Luận văn thạc sĩ nghiên cứu chế tạo màng mỏng oxit từ các phức chất có khả năng thăng hoa

ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI
TRƯỜNG ĐẠI HỌC KHOA HỌC TỰ NHIÊN
--------------------NGUYỄN HOÀNG LÊ

NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO MÀNG MỎNG OXIT TỪ CÁC PHỨC
CHẤT CÓ KHẢ NĂNG THĂNG HOA

LUẬN VĂN THẠC SĨ KHOA HỌC

Hà Nội - 2013


ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI
TRƯỜNG ĐẠI HỌC KHOA HỌC TỰ NHIÊN
---------------------

Nguyễn Hoàng Lê

NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO MÀNG MỎNG OXIT
TỪ CÁC PHỨC CHẤT CĨ KHẢ NĂNG THĂNG HOA
Chun ngành: Hóa vô cơ
Mã số: 60440113

LUẬN VĂN THẠC SĨ KHOA HỌC

NGƯỜI HƯỚNG DẪN KHOA HỌC:
PGS. TS. Triệu Thị Nguyệt

Hà Nội - 2013

LỜI CẢM ƠN
Luận văn được thực hiện và hoàn thành tại bộ mơn Hóa vơ cơ, khoa Hóa học
trường Đại học Khoa học Tự nhiên – Đại học Quốc gia Hà Nội.
Em xin bày tỏ lòng biết ơn sâu sắc tới PGS. TS. Triệu Thị Nguyệt đã đề xuất
ý tưởng nghiên cứu, tận tình hướng dẫn và giúp đỡ em hoàn thành nội dung luận
văn.
Em xin chân thành cảm ơn Ban Giám Hiệu, Phịng Sau Đại Học, khoa Hóa
học, tập thể các thầy cô giáo và cán bộ Bộ môn Hóa vơ cơ – khoa Hóa học, trường
Đại học Khoa học Tự Nhiên – Đại học Quốc gia Hà Nội đã tạo mọi điều kiện thuận
lợi cho em trong suốt quá trình học tập, nghiên cứu và thực hiện luận văn.
Em xin chân thành cảm ơn Ban Giám Hiệu, Ban Chủ Nhiệm Khoa và các
bạn, anh chị em nhóm Phức chất phịng Hóa sinh vơ cơ đã hết sức ủng hộ và tạo
mọi điều kiện thuận lợi cho em hoàn thành nội dung luận văn. Đặc biệt em xin cảm
ơn NCS. Nguyễn Mạnh Hùng đã luôn quan tâm, chỉ bảo và giúp đỡ em trong suốt
quá trình thực hiện các thí nghiệm để em đạt được các kết quả như trong luận văn.
Cuối cùng, em xin bày tỏ lòng biết ơn chân thành tới các Giáo sư, các Nhà
Khoa học đã đọc và góp nhiều ý kiến quý báu trong q trình em hồn thiện luận
văn.


DANH MỤC CÁC BẢNG TRONG LUẬN VĂN
Bảng 3.1: Hàm lượng kim loại trong các phức chất
Bảng3.2: Các dải hấp thụ đặc trưng trong phổ hấp thụ hồng ngoạicủa phức chất
vàphối tử
Bảng 3.3: Kết quả phân tích nhiệt của các phức chất
Bảng 3.4: Kết quả khảo sát khả năng thăng hoa của các phức chất


DANH MỤC CÁC HÌNH VẼ TRONG LUẬN VĂN
Hình 1.1: Sơ đồ làm việc của kính hiển vi điện tử qt

Hình 1.2: Sơ đồ khối một hệ đo huỳnh quang thông thường
Hình 1.3: Sơ đồ cấu tạo chung của máy UV – Vis
Hình 1.4: Hướng và chiều tác dụng trong hiệu ứng Hall
Hình 1.5: Nguyên lý hoạt động của máy đo hiệu ứng Hall
Hình 1.6: Các bước trong phương pháp CVD
Hình 2.1: Sơ đồ thiết bị thăng hoa trong chân khơng
Hình 3.1: Phổ hấp thụ hồng ngoại của axetylaxeton
Hình 3.2: Phổ hấp thụ hồng ngoại của HPiv
Hình 3.3: Phổ hấp thụ hồng ngoại của Cu(acac)2
Hình 3.4: Phổ hấp thụ hồng ngoại của Cu(Piv)2
Hình 3.5: Phổ hấp thụ hồng ngoại của Zn(acac)2.H2O
Hình 3.6: Phổ hấp thụ hồng ngoại của Zn(Piv)2
Hình 3.7: Giản đồ phân tích nhiệt của đồng (II) axetylaxetonat
Hình 3.8: Giản đồ phân tích nhiệt của đồng (II) pivalat
Hình 3.9: Giản đồ phân tích nhiệt của kẽm axetylaxetonat
Hình 3.10: Giản đồ phân tích nhiệt của kẽm pivalat
Hình 3.11: Sơ đồ thiết bị chế tạo màng mỏng bằng phương pháp CVD
Hình 3.12: Giản đồ nhiễu xạ tia X của màng ZnO được tạo thành ở 350oC từ
Zn(Piv)2
Hình 3.13: Giản đồ nhiễu xạ tia X của màng ZnO được tạo thành ở 400oC từ
Zn(Piv)2
Hình 3.14: Giản đồ nhiễu xạ tia X của màng ZnO được tạo thành ở 450oC từ
Zn(Piv)2


Hình 3.15: Giản đồ nhiễu xạ tia X của màng ZnO được tạo thành ở 500oC từ
Zn(Piv)2
Hình 3.16: Giản đồ nhiễu xạ tia X của màng ZnO được tạo thành ở 550oC từ
Zn(Piv)2
Hình 3.17: Ảnh SEM của màng ở 450oC từ tiền chất Zn(Piv)2

