Báo cáo đề tài nghiên cứu Ứng dụng máy vi tính để nghiên cứu đặc trưng điện của linh kiện bán dẫn

BO GIAO DUC VA DAO TAO

Trường Đại học Tổng hợp Hà nội

Tên đề tài nghiên cứu:

“ứng dụng máy vĩ tỉnh để nghiên cứu

đặc trưng điện của linh kiện bản dan”

Tên chủ trì đề tài:

Ngơ Diên Tập, PTs

Hà nội

tháng 3 năm 1995

|


Tên để tài nghiên cứu:

“ang dung may ví tính để nghiên cúu

đặc trưng điện của linh kiện bán dẫn”

Số đăng ký: Bọ3.0s.1oo

Tân cắn bộ thực hiện:
1.Ngô Diên Tập, PTs

2. Nguyễn Văn Hải, Ke

(chủ trì)


MỤC LỤC
Trang
1- Mở đầu

2- Vài nét về đường đặc trưng điện
của linh kiện bán dẫn

3- Nguyên tắc hoạt động của hệ thống đo
4- Các kết quả và bàn luận

10

5- Tài liệu tham khảo

14

6- Phụ lục (các họ đường đặc trưng)

15


1- MỞ ĐẦU:

Trong khi tiến hành nghiên cứu các linh kiện bán dẫn cũng như khi thiết

kế mạch, khi sửa chữa các thiết bị điện tử cao cấp người ta thường phải quan
tâm đến đường đặc trưng Von-Ampe của linh kiện (đặc trưng tĩnh). Để có được

các đường đặc trưng này theo cách tự vẽ từng điểm thường mất rất nhiều thời
gian vì phải điều chỉnh, thiết lập rồi đọc từng giá trị của dòng và điện áp. Gần
đây, kĩ thuật đo hiện số, kỹ thuật tự ghi đã cho phép giảm đi nhiều động tác và
thời gian đo đạc nhưng việc vẽ các họ đường đặc trưng vẫn còn là một công việc

khá phiển phức.
Nếu như việc sử dung máy vi tính đã đơn giản thao tác và rút ngắn thời
gian làm việc trong rất nhiều trường hợp, thì mục đích của để tài nghiên cứu này
là tìm một giải pháp ứng dựng máy vi tính để nhanh chóng vẽ được đường đặc
trưng của linh kiện bán dẫn.

Việc ứng dụng kỹ thuật vị tính khơng những cho

phép nhanh chóng quan sát được đường đặc trưng trên màn hình mà cịn có thể
in ra trên giấy bằng máy in, lưu nhớ kết quả trên đĩa từ - vừa giảm được kích

thước vừa dễ bảo quản và lại có thể gọi ra so sánh khi cần thiết.

Những ưu điểm kể trên đã khích lệ chúng tơi tìm kiếm khả năng ghép nối
hệ thống đo để mở rộng khả năng ứng dụng máy vi tính vào giảng dạy, nghiên
cứu cũng như trong đời sống hàng ngày.


2- VẢI NÉT VỀ ĐƯỜNG ĐẶC TRƯNG ĐIỆN CỦA LINH KIỆN BAN DAN:

Các linh kiện bán dẫn như điốt (tách sóng, chỉnh lưu, ổn 4p, ...) tranzito
(lưỡng cực, trường...) đều được đặc trưng bởi đường đặc trưng (hay nói đúng hơn

là họ đường đặc trưng) Vor-Ampe hay còn gọi là đặc trưng dòng-thế. Sau đây là

một số đường đặc trưng thường gặp:

- Điết chỉnh lưu có tính dẫn điện
theo một chiều. Đường đặc trưng dịngthế có dạng như hình 1. Theo hướng

thuận điện trở của điết là nhỏ, cð hàng

~Ù gperr max

trăm ôm, nhưng theo hướng ngược lại

điện trở của điết rất lớn. Khi điện áp
ngược đủ lớn trên đường đặc trưng có

thể quan

sát thấy hiện tượng đánh

Hình 1: Đường đặc trưng của điốt

thủng lớp tiếp xúc p-n và đường đặc

chỉnh lưu

trưng ngược đang nằm sát trục hồnh

bắt đầu có xu hướng đi xuống phía dưới,
- Điốt ổn áp có hiện tượng đánh thủng

điển hình hơn, khi điện áp ngược đủ lớn
đường đặc trưng có một đoạn dốc gần
như vng góc với trục hồnh,

tương

ứng với điện áp ổn áp hay cịn gọi là
điện áp Zener Uz (xem hình 2)

Hình 2: Đường đặc trưng của điốt ổn áp

- Tranzito có một số loại họ đường đặc trưng nhưng đáng chú ý nhất là đường
đặc trưng lc = f(Uce) mô tả sự phụ thuộc dịng cực góp theo điện áp phát-góp
ứng với những giá trị khác nhau của dòng cực gốc. Một họ đường đặc trưng tiêu

biểu được mơ tả trên hình vẽ 3 (ở trang sau).


