Kết cấu và nguyên lý máy SEM

SEM 原原原原原原
KẾT CẤU VÀ NGUYÊN LÝ MÁY SEM
--- 原原原

www.klb.com.tw
www.klb.com.tw


SEM 原原原原原原

原原原原原原原原原原原原
1.1 傳傳傳傳傳傳傳傳 OM 傳 Optical Microscope 傳傳傳傳傳傳
傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳
傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳
傳傳傳傳傳
傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳
傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳

傳 1 傳傳傳傳傳傳


SEMNguyên lý và kết cấu
I 原 Lịch sử phát triển của máy điện tử kính hiển vi
1.1 Kính hiển vi quang học truyền thống (OM 傳 Optical Microscope) giới hạn phân
Tỷ lệ phân biệt còn được gọi là năng lục phân biệt , là chì lên hệ thống máy thành
hình hoặc là yếu tố hệ thống có thể có sự khác,biệt có năng lực phân ra 2 vật thể có
cư ly nhỏ nhất khác nhau . Thông thường sử dụng hệ thống máy thành hình đối với
2 vật nhỏ có thể chở thành mục tiêu ở gốc độ có thể phòng to ra , có thể gọi là tỷ lệ
gốc độ phân biệt hoặc gọi là bản lĩnh phân biệt , nó phân thành thiết bị thành hình tỷ
lệ phân thành và máy phổ quang có tỷ lệ phân biệt 2 loại
Bởi vì mặt kiếng (mắt đọc) đối với hạn chế tia sáng mà sản sinh hiệu ứng nhiễu xạ ,

khiến cho điểm trên vật phát nhiễu ra quang ba trên bề mặt kính hiển vi không phải
hình thành điểm hình , đó là điểm trung tâm để mở rộng cường độ chuyển giao giảm
bớt đồng quang,và những vệt sáng khác đó là furlong và phí nhiễu xạ có những lớp
đôm đốm , được gọi là airy dis

H1- Nhiễu xạ và airy dis


SEM 原原原原原原

傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳
傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳
傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳
傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳
傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳

傳 2 傳傳傳傳


SEM 原原原原原原
Do sự tồn tại của nhiễu xạ và airy dis ,mặc dù không cần suy nghĩ đến những hiện
tượng xấu , thiết bị quang học kính hiển vi cũng ko thể nào thực hiện cách chấm lên
những vật điểm để tạo thành hình dạng ,cho nên ,vật trên mặt cự ly cách với vật điểm
rất gần , tại trên mặt của hình có thể phân ra 2 vật điểm chồng lên nhiễu xạ với nhau ,
thậm chí có thể vì 2 điểm sáng đó mức độ chồng lên mà dẫn đến không thể phân biệt
2 vật điểm này , đó cũng là nguyên nhân chủ yếu hạn chế tỷ lệ phân biệt của kính hiển
vi

傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳
傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳

Vì để đưa ra tiêu chuẩn thống nhất năng lực phân biệt tỉ mỉ cho các thiết bị quang
học ,thông thường sử dụng reyieigh để tiến hành phán định thông số 傳 quy định
của thông số reyieigh , khi trung tâm của một điểm tượng vừa nằm lên một điểm
tượng khác viền màu xanh lá (tức là một bậc màu sẫm) , 2 điểm tượng có thể
phân biệt

H2- Phán định reyieigh


SEM 原原原原原原
傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳

1.22λ
θ=
D

傳傳 λ 傳傳傳傳 D 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳
傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳
18 傳傳 70 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 · 傳傳傳傳 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳
200 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 200 傳傳傳“傳傳傳傳”傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 傳

Dựa theo thông số của reyieigh ,
gốc độ phân biệt nhỏ nhất của kính trong suốt là :

1.22λ
θ=
Thiết lập λlà chiều dài ,là đường kính mắt đọc , có thể nhìnDthấy , tỷ lệ phân
biệt của kính trong suốt là theo đường kính của chiều dài mà có thể tăng lớn
hoăc là giảm nhỏ
Thế kỷ 18 thập niên 70,nhà vật lý học nước Đức Ernst , thấy được năng lực

ánh sáng tụ tập đường kính nhỏ nhất là quang ba 1 phần 3 của chiều dài
quang ba , và cũng là 200 meter “abelia point”,hơn 1 thế kỷ qua , 200 meter “
từ đó đến nay được cho là lý luận quang học kính hiển vi tỷ lệ phân biệt cực
hạn