Hình 3.18: Ảnh SEM của màng ở 500oC từ tiền chất Zn(Piv)2
Hình 3.19: Ảnh SEM của màng ở 550oC từ tiền chất Zn(Piv)2
Hình 3.20: Phổ truyền qua của màng ZnO ở các nhiệt độ 400 - 550oC từ tiền chất
Zn(Piv)2
Hình 3.21: Phổ PL của màng ZnO ở các nhiệt độ 400 - 550oC từ tiền chất Zn(Piv)2
Hình 3.22: Giản đồ nhiễu xạ tia X của màng ZnO được tạo thành ở 250oC từ
Zn(acac)2.H2O
Hình 3.23: Giản đồ nhiễu xạ tia X của màng ZnO được tạo thành ở 300oC từ
Zn(acac)2.H2O
Hình 3.24: Giản đồ nhiễu xạ tia X của màng ZnO được tạo thành ở 350oC từ
Zn(acac)2.H2O
Hình 3.25: Giản đồ nhiễu xạ tia X của màng ZnO được tạo thành ở 400oC từ
Zn(acac)2.H2O
Hình 3.26: Giản đồ nhiễu xạ tia X của màng ZnO được tạo thành ở 450oC từ
Zn(acac)2.H2O
Hình 3.27: Giản đồ nhiễu xạ tia X của màng ZnO được tạo thành ở 500oC từ
Zn(acac)2.H2O
Hình 3.28: Ảnh SEM của màng ở 250oC từ tiền chất Zn(acac)2.H2O
Hình 3.29: Ảnh SEM của màng ở 300oC từ tiền chất Zn(acac)2.H2O
Hình 3.30: Ảnh SEM của màng ở 350oC từ tiền chất Zn(acac)2.H2O
Hình 3.31: Ảnh SEM của màng ở 400oC từ tiền chất Zn(acac)2.H2O
Hình3.32: Ảnh SEM của màng ở 450oC từ tiền chất Zn(acac)2.H2O


Hình 3.33: Ảnh SEM của màng ở 500oC từ tiền chất Zn(acac)2.H2O
Hình 3.34: Phổ truyền qua của màng ZnO ở các nhiệt độ 250 - 500oC từ tiền chất
Zn(acac)2.H2O
Hình 3.35: Phổ PL của màng ở các nhiệt độ 250 - 500oC
Hình 3.36: Giản đồ nhiễu xạ tia X của màng Cu2O được tạo thành ở 240oC từ
Cu(acac)2

Hình 3.37: Giản đồ nhiễu xạ tia X của màng Cu2O được tạo thành ở 280oC từ
Cu(acac)2
Hình 3.38: Giản đồ nhiễu xạ tia X của màng Cu2O được tạo thành ở 320oC từ
Cu(acac)2
Hình 3.39: Ảnh SEM của màng ở 240oC từ Cu(acac)2
Hình 3.40: Ảnh SEM của màng ở 280oC từ Cu(acac)2
Hình 3.41: Ảnh SEM của màng ở 320oC từ Cu(acac)2
Hình 3.42: Giản đồ nhiễu xạ tia X của màng kép ZnO-Cu2O
Hình 3.43: Ảnh SEM của màng kép ZnO-Cu2O ở 280oC
Hình 3.44: Phổ truyền qua của màng kép ZnO-Cu2O


DANH MỤC CÁC KÝ HIỆU VÀ CHỮ VIẾT TẮT TRONG LUẬN VĂN
Hacac: axetylaxeton
Hpiv: axit pivalic
SEM: Scanning Electron Microscopy (Kính hiển vi điện tử quét)
XRD: X-ray diffraction (Nhiễu xạ tia X)


Luận văn cao học

Bộ mơn Hóa vơ cơ

MỤC LỤC
MỞ ĐẦU ........................................................................................................ 4
CHƯƠNG 1 – TỔNG QUAN ....................................................................... 5
1.1. Khả năng tạo phức của các ion kim loại ........................................................ 5
1.1.1. Khả năng tạo phức của ion Cu2+ .............................................................. 5
1.1.2. Khả năng tạo phức của ion Zn2+ .............................................................. 6
1.2. β-đixeton và các β-đixetonat kim loại ............................................................ 7

1.2.1. Đặc điểm cấu tạo và khả năng tạo phức của các β-đixeton ........................ 7
1.2.2. Ứng dụng của các β-đixetonat kim loại ................................................... 9
1.3. Axit Cacboxylic và các Cacboxylat kim loại................................................ 11
1.4. Các phương pháp hóa lý nghiên cứu phức chất và màng mỏng ................. 13
1.4.1. Phương pháp phổ hấp thụ hồng ngoại ..................................................... 13
1.4.2. Phương pháp phân tích nhiệt ........................................................................ 15
1.4.3. Phương pháp nhiễu xạ tia X (XRD) ............................................................. 16
1.4.4. Kính hiển vi điện tử quét (Scanning Electron Microscope - SEM) ............... 17
1.4.5. Phương pháp phổ phát quang ....................................................................... 18
1.4.6. Phương pháp phổ tử ngoại khả kiến (UV - Vis) ........................................... 20
1.4.7. Phương pháp đo hiệu ứng Hall..................................................................... 21
1.5. Phương pháp lắng đọng hơi hóa học (CVD)................................................ 23
1.5.1. Giới thiệu chung về phương pháp CVD ....................................................... 23
1.5.2. Chế tạo màng mỏng bằng phương pháp lắng đọng hơi hóa học từ tiền chất là
các hợp chất cơ kim (Phương pháp MOCVD) ....................................................... 25

CHƯƠNG 2 – ĐỐI TƯỢNG, MỤC ĐÍCH VÀ PHƯƠNG PHÁP
NGHIÊN CỨU ............................................................................................ 26
2.1. Đối tượng nghiên cứu ................................................................................... 26
2.1.1. Axetylaxeton ............................................................................................... 26
2.1.2. Axit Pivalic .................................................................................................. 26

Nguyễn Hoàng Lê

1

Lớp CH - K22


Luận văn cao học

Bộ mơn Hóa vơ cơ

2.2. Mục đích, nội dung nghiên cứu .................................................................... 27
2.3. Các phương pháp nghiên cứu ...................................................................... 27
2.3.1. Phương pháp xác định hàm lượng ion kim loại trong phức chất ................... 27
2.3.2. Phương pháp thăng hoa các phức chất trong chân không ............................. 28
2.3.3. Phương pháp phổ hấp thụ hồng ngoại .......................................................... 29
2.3.4. Phương pháp phân tích nhiệt ........................................................................ 30
2.3.5. Giản đồ nhiễu xạ tia X ................................................................................. 30
2.3.6. Ảnh hiển vi điện tử quét (SEM) ................................................................... 30
2.3.7. Phổ tử ngoại – khả kiến (UV – Vis) ............................................................. 30
2.3.8. Phổ huỳnh quang .................................................................................... 30
2.3.9. Đo hiệu ứng Hall ......................................................................................... 30