Các đường đặc trưng
trên đây

được

vẽ trong vùng

điện áp từ vải von đến vải chục
von

và

dịng

miliampe

đến

miliampe. Trong

điện

từ

hàng

vải

trăm

một số sách

tra cứu có thể lìm thấy

họ

đường đặc trưng của những linh `
kiện thơng dụng.

|

Hình 3: Họ đường đắc trưng của

một tranzito lưỡng cực

3. NGUYÊN TẮC HOẠT ĐỘNG CỦA HỆ THỐNG ĐO:

Để có thể đo và vẽ ra đường đặc trưng của linh kiện bán dẫn, hệ thống đo
cần phải đáp ứng được những yêu cầu sau:
- Có một khối nguồn một chiều cung cấp mội điện áp một chiều ổn định
nhưng có thể thay đổi được để dùng làm điện áp (Uce), các tài liệu tham khảo
cho thấy điện áp thích hợp nhất dùng để đo là có thể thay đối trong khoảng từ

0 V đến + 20 V.

- C6 một khối nguồn dòng thay đổi được để dùng làm dịng gốc, dịng này
có thể thay đối được trong vùng từ 0,01 mÁ đến 100 mA, nghĩa là thích hợp cho
những tranzito cơng suất nhỏ đến tranzito công suất vừa và đủ lớn.
- Xác định duoc giá trị dịng góp lc ứng với dịng gốc Ib và điện áp giữa
hai cực góp phát (Uce).

- Mô tả được sự phụ thuộc trên bằng đồ thị.


- Ghép nối với máy vì tính để có thể thực hiện tất cả các thủ tục lấy mẫu,
thay đổi, điều khiển, lưu giữ số liệu một cảch tự động trong một khoảng thời gian
ngắn.
Việc xây dựng hệ thống đo được tiến hành trước hết theo sơ đồ khối rồi

dần dần chỉ tiết hoá để lắp ráp thử và hiệu chỉnh.

0..20 VỆ

Yếu tế

+24 V

điểu khiển

+15

wd
*

x

Nguồn dong
phụ

Khối
điểu khiển

V

Biến đổi
D/A

Khuyếch đại

có điểu khiển

+12V

\_Pel———+
Do

\

\

*

Bộ ghép nối |_+ PC
và điểu khiển—*
a

Biến đổi
A/D

|

š

Hình 4: Sơ đồ khối của hệ thống đo và ghép nối

Trên hình vẽ 4 là sơ đồ khối của hệ thống đo. Cách hoạt động của mạch
này như sau: từ điện áp + 12 V của máy tính, khối nguồn ni sẽ biến đổi thành

các điện áp một chiều: + 24 V để dùng làm điện áp góp-phát (Uce) và + 15 V để
nươi phần mạch tuyến tính (tạo dịng cực gốc), các điện áp khác như + 5 V,

+ 12 V cho mạch đo lấy từ bộ nguồn của máy tính qua rãnh cắm (Slot).

Điện áp + 24 V được đặt lên tranzito cần đo thử qua một yếu tố điều

chỉnh. Tín hiệu điều chỉnh cho pháp thay đổi sụt áp trên yếu tố này và do đó thay
đổi điện áp đặt lên tranzito cần đo thử trong khoảng 0...+ 20 V (thực tế khi điều

chỉnh có thể đến + 22 V).
Điện áp thực tế (đặt lôn linh kiện đo thử) được lấy ra qua bộ chia thế, cịn
điện áp nên có nhận được từ rãnh cắm (Slot) của máy tính qua bộ biến đổi D/A,

nghĩa là được đặt trực tiếp từ máy tính. Bộ điều khiển so sánh hai tín hiệu này và
đưa ra tín hiệu điều khiển thích hợp tác động lên yếu tố điều khiển. Theo cách
này từ phần mềm của máy tính có thể đặt chính xác điện áp Uce đặt lên tranzito

cân thử.

