Bạn đang xem bản rút gọn của tài liệu. Xem và tải ngay bản đầy đủ của tài liệu tại đây (640.36 KB, 10 trang )
CÔNG NGHỆ PHỦ PVD
(PHYSICAL VAPOR DEPOSITION)
PVD LÀ GÌ?
1
2
3
Phương pháp bay hơi lắng đọng vật lý
Một tập hợp các quá trình phủ một lớp màng
mỏng được thực hiện dưới điều kiện chân
không
Các ion kim loại tác động với các ion của khí
gas tạo ra các hỗn hợp khác nhau. Kết quả là
tạo ra mối liên kết cơ học giữa lớp màng phủ
với nền.
PHÂN LOẠI CÔNG NGHỆ PVD
(THEO TÁC ĐỘNG VẬT LÝ)
1
Bốc hơi và ngưng tụ kim loại trong chân không
2