CHƯƠNG 3 – THỰC NGHIỆM, KẾT QUẢ VÀ THẢO LUẬN ............. 32
3.1. Dụng cụ và hóa chất ..................................................................................... 32
3.1.1. Dụng cụ ....................................................................................................... 32
3.1.2 Hóa chất ....................................................................................................... 32
3.1.3. Chuẩn bị hóa chất ........................................................................................ 33
3.2. Tổng hợp các phức chất ............................................................................... 34
3.2.1 Tổng hợp axetylaxetonat của Cu2+ ................................................................ 34
3.2.2 Tổng hợp axetylaxetonat của Zn2+ ................................................................ 35
3.2.3 Tổng hợp các pivalat của Cu2+ và Zn2+ ......................................................... 35
3.3. Kết quả và thảo luận..................................................................................... 36
3.3.1. Xác định hàm lượng kim loại trong các sản phẩm ........................................ 36
3.3.2.Nghiên cứu các phức chất bằng phương pháp phổ hấp thụ hồng ngoại...................36
3.3.3. Nghiên cứu các phức chất bằng phương pháp phân tích nhiệt ...................... 42
3.3.4. Khảo sát khả năng thăng hoa của các phức chất ........................................... 46
3.3.5.Chế tạo màng mỏng đồng (I) oxit từ đồng (II) axetylaxetonat và kẽm oxit từ

kẽm axetylaxetonat và kẽm pivalat bằng phương pháp CVD ................................. 48
3.3.5.1. Quy trình chế tạo màng mỏng oxit bằng phương pháp CVD ............. 48
3.3.5.2. Nghiên cứu chế tạo màng ZnO từ tiền chất Zn(Piv)2 ......................... 49

Nguyễn Hoàng Lê

2

Lớp CH - K22


Luận văn cao học

Bộ mơn Hóa vơ cơ

3.3.5.3. Nghiên cứu chế tạo màng ZnO từ tiền chất Zn(acac)2.H2O ............... 56
3.3.5.4. Nghiên cứu chế tạo màng Cu2O từ tiền chất Cu(acac)2...................... 64
3.3.5.5. Chế tạo màng kép ZnO-Cu2Obằng phương pháp CVD ..................... 67

KẾT LUẬN ............................................................................................................. 71
TÀI LIỆU THAM KHẢO .................................................................................... 72

Nguyễn Hoàng Lê

3

Lớp CH - K22


Luận văn cao học

Bộ mơn Hóa vơ cơ

MỞ ĐẦU
Phức chất có khả năng thăng hoa của kim loại chuyển tiếp với các phối tử
hữu cơ đã và đang được chú ý do chúng có khả năng ứng dụng trong nhiều lĩnh vực
khác nhau như: phân tích, tách, làm giàu, làm sạch các nguyên tố, đặc biệt là chế tạo
các loại màng mỏng với những ưu điểm kĩ thuật vượt trội về độ cách điện hay tính
dẫn điện, độ cứng hay độ bền nhiệt…
Trong những năm gần đây, các phức chất β-đixetonat và cacboxylat kim loại
ngày càng được quan tâm nghiên cứu nhiều hơn. Một số phức chất có khả năng
thăng hoa tốt được sử dụng làm tiền chấttrong phương pháp lắng đọng pha hơi
(CVD) để chế tạo các màng mỏng phục vụ thiết thực cho khoa học và đời sống.
Được chú ý từ những năm 1970, màng mỏng ngày càng chứng tỏ vị trí của mình
trong lĩnh vực vật liệu mới với những ứng dụng tuyệt vời như màng cách nhiệt,
màng siêu dẫn, màng chống tử ngoại, màng phản xạ, màng trong suốt, màng sensor
khí,..
Một trong những hướng nghiên cứu chủ yếu của nhóm phức chất thuộc bộ
mơn Hóa Vơ cơ – khoa Hóa học – Trường đại học Khoa học Tự nhiên trong vài
năm trở lại đây là nghiên cứu tính chất, khảo sát khả năng thăng hoa của các βđiketonat và cacboxylat kim loại và sử dụng các phức chất làm tiền chất để chế tạo
màng mỏng.
Để tiếp nối hướng nghiên cứu của nhóm phức chất, chúng tơi đã tiến hành
tổng hợp và nghiên cứu tính chất một số β-đixetonat và cacboxylat kim loại có khả
năng thăng hoa, sử dụng các phức chất này để chế tạo màng mỏng Cu2O, ZnO và
màng kép ZnO-Cu2O ,và nghiên cứu tính chất của các màng thu được.
Chúng tôi hi vọng các kết quả thu được sẽ đóng góp phần nhỏ vào lĩnh vực
nghiên cứu chế tạo màng mỏng bằng phương pháp CVD.

Nguyễn Hoàng Lê

4

Lớp CH - K22


Luận văn cao học

Bộ mơn Hóa vơ cơ

CHƯƠNG 1 - TỔNG QUAN
1.1. Khả năng tạo phức của các ion kim loại
1.1.1. Khả năng tạo phức của ion Cu2+
Đồng là nguyên tố kim loại, thuộc chu kỳ 4,nhóm IB trong bảng hệ thống tuần
hoàn, số hiệu nguyên tử là 29 với cấu hình electron[Ar]3d104s1.Đồng kết tinh ở
dạng tinh thể lập phương tâm diện, là kim loại nặng, mềm, có ánh kim, màu đỏ,
kém hoạt động hóa học. Trong thiên nhiên, đồng có hai đồng vị bền là

63

Cu

(70,13%) và 65Cu (29,87%). Trong các hợp chất, đồng có số oxi hóa +1 và +2, trong
đó +2 là số oxi hóa đặc trưng.
Ion Cu2+ có cấu hình electron [Ar]3d9, trong nước tồn tại ở dạng ion phức
[Cu(H2O)6]2+ màu xanh lam. Ion phức [Cu(H2O)6]2+ có cấu trúc bát diện lệch và
Cu2+ nằmở tâm. Trong 6 phân tử H2O có 2 phân tử H2O nằm cách xa ion trung
tâmhơn so với 4 phân tử H2O còn lại. Sự sai lệch này được giải thích bằng hiệu ứng
Jan-Telơ. Cấu trúc các phức chất của Cu(II) có xu hướng bị biến dạng để giảm độ
suy biến mức năng lượng của các electron 3d. Do đó, Cu(II) khơng tạo thành những
phức chất có tính đối xứng cao.