`

Cịn dịng cực góp Ic được đo thông qua điện áp sut trên điện trở shun Rs,

khuyếch đại lên và đưa đến bộ biến đổi Á/D để tới phần điều khiển và cũng tại
đây, dữ liệu được trao đổi với máy tinh. Nhờ vậy, mối liên quan qua lại giữa dịng
cực góp và điện áp góp-pháp (Uoe) hay loạ độ của các điểm trên đường đặc
trưng lc = f(Uce)} được máy tính ghi nhận.
Đường đặc trưng trên được đo ứng với các giá trị khác nhau của dòng cực

gốc Ib và dòng này được sinh ra từ một khối riêng ở bên trái của hình vẽ. Khối
chức năng này nhận điện áp từ nguồn + 15 V (khơng liên kết về điện với nguồn +

24 V), cịn tín hiệu điều khiển để có giá trị đồng gốc mong muốn cũng lấy từ khối

điều khiển ở trên.
Như vậy là toàn bộ mạch điều khiến và đo được khép kín.

Cịn một vấn đề được đặt ra trong q trình đo là chống q dịng để
khơng làm hỏng linh kiện cần khảo sát. Chức năng này đựợc bộ điều khiển đảm
nhận. Khi điện áp Uce quá cao sẽ dẫn đến dịng cực góp q lớn, nhưng đồng
thời cũng dẫn đến điện áp thực đo được trên bộ chia thế quá lớn, điện áp này


7

thông qua bộ điều khiển làm cho sụt áp trên yếu tố điều khiển tăng lên và điện

áp trên linh kiện cần đo giảm xuống, dòng lc qua linh kiện thử cũng bị giảm theo.
Từ sơ đồ khối ta có thể chia hệ thống đo ra 3 phần chính:
1- Phần nguồn nuôi.
2- Phần đo và điều khiển, bao gồm: mạch điều khiển điện áp góp phát,
mạch khuyếch đại biến đổi D/A va A/D, mạch gidi mã địa chỉ, mạch đệm Bus và

điều khiển rơle.

3- Phần tạo dòng cực gốc.
Dưới đây xin giới thiệu chỉ tiết hơn hoạt động của từng phần:

* Phần nguồn nuồi: Nhũng yêu cầu đặt ra cho khối nguồn ni:
- Phải có được điện áp một chiều cd 22 - 24 V để đặt lên giữa hai cực góp
và phát cửa tranzito

- Có được điện áp + 15 V để ni các mạch tuyến tính

- Cð được điện áp + 5 V cho các mạch số.
Từ nguồn của máy tính chỉ có thể lấy ra điện áp cao nhất là + 12 V ổn
định, giá trị điện áp này là quá nhỏ so với yêu cầu thứ nhất kể trên nên không

thể chỉ dùng trực tiếp nguồn ni của máy tính. Có thể thoả mãn các u trên
theo hai cách:
- Từ điện áp lưới điện xoay chiều 220 V qua biến áp (loại thông thường)

lấy ra các điện áp xoay chiều thích hợp rồi chỉnh lưu, lọc và ổn áp để lấy ra các
điện áp cần thiết.
- Biến đổi từ điện áp một chiều của nguồn nuôi máy tính


Cách thứ nhất có thể thực hiện một cách đơn giản nhưng gây phiển phức
khi lắp ghép sử dụng, cách thứ hai phức táp về mặt kỹ thuật nhưng tiện lợi khi sit
dụng và giữ nguyên được hình dáng bên ngồi cho máy tính. Chúng tơi đã thử

nghiệm cả hai cách và cuối cùng chọn cách thứ hai. Sơ đổ ngun lý của mạch

có thể mơ tả như hình vẽ 5 ở dưới đây.
+

Va

+12V

nan & Lọc

‘

Tao

đao

động

UC 3524|A

R IE

:

I

+15

V

7815

Nan

& Loc

+24 V

UE,
2xBUZ71
Rs

0,1

=

3W

+

a
Hình 5: Sơ đồ hoạt động của khối nguồn một chiều

Vi.mạách ÍC1 (UC 3524) đóng vai trị tạo dao đơng, các xung gần như

vng góc được đưa vào mạch khuyếch đại công suất T1 và T2 rồi dẫn ra biến
áp xung dùng lõi pherit Tr1. Để tránh ảnh hưởng của các dao động đa hài lên

mạch nguồn nuôi, một bộ lọc LC đã được ghóp xen kẽ.

