phat xa dien tu thu cap 8276

PHÁT XẠ ĐIỆN TỬ THỨ CẤP

Thực Hiện: Nguyễn Văn Thọ


Phát xạ điện tử thứ cấp là gì?

Nguồn: Scanning electron microscopy (SEM) D.S. Su


CƠ SỞ LÝ THUYẾT
• Hệ số phát xạ thứ cấp

• Is Tổng dịng phát xạ
electron thứ cấp
• Ip Tổng dịng phát xạ
electron sơ cấp
Characterization of the Dose Effect in Secondary Electron Emission
Prashanth Kumar
B.E, University of Madras, 2003


Tóm tắt lý thuyết lye và dekker

• n(x;E0)dx là số hạt thứ cấp được tạo ra
dưới năng lượng ban đầu E0 của hạt tới
với độ dày dx và ở độ sâu x so với bề
mặt.
Characterization of the Dose Effect in Secondary Electron Emission
Prashanth Kumar
B.E, University of Madras, 2003

Tóm tắt lý thuyết lye và dekker

• f(x) Là hàm phân bố của hạt thứ cấp dọc
theo trục x và thoát ra bề mặt.

Characterization of the Dose Effect in Secondary Electron Emission
Prashanth Kumar
B.E, University of Madras, 2003


Tóm tắt lý thuyết lye và dekker
Độ mất mát năng lượng của hạt sơ cấp được tính
bằng định luật Whiddington's: dE/dx = -Ep/R trong
đó A là hằng số đặt trưng cho vật liệu, R độ xuyên
sâu.
R được xác định thông qua
n nằm trong khoảng 1,3 – 1,6

Characterization of the Dose Effect in Secondary Electron Emission
Prashanth Kumar
B.E, University of Madras, 2003


Tóm tắt lý thuyết lye và dekker

Với K là hệ số, r được xác định thông qua:

Sử dụng điều kiện

Ta có

Characterization of the Dose Effect in Secondary Electron Emission
Prashanth Kumar
B.E, University of Madras, 2003