Ion Cu2+ hình thành một số lớn phức chất với số phối trí thay đổi từ 3 đến 8, phổ
biến nhất là số phối trí 4 (trong cấu trúc tứ diện hay vng phẳng) và số phối trí 6
(trong cấu trúc bát diện lệch).
Phức chất với số phối trí 4 kiểu tứ diện đơn giản nhất là xesi tetraclorocuprat(II)
Cs2[CuCl4], trong đó ion CuCl24− có cấu trúc tứ diện dẹt. Các phức chất với số phối
trí 4 kiểu vng phẳng phổ biến hơn, đặc biệt sự hình thành phức chất vng phẳng
giữa Cu2+ với các phối tử hữu cơ hai càng như đixeton, đimetylglyoxim,... rất đặc
trưng.
Đối với các phức chất bát diện, [Cu(H2O)6]2+ được xem là tiền chất trong dung
dịch vì mọi phức chất dẫn xuất đều được tổng hợp bằng cách thay thế một phần hay
tất cả các phối tử nước bằng các phối tử tương ứng. Chẳng hạn, khi thêm NH3 vào
dung dịch Cu2+, xảy ra sự thế dần các phối tử H2O bằng NH3 tạo thành các phức
Nguyễn Hoàng Lê

5

Lớp CH - K22


Luận văn cao học

Bộ mơn Hóa vơ cơ

chất [Cu(NH3)(H2O)5]2+, [Cu(NH3)2(H2O)4]2+,..., [Cu(NH3)4(H2O)2]2+. Sự thay thế
phân tử H2O thứ 5 khó khăn hơn và không thể xảy ra sự thay thế phân tử H2O thứ 6
trong dung dịch nước, mà chỉ có thể xảy ra trong dung dịch NH3 lỏng. Điều này
chứng tỏ phối tử NH3 thứ 5 và thứ 6 liên kết rất yếu với ion trung tâm, tính chất bất
thường này cũng là hệ quả của hiệu ứng Jan-Telơ. Giải thích tương tự trong trường
hợp phối tử thế là etylenđiamin (en), sản phẩn thế là các phức chất
[Cu(en)(H2O)4]2+, [Cu(en)2(H2O)2]2+ và khơng thể thu được [Cu(en)3]2+ trừ khi

trong dung dịch có nồng độ en rất lớn [9].
1.1.2.Khả năng tạo phức của ion Zn2+
Kẽm là nguyên tố kim loại, thuộc chu kỳ 4, nhóm IIB, số hiệu nguyên tử là 30
với cấu hình electron [Ar]3d104s2. Trong tự nhiên kẽm có 5 dạng đồng vị bền là
65

Zn, 66Zn, 67Zn, 68Zn và 70Zn trong đó 64Zn chiếm 48,6%. Trong các hợp chất, kẽm

tồn tại chủ yếu ở mức oxi hóa +2.
Ion Zn2+ có cấu hình electron [Ar]3d10 với năng lượng bền hóa bởi trường phối
tử bằng khơng, do đó nó khơng ưu tiên một dạng hóa lập thể nào. Nó có các số phối
trí và dạng hình học đa dạng tùy thuộc vào tương quan giữa lực tương tác tĩnh điện,
lực cộng hóa trị và các yếu tố khơng gian, lập thể. Nói chung, kẽm có số phối trí từ
2 đến 7, trong đó các số phối trí 2, 4 và 6 là phổ biến hơn cả.
Trong dung dịch muối, Zn2+ tồn tại dưới dạng phức chất [Zn(H2O)6]2+, cịn trong
dung dịch kiềm thì nó tồn tại dưới dạng phức chất [Zn(OH)4]2-. Trong dung dịch
chứa phối tử mạnh như NH3, Zn2+ có thể tạo thành hai loại phức chất là
[Zn(NH3)6]2+ và [Zn(NH3)4]2+.
Phức chất axetylaxetonat của kẽm [Zn(acac)2].H2O (acac: axetylaxetonat) có cấu
tạo chóp đáy vng. Trong khi đó các phức chất [ZnCl4]2-, [ZnBr4]2- đều có dạng tứ
diện đều. Trong dung dịch ZnCl2 đặc tồn tại đồng thời các phức chất [ZnCl4]2-,
[ZnCl4(H2O)2]2- và [Zn(H2O)6]2+.
Kẽm không tạo thành phức chất cacbonyl và phức chất với hyđrocacbon khơng
no, nói chung là các phức chất với các phối tử π. Đây là dấu hiệu quan trọng

Nguyễn Hoàng Lê

6

Lớp CH - K22

Luận văn cao học

Bộ mơn Hóa vơ cơ

nhấtchứng tỏ rằng kẽm không thể hiện tinh chất của một kim loại chuyển tiếp, do có
phân lớp d đã bão hịa electron (d10) [9,7].

1.2. β-đixeton và các β-đixetonat kim loại
1.2.1. Đặc điểm cấu tạo và khả năng tạo phức của các β-đixeton
Các β-đixeton, còn gọi là các hợp chất 1,3-đixeton hay 1,3-đicacbonyl, có cơng
thức chung:
R3
R1

C
O

CH

C

R2

O

Do bị ảnh hưởng bởi hiệu ứng hút electron (-I) của hai nhóm C=O nên nguyên
tử H của nhóm CH ở vị trí β trở nên rất linh động. Vì vậy, trong điều kiện thường,
phân tử β-đixeton có tính axit yếu (pKa = 8,82) và là hỗn hợp của hai dạng tautome,

xeton và enol [20]:
R3

R3
R1

C

CH

O

Dạng xeton

C

R1

R2

C
O

O

C

C

R2

OH

Dạng enol

Ở dạng enol, do nối đôi C = C nên các β-đixeton có thể tồn tại hai dạng đồng
phân hình học: dạng cis có liên kết hiđro nội phân tử nên được bền hóa trong dung
mơi ít phân cực, cịn dạng Trans bền trong dung mơi phân cực. Nói cách khác, trong
dung mơiphân cực dạng xeton chiếm ưu thế cịn trong dung mơi ít phân cực dạng
enol chiếm ưu thế. Giá trị hằng số phân ly axit Ka phụ thuộc vào cân bằng xeton –
enol bởi tính axit của hai dạng này khác nhau.

