỨU ẢNH HƯỞNG CỦA
MỘT SỐ ĐIỂU KIỆN CHÊ TẠO LÊN TÍNH CHÂT QUANG
CỦA BÁN DẪN VÙNG CẤM RỘNG
M Ã S Ố : Q T - 0 9 - 1 7
C hủ tr ì đ ề tà i: T S . P H Ạ M V Ã N B Ể N
C á c c á n b ộ th a m g ia : T h .s N g u y ễ n D u y T iế n , P G S .T S . H o à n g N a m N h ậ t,
T S . H u ỳ n h Đ ă n e C h ín h , T h .s B ù i H ồ n g V â n ,
C N . P h a n T rọ n g T u ệ , C N N g u y ễ n T h ị T h an h ,
C N . N g u y ễ n T h ị H ả o , C N . V ư ơ n g T h a n h H à i
Ị OA! HOC a u o c M A NOl
TRUNG TÂM ?' ÒNG TIN THƯ VIẼN
Ị ' p r / 9 6 8
_________
„
H À NÔI - 20 10
BÁO CÁO TÓM TẮT
Đ ẻ tà i:
N G H IÊ N C Ứ U Ả N H H Ư Ở N G C Ủ A M Ộ T s ố Đ I Ể U K I Ệ N C H Ế T Ạ O
L Ê N T ÍN H C H Ấ T Q U A N G C Ủ A B Á N D A N v ù n g c ấ m r ộ n g
M ã s ô : Q T - 0 9 - 17
C h ủ trì đ ề tài: T S. P h ạ m V ă n B ển
C ác cán b ộ th a m g ia :
- T h .s N g u y ễ n D u y T iến , P G S .TS . H o à ng N am N hật, TS. H u ỳ n h Đ ã ng C hín h ,
T h .s B ù i H ồ n g V ân , C N . P h an T rọ n g T u ệ , C N N g u y ễ n T hi T hanh, C N .
N guyễn T h ị H ả o , C N . V ư ơ n g Thanh Hủi.
1. M ụ c tiê u v à nội d u n g n g h iê n cứu
* M ụ c tiê u : N g hiê n cứu ả nh h ư ở ng cúa m ộ t s ố d iề u kiện c h ế lạo: nồn tí độ
chát p ha tạp . n h iệt độ ủ, th ờ i g ia n ủ lên tín h c h á t q u a n g c u a b án d ẫn vùn g

câm rộ n g.
* N ộ i d u n g n g h iên cứu:
+ Thu th ậ p tà i liệu v ề m ộ t số ph ư ơng p háp c h ế tạo m ẫu v à tín h chấ t q u ang c ua
bán d ần vùng c ấm rộ n g.
+ X â y dựng tu h ú t phục vụ cho c h ế tạ o m ẫu.
+ K h á o sái á n h h ư ở n g của m ột s ố đ iề u k iện c h ế tạ o: nống đ ộ ch á t p h a tạ p
n h iệ t độ ú. thời g ian ú lê n tính c hất quan g c ủ a b án d ẫn vùng cam rộn a .
2. C á c két q u ả đ ạ t đ ư ợc
* K ế t q u à vê k h o a h ạ c :
+ T h u th ậ p tà i liệ u về m ộ t s ố phư ơ ng pháp c h í lạo m ẫu và lín h chat q u an " cua
bán d ẫ n v ù n g cấm rộ n g.
+ X ây d ự ng 01 tủ h ú t p h ụ c vụ cho c h ế tạ o m ẫ u.
+ C h ế tạ o đượ c m ộ t s ố b ộ t p h á t quan g : Z nS, Z n S: A l-C u , Z n O . Z n O :C o.
+ K h ảo sát ảnh h ư ở n g c ủ a m ộ t số đ iể u k iện c h ế tạ o n h ư n ồ n g độ cliâl pha tạp,
n hiệt đ ộ ủ, thời g ian ù lê n tính c h ất q uang c ủ a bán dẫn vùng cám rộng.
* K ế t q u ả đ à o tạ o . Đ ã đào tạ o được:
- 03 T h ạ c sĩ
- 04 Cử nhân
* C á c c ô n g trin h k h o a h ọ c c ô n g b ố\ 0 2 Báo cá o k ho a học tại H ội nghị Vật lý
C hất R ắn và K h oa h ọc V ật liệu toàn q uốc lần th ứ 6, Đã N ắ ng , 8-1 0/11/2009:
+ Tinh cliấl qua n g cùa Z n O :C o ch ế lạ o b ằng p h ư ơ n g p liá p sol-gel
Bùi H ồ ng Vân, Phạ m V ăn B ền , H oàng N am N hật, Phùng T h ị Hão
+ Phô p h á t q u ang c ủa ZnS:Aìi).fíis c h ế tạo bằ ng p h ư ơng Ịìlỉáp g om
Bùi H ồng Vân , Phạ m V ăn Ben , H o àng N am N h ật, N guyễn Thị Than h, N guvễn
Thành L ong, Phạm Vãn Thưò'ng, Đỗ Xuân Tiến
3. Tìn li hìn h sir dụ n g kin h phí
T ố n g k inh phí đư ợc cấp : 25 00 0 0()0đ
+ T iền đ iện , n ư ớ c và xây dựn g cơ sờ vật c hất : 1 0 0 0 OOOđ
+ H ộ i n g h ị, in ấn báo c á o, vãn phòng p h ẩ m : 5 0 0 0 OOOđ
+ T h u ê m ư ớ n : 14 00 0 000c!