SEM 原原原原原原
1.2 傳傳傳傳傳傳傳傳
傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳
傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳
1873 Abbe 傳 Helmholfz 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳
1897 J.J. Thmson 傳傳傳傳傳 -Năm 1897- J.J. Thmson phát hiện ra điện tử
1924 Louis de Broglie 傳 1929 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳
傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳
1926 Busch 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳
1931 傳傳傳傳傳傳 Knoll 傳 Ruska 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳
1937 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 Metropolitan Vickers 傳 傳 傳


SEM 原原原原原原
1.2 - Sự phát triển của kính hiển vi điện tử
Nếu như đó chỉ là đề cao tỷ lệ phóng lớn gấp bội lần một cách đơn giản ,mà không
phân biệt tỉ mỉ , một máy kính hiển vi điện tử như vậy sẽ ko có ý nghĩa gì, tức là không
phải mắt đọc càng lớn thì càng tốt , cho nên , tìm kiếm một điện sóng có chiều dài ngắn
dùng để thay thế quang ba , như vậy mới có thể đề cao tỷ lệ phân biệt đường thẳng của
thiết bị
Năm 1873 Abbe và Helmholfz đề cao phân biệt năng lực giải hình và so sáng chiếu
quang xạ , định ra lý luận cơ bản của kính hiển vi .
-Năm 1897- J.J. Thmson phát hiện ra điện tử
Năm 1924 Louis de Broglie (Năm 1929 nhà vật lý học Alfred nobel là người đứng đầu

được khen ngợi) đưa ra vật lý đặc tính trong điện tử có sóng điện , tiến thêm 1 bước là
cung cấp lý luận cơ bản của kính hiển vi
Năm 1926 Busch tia sáng của điện tử thông qua kiếng thông thường , từ điện từ trường
bị gãy nghiên vể 1 bên
Năm 1931 nhà vật lý học Đức Knoll 傳 Ruska trước tiên là phát minh ra kính hiển vi
điện tử dạng trong suốt ,mẫu máy
Năm 1937 Thương Nghiệp đã thành công trong việc sản xuất mẫu máy( Hiệu
Metropolitan Vickers )


SEM 原原原原原原

1938 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 Von Ardenne 傳傳傳傳傳
1938-1939 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 傳傳傳傳傳 , 50KV~100KV, 傳傳傳傳傳傳 20~30Å 傳
傳
1940-1941 RCA 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 ( 傳傳傳 50 nm) 傳
1941-1963 傳傳傳傳傳傳 2~3Å 傳傳傳傳傳傳 100Å 傳傳傳傳傳傳
1960 Everhart and Thornley 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳
1965 傳傳傳傳傳 SEM 傳傳傳傳 (Cambridge) 傳
1966 JEOL 傳傳傳傳傳傳傳 SEM (JSM-1) 傳
傳 1 傳傳傳傳傳傳傳
傳     傳

傳傳傳

傳傳傳

X 傳傳

α 傳傳

傳傳傳 nm 傳

390~760

13~390

0.05~13

0.005~1

傳傳傳
0.1Kv

10Kv

0.123

0.0122


SEM 原原原原原原
Năm 1938 Máy kính hiển vi điện tử lần
đầu tiên ra đời do Von Ardenne phát minh thành công
1938-1939 Kính hiển vi dạng trong suốt chính thức lên thị trường( cty weter door ,
50KV~100KV ,lực giải hình 20~30A)
1940-1941 cty RCA mỹ đã đẩy ra kính hiển vi điện tử đầu tiên ra thị trường( lục giải
hình 50 nm)
1941-1963 Lực giải hình đã được đề cao 2~3A( dạng trong suốt ) và 100A(dạng
scan)

1960 Everhart and Thornley phát minh ra điện tử lần 2 máy thiết bị do thám
1965 bộ máy SEM lần đầu tiên ra đời ( Cambridge)
1966 JEOL tuyên bố bộ máy SEM đầu tiên được sử dụng (JSM-1)