Tỷ số biến áp được lựa chọn cỡ 1:2 nên ở lối ra thu được điện áp quãng

24 V. Một nhánh khác đưa qua vi mạch ổn áp 7815 để tạo ra điện áp ổn định
+ 15 V. Để giảm tiêu hao nhiệt chúng tôi đã lựa chọn mạch lọc LC cho nguồn
điện áp + 24 V, mạch lọc này cũng phát huy ưu điểm vì xung vng ở mạch dao

động có tin số khá cao (cð 50 kHz, nghĩa là 1000 lần lớn hơn tần số của lưới


điện xoay chiều). Do dùng biến áp (xung) nên mạch nguồn này cũng có thêm ưu
điểm là các điện áp một chiều được tạo được cách ly về điện với nguồn một
chiều của máy tính.

Mach + 5 V để ni các mạch số được lấy trực tiếp từ máy tính qua các tụ lọc 0,1

uF để loại trừ các xung nhiễu (mỗi vi mạch một tụ lọc) có thể lẫn vào trên đường
truyền, hoặc trong quá trình hoạt động
* Phần mạch đo: Mạch điều khiển điện 4p góp phát dùng tranzito BD 250 C như

một yếu tố điều khiển. Điện áp từ bộ chia thế và từ máy tính được so sánh và đưa
qua hai mạch khuyếch

đại thuật toán TL 084 đến tăng đệm

(dùng tranzito

2N3019) để tới cực gốc của yếu tố điều chỉnh. Nhờ vậy mà từ nguồn nuôi + 24 V

có thể lấy ra một điện áp nằm trong vùng 0-20 V tuỳ chọn để đặt lên tranzito
hoặc điốt cần thử.
Các thông tin điều khiển dẫn tới các lối vào DO-D7 của bộ biến đổi D/A

(dùng vi mạch AD 7524) rồi qua mạch khuyếch đại thuật toán để nhận được một
điện áp một chiều so sánh nằm trong khoảng 0 - 2,55 V.
Để đo dịng cực góp, một điện trở phụ với độ chính xác cao (0,5 %) được

sử dụng, điện áp lấy ra ở hai đầu điện trở shun này được bộ khuyếch đại dùng vi
mạch có độ trôi rất nhỏ (loại TLC 271) khuyếch đại lên. Với một dịng cực góp

bằng 1 A, sụt áp trên điên trở shun bằng 1 V và được khuyếch đạt lên hai lần để
đưa vào bộ biến đổi A/D. Còn với dịng cực góp bằng 10 mA thì để có được điện
áp bằng 2 V bộ khuyếch đại phải có hệ số khuyếch đại bằng 200 lần. Như vậy,
bộ khuyếch đại phải có hộ số khuyếch đại điều chỉnh được và điều này có thể

thực hiện được đơn giản bằng máy vi tính.

* Phan tạo dịng cực gốc: được cung cấp điện áp từ nguồn + 15 V ở phần
nguồn. Giá trị + 15 V được lựa chọn để có được dòng gốc lớn nhất là 100 mA.
Nguồn điện áp này cũng được điều chỉnh, tương tự như nguồn điện áp phát-góp,


10

rồi đặt lên mạch nguồn dòng để tạo ra dòng điện cực gốc thích hợp. Tín hiệu
điều khiến điện áp cũng nhận được từ máy tính và cho phép đặt chính xác 13 giá

trị khác nhau từ 1,5 V đến 15 V cách đầu nhau 1,5 V. Cũng như nhiều điện trở
khác trong hệ thống đo, các điện trở trong mạch nguồn dòng điện cực gốc ( xác
định giá trị của dòng) cũng được lựa chọn theo phương pháp bán thực nghiệm,

cụ thể là được ước tính theo định luật Ohm sau đó kiểm tra lại bằng thực nghiệm
rồi chọn giá trị chính xác.

Để bảo đảm độ chính xác cao cho hệ thống đo, tất cả các điện trở được
sử dụng đều là loại điện trở màng kim loại với độ chính xác là 1%; cịn việc điều

chỉnh điện áp chuẩn cho nguồn so sánh của bộ biến đổi AD và D/A được tiến
hành với Von kế hiện số có độ chính xác 0,5 %.