+ V é m áy bay , p h ò n g n gủ,
chi p hí nghiệ p vụ chuyên m ó n : 5 0 0 0 OOOđ
Ư M n u C K H O A H Ọ C T ự N H IÊ N
X Á C N H Ậ N C Ủ A B C N K H O A V Ậ T L Ý
C H Ủ T R Ì Đ Ể T À I
T S . P h ạ m V ã n B en
B R IE F R E P O R T
T IT L E :
S T U D Y T H E I N F L U E N C E O F S O M E P R E P A R IN G C O N D IT IO N S O N
T H E O P T IC A L P R O P E R T Y O F S E M IC O N D U C T O R
W IT H W ID E B A N D G A P
C o d e: Q T - 09 - 17
C oor D im ato r : P h am V a n B e n
K ey im p lem ents : N g u y e n D u y T ien, H o a n g N ain N h a t, H u y n h D a n g
C h in h , B u i H o n g V a n , P h a n T r o n g T u e , N g u y e n T ill T h a n h , P h u n y T ill
H a o , V u o n g T h a n h H ai.
1. O b j ectiv e a n d M a tte r o f th is s tu d y :
+ S tu dy th e in f lu e n c e o f s om e p rep a rin g c o n d itio n s such as: d o p e d conte n t,
a nnealling te m p era tu re , a n n e a llin g tim e o n th e o p tica l p rop e rly o f
s em ic o n d u c to r w ith w id e b a nd ga p .
+ C o llec tin g ref e re n ces for som e p reparing m e thods a nd optic a l pro p erty o f
sem ic o n d u c tor w ith w id e band gap .
+ B uild in g e x tr a ction h o o d f or pre p a ring sa m p les
+ In v e stig a ting the in flu e n c e o f som e p r eparing c o n d itio n s su c h as: d o ped
conte n t, anneallin g tem p e ratu re, annealling tim e o n th e o p tical p roperty o f
sem i co n d u c to r w ith w id e b and g ap.
2. M ain r e su lts:
W e su c ceed ed in :
- C o lle cting re fere n c e s for som e p re p a rin g m e th od s an d o p tica l p roperty o f
sem ic o n d u cto r w ith w ide b and g ap

- B u ildin s 01 e x tra c tion hoo d fo r pre p aring sam p les
- P re p a rin g som e lum in e s c e n c e pow der: ZnS, Z n S :A l-C u . Z n O . Z nO :C o
- S tu dy the infl u e n c e o f som e p re p aring c o n d itions s u ch a s: d o p ed con tent,
a n n ealling te m p e ratu re, an n e a llin g tim e o n th e o p tical p roperty o f
sem ic o n d u c tor w ith w id e b and gap .
+ E d u c a tio n resu lts:
03 m a st er the s es
0 4 b ach e lo r th e ses
P u b lic a t io n s :
0 2 pap e rs 011 th e S ix th N a tional C o n fe re n c e on Solid P h y sic s and M a te ria l
S cie nce . D a N ang , 8-1 0/11/2 009:
+ O p tical pro p erty o f Z nO .C o prep a red by s o l- g d m eth o d
Bui H ong V an, P ham V an Ben, H oan g N am N hat, Phung Thi H ao
+ T he p h o to lu m in escen c e spectra o f ZnS:A liuiiỊ pre p are d hr th e solid suite
reactio n m eth o d
Bui H ong V an, Pham V an B en, H oan g Nam N hat, N guyen T hi Thanh, N guyen

Thanh Long, Pham V an T huong, Đo Xuan Tien
M Ụ C LỰC
Trang
M Ở Đ Ầ U 1
C hươ n g 1. M Ộ T SÓ P H Ư Ơ N G P H Á P C H É T Ạ O V Ậ T L IỆ U
B Á N D Â N V Ù N G C Á M R Ộ N G 2
1.1. Phương pháp g ố m 2
1.2. Phương pháp sol - g e l 4
1.3 Phương phá p đ ồng kết t ủ a 5
1.4 Phương ph áp phún xạ catốt 6
C h ương 2. M Ộ T S Ó T ÍN H C H Ấ T Q U A N G C Ủ A V Ậ T L IỆU B Á N D À N
V Ù N G C Á M R Ộ N G
7

2.1 M ột số tính chất q u ano cú a Zn S và Zn S ph a tạp M n, Al, Cu
7
2.1.1 P hổ hấp thụ c ủ a ZnS v à Z nS pha tạp M n, A l, C u 7
2.1 .2 Ph ổ phát q u a ng củ a ZnS và v à ZnS ph a tạ p M n. A l, C u

8
2.1 .3 Ph ổ tá n xạ R a m a n củ a Z n S và và Z nS pha tạ p M n, A l, C u 11
2.2 M ột số tính c hất q u ang c ủ a Z nO v à Z n O :C o 13
2.2.1 P hổ hấp th ụ củ a Z n O và Z n O :C o 13
2.2 .2 P h ổ phát qu a n g cùa Z n O và Z n O :C o 15
2.2 .3 P h ổ tấn x ạ R a m a n c ủa Z n O và Z n O : C o 17
2.3. T h iế t bị thực n g h i ệ m 18
C h ư ơ n g 3: K Ế T Q U Ả T H Ự C N G H I Ệ M V À T H Ả O L U Ậ N 19
3.1 X áv dựng tú hút phục vụ ch o chế tạo m ả u
19
3.2 K háo sát ánh h ường c ù a m ộ t sò đié u kiện chế tao lèn tin h cliá t quang c ua
ZnS: AI - C u 19
3.2.1 C hế tạo m ẫu ZnS: AI - C u 19
3.2.2 Ả nh hưởng củ a nồng độ C u lén cấu trúc và tính chất qu an g cù a ZnS: AI - C u 20
3.2.3 Ả nh hưởng củ a n hiệ t độ nung, thời gian nung lẽn p hổ phát quan g của
ZnS:A l - Cu 24
3.2.4 Kết lu ậ n 27
3.3. K hảo sát ảnh h ường củ a một sô điều kiện ché tạo lên tính chát q uang cùa
ZnO: C o 27
3.3.1 C hế tạo m ẫu ZnO: C o 27
3.3.2 Á nh hưởng củ a nồng độ C o lên cấu trúc và tín h chất qu ang c ủa ZnO : C o

28
3.3. 3 Ảnh hưởng cùa nhiệt độ nung, thời gian nu ng lên phổ phát quang của
ZnO : C o 31

