Vật lý màng mỏng -Đo màng điện

LOGO
VẬT LÍ MÀNG MỎNG
HVTH: LÊ HOÀNG NAM

MÀNG MỎNG TÍNH CHẤT ĐIỆN
PHƯƠNG PHÁP ĐO

LOGO

LOGO
PHƯƠNG PHÁP XÁC ĐỊNH CẤU TRÚC MÀNG

Phương pháp nhiễu xạ tia X

Phương pháp Stylus

Phép đo hiệu ứng Hall

Phương pháp đo điện trở suất

Phương pháp sử dụng phần mềm Scout

LOGO
PHƯƠNG PHÁP NHIỄU XẠ TIA X

Mục đích : Xác định cấu trúc và kích thước hạt

Cơ sở :
θθ
λ

cos)2(
9.0
∆
=b
Công thức Sherrer

LOGO

Sơ đồ khối của máy đo Stylus :
Bàn soi
Bàn soi
LVTD
LVTD
Mẫu
Mẫu
Điều kiện tín hiệu
Điều kiện tín hiệu
Bộ nhớ máy tính
Bộ nhớ máy tính
Chuyển đổi A/D
Chuyển đổi A/D

Mục đích : Xác định độ dày của màng
PHƯƠNG PHÁP STYLUS

LOGO
PHÉP ĐO HIỆU ỨNG HALL

Mục đích : Xác định nồng độ hạt tải và độ linh động


Cơ sở :
Hình 4: Nguyên tắc phép đo hiệu ứng Hall
.( )
L D
F q V B= ×
r r r

LOGO
PHÉP ĐO HIỆU ỨNG HALL
y x z
q E q E B
µ
=
y x z
E E B
µ
⇒ =
.
y
Hall
z x
E
R
B j
=
. .
1
. . . . .
x z
Hall

x z
E B
R
E B q n q n
µ
µ µ
σ σ µ
⇒ = = = =
Ở trạng thái cân bằng
Ta có :

LOGO
XÁC ĐỊNH ĐIỆN TRỞ SUẤT
Phương pháp đo điện trở vuông
.R d
ρ
=
W

LOGO
XÁC ĐỊNH ĐIỆN TRỞ SUẤT
Phương pháp đo bốn mũi dò
.
s
R d
ρ
=
Cách đo:
với
. .

ln 2
s
U
R G
I
π
=
Công thức tổng quát
G : Số hiệu chỉnh (tùy thuộc vào
hình dạng và kích
thước của mẫu)

LOGO
Xác định loại phổ cần làm khớp, vẽ phổ lý thuyết của nó
dựa trên các thông số đã khai báo
Sử dụng phần mềm khớp phổ Scout

Mục đích : độ dày, chiết suất, độ rộng vùng
cấm, điện trở suất, nồng độ hạt tải và độ linh
động.

Nguyên tắc :
Khai báo các dữ liệu: vật liệu tạo màng, các thông số
quang ban đầu của vật liệu
Chọn các thông số muốn làm khớp sao cho phổ lí thuyết
trùng khớp với phổ thực nghiệm nhất.
Thay đổi dần các thông số để kết quả làm khớp là tốt
nhất. Từ đó ta xác định được các thông số của màng.

LOGO

CHÂN THÀNH CÁM ƠN THẦY
VÀ CÁC BẠN ĐÃ THEO DÕI