Công nghệ chế tạo máy công nghệ gia công bằng chùm tia điện tử

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Hình 5.64 :Thiết bị khoan bằng chùm tia
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a. Catod
b. Lăng kính Wehnelt
c. Anod;
d. Hệ thống điều chỉnh
e. Tấm ngăn có kính bằng Vonfram
f. Kính hiển vi Stereo

g. Kính bảo vệ
h. Lăng kính từ trường
i. Cuộn dây điