kính hiển vi thế hệ mới trong lĩnh vực điện tử nano
Bạn đang xem bản rút gọn của tài liệu. Xem và tải ngay bản đầy đủ của tài liệu tại đây (709.03 KB, 12 trang )
20/12/13
1
20/12/13 TS. Tran Tien Phuc 1
KÍNH HIỂN VI THẾ HỆ MỚI TRONG
LĨNH VỰC ĐIỆN TỬ NANÔ
Trần Tiến Phức
Khoa Điện - Điện tử
20/12/13 TS. Tran Tien Phuc 2
CÁC LOẠI KÍNH HIỂN VI DÙNG TRONG
LĨNH VỰC NANO
1. Kính hiển vi điện tử truyền qua (Transmission Electron
Microscopy - TEM) cho thông tin về hình thái, cấu trúc và các giao
diện, những sai hỏng trong mạng tinh thể.
2. Kính hiển vi điện tử quét (Scanning Electron Microscopy - SEM)
phát hiện hình thái của mẫu, kết hợp với tán xạ tia X cho thông tin
về thành phần của vật liệu.
3. Kính hiển vi đầu dò quét (Scanning Probe Microscopy - SPM) để
phân tích bề mặt có độ phân giải cao.
Kính hiển vi đường hầm quét (Scanning Tunneling Microscopy - STM)
Kính hiển vi lực nguyên tử (Atomic Force Microscopy - AFM),
Kính hiển vi lực tónh điện (Electrostatic Force Microscopy - EFM),
Kính hiển vi lực từ (Magnetic Force Microscopy - MFM),
Kính hiển vi tụ quét (Scanning Capacitance Microscopy - SCM),