3.3.4 Kết lu ậ n 32
K Ế T L U Ậ N C H U N G 3 3
T À I L IỆ U T H A M K H Ả O 34
P H Ụ L Ụ C 35
MỞ ĐẦU
C ác vật liệ u b án dẫn v ù ng cấm rộ ng lo ại A 2B \ A 'B 5 như: Zn S. Z n O .v.v.
đượ c ứn g dụ n g rộng rãi tro n g các d ụ n ? cụ quan g đ iện tử. C h ú ng d ù ng để ché lạo
các đ i ố t phá t q uang, q u a n g trở, nhữ ng cử a sổ tro n g suố t tron g vùn g k h a kién và
hổn g n g oại gán [1 - 4 ] . T ro n g p hổ p hát quan g c ủ a cá c vật liệu b án d ẫn này từ
4 .2 K đến 3 00K , n g oài nhữ n g v ạch đặc trưng cho sự tái hợp bức xạ củ a các
e xcito n tự do , e x cito n liên k ế t trê n cấc donor, ac cep to r, các ele ctron tự do từ vùng
dẫn x uống các m ức tạ p ch ấ t, còn x u ất h iệ n cá c đ ám rộn g đ ặc trư ng c ho sự tái
hợp bức xạ củ a cá c cặp d o n or - acc epto r [5 - 10].
K h i pha cá c k im lo ại c h uyể n tiếp n hư Cu, M n . C o , với v ò diệ n tứ 3d
chư a lấ p đầy vào các hợp ch ất b án dẫn vùn g cấm rộn g sẽ tạ o th ành các bán dẫn
hán từ. Các iôn cù a các k im loại (g ọi là các iôn từ) sẽ tạ o n én tron g v ùng cám
của các hợp chấ t b án d ẫn n ày nhữ n g mức n ăn g lượ ng xá c địn h . V i th ế trong ph ố
phá t quan g cúa các h ợp ch ấ t hán dẫn vùng cấm rộn g c òn x uất h iện n hữna vạch
đặc trư n s cho sự tái h ợp bứ c x ạ của các pôlarô n từ liên kết, các đ ám phá t quang
m à u như: xan h lá cây. da c am - vàng , đỏ đạc trư n s cho c ác ió n: C i r \ M r r \
C o'* và một số đ á m p hát q u a n ? n ằm ờ v ùn g hổ ng ngo ại gần [11 - 16],
V ới nhữ n g tính c h ất qu a n g và nhữ ng ứ n s dụng q u a n tr ọng trẽ n nên từ nă m
1990 đ ến nay bán d ẫn bán từ vùng cấm rộ n s lo ại ZnS, Z nO pha các kim lo ại
chuy ể n tiếp với lớp vò điện từ 3d chưa lấp đẩy đ ã được chế tạo vã n ehién cứ u
m ạ n h m ẽ ở nước ta và trên t h ế g iới. N hưns tín h ch ấ t q u ang c ủ a ch ú n g phụ th uộc
rất nhiều và o cá c đ iể u k iệ n c h ế tạo như: phươ ng pháp chế tao. c hất ph a tạ p. nhiệt
độ ủ. thời gia n ủ. V ì thế. chứn g tô i đã đ ăna k ý thực h iệ n đê tài: N ghié n cứu
ả n h h ư ờ n g c ù a m ộ t sô đ iê u kiệ n c h ê tạ o lên tính c h á t q u a n g củ a bán d ẩn
vừng cấ m rộn g.
1

C H Ư Ơ N G 1: M Ộ T SỐ P H Ư Ơ N G P H Á P C H É T Ạ O V Ặ T L IỆ U B Á N D Á N
V Ù N G C Ấ M R Ộ N G
1.1 Phươ ng pháp gốm
Vật liệu g ốm : V ật liệu gốm là loại vật liệu có cấu trúc tin h thề bao gồm các hợp
chất giữa kim loại và phi k im nh ư : kim loại với oxi (các oxit), kim loại với nitơ (các
nitrua), kim loại với cácbon (các cacb ua), kim loại vớ i silic (các silixua), kim loại với
lưu hu ỳn h (các sunfua) Liên kết ch ủ yếu trong vật liệu gốm là liên kêt ion. tuy nhiên
cũng có trườ ng hợp liên kết cộn g hóa trị đóng vai trò chính .
V ật liệu gốm có nhiều đ ặc tín h quý g iá về cơ, nhiệt, điện, từ. quanơ do đó
đóng vai trò quan trọng tro ng h ầu hết các ngành công n gh iệ p [1. 2 ].
v ề đặc tính cơ, vật liệu gốm có độ rắn cao n ên đ ược dùn g làm vật liệu mài, vật
liệu giá đỡ
v ề đặc tính nhiệt, vật liệu gốm có nhiệt độ nóng chày cao, đặc biệt là hệ số giãn
nò' nhiệt thấp nên đ ược dùn g làm các thiết bị đòi hỏi có độ bền nhiệt, chịu được các
xung nhiệt lớn (ló t lò, bọc tàu vũ trụ )
v ề đặc tín h điện, độ dẫn điện của vật liệu gốm thay đôi trong m ột phạm vi khá
rộng từ dưới 10 Q ^ c m ' 1 đến 10' 12 Q ^ cm '1. Có loại vật liệu £ốm tro ng đó phần tử dần
điện là electro n như kim loại, cũ ng có loại v ật liệu sổm tro na đó các ion đ ó n s vai trò
là phần từ dẫn điện. D o đó ch úng ta có thể tổ n s hợ p nhiều loại vật liệu gốm khác nhau
như gốm cách điện, gốm bán dẫn điện, gốm siêu dẫn điện
Đ ặc tính từ c ủa vật liệu gốm rất đa dạng. Ta có thể tồ ng hợp được gốm nghịch
từ, gốm thuậ n từ, g ốm sất từ vớ i độ từ cảm ứ n a th ay đổi từ 0 đến 10 và phụ thuộc rất
đa dạng vào nhiệt độ cùng như từ trư ờng ngoài.
v ề đặc tính quang , ta có th ể tổ na hợp được các loại vật liệu có các tính chất
quang học k hác nhau nh ư vật liệu phát q uana dưới tác d ụns của d ò n s điện (chất điện
phát quang), vậ t liệu ph át quang dư ới tác dụng cùa ánh sán a (chất lân quan s) hoặc các
loại eốm sử d ụna tr o n s thiết bị phát tia laze.
T ính chất của vật liệu eố m không chì phụ thuộc vào thành phần hóa học (độ
nguyên chất, lư ợng v à loại tạp chất có tron a đ ó) mà phụ th uộc kh á nh iề u vào trạn a thái
cấu trúc cùa nó.

