CÔNG NGHỆ CHẾ TẠO CÁC CẤU TRÚC MỘT CHIỀU ZnS, ZnO

CÔNG NGHỆ CHẾ TẠO CÁC CẤU TRÚC
MỘT CHIỀU ZnS, ZnO
PHẠM THÀNH HUY
PTN NANO QUANG ĐIỆN TỬ
VIỆN TIÊN TIẾN KHOA HỌC VÀ CÔNG NGHỆ


Điều khiển bước sóng
phát xạ của vật liệu bằng
cách điều khiển kích
thước nano của vật liệu


Công nghệ bán dẫn = Công nghệ silíc
Cấu trúc vùng không trực tiếp
Eg = 1.12 eV, 300K
 = 10-6-10-7


THIẾT BỊ LẮNG ĐỌNG HÓA HỌC PHA HƠI
ÁP SUẤT THẤP (LPCVD)


C¸c b-íc chÕ t¹o mµng SiOx dïng
PECVD


C¸c cÊu tróc linh kiÖn ®iÖn huúnh quang
Eletroluminescent MOS device

MỤC TIÊU
Giới thiệu về công nghệ chế tạo các cấu
trúc một chiều bằng phương pháp bốc
bay nhiệt
Nghiên cứu sự thay đổi các tính chất
của vật liệu ở kích thước nano


COLOUR LED

WHITE LED


PHOSPHOR-CONVERTED WHITE LED


ZnS

vs

ZnO

ZnO


Tunning bandgap between ZnO & ZnS by alloying

Laser có thể thay đổi được bước sóng


Các cấu trúc 1D có thành phần và độ rộng
vùng cấm thay đổi dọc theo chiều dài



Sơ đồ nguyên lý hệ bốc bay nhiệt


Các cấu trúc 1D ZnO nuôi trên đề SiO2


Khảo sát hình thái cấu trúc

Vùng 1: 800-850


Cấu trúc một chiều ZnO

Vùng 2: 850-950


Results: ZnO nanoproducts

Vùng 3: 950-1000


Results: ZnO nanoproducts

Vùng 4: 1000-1080


Results: ZnO nanoproducts

Vùng 5: 1000-1080


KHẢO SÁT CẤU TRÚC


Cơ chế Hơi-Lỏng-Rắn (VLS) hình thành các cấu trúc 1D