Dạng cis

Nguyễn Hoàng Lê

Dạng trans

7

Lớp CH - K22


Luận văn cao học

Bộ mơn Hóa vơ cơ

Do tính linh động của nguyên tử H ở nhóm OH và khả năng cho electron của
nguyên tử O ở nhóm C=O nên các β-đixeton là những hợp chất có khả năng tạo
phức cao. Khi tạo phức, các ion kim loại thay thế nguyên tử H của nhóm OH và tạo

liên kết phối trí với O của nhóm C=O hình thành phức vịng càng (chelat) 6 cạnh. Ở
đây β-đixeton là phối tử hai càng. Cấu trúc vòng của phức tương tự như cấu trúc
dạng cis của β-đixeton có liên kết hiđro nội phân tử [9]:

Sự giải tỏa electron π chỉ xảy ra trên năm nguyên tử của vòng. Thực nghiệm cho
thấy mật độ electron π trên các liên kết M-O không đáng kể và chủ yếu mang bản
chất cộng hóa trị. Điều này giải thích cho tính bền vững của các β-đixetonat kim
loại, nhiềuβ-đixetonat kim loại thăng hoa không phân hủy dưới áp suất thấp cũng
như áp suất thường.
Ví dụ, Cu(II) tạo thành phức chất vng phẳng Cu(acac)2, Cu(II) tạo thành phức
chất chóp đáy vng Cu(acac)2.H2O [21]:

Các β-đixeton cịn có khả năng tạo phức với ion kim loại qua nguyên tử C của
gốc ankyl. Khi đó, hợp chất 1,3-đixeton là phối tử ba càng. Ngồi ra, các β-đixeton
cịn có thể là phối tử một càng khi nguyên tử trung tâm chỉ liên kết với một nguyên
tử O trongβ-đixeton hoặc hình thành phức chất hai nhân mà cầu nối là nguyên tử O
của phân tửβ-đixeton, tuy nhiên những trường hợp này ít gặp hơn [11].

Nguyễn Hoàng Lê

8

Lớp CH - K22


Luận văn cao học

Bộ mơn Hóa vơ cơ

1.2.2. Ứng dụng của các β-đixetonat kim loại

β-đixetonat là những hợp chất phối trí phổ biến và được nghiên cứu rộng rãi do
các β-đixetonat có giá trị kinh tế cao, tổng hợp khá dễ dàng, đặc biệt là tiềm năng
ứng dụng trong nhiều lĩnh vực khác nhau.
Dựa vào ứng dụng cụ thể của các β-đixetonat, người ta chia quá trình nghiên
cứu các β-đixetonat kim loại thành 4 giai đoạn [42]:
• Cuối những năm 1950 đến đầu những năm 1960: các β-đixetonat được đưa
vào sử dụng để tách chiết các kim loại trong dung dịch lỏng.
• Giữa những năm 1960: các β-đixetonat được xem là các hợp chất tiềm năng
ứng dụng vào việc nghiên cứu laze.
• Từ 1970 đến 1980: được xem là thời kỳ vàng son của các β-đixetonat đất
hiếm, khi những hợp chất này được dùng làm tác nhân dịch chuyển phổ cộng
hưởng từ hạt nhân.
• Những năm 1990 đến nay: các nhà khoa học đi vào nghiên cứu những ứng
dụng của chúng như chế tạo vật liệu phát quang điện tử, tiền chất trong quá
trình lắng đọng pha hơi hợp chất hóa học, xúc tác cho các phản ứng,...
Các β-đixetonat tan tốt trong dung mơi hữu cơ, nên có thể tiến hành tách chiết
sơ bộ hỗn hợp các kim loại, sau đó sắc kí khí tách hồn tồn chúng ra khỏi nhau bởi
nhiều

β-đixetonat có khả năng thăng hoa tốt trong chân khơng. Ngồi ứng dụng

trong tách chiết, các β-đixetonat kim loại còn được nghiên cứu và sử dụng khá
nhiều làm chất xúc tác trong các phản ứng hoá học như phản ứng đồng phân hóa,
phản ứng polyme hóa. Ứng dụng quan trọng khác của β-đixetonat là làm thuốc thử
trong phương pháp phổ cộng hưởng từ hạt nhân (NMR). Hai loại phức chất được sử
dụng nhiều nhất là [R(fod)3] và [R(thd)3] (fod: 6,6,7,7,8,8,8-heptafluoro-2,2dimetyl-3,5-octandion; thd: 2,2,6,6-tetrametyl-3,5-heptandion) [41,43].
Từ những năm 1990, các β-đixetonat kim loại được ứng dụng rộng rãi vào việc
chế tạo màng mỏng, vật liệu siêu dẫn, vật liệu bán dẫn,… bằng phương pháp lắng
đọng hóa học pha hơi. Khả năng thăng hoa cùng với những sản phẩm đa dạng trong
quá trình phân hủy nhiệt của các β-đixetonat kim loại là cơ sở cho những ứng dụng

Nguyễn Hoàng Lê

9

Lớp CH - K22


Luận văn cao học

Bộ mơn Hóa vơ cơ

của các hợp chất này vào lĩnh vực tạo các màng mỏng với các đặc tính kĩ thuật ưu
việt được sử dụng trong nhiều ngành công nghệ cao và tạo ra các loại vật liệu có
kích cỡ nano. Ở đây chúng tơi chỉ xin đưa ra một số ví dụ cụ thể như sau:
Năm 2005, màng mỏng LaNiO3(LNO) chất lượng cao có định hướng chọn lọc
được các tác giả [24] điều chế bằng phương pháp lắng đọng dung dịch trên nền
Pt/Ti/SiO2/Si ở 700oC. Dung dịch chất đầu LNO có tính đồng thể và bền được điều
chế bằng cách sử dụng lantan isopropoxit và axetylaxetonat niken(II) trong hỗn hợp
dung môi cồn tuyệt đối và 2-methoxyetanol. Màng mỏng LNO có tính dẫn điện như
kim loại và điện trở suất rất thấp ở nhiệt độ phòng, vì vậy được lựa chọn làm vật
liệu điện cực thay thế cho màng mỏng gốm. Các tác giả [36] đã điều chế được màng
mỏng trong suốt dẫn điện Cu−Al−O được tạo ra bằng cách ngưng tụ hơi các
axetylaxetonat kim loại như Cu(acac)2 và Al(acac)3 với tỉ lệ 1:1 trong khí quyển
argon ở 150oC. Các màng này được sử dụng để tạo các mối nối p-n trong kĩ thuật
điện tử.
Gần đây, năm 2006, người ta đã điều chế được màng mỏng coban oxit bằng kĩ
thuật phân hủy hóa học pha khí từ tiền chất cơ kim [24]. Tác giả đã sử dụng
axetylaxetonat coban(II) làm tiền chất, oxy là tác nhân phản ứng và argon là khí
mang đã thu được màng coban oxit có độ dày 100nm ngưng tụ trên bề mặt silic