2
P hươn g p h á p g ốm : P hương pháp g ốm là p hư ơng pháp thực hiện phản ứng
giữa các p ha rắn ở nhiệt độ cao. Cơ sở của phươn g pháp này là tro ng môi trườ ng chi
có khí n itơ hoặc k hí argon dưới tác d ụn g củ a nhiệt độ cao củ a các nguyên từ tạp chất
có thể th ay thế vào ch ỗ c ùa các ng uyên tử c hính hoặc nằm lơ lừ ng giừa các n út m ạnạ
tinh thể, vì thế m à xu ng quanh các nguyên tử tạp ch ất này m ạng tinh thể bị biến dạ na
[1.3 ].
Q uy trình chế tạo các bột phát q uang bằng ph ương pháp gốm được dần ra ờ
hình 1.1. N ó gồm cá c b ước sau đây:
H ình ỉ. ỉ : Quy trình c hế tạo bộ t phát quang bằng
p hươ n g p háp go m
Bước l\
C huẩn bị ph ối liệu: các chất nền, các chất cần ph a tạp, xác định thành
phần, độ tinh khiế t của m ẫu.
T ính toán khối lư ợng các chất cần ph a tạp sao cho đ ạt ti lệ hợp thứ c của sản
phẩm m o ng m uốn.
B ư ớc 2: N ghiề n mịn n guyên liệu để tăng diện tích tiếp xúc giữ a các chất phán
ứng đồn g thời khu ếc h tá n đồ ng đều các chất vào tron a hỗn hợp. N ếu lư ợn g phối liệu
chi dư ới 20 gam có th ể nghiền mịn tron g cối m ã não. Vì rằna cối chày b àne mă não có
độ cứns cao, đặc biệ t là phẳng. nên tron g quá trình neh iển không đưa tạp chất vào và
cũng kh ôn g để d ính p hối liệu lại tro ng khe rãnh của cối làm sai lệch tý lệ các chất
trong phả n ứng. Khi n gh iền có th ể đưa vào một lượna ít d una m ôi cho dễ nơhiên.
Chọn loại dung m ôi nào để trong quá trìn h nah iền dễ th oát ra khỏi phố i liệu í có thề
dùng rư ợu ety lic, ax eton )-
Birớ c 3: E p viên, côns đo ạn nàv nhăm tăn2 mức độ tiẻp xúc 2ÍCra các chât phan
ứng. K ích thước và độ dày của viên mẫu tùy th uộc vào k hu ôn và độ d ần n hiệt cùa phối
liệu. Á p lực nén tùy theo điều kiện có thể đạt tới vài tấn.'cm . Thực ra nsiav cả khi dùna
thiết bị nén tới h àn g trãm tấn thì trong viên phối liệu cùna có chứa k hoả na 2 0% thề
tích là lồ xốp và m ao quàn. Đ ê thu được ph ổi liệu có độ xốp thấp cần phai sư dụna
3

phương pháp nén nóng (vừa nén vừa g ia nhiệt). V iệc tá c độ ng đông th ời ca nhiệt độ và
áp suất đòi hỏi phải có thời gian để thu được m ẫu phối liệu có độ chăc đặc cao.
B ước 4: N ung hỗn hợp ở nhiệt độ cao đề thực hiện phàn úng giữa các pha rắn.
đây là cô ng đo ạn quan trọng nhất. H ỗn hợp đượ c nun g ờ lò có khống chế nhiệt độ
trong m ôi trư ờ ng khôn g khí hoặc trong khí trơ từ vài trăm độ đến vài nghìn độ.
B ước 5: Để nguội m ẫu tự nhiên trong k hông khí hoặc tro ng khí trơ.
1.2 Phương pháp sol - gel
C ơ sở củ a phư ơng pháp này là dựa vào sự lắng đ ọn g của các vật liệu tro ng phản ứng
hóa học, th ường là sự lắng đọn g cù a các halogenua hoặc các m uối hữu cơ củ a các hợp
chất bán dẫn.
Sol là gì? Sol là trạn g thái tồn tại của các hạt thê keo ran bẽn trong chất lóna và
đề cho các hạt rắn tồn tại ở trạ ng thái ồn định thì kích thướ c hạt phài đù nhò đế lực cần
cho phân tán phải lớn hơn trọng lực. Hệ keo là các hạt thấy được mà khôn g thế đi qua
màng bán thấm , trên th ực tế các hạt có kích thước từ 200 nm đến 2 mm và tron 2. mỗi
hạt có khoản g từ 103 đến 109 phân tử.
G el là gì? G el là chất rắn lỗ x ốp có cấu tạo m ạna liên kết 3 chiều bên trong môi
trư ờng ph ân tán ch ất lòng và eel được hình th àn h từ các hạt keo gọi là colloide ael.
còn tro n s trườ ng hợp được tạo thành từ những đơn vị hó a học nhò hơn các hạt co lloide
thì gọi là gel cao phân tử. H ơn nữa. vì có tồn tại chất lỏ ng b ên tro n2 cấu tạo m an s rắn
nên h ai tư ớng ở tr o n s trạng thái cân bằn s nh iệt đ ộ n s và lúc này bên trong chất lò n2
không có đư ợc tín h lưu độn g của mình. Đại bộ p hận bên tron g eel là nước nên tron a
trường hợp tư ớng d ung dịch nướ c chiếm nhiều ph ần nhất thì eọi là hv dael hay aquaael
và tro n s trườnẹ hợ p tư ớ ng lòng ỉà alcohol thì gọi là alcohol eel. K hi đà loại phân lớn
chất lỏng thì gọi là gel khô và tùy theo p hươn a p háp sấy khô naườ i ta chia thành
xerogel và ae ro ge l.
Sơ đồ to n s q uát chế tạo vật liệu vô cơ bã n 2 phươns p háp s ol-2el được dan ra ờ
hình 1.2 .
4
o o o o o o
o o o o o o

o o o o o o
o o o o o o
Các hạt đồng nhất
< =
o o
o o o
D o o
-~)0 O o
8 o o °
o 0 ^ 0
° , o
Ngưng tụ
o _
0 ^ 0
8 ^ °
dung môi
8 ^
Gel
Aeroiiel
Bay hơi dung môi
Gôm mật độ cao
Màng mật độ cao
H ình 1.2: S ơ đồ tong quái chế tạo m âu b ằn g phươ n g pháp Soỉ-Gel
1.3 Phương pháp đồn g kết tủa
Cơ sờ c ủa ph ương p háp n ày là sir kết tủ a đồng thời củ a chất nền và chất kích
hoạt. Quy trình chế tạo Z nS và ZnS :Mn bằna phư ơ ns ph áp đồng kết tủa được dẫn ra
ớ hình 1.3:
Trộn
dung
dịch