Biểu 1 Không cùng nguồn sáng của chiều dài sóng điện

傳     傳
Tên

傳傳傳
Độ sáng

傳傳傳
Tia tử
ngoại

X 傳傳
Đường tia

α 傳傳
Đường tia

傳傳傳 nm 傳

390~760

13~390

0.05~13

0.005~1

傳傳傳
Điện tử bất buộc
0.1Kv

10Kv

0.123

0.0122


SEM 原原原原原原
傳傳傳傳傳傳 0.1cm
Tỷ phân biệt mắt trong

傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 1μm
Phạm vi có thể thấy trong hiển
vi
Quang học

傳傳傳傳傳傳傳傳傳 10nm
Phạm vi có thể thấy trong máy
điện
tử scan

傳傳傳傳傳傳傳傳傳 0.1nm
Phạm vi có thể thấy trong kính
xuyên qua

傳 3 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳
Hình 3 Thiết bị phân biệt không cùng ảnh hiện


SEM 原原原原原原
1.3 傳傳傳傳傳傳傳傳
1.3.1 傳傳傳傳
傳傳傳傳傳 SEM 傳 Scanning Electorn Microscrope 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳
傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳
☆ 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 120mm×80mm×50mm 傳
☆ 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳
☆ 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳
傳傳傳
☆ 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳
☆ 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳
☆ 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳
☆ 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳


SEM 原原原原原原
1.3 Các loại kính hiển vi điện tử
1.3.1 -Kính điện tử scan
Kính điện tử scan(SEM 傳 Scanning Electorn Microscrope) là sử dụng điện tử cực nhỏ của
tia điện tử trên bề mặt mẫu tiến hành scan
☆ Có thể trực tiếp quan sát kết cấu bề ngoài của mẫu ,kích thước của mẫu có thể đạt
120mmx80mmx50mm
☆ Trang bị của mẫu rất đơn giản , không cần cắt thành miếng mỏng
☆ Mẫu có thể ở trong phòng mẫu làm 3 vị trí nồi liền là di dời và xoáy tròn ,có thể quan
sát mẫu ở các gốc độ khác nhau

☆ Kính hiển vi có thể xem được ở vị trí xa , mặt phẳng
☆ Mở ra phạm vi rộng lớn , có thể từ gấp mười mấy lần lên tới gấp mấy chục lần
☆ Tia điện tử mức độ khiến cho vật bị chày xước và dơ bẩn được giảm thiểu
☆ Đồng thời khi quan sát diện mạo của mẫu, còn có thể từ trong mẫu tìm kiếm ra những
tín hiệu khác trong mẫu làm thành phần phân tích


SEM 原原原原原原
1.3.2 傳傳傳傳 - Kính điện tử chiếu xuyên qua
傳傳傳傳傳 TEM 傳 Transmission Electorn Microscrope 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳
傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 0.1~0.2nm 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳
傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 TEM 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 (50-100nm) 傳
Kính điện tử chiếu xuyên qua 傳 TEM 傳 Transmission Electorn Microscrope 傳 là tia điện
tử mẫu thông qua tụ tập và phòng lớn tất cả hình vật , có thể bắn qua màn hình dạ quang
hoặc là dưới miếng đáy có thể tiến hành quan sát ,Tỷ lệ phân biệt của kính điện tử chiếu tử
xuyên qua là 0.1~0.2nm ,bội số phóng lớn tới mấy chục ngàn bội số, do điện tử dễ dàng tán
xạ hoặc bị hấp thụ , tỷ lệ thấp chiếu xuyên qua , vì mẫu TEM cần phải sử máy thái mỏng
đặc biệt để cắt thành những miếng cực mỏng (50-100nm) 傳

a. SEM 傳 ×750 傳 SEI 傳

b. TEM 傳 ×750 傳

傳 4 SEM 傳 TEM 傳 OM 傳傳傳傳傳 -hình hiển thị

c. OM(×200)


SEM 原原原原原原
1.3.3 傳傳傳傳

傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 傳傳 SEM 傳 TEM 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳
傳傳傳傳傳傳傳 FEM 傳傳傳傳傳傳傳傳傳 LEED 傳傳傳傳傳傳傳 AES 傳傳傳傳傳傳傳傳 ESCA 傳傳傳傳傳傳傳傳
傳傳 STM 傳傳傳傳傳傳傳傳傳 AFM 傳傳傳傳傳傳傳傳傳 LFM 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 SPM 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳
傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳

1.3.3 Những kính điện tử khác
Sự không ngừng tiến bộ và phát triển của các nhà kỹ thuật , kính hiển vi điện tử
cũng không ngừng phát triển ,trừ ra máy Sem và máy Tem , còn có những loại
hình kính hiển vi điện tử :
kính hiển vi điện tử (FEM), điện tử nhiễu xạ tính năng thấp(LEED) , máy oedipus
(AES), Máy quang điện tử (ESCA) ,máy scan kính hiển vi(STM) máy hiển vi
nguyên tử(AFM), kính hiển vi chiều ngang 傳 LFM 傳 máy hiển vi Bougie (SPM),
4 loại sau cùng là máy hiển vi có tỷ lệ phân biệt đạt đến mực độ nguyên tử
Giúp ít cho những nhân viên nghiên cứu càng hiểu sâu thêm kết cấu của các
nguyên vật liệu 傳


SEM 原原原原原原
二二二二二二二 SEM 二二二二二二二 -

Nguyên lý và kết cấu Máy scan kính điện tử (SEM)
2.1 掃掃掃掃掃掃掃 - Nguyên lý máy scan kính điện tử
傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 7 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳
Khi tính năng tia điện tử cao đập mạnh vào bề mặt mẫu , sẽ kích phát ra 7 loại hạt khác nhau ,
phân biệt như hình dưới

傳 5 傳傳傳傳傳傳傳傳傳


SEM 原原原原原原

傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳
傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 - 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳

Trong 7 loại hạt này , chủ yếu là điện tử lần 2, Đó là một tia tử điện khi đập vào
mẫu khiến cho tầng ngoài đường ray của điện tử kích động đường ray mà hình
thành, trên bề mặt nẫy sản sinh vài điểm nanometer-mấy chục iểm nanometer

傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳
傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳
傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳
傳傳傳傳傳傳傳傳

傳 6 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳
Hình 6 điện tử lần 2 và có liên
quan đến diện mạo bên ngoài

Khi mẫu bỗng nhiên có những hạt
nhỏ hoặc là có góc nhọn , đối với
điện tử lần 2 độ hình trong cũng sẽ
ảnh hưởng rất lớn, vì ở những bộ
phận này , cơ hội rời khỏi bề mặt
điện tử sẽ rất lớn, cho nên khi scan
dưới kính điện tử không thể thấy
được độ trong sáng


SEM 原原原原原原

傳 7 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳
Hình 7 điện tử lần 2 tỷ lệ sinh sản và soi và lực

lượng điện tử có liên quan

傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 5-10nm 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳
傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳
Bởi vì điện tử lần 2 chủ yếu sản sinh ra bề ngoài của mẫu 5-10nm trong
phạm vi độ sâuCho nên khi có đủ thiết bị điện tử đầy đủ mới
có thể khắc phục bề ngoài chồng lên của nguyên liệu mới có thể khiến cho
điện tử lần 2 từ mẫu có thể chiều ra


SEM 原原原原原原

傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳
傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳
傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳原原原
原原原原原原傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳
傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 SE 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 BE 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳
傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳
傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳
傳傳


SEM 原原原原原原
Điện tử tán xạ mặt sau là tia tới điện tử sau khi cùng với mẫu gốc Rutherford tán
xạ , lại tiếp tục khiến cho bề ngoài tính điện tử cao của mẫu chạy ra , năng lượng
này tiếp cận với năng lượng điện tử tia tới, tỷ lệ sản xuất tán xạ mặt sau khi điện tử
là tùy theo tần số ban đầu của mẫu lớn thì càng lớn
Cho nên tín hiệu điện tử tán xạ mặt sau của cường độ cùng với mẫu thử hóa học có
liên quan , khiến và tạo thành các nguyên tố của mẫu thử bình quân tần số ban đầu
có liên quan , Điện tử tán xạ mặt sau thường dùng để quan sát đơn tinh thể sản sinh

từng bật Xác định phân tích mẫu không bị mục , Phân bố và tách ra phân tích ,,
quan sát hình dẫn điện tính năng kém
Thông thường hay nói máy kính hiển vi điện tử cũng như là máy điện tử lần 2 (SE)
hoặc là Điện tử tán xạ mặt sau (BE) , là một tín hiệu rất có tác dụng trong việc
nghiên cứu bề mặt vật thể , kiểm tra điện tử lần 2 hoặc điện tử tán xạ mặt sau là sử
dụng 1 thiết bị có tia chớp , khi điện tử đánh lên máy có tia chớp, tia chớp này phát
ra ánh sáng , ánh sáng này thông qua ống dẫn quang chuyển đến quang điện và
chuyển đổi thành tín hiệu dòng điện , cuối cùng chuyển đến ống hiển thị,thử tín
hiệu điện tử là trên màn hình đã hiển thị hình