(100) ở 650oC trong khoảng thời gian 40 phút. Qua các nghiên cứu nhiễu xạ tia X,
kính hiển vi lực nguyên tử đã cho thấy các lớp màng đa tinh thể và nhẵn tạo thành
chỉ gồm một pha duy nhất là Co3O4.
Cùng năm 2006, tác giả [14] đã thành công trong việc tổng hợp các hạt niken
nano bằng phản ứng khử Ni(acac)2 trong hệ chất hoạt động bề mặt. Những hạt niken
nano này hầu hết ở dạng vơ định hình, có tính chất siêu thuận từ và được sử dụng
làm xúc tác tạo cacbon hình ống kích cỡ nanomet bằng cách phân hủy metan ở
500oC. Năm 2009, Waechtler và cộng sự [41] đã công bố những kết quả mới về
màng mỏng CuOtrên Ta, TaN, Ru và SiO2 được chế tạo từ tiền chất là
acetylacetonat đồng(II) và được ứng dụng vào việc chế tạo dây dẫn dạng màng có
kích thước nanomet trong các thiết bị điện tử (ULSI) .
Nguyễn Hoàng Lê
K22

10

Lớp CH -


Luận văn cao học

Bộ mơn Hóa vơ cơ

Các phức chất của đất hiếm với β-đixetonat có khả năng bay hơi cao và hồ tan
trong các dung mơi hữư cơ khơng phân cực nên được dùng làm phụ gia nhiên liệu
cho động cơ đốt trong. Các β-đixetonat có hoạt tính chống nổ và xúc tác cho sự
cháy. Trong đó, phức chất [R(thd)3] (thd: 2,2,6,6-tetramethyl-3,5-heptanedionate)
có hoạt tính chống nổ tốt. Các chất phụ gia nhiên liệu này loại bỏ được các muội
than có chứa cacbon bám trên thành của buồng đốt. Sự bám đọng không mong
muốn này làm gia tăng hệ số nén của động cơ, gây ra sự gia tăng tỷ lệ octan cần

thiết cho động cơ. Muội than cũng xúc tác cho q trình đốt cháy, q trình này có
thể gây ra sự cháy sớm hơn. Các oxit đất hiếm sinh ra trong q trình đốt cháy có
thể đóng vai trị là các chất xúc tác có diện tích bề mặt lớn phân tán trong các hệ
thống đốt và xả. Các oxit này có thể xúc tác cho q trình oxi hoá các hợp chất hữu
cơ ở nhiệt độ thấp và sự phân huỷ của các oxit nitơ, vì vậy chúng có thể làm giảm
sự phát tán các sản phẩm cháy độc hại [30].

1.3.Axit Cacboxylic và các Cacboxylat kim loại
Axit monocacboxylic là hợp chất hữu cơ có cơng thức cấu tạo chung là:

Cấu tạo phân tử axit gồm hai phần: phần nhóm chức cacboxyl (-COOH) và phần
gốc hydrocacbon (-R). Nhóm chức cacboxyl là tổ hợp của hai nhóm cacbonyl C=O
và hydroxyl –OH. Hai nhóm này tác động qua lại lẫn nhau do có sự liên hợp giữa
electron π ở liên kết đơi của nhóm C=O và electron p tự do của nguyên tử O trong
nhóm –OH. Do đó liên kết O-H ở phân tử axit phân cực hơn ở phân tử rượu và liên
kết hydro cũng mạnh hơn nên các axit có thể tạo những đime vịng:

Nguyễn Hồng Lê
K22

11

Lớp CH -


Luận văn cao học

Bộ mơn Hóa vơ cơ

Bên cạnh các đime vịng, axit cacboxylic cịn có thể tồn tại ở dạng polyme mạnh

thẳng:

Cũng vì lí do đó mà các axit cacboxylic có nhiệt độ sơi cao hơn nhiệt độ sơi của
các dẫn xuất halogen và rượu tương ứng. Mặt khác, các phân tử axit cacboxylic tạo
liên kết hydro với các phân tử nước bền hơn so với các ancol nên chúng dễ tan
trong nước hơn các ancol tương ứng.

Khả năng tan trong nước của các axit cacboxylic giảm khi tăng số nguyên tử
cacbon trong gốc R.
Tính chất đặc trưng của axit cacboxylic do nhóm chức –COOH quyết định. Do
hiệu ứng liên hợp đẩy electron mà liên kết O-H trong axit cacboxylic phân cực hơn
so với trong ancol và chúng dễ bị proton hóa hơn các ancol. Tuy nhiên, chúng đều
là các axit yếu (Ka ≈ 10-5) và tính axit giảm khi mạch cacbon của gốc R càng dài
hoặc càng phân nhánh.
Nhờ tính linh động của ngun tử H trong nhóm –OH và khả năng cho electron
của nguyên tử O trong nhóm C=O nên các axit cacboxylic tạo phức rất tốt với nhiều
kim loại,đặc biệt là khả năng tạo phức chất vòng càng do ion kim loại đồng thời
thay thế nguyên tử H của nhóm –OH và tạo liên kết phối trí với ngun tử O của
nhóm C=O trong phân tử axit cacboxylic.

Nguyễn Hoàng Lê
K22

12

Lớp CH -


Luận văn cao học

Bộ mơn Hóa vơ cơ

Các axit monocacboxylic có số nguyên tử cacbon nhỏ hơn bốn thường tạo nên
các phức chất bền. Các dữ liệu nhiệt động học và động học cho thấy axit propionic
thường tạo ra các phức chất bền với tốc độ tạo phức nhanh, nhanh hơn cả axit
axetic. Các axit có số nguyên tử cacbon lớn hơn bốn có tính chất tương tự nhau, tuy
nhiên khi mạch cacbon tăng lên thì khuynh hướng phối trí sẽ giảm đi.