Tạo kết
tủa
Lọc
kết
tùa
Sấy và
ủ kết
tủa
Bột
p há t
quang
H ình 1.3: S ơ đ ồ k hối của q uy trình tạo bột phát qua ng bảng phư ơ n g phá p
đổng kết tua
D ùn g các nguyên liệu ban đầu Z nCỈ2, M n2Cl và X a2S pha vào nước thành dung
dịch với nồng độ thích hợp. Sau đó cho phá n ứ na xảy ra giữa hồn hợp Z n C k M n:Cl
và N a:S. Lọc lấy kết tủa. sấy khô v à ủ nhiệt ta được bộ t phát qua ns Z nS :\ln .
Ư u điểm: D ù n a phư ơng pháp hóa học để tăn2 m ức độ tiếp xúc giữa các chất
tham gia phản ứ n s v à hạ nhiệt độ phản Írn2. P hương pháp n àv cho san phám dưới d ạns
bột m ịn hơn sản phẩm thu được theo phương pháp 2ốm tru yề n thốn2. ó phươnu pháp
đồno kết tủa, hiệ n tượ n a khuếch tán của các chất tham a ia phan Ún2 0' mức độ phân tử
[1.4 ].
1.4 P hươ ng pháp phún xạ catốt
C ơ sở cù a phương pháp này là d ựa vào h iện tư ợng bãn phá cùa các hạt có n ăn2
lượng cao vào b ề m ặ t cùa vật rắn làm bia (đượ c gân với ca tô t) làm bật ra các nsuyèn
tử cù a vật liệu làm bia. Các nguyên tử này được gia tốc trong m ột điện trư ờn2 aiừa bia
và đế (được gắn với anốt) bay đến bám vào đế rồi lắng đọ ng tạo thành màn 2. m ón2
(hình 1.4).
Bia Đe tạo màng
Khi Ar
H ình 1.4: H ệ tạo m àng m óng bằng phư ơ ng phá p phú n xọ catốt

C ác hạt th ườn g dùng để bẳn p há bia là khí trơ như ara on hoặc hỗn hợp khí
argon với khí kíc h h oạt là ox i hay nitơ. M àng m ỏna được chế tao b ans phươ ng pháp
này có chất lư ợ ns rất tốt như: độ sạch, độ đồn2 nhất, độ định hướnơ cao và có thê điều
khiến được độ dày của màng [ 1 ].
6
C H Ư Ơ N G 2: M Ộ T S Ó T ÍN H C H Ả T Q U A N G C Ủ A V Ậ T L IỆƯ
B Á N D Ả N V Ù N G C Á M R Ộ N G
2.1 M ột số tính ch ất quang của vật liệu ZnS và ZnS pha tạp M n, Aỉ, Cu
2. Ị. 1 Ph o hấp th ụ của Z n S và Z n S p h a tạp M n, AI, Cu
H ình 2.1 là phổ hấp thụ ở gần bờ vùng cấm của Z nS với n hừn a nồno độ c khác
nhau cùa nó tron g đun g dịch. Với c = 0.5g/100ml thì b ờ hấp thụ nằm tro na kho án a từ
250 nm đến 290 nm và có độ dốc lớn. Khi tâng nồ ng độ củ a nó thì bờ hấp thụ dịch
chuyển về p hía sóng dài từ 260 nm đến 320 nm và giảm dần độ dốc. Khi đ ưa các tạp
chất như M n, Cu, AI vào ZnS thì phổ hấp thụ củ a ZnS có thể bị thav đồi.
>.(nm)
H ình 2.1: Ph ô hấp thụ của Z nS với nhữ ng nồn g độ c khác nha u
H ình 2.2 là phổ hấp thụ ở gần bờ vùng cấm c ủa Z nS:M n với nhữ na norm độ Mn
khác nh au . V ới cMn = 0.5 g/100m l thì bờ hấp thụ củ a nó cũn2 nằm tron g khoảna 250
nm đến 290 nm v à có độ dốc lớn. N hưng khi tă n a n ồns độ của nó tro n e d uns dịch thi
bờ hấp thụ của nó cũ ng dịch chuyển về phía só ng dài và aiảm dần độ dốc. Với C \in =
10 đến 12 g /lOOrnl thì b ờ hấp thụ nằm trong k hoáng từ 285 nm đến 320 nm . Như vậy
sự có mặt cùa M n tro n g ZnS đ ã làm th ay đồi phò hấp thụ ỡ gân bờ vùng cẩm cùa ZnS:
kéo dài bờ hấp th ụ về phía són a dài kh oả ng 25 nm [3.5].
7
<0- 0.5- c n ■■ ■■ ' 1-Sm
Â(nm)
H ình 2.2: P h ổ hấp thụ cùa Znj.xM nxS với nhữn g nò ng độ K ín khác nhau
2.2.2 Phổ phát qua ng cùa ZnS và ZnS pha tạp Mn, Al, Cu
Hình 2.3 là phổ phát quan g catốt của ZnS ở 77 K. Trong phố ph át qu ang này
xuất hiện các đám tro ng vùng từ ngoại có cực đại ờ 328 nm , 340 nm , 360 nm và một