4- CÁC KẾT QUẢ VÀ BẢN LUẬN:
Tồn bộ mạch đo được mơ tả ở trên đã được sắp xếp và lắp ráp trên một
tấm mạch in hai mặt có kích thước 10.5 x 336 mm với một giắc cắm 62 tiếp điểm
để có thể cắm trực tiếp vào rãnh cắm 8 bit cla máy vi tính. Kích thước trên là quá
chật hẹp với một lượng lớn các linh kiện bao gồm từ. 17 điốt, 7 tranzito, 25 ví

mạch và khá nhiều điện trở, tụ điện...; nhưng cho phép tạo ra sự thuận tiện khi

sử dụng vÌ chỉ cần mở một nắp che ở phía sau máy vi tính, rồi gài đặt tấm mạch

mỏ rộng này vào là đã có thể tiến hành đo được. Việc trao đổi dữ liệu với máy
tính được tiến hành qua rãnh cắm 8 bit, cịn các đầu đo nằm ở phía sau của máy
tính đưới dạng 3 dây màu: đỏ, vàng và xanh được hàn liền với 3 kẹp cá sấu. Ba

dây đo này ứng với 3 cực: phát, gốc, góp của tranzito, trong dây màu đỏ có điện
áp dương vì vậy được nối với cực góp của tranzilo loại n-p-n hoặc cực phát của
tranzito loại p-n-p. Khi đo thử điốt, dây màu vàng (ứng với cực gốc) sẽ bỏ hở; nếu
như dây màu đỏ nối với anốt còn dây màu xanh nối với catốt sẽ có đường đặc
trưng theo hướng thuận, cịn như hốn vị lại ta sẽ có đường đặc trưng theo
hướng ngược. Với quá trình kiểm tra hàng loạt có thể thay các kẹp cá sấu bằng

một ổ cắm chuyên dụng.


Từ máy tính có thể dễ dàng lựa chọn trên thực đơn:
- loại độ dẫn của tranzito (pnp hay npn)

- giá trị dịng cực góp lớn nhất trong bảy giá trị có thể: 10 mA, 20 mA,
50 mA, 100 mA, 200 mA,

500 mA và 1000 mA hay 1 A.

- giá trị điện áp góp phát Uce lớn nhất trong 6

giá trị: 1 V. 3V, 5V, 10 V,

15 V và 20 V.

- giá trị dòng cực gốc lớn nhất trong số 13 giá trị có thể từ 0,01 mA đến
100 mA.

Sau đó có thể cho tiến hành đo; chừng một giây sau họ đường đặc trưng
sẽ tự động hiện lên trên màn hình với dạng tiêu biểu như trên hình vẽ 8 ở trang
sau. Trên đồ thị mô tả đường đặc trưng, trục hồnh là trục điện áp góp-phát cịn
trục tung là trục dịng điện cực góp lc. Mười đường cong mô tả sự phụ thuộc

lc = f(Uce) ứng với mười giá trị dòng gốc khác nhau. Nếu như đường cong nhận
được cho thấy các giá trị đã lựa chon là chưa thích hợp thì có thổ quay về với
thực đơn chính để lựa chọn lại. Khi ta đã hài lịng với họ đường cong đo được và

muốn lưu lại thì có thể gửi đồ thị này ra máy in. Lệnh in màn hình này khơng cần
lua chon trước loại máy in.

Để đánh giá hệ đo chúng tôi đã tiến hành rất nhiều phép đo trên các loại
tranzito Khác nhau. Một số trong các họ đường cong này được mô tả trên các

hình vẽ ở phần phụ lục.
Họ đường cong trên hình vẽ 6 (ở trang sau) được đo trên một tranzito

cơng suất trung bình là tiêu biểu cho rất nhiều họ đường cong đã được đo thử,
trên đó điện áp góp-phát được thay đổi trong khoảng từ 0 V đến + 5 V, cịn dịng

cực góp thay đổi từ 0 đến 100 mA, còn dòng cực gốc nhận các giá trị khác nhau
tit 0,2 mA đến 0,8 mA (thay đổi từng bậc 0.1 mA). Trên hình vẽ chỉ có tám

12

đường cong dịng cực góp lo ứng với hai giá trị lb = 0,9 và 1 mA có độ lớn vượt

quá 100 mA nôn không thể đưa vào trong đồ thị.
,0nđ
0,%?nn
sơ

T_—————————————-——-———————-—Ð,tttA

20

THA

79

ee

60

SO 4

ven

40
3u
20
10

OA

—...

