Bài thuyết trình Ảnh hưởng của độ dày lên cấu trúc và tính chất quang, tính chất điện của màng Zn

ẢNH HƯỞNG CỦA ĐỘ DÀY LÊN CẤU
TRÚC VÀ TÍNH CHẤT QUANG, TÍNH
CHẤT ĐIỆN CỦA MÀNG ZnO

HV: VÕ THỊ NGỌC THỦY


KẾT QUẢ VÀ THẢO LUẬN
Sơ đồ nhiễu xạ của màng ZnO
ở độ dày 260nm màng
ưu tiên phát triển theo
hướng (002), định
hướng theo trục c
Các màng là đa tinh thể
và được định hướng
ngẫu nhiên (do xử lý
nhiệt và precusor khác
nhau)

Fig. 1. X-ray diffractograms of ZnO films with thickness: (i) 55 nm, (ii) 90 nm, (iii) 165
nm, (iv) 180 nm, (v) 260 nm, (vi) 300 nm, (vii) 400 nm and (viii) 600 nm.


Bề mặt hình học của màng ZnO

kích thước các
hạt trở nên đồng
đều và lớn hơn
khi độ dày của
màng tăng lên

Fig. 3. FESEM micrographs of ZnO films with thickness: (i) 55 nm, (ii) 90 nm, (iii)
180 nm, (iv) 260 nm, (v) 300 nm, (vi) 400 nm and (vii) 600 nm.


Fig. 2. The plot of strain e zz (%) along c-axis and FWHM of (0 0 2) peak for
ZnO films with various thickness.

Khi ứng suất màng
nhỏ thì tính chất tinh
thể của màng sẽ trỏ
nên tốt hơn
  zz 

cấu trúc màng tốt nhất khi màng ở độ dày 260 nm


Tính quang của màng

Tính chất quang trở nên tốt hơn khi độ dày ở khoảng 165-300nm.
Độ dày trên 300nm thì trạng thái kích thích trong phổ hấp thu trở nên
rộng ra và biến mất hoàn toàn đối với màng dày 600nm.
Tất cả các màng mà có bờ hấp thu thẳng trong vùng UV dưới 400nm.


Tính điện của
màng

khi ứng suất tăng điện
trở suất tăng
Myong cùng các cộng sự cũng

cho thấy rằng khi bề dày tăng,
màng xốp hơn, hấp thu oxi
nhiều hơn,nồng độ hạt tải giảm
và vì vậy điện trở suất tăng khi
tăng bề dày


KẾT LUẬN
Các tính chất về cấu trúc, tính quang, tính điện được
thấy rằng là chúng phụ thuộc vào bề dày của màng.
 Tính chất về cấu trúc tốt hơn khi độ dày trong khoảng
180-300nm. Và định hướng theo trục c khi màng dày
260 nm.
Tính quang và điện được cải tiến khi bề dày của màng
khoảng 260nm.
Tiên đoán là các tính chất về cấu trúc, quang, điện
sẽ trở nên tốt hơn đối với màng ZnO được chế tạo
bằng phương pháp sol-gel ở độ dày khoảng 260nm.