đám ở vùng x anh lam.
;.(nm)
H ìn h 2.3: Các đám p h á t q uan g cơ bán tron g p hô p h á t quan g cua ZnS
Sự p hân bố năng lư ợng của các đám trong v ùn g từ naoại lớn aấp đôi tron2 vùng
xanh lam . Đ ám ờ vùng x anh lam gồm nhiều đám n hò và ứng với m ỗi loại ZnS chế tạo
bằng các ph ươnơ pháp khác n hau thì tì số cường độ của chú na cũn e khác nhau. N gười
ta đà chia đám xanh lam củ a ZnS thành các đám có c ườna độ cực đại ờ các vị trí : 405
nm. 426 nm. 466 nm . 496 nm . Trên th ực tá khô ng có một loại ZnS nào m à chi có một
trong các đám h oặc có đầy đủ các đám [2, 6].
Mình 2 .4 là sơ đồ các mức nă n s lượn a ứna với các quá trình bức xạ khác nhau
có thê xảv ra tron a ZnS [2]
H ình 2.4: Sơ đồ c ác m ứ c n ăng lượng ứng với các quá trình bức xạ kh ác nhau có
thê x ày ra tron g ZnS; S S- trạng thái bề mặt, VZn. nút khuyết của kẽm, ỉ V n út khuyêt
cùa lim huỳnh, Cuz,r tợp đổ ng
Khi p ha tạp các nguvên tố như M n, Co, A l, Cu vào Z nS thì phô phát quang cùa
ZnS bị thay đôi. C ác đám phát quang đặc trưng cho các n út kh uyết c ủa Zn, s bị dập tắt
dân, đồ ng thời xuất hiện các đám phát quang đăc trư ng cho các iôn pha tạp. H inh 2.5
là phô phát quang của Z nS:A l khi kích thích bầne bước sóng 325 nm ờ 300K.
H ình 2.5: Phô phát q uang của màng Z nS:A l với các n ồn ơ độ AI khác nhau
Khi pha tạp AI với các n ồn g độ khác nhau vào tin h thể ZnS . tro n a phổ p hát
qu ang của ZnS:A l n goài đám đặc trư ng cho ZnS. tron a phổ cò n x uất hiện m ộ t đám
xanh lam rộ ng, có cư ờ ng độ lớn ờ khoảng 476 nm. Đ ám này đặc trưna cho ch uyển dời
bức x ạ cùa các cặp d on or- acceptor. Khi tăng nồng độ AI thì vị trí đ ám xanh lam hầu
như khô nạ thay đồi như ng cườn g độ tăng dần và đạt cực đại tại nổna độ 6 %. T iếp tục
tân g nồn s độ AI từ 6 °0 đèn 10%. cường độ đám xa nh lam ạiãm dần. ơ đáy. AI liên
kết với nút khu yết c ủa Z n [VZn-AI] đóng vai trò là tâm acc ep tor sâu tro nạ cơ chế tái
hợp bức x ạ c ùa dải 467 nm [7. 8].
9
Hình 2.6 là phồ p hát quang c ủa Z nS:C ư-A l. Tro ng phổ phát q uang này xuất hiện m ột
đám rộng có cực đại ở 515 nm. Đ ám này đặc trưng cho sự dịch chuyên bức xạ cùa các

điện từ liên qu an đến lớp vò 3d9 của các iôn Cu" tro ng trư ờn g tinh thê củ a ZnS [8]
H ình 2.6: Phô p h á t quang cù a ZnS:C u-A l
Hình 2.7 là phổ phát quang của Z nS :Mn. Phổ phát quang này gồm 2 đám: đám
xanh lam ờ v ùn g từ 400 nm đến 500 nm cúa ZnS và đám da cam - v à ns từ 510 nm đến
620 nm với cực đại khoảng 580 nm đặc trưng cho các ion M n . Hai đám này nằm ở
hai v ù ns k há xa n hau. K hi tãne dần nồng độ M n thì cư ờ n a độ của đám xanh lam bị
ạiảm đi còn cư ờng độ củ a đám da ca m — vàng tăne lên. N h ưng khi tá ng nồn a độ Mn
đến một n ồng độ giới hạn thì cường độ củ a đám da cam - vàng lại b ẳt đầu giảm . Đây
là hiện tư ợ na tất vi n ồna độ mà nguyên nhân cùa nó là do tương tác giữa các ion M n2*
với các ion củ a mạn g tin h thể và g iừa các ion M n với nhau. [3.5].
>. ( nni)
Hììih 2.7: Phô phát quang cúa ZnS:\ỉn
10
2.2.3 P hổ tản x ạ R amatĩ củ a Z n S và Z n S pha tạp AI, Cu
H ình 2.8 (A ) là phổ tán xạ R am an của các vi tin h thể ZnS ứng với hai cấu hình
phân cực khác n hau (hình a và b). V ạch 1 ờ khoảng 352 cm ' 1 ứn g với các phonon LO.
vạch 2 (273 c m '1) - cá c mod e TO, cả hai m ode dao động này đều có vẻctơ só ng gần
bằng khôn g (điểm r c ủa vùng B rillouin); các vạch 3 và 4 (tương ứ ng ở 221 cm '1 và
179 cm '1) là các m ode bậc hai (2LA và 2 TA, điểm X). C ác vạch còn lại: 420 cm ’1 (TO -
LA), 448 cm ' 1 {LO + TA), 615 cm ’1 ( 2 TOỵ), 640 cm *1 (TO + LO), 671 cm ' 1 (2 LO) [9. 10.
A v ( e m ' )
H ình 2.8: (Ả )-P hô tán x ạ Ram a n của các vi tinh thé ZnS với các p hán cực so ng
son g (a) và p h á n c ực vu ông gó c (b). (B)-P hô R aman cùa m ộ t vi tinh [hẻ Z nS bị
biến d ạn g
H ình 2.8 (B ) là phổ tán xạ Ram an củ a m ột vi tin h thề bị biến dạns. Ta có thế
thấy ờ đây. các vạch số 2 và số 8 chiếm ưu th ế (T O và TO - LO ). N h ìn chuna. tro na
phổ tán xạ Ram an các m ode dao độnơ qu ang dọc thường ch iếm LIU thế so vói các
m ode dao độns quan e na ana. Vì vậy, m ột phổ "dị th ườna" với m ode naa n a chiếm ưu
thế có thể liên quan tới sức cãn g bên trong và sự biến d ạne của các vi tinh thể tư ơna
írns sây nên sự tă n s cirờ n s ảnh hườ ns của các só ne n a a n s lên tín h phân cực cua tinh

thè [9, 11. 12].
11
H ình 2.9 là phổ tán xạ Ram an của đơn tinh thể ZnS:A l ở 300K khi kích thích
bàng bước só ng 488 nm (số són g 20491.8 c m '1) củ a laser A r. T rong phô tán x ạ R am an
củ a nó chủ yếu xuất hiệ n nhữ ng vạch đặc trưng ch o các loại dao độ ng E |(LO) ờ 349.7
cm '1, A |(T O ) ờ 270 cm '1, E |(2L O ) ở 670 cm '1, 2T A ờ 179 c m '1, (TO - TA ) ơ 221 cm ' 1
và (TO + T A ) ở 398 cm'1 trong đó các dao động E |(LO) và A |(TO ) có cườ ng độ lớn
nhất.
4.5x10“
4.0x10"
3.5x104
3.0X104 -
— 2.5x 10J -
— 2.0 x1 0‘
1.5 x10 4 -
1.0x10'
5.0x1 0
150 300 450 600 750 900
A V (cm 1)
H ình 2.9: P hô tá n x ạ R ama n cù a đơn tin h thê Zn S:A l ơ 300 K
kích thích bằng bước sóng 488 nm của la ser A r
Phonon qu an g dọc LO và phonon quang n e ans TO đều đ ượ c tạo ra do các dịch
chuyển của các mạch nguyên tử trong tinh thề. Đ ối với các mầu bột và các mẫu m àng
ZnS, phonon quang dọc là nguyên nhân chính gây ra tán xạ biế n dạng và tán x ạ m ode
phân cực, vì th ế cườ ng đ ộ vạch tán xạ của dao độne này là lớn [13]. Phonon q uana
ngang TO gây ra tán xạ biế n d ạn g và mode phân cực là nhỏ. vì th ế cườns độ vạch tán
xạ của dao độn g n àv là nh ỏ [13, 14]. Đối với đơn tinh thể Zn S:A l các vạch tán xạ írna
với hai loại dao độns irons E|(LO ) và A |(TO) đều có cư ờna độ lớn. Đ iều nàv chứna tỏ
cả ph on on q u ane dọc và phono n q uane nsa n e đều gây ra tán xạ biến dạn g và m ode
phàn cực trons tin h th ể ZnS:A l.