1.4.Một số phương pháp hóa lý nghiên cứu phức chất và màng mỏng
1.4.1. Phương pháp phổ hấp thụ hồng ngoại
Các phương pháp phổ dựa trên sự tương tác của các bức xạ điện từ đối với vật
chất. Quá trình tương tác đó dẫn đến sự hấp thụ và phát xạ năng lượng, có liên quan
chặt chẽ đến cấu trúc phân tử. Do đó, có thể sử dụng các phương pháp phổ để xác
định cấu trúc phân tử.
Phổ hồng ngoại là một trong những phương pháp phân tích hóa lý hiện đại và
hiệu quả để phân tích cấu tạo các hợp chất. Những số liệu từ phổ hồng ngoại cho
phép xác định sự có mặt của các nhóm chức trong phân tử hợp chất hữu cơ (như
nhóm OH, NH, CH, C=C, C=O, C=N,...), nhận biết các liên kết trong việc nghiên
cứu cấu trúc của hợp chất vô cơ, đặc biệt là phức chất, cấu trúc vật liệu (vật liệu
mao quản, zeolit, polyme,...).
Khi chiếu một chùm tia đơn sắc có bước sóng nằm trong vùng hồng ngoại
(50÷10000 cm-1) vào chất phân tích, một phần năng lượng bị hấp thụ làm giảm
cường độ của tia tới. Sự hấp thụ này tuân theo định luật Lambert – Beer:
D = lg Io/I = kdC
Trong đó:
D: mật độ quang
Io, I: cường độ tia sáng trước và sau khi ra khỏi chất phân tích
C: nồng độ chất phân tích.
k: hệ số hấp thụ
d: chiều dày lớp dung dịch

Phân tử hấp thụ năng lượng sẽ dao động (xê dịch các hạt nhân nguyên tử xung
quanh vị trí cân bằng) dẫn đến thay đổi độ dài liên kết và các góc hóa trị tăng giảm
Nguyễn Hồng Lê
K22

13

Lớp CH -


Luận văn cao học

Bộ mơn Hóa vơ cơ

tuần hồn. Chỉ có những dao động làm biến đổi mơmen lưỡng cực điện của liên kết
mới xuất hiện tín hiệu hồng ngoại. Sự biến đổi mơmen lưỡng cực càng lớn thì
cường độ của các dải hấp thụ càng lớn.Mỗi nhóm chức hoặc liên kết có một tần số
hấp thụ đặc trưng thể hiện bằng pic trên phổ hồng ngoại. Như vậy, căn cứ vào các
tần số đặc trưng này có thể xác định các liên kết giữa các nguyên tử hay nhóm
nguyên tử, từ đó xác định cấu trúc của mẫu phân tích.
Có hai kiểu dao động chính của phân tử là dao động hóa trị (kí hiệu ν, là những
dao động làm thay đổi chiều dài liên kết của các nguyên tử trong phân tử mà khơng
làm thay đổi góc liên kết) và dao động biến dạng (kí hiệu δ, là những dao động làm
thay đổi góc liên kết mà khơng làm thay đổi chiều dài liên kết của các nguyên tử
trong phân tử). Trong những phân tử gồm N nguyên tử, có 3N-6 (đối với phân tử
khơng thẳng) và 3N-5 (đối với phân tử thẳng) dao động chuẩn.
Thông thường, các dao động hóa trị của nhóm C=O và C=C trong các βđixetonat đất hiếm có số sóng tương ứng khoảng 1580 cm-1 và 1520 cm-1 [9]. Liang
và cộng sự [31] đã quy kết νC=O và νC=Ccó giá trị tương ứng 1600 cm-1 và 1515 cm-1
trong phổ hồng ngoại của phức chất [Eu(acac)3(H2O)2]. Misumi và Iwasaki [40] đã
nghiên cứu phổ hấp thụ hồng ngoại của các tris-axetylaxetonat của Pr, Nd, Eu, Gd,

Dy, Er và cũng có kết luận tương tự như các tác giả ở tài liệu [9] rằng νC=O trong
vùng 1567÷1602 cm-1, νLn-O trong vùng 420÷432 cm-1 và 304÷333 cm-1.
Ngồi ra, khi nghiên cứu các phức chất β-đixetonat, người ta còn quan tâm đến
mức độ hiđrat. Phương pháp phổ hấp thụ hồng ngoại có thể khẳng định sự hiđrat
hóa của phức chất bởi sự tồn tại dải phổ rộng đặc trưng cho dao động hóa trị của
nhóm OH của nước ở vùng 3200÷3500cm −1 .
Như vậy, trong phạm vi nhất định có thể xác định cấu trúc phức chất thơng qua
phổ hấp thụ hồng ngoại. Tuy nhiên, với phức chất có cấu trúc phức tạp thì rất nhiều
dải hấp thụ chồng lên nhau nên rất khó có thể quy gán chính xác. Nhìn chung,
phương pháp phổ hấp thụ hồng ngoại được sử dụng để khảo sát sơ bộ sự hình thành
phức chất giữa phối tử và ion trung tâm.

Nguyễn Hoàng Lê
K22

14

Lớp CH -


Luận văn cao học

Bộ mơn Hóa vơ cơ

1.4.2. Phương pháp phân tích nhiệt
Bên cạnh phương pháp phổ hấp thụ hồng ngoại, phương pháp phân tích nhiệt
cũng là phương pháp thơng dụng để nghiên cứu các phức chất dạng rắn. Nó cung
cấp những thơng tin về tính chất nhiệt cũng như thành phần phức chất. Kết hợp
phương pháp phân tích nhiệt với các phương pháp toán học cho phép xác định
những hằng số nhiệt động như hiệu ứng nhiệt của phản ứng hóa học hay q trình