SEM 原原原原原原

2.2 掃掃掃掃掃掃掃
SEM 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳
傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳
2.2.1 傳傳傳傳傳傳
傳 1 傳傳傳傳
傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 1KV-50KV 傳傳傳傳傳
傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 10-50μm 傳傳傳
傳傳傳傳傳傳傳傳傳 FEG 傳 Field Emission Gun 傳傳傳傳傳傳傳 LaB6 傳傳傳傳傳傳 W
Filament 傳傳

a. FEG

b. LaB6
傳 7 傳傳傳傳傳傳

c.W Filament

SEM 原原原原原原
2.2 Kết cấu của máy scan điện tử kính
Trong máy Sem có phụ tùng nguyên tố điện tử ,kết cấu tương đối phức tạp ,Nhưng mà có
thể lấy những kết cấu chủ yếu định ra thành 5 bộ phận , phân biệt là : Thể thống điện tử
quang học , xử lý thu thập tín hiệu và hiển thị hệ thống , hệ thống chân không , hệ thống
không chế .
2.2.1 Hệ thống điện tử qung học
(1)Súng điện tử
Tác dụng súng điện tử là sản sinh điện tư và gia tăng tôc độ điện tử,Nhiệt lá chì âm của
súng điện tử phát xạ điện tử chịu đựng điện áp của lá chì dương(1KV-50KV) tăng tốc độ
,hình thành tia tử điện có hình dạng nhọn,đường kính nhỏ nhất có thể đạt đến 10-50 μm
lượng cấp bậc
Súng điện tử có 3 loại hình , FEG 傳 Field Emission Gun 傳 , 傳 LaB6 傳 , 傳 W Filament 傳傳

a. FEG

b. LaB6
c.W Filament
H7 - Kết cấu của súng điện tử


SEM 原原原原原原
傳 2 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 Biểu 2 –So sánh đặc tính không cùng các loại súng
傳傳傳
Nguồn điện tử

傳傳傳傳傳
Mức tia tử điện

20KV 傳傳
傳 A/cm2SR)/
Độ sáng

傳傳 /
TT
傳 hr)

傳傳傳傳
傳℃傳

傳傳傳傳
(Torr)
Chân ko

傳傳傳傳
傳 μA 傳 Dòng
điện phát
ra

傳傳
Đặc tính

傳傳

20μm

5×104

50-100

2800

10-5

10

傳傳傳傳傳傳
Ổn địngh

LaB6

10μm

3×105

30050
0

1800

10-6

50

傳傳傳傳傳傳傳傳
Phân tích dòng
dien cao

FEG(cold)

5-10nm

107

RT

10-8

50-100

傳傳傳

>1year

傳 7 傳傳傳傳傳傳傳傳傳 -Biểu đồ hệ thống phát xạ


SEM 原原原原原原

傳 2 傳傳傳傳傳
傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 2~3 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳
傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 10-100A 傳傳傳傳傳
傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳“傳傳”傳
傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳

傳 8 傳傳傳傳傳傳傳


SEM 原原原原原原

Điện tử thấu kính
(2) Tác dụng của điện từ thấu kính và kính hiển vi quang học keo miễng trong thấu
kính tương tự nhau .hệ thống phát xạ là phát xạ ra tia tử điện, thông qua 2~3 cái điện
từ thấu kính có tác dụng hội tụ , có thể từ mẫu thấy rõ hình thành đường kính nhỏ từ
10-100A …
Trên thực tế thấu kính từ là cuộn dây thông điện trong vỏ sắt,trong vỏ cứng nắp một
bên mở ranhững vòng tròn cực nhỏ ,đa phần từ trường lớn nhất đều che đậy lại ở vỏ
sắt.chỉ ở vòng tròn cực nhỏ xung quanh có từ trường “chảy ra”, càng gân nhau thì
trục tia từ trường sẽ càng yếu,hình thành trục đối xứng của

H-8 Nguyên lý của điện từ thấu kính