Hình 2 .10 là phổ tán xạ R aman của bộ t Znj_xC uxS (0 < X < 3.5.10"^ 2,'ẹ) khi
kích b ans bước sons 514 nm của laser khí H e-N e ờ 300 K. Trong phô xuât hiện một
vạch có c ườns độ rât mạnh đặc trư ng cho dao đ ộne LO ở 349 cm ''. N aoài ra tro nạ phố
còn x uất h iện m ộ t số vạch có cư ờng độ yểu đặc trư ng cho các dao đ ộna 2TA. T ơ .
LO+T A, 2LO tại các vị trí 214 cm*1, 270 cm '1. 412 cm '1. 6 76 c m '1. Vị trí và cường độ
cùa các vạch thay đồi kh ông đáng kể khi thay đổi n ồn g độ Cu. Đ iều đó chửng to với
nồng độ ph a tạp nhỏ, C u chưa ảnh hưởng đ áng kể đến m ạng tinh thè. chưa d ần đến sự
xáo trộn , th ay đổi cấu trúc trường tinh thể [15].
V (em'1)
H ình 2.10: P hô tán x ạ R aman cùa Z n/.xCux (0 < x <3. ỈO'Jg/g) khi kích thích
băng bước sóng 514 n m của laser He-Ne ờ 300 K
2.2 M ột số tính ch ất quang của ZnO và ZnO:C o
2.2.1 Phổ h ấp th ụ của ZnO và ZnO :Co
Chiếu một chùm sáng lên m ột m àn g bán dẫn thì m ộ t ph ần án h sáng sẽ đi xuyên
qua bán dẫn, m ột phần còn lại hoặc bị tán xạ tro ng bán dần hoặc bị hấp thụ trong bán
dẫn. Năno lư ợn g hấp th ụ được chuyển tro ng bán dẫn thành các d ạna nãn g k rợ na khác;
nhiệt nãng, quana n ãna (h uv nh quang), điệ n n ãnơ T ư ơ n ạ tác của ánh sána tro n s bán
dần xác định bời hai yếu tố:
+ Tính ch ất c ùa ánh sáno; sự phân cực, cư ờng độ, hướ n2 truyền
+ Tính ehât của bán dẫn: câu trúc vùng, câu trúc tinh t h ẻ
N soài ra các điêu kiện bên n aoài như nhiệ t đ ộ, áp suất, điện trường , từ
tr ư ò n a cũ na ảnh h ườna lớn đến quá trình hấp thụ cù a b án dần.
T ro na quá trình hấp thụ, pho to n với n ãna lượrm xác định sẽ kích thích diện tứ
từ trạng thái nãna lượna thấp hơn lên trạng ihái nã na Iirợna cao hơn. F)ê đặc trims cho
quá trình hấp thụ ta có hệ số hấp th ụ (2 . Hệ số hấp thụ có thể lã xác su ầt hấp thụ
13
photon. N ếu trong bán dẫn có m ột sổ c ơ chế hấp thụ độc lập với nhau, đặc trung băng
xác su ất a . (ũ)) thì xác su ất tổng cộng cùa các qu á trình hấp thụ là:
Q uá trinh hấp thụ có thể b ao gồ m các cơ chế hấp thụ sau:
+ Hấp thụ cơ b ản (hấp thụ riêng): liên q uan đến chuyển mức cú a điện tứ giữ a các vùng

nâng lượng cho phép
+ Hấp thụ do các hạt tải điện tự do: liên quan đến chuyên mức của các e hoặc h trong
vùng n ăng lượn g cho ph ép ha y là giữ a các vùng nã n s lượn g con cho phép.
+ H ấp thụ d o tạp chất: liên quan đến chuyển mức của e hoặc h tron a v ùn g năn g lượng
cho phép và mức năn g lượn g tạp chất ở vùng cấm.
+ Hấp th ụ exciton: liên qu an đến hình thành một g iã hạt đặc tn rn g cho sự liên kết giữa
điện tứ và lỗ trống trong bán dẫn.
+ H ấp thụ plasm a: liên quan đến h ấp thụ sóng định từ cùa p la sm a e-h dần đên m ột
trạng thái lư ợng tử cao hơn củ a plasma.
H ình 2.11 là phố truyền qua cùa m àn s Z nO và Zn O :C o. M à ns Z nO tro n s suối ở
m ột khoảng phô rộng, trong khi đó phô truyền qua của Z nO:C o xuất hiện các dải hấp
thụ tại 569 nm, 614 nm v à 659 nm do các chuyên dời d - d cùa ion Co . Các dái hấp
thụ này đặc trưn g cho c ác ch uyển dời h ấp thụ: 4A2(F )-> A |(G ). 4A 2(F ) - ^ 4T |(P) và
4A ị(F) -> E (G ) trong trạ n e thái spin cao củ a ion C o2~(d7) [4],
H ình 2. l ì : Ph ó hấp thụ cua
ZnO và ZnO. Co ơ 300K
 (nm)
14
2.2.2 P hổ p h á t qu ang của Z n O và ZnO :Co
Phổ phát quang của Z nO xảy ra mạnh và có nhiều đặc tính. D ài phô huỳnh
quang của ZnO thườn g xu ất hiện ở các v ùng từ ng oại, vùn g xanh vàng, da cam và
vùng đó [16].
T ất cả Z nO đều có bờ hấp thụ c ơ bản ở b ướ c sóng eần 380 nm v à độ truyền qua
khoảng 70 95% tuỳ theo p hươ ng pháp và công nghệ chế tạo. Độ rộng vùn g cấm cùa
ZnO trong khoảng 3.24 -í- 3.3 7 eV . N ăng lượng liên kết exciton tự do tro no ZnO lớn cờ
60 meV nên ZnO có nhiề u ứng d ụng trong lĩnh vực quang điện tử hoạt độ n° trên cơ sờ
excito n ớ n hiệt độ phòng. T uy nhiên hầu nh ư k hôn e phụ thuộc vào phirơ na pháp kích
thích, quá trình tái hợp bức x ạ trong vật liệu Z nO thự c h iện q ua các cơ ch ế tái họp cơ
bản như (hình 2. 12).
C ác nút khu yế t của Oxy trong ZnO gây ra m ức tạp do nor nôn s. các nauv ên tử