chuyển pha, nhiệt dung riêng;những thông số nhiệt động khác của các phản ứng
đồng thể và dị thể khi đốt nóng,...
Trên giản đồ phân tích nhiệt, người ta thường quan tâm tới hai đường quan trọng
là DTA và TG. Đường DTA cho biết sự xuất hiện của các hiệu ứng nhiệt, đó là hiệu
ứng thu nhiệt (cực tiểu địa phương) đối với q trình nóng chảy, bay hơi, thăng hoa,
thủy tinh hóa, chuyển pha và phân hủy,... hay hiệu ứng tỏa nhiệt (cực đại địa
phương) đối với q trình tinh thể hóa, polyme hóa, oxi hóa, cháy, chuyển pha, biến
đổi hóa học,... Đường TG chỉ ra biến thiên khối lượng mẫu trong quá trình gia nhiệt.
Các q trình trên có thể đi kèm với sự thay đổi khối lượng của mẫu nghiên cứu,ví
dụ như quá trình thăng hoa, bay hơi hay các phản ứng phân hủy; hoặc không đi kèm
với sự thay đổi khối lượng của mẫu chất như quá trình chuyển pha, phá vỡ mạng
tinh thể,... Do vậy, kết hợp các dữ liệu thu được từ hai đường TG và DTA, có thể
biết được các tính chất nhiệt cũng như độ bền nhiệt của phức chất. Dựa trên việc
tính tốn các hiệu ứng mất khối lượng và hiệu ứng nhiệt tương ứng, có thể dự đoán
các giai đoạn cơ bản xảy ra trong suốt quá trình phân hủy nhiệt của chất.
Tác giả [8] đã nghiên cứu giản đồ phân tích nhiệt của đồng (II) axetylaxetonat,
thấy rằng dưới 200oC khơng có hiệu ứng nhiệt cũng như hiệu ứng mất khối lượng,
chứng tỏ phức chất bền tới nhiệt độ này và trong thành phần của phức khơng có
nước. Ngược lại, trong giản đồ phân tích nhiệt của các phức chất Ca(acac)2.H2O,
Er(acac)3.2H2O, dưới 200oC có xuất hiện hiệu ứng thu nhiệt trên đường DTA kèm
theo hiệu ứng giảm khối lượng trên đường TG. Đối với phức chất axetylaxetonat
của Ca, Sr và Ba, khoảng 113 - 166oC xuất hiện hiệu ứng thu nhiệt cùng với hiệu
ứng mất khối lượng (2,39 - 7,75%). Theo tác giả, đây là quá trình tách nước hiđrat.
Nguyễn Hồng Lê
K22

15

Lớp CH -

Luận văn cao học

Bộ mơn Hóa vơ cơ

Trên giản đồ phân tích nhiệt của các axetylaxetonat của Nd và Er, trên đường DTA
xuất hiện hiệu ứng thu nhiệt ở 87 - 93oC kèm theo hiệu ứng mất khối lượng (7,01 8,36%) trên đường TG. Theo tác giả, đây là quá trình tách hai phân tử nước trong
thành phần của phức. Riêng giản đồ phân tích nhiệt của honmi axetylaxetonat, trên
đường DTA có hai hiệu ứng thu nhiệt ở 74oC và 107oC, kèm theo hai hiệu ứng mất
khối trên đường TG. Thành phần phần trăm mất khối lượng của hai hiệu ứng này
tương ứng với hàm lượng của H2O trong phức chất.
Nghiên cứu giản đồ phân tích nhiệt củaCa(acac)2.phen.H2O, thấy rằng tại 124oC
có hiệu ứng thu nhiệt trên đường DTA và hiệu ứng mất khối lượng (3,91%) trên
đường TG. Đây là quá trình mất một phân tử nước hiđrat của phức chất. Tại 279oC
xuất hiện hiệu ứng thu nhiệt kèm theo hiệu ứng mất khối lượng rất lớn (51,04%).
Sản phẩm cuối của quá trình phân hủy nhiệt là CaO.
Độ bền nhiệt của các β-đixetonat tăng dần theo trật tự sau: phức chất hiđrat và
sản phẩn cộng với bazơ một càng < sản phẩm cộng với amin bậc nhất và
isopropanolamin < sản phẩm cộng với bazơ hữu cơ hai càng phối trí qua N.
1.4.3. Phương pháp nhiễu xạ tia X (XRD)
Phương pháp nhiễu xạ tia X cung cấp trực tiếp những thông tin về cấu trúc vật
liệu.
Nguyên tắc chung của phương pháp là dùng một chùm điện tử tăng tốc trong
điện trường và đập vào đối catot để phát ra tia X. Chùm tia này phát ra cửa sổ làm
bằng Berily, được hội tụ và tạo chùm song song.
Giản đồ nhiễu xạ tia X của đối catot là một dải có các vạch đặc trưng. Người ta
sẽ tách ra một vạch bằng kính lọc, tia X thu được coi như đơn sắc. Mỗi loại catot sẽ
có một bước sóng đặc trưng, ví dụ nhiễu xạ kế D8 Advance tại khoa Hoá học –
trường ĐHKHTN sử dụng đối catot là Cu cho bước sóng CuK 0,15406 nm.
Sau khi ghi phổ, máy sẽ so sánh với một thư viện các phổ chuẩn để xác định các

pha có trong mẫu, cấu trúc pha và tỉ phần pha.
Có thể tính được kích thước trung bình của hạt bằng cơng thức Debye –
Scherrer:
Nguyễn Hồng Lê
K22

16

Lớp CH -


Luận văn cao học

Bộ mơn Hóa vơ cơ

Trong đó :
r: kích thước hạt trung bình (nm).
λ: bước sóng bức xạ tia X (λ =0.15406 nm).
β: độ rộng nửa vạch phổ cực đại (FWHM) (rad).
θ: góc nhiễu xạ Bragg tại đỉnh cực đại (rad).
1.4.4. Kính hiển vi điện tử quét (Scanning Electron Microscope - SEM)
Hiển vi điện tử là phương pháp sử dụng chùm tia electron năng lượng cao để
khảo sát những vật thể rất nhỏ. Kết quả thu được qua những khảo sát này phản ánh
về mặt hình thái học, diện mạo học và tinh thể học của vật liệu mà chúng ta cần xác
định. Phương diện hình thái học bao gồm hình dạng và kích thước của hạt cấu trúc
nên vật liệu. Diện mạo là các đặc trưng bề mặt của một vật liệu bao gồm kết cấu bề
mặt hoặc độ cứng của vật liệu. Phương diện tinh thể học mô tả cách sắp xếp của các
nguyên tử trong vật thể như thế nào. Chúng có thể sắp xếp có trật tự trong mạng tạo
nên trạng thái tinh thể hoặc sắp xếp ngẫu nhiên hình thành dạng vơ định hình. Cách
sắp xếp của các ngun tử một cách có trật tự sẽ ảnh hưởng đến các tính chất như

độ dẫn, tính chất điện và độ bền của vật liệu.
Kính hiển vi điện tử quét (SEM) là một loại kính hiển vi điện tử có khả năng tạo
ra hình ảnh bề mặt mẫu với độ phân giải cao.

Hình 1.1: Sơ đồ làm việc của kính hiển vi điện tử quét
Nguyễn Hoàng Lê
K22

17

Lớp CH -