“—mmmm=————————————————ttS,4nđ
I}

ann a

ee,

pn

pm
mm...

aa

1

on.

a.cccacằc
2

SF
0

3

or,
pp
page pias Pee EWA
4
5 Upp iyd

Hình 6: Một họ đường đặc trưng tiêu biểu của tranzifo lưỡng cực

Các kết quả đo cho thấy:
- dạng đường cong giống hệt như các họ đường cong mô tả trong các
sách tra cứu về tranzito và hồn tồn có thể sử dụng được.
- thời gian tiến hành đo chỉ cỡ một giây, nghĩa là cực kỳ nhanh. Khoảng

thời gian này còn cho phóp thử với dịng tải lớn mà khơng làm hỏng linh kiện do
bị nóng vì nhiệt.
- việc mơ tả đường đặc trưng trên đồ thị hồn tồn thích ứng với các giá trị

đo lớn nhất đã lựa chọn.
- hệ thống đo có độ ổn định theo thời gian và độ lặp lại cao, các phép đo

ở những thời điểm khác nhau trên cùng một linh kiện đầu trùng khít lên nhau


13

- dạng đường cong trong một số trường hợp chưa được trơn chu, nguyên

nhân là do các quá trình biến đổi A/D, A/D xảy ra trong mạch điện chứ không

phải do các can nhiễu từ bên ngoài đưa vào nên chưa có cách nào giảm nhỏ

hơn được và điều này cũng thường thấy ngay cả ở những hệ đo thương mại

khác.

,


14

%. TÀI LIỆU THAM KHẢO:
[1] Interface Circuits, Elector, Netherland, 1992, p.. 36-40
[2] PC Circuit Technic, Hans-Joachim Blank, Herbert Bernstein,

Markt & Technic, 1992, p. 1869-171
[3] PC Measurement Technic, Matkt & Technic, 1993, p. 169-251
[4] PC-Hardware, Scott Mueller, Addison-Wesley, 1994,p. 625-636


Tpit
100

PB

cà

z0

#7

—=—————,?n

“=————————-————————-————————_—0,6nR

50

40

0,5nâ

‘

a

su

OL

3
gO

IM

20
_

io

PT”

100

—

233

'

1nfnã1

4

—-0,2nA

——————",

3

4

QF 4814

npn céng auak Trung bùn

Am

40,9na

xa Ắ—mmm————————n,ma

jð

rũ

P

—

1l...

_————————————————,8nâ

SH ý —40

ma

5 Upp tv]

g0

60

15

_——————————————————-0,mâ

sq

6n

Phụ lực †

;1, (nh
[D, nh

—

—————————————————_—_——.--..

en

I0,5nA
=


Tyna
19

Phuluc2
TT

remix

SONU

16
14

1a

PO

10

ga
nn

Š

NI

—————>—————————.
——

4

grlua

Tze—————————————

——_—.—.

2

bee
L9

45

40

3

4

5

6

7

m-

8

3 10

lO—==—————————

————_ —

—x

NIE

ara

28

at nnn

Tr

40uA

UygtUI

450

AOE

Pn

15

§tuAa

SUA

ee

BUA

10
ns
SESS

1

204

4

LOA

ằẶ.ằƒằẶằằ=

5

6

7

8

9

30n

in

UpgtUl

46


1

Phụ lục 3

IpthR1

,?nA
50 oe Nn
6nñ
=
tù, Ốnñ

en

SH

45 1D, 9nA
1,0 nh

40

Q, Ant

I

` PO

35

30
—C=S——————————

“mm

23 F

0, he

20
a

5

gern

DY, BH

10 ƒ
5

J,

5

t

40000

OS UpEU

QRABIA npn, fing sual trang bink
1pn[hf1

on

50

45

Áo,Bna

10,6m
1, Gna

rt, OWA

1,20
Latah

40 11, 6nA

35

3g

att
20
15

ee

a


Tptnal

Phụ lục4

mộ

=—————————————_-

-

-

ee
t5

————————————~—-~-—

§ OUA

-— —

—

-I1fltua

————~+~————————ỏs--S-_—...
——————————————-———

--.~_—_—

IT
ON

ự

pT

i

tt

5

t—

8g
50

ADD

m—————

10

-10twA

Ì——H—

3ua

i5 Upp tu

18