kẽm điền kẽ tạ o ra mức d onor sâu và nút k huyết kẽm có vai trò nhu' mức acceptor.
ZnO có tính d ẫn điệ n loại n do nồng độ lồ trốno tro n a vù n a hoá trị thấp hơn nhiều
nồng độ điện từ tro n e vùn g dẫn (p <10 n).
C ác đinh cơ bán của Z nO (hình 2.13) bao 2ồm:
+ Dài bức xạ ờ v ù n s từ naoạ i gần bờ hấp thụ do q uá trình tái hợp exciion (L’V) la 380
Ec
EQ(nônỵ) V acan cy Ox>
E j^sau) Kẽm điên kẽ
H ình 2.12: Các chuyên dời tá i hợp bứ c xạ cua Z nO
+ Dài phát xạ ờ vùn g màu xanh có đỉnh lân cận khoảng 500 nm-^510 nm . Đặc điêm
phổ rất rộng và tù. Ngu yên nhân là do tâm sai h ỏng củ a mạng tạo bới nút khuyêt oxy
hoặc do sự thay th ế n guy ên tử Zn bằng các nguyên tố tạp chát tro ng m ạng tinh thè
ZnO .
+ Dải phát xạ m àu cam có đinh khoảng 620 nm do tồn tại các n út kh uyết của ZnO hav
các ion O xy ở vị trí điền kẽ tạo thàn h cặp donor - acceptor.
+ Dải phát x ạ ở vùng m àu đò có đin h thuộc kh oáng 650 nm 663 lim và các lặp lại
phonon củ a nó (669.3 nm và 724.7 nm )
N ăng lượng (eV)
H ình 2. ỉ 3: C ác đám phát quang củ a Z nO
Khi pha tạp Co vào tro ng tinh thề ZnO thì phổ phát quana của ZnO :C o xuất
hiện đám đỏ, cư ờng độ đ in h nàv phụ thuộc vào n on e độ pha tạp Co (x) í hình 2.14) [3].
>.(nm)
H ìn h 2.14: Phô phát qua ng ờ 3 00 K của Z nO:C o với các
hàm lư ợng X = 0, 0.02; 0.0"5; 0.15 và 0.25
2.2.3 P h ổ tán x ạ Ram an củ a Z nO và ZnO :C o
T heo lý thuyết nhó m thì tinh thể ZnO có 8 tần số dao đ ộng mạng đặc trư ng gọi
là các phonon đó là: 2 A |, 2B|. 2E|V à 2E2. Tro ng đó 2 p ho no n Bl d ườn g như không
xuất hiện trong ph ổ tán xạ Ram an (hình 2.15)
Loại dao
động

A ,(L O ) A ,(T O) E,(L O)
E,(T O )
E,(high)
E 2(1ovv)
:
A u ( cm -1)
574
380 583
407 437 101
B àng 2. ỉ. C ác tần sổ dao đ ộng m ạng đặc trưn g củ a tinh thê Z nO
Dạng phonon E 2O0 W) đặc trưng cho sự dao đ ộna của các nau vên tử kẽm. Còn
dạng phonon E ííhig h) đặc trư ng cho dao động của các n auyên tử oxy. Đinh 437 cm "1.
579 cm ' 1 đặc trư ng ch o dạ ng dao động E iíh igh) và E |(L 0 ). Sự xuất hiện E |(L O ) có thẻ
đặc trưng cho sự hình thành các nút kh uvết ox y hoặc do các hạt tài tự do
Av (em '1)
H ình 2.15: Phô tán x ạ Ra/nan cu a ZnO khi
kích thích băng bư ớc só ng 5 14 nm của laser Ar ơ 300 K
T ron s phổ tán xạ R am an cù a ZnO :Co n20ài các dao độ na phono n đặc trư ng cho
tinh thể ZnO còn xuấ t hiện m ột dao động phonon đặc trư ng ch o C o ờ klioàna 546 cm ' 1
cỏ trone tinh thể Z nO (h ìn h 2.16).
0 A1 HQC QUOC n o i
ỉfilJNG tá m T-iC-N'S Tim t h ư V IỆN '
ỮT/ 9tó
__________
17
A v (cm*1)
H ình 2.16: P hô tả n x ạ Ram an cùa Z nO .C o khi kích thích bảng bướ c só ng 514 nm
cùa laser A r ở 30 0 K
2.2.4 Thiết bị th ự c nghiệm
C ấu trúc tinh th ể của ZnS, Z nS :A l-C u. Z nO , ZnO: C o được khao sát bằng

gián đồ nh iễu xạ tia X (X RD) trên thiết bị X D 8 A dvance Bukerd in s ciừna. bức x ạ
CuKa (/. = 1.5046 A °, 20 = 10° -5-70°).
H ình thái bề m ặt, nồng độ của Zn, s, o , Al. Cu và m ột số tạp chất có trong
ZnS, Z nO đ ược thể hiện qua ảnh SEM và phổ tán sắc n ă ns lượn a (E D S) chụp trên
kính hiền vi điện tử quét JE O L 5410-VL .
Phô p hát quang, phổ phát quang phân siã i th eo thời aian và phố kích thích
huỳnh quang cùa ch úng ở 300 K đ ược kích th ích b a n s bức xạ cùa các laser: H e-C d.
N2. H e-N e, đèn xenon ở các bước só ne tương ứnơ 325 nm . 337 nm. 300 nm -4 50 nm và
được ghi trên hệ đo O riel-S pec M S-257, G DM -1 00 0 dùne kv thuậ t Boxca và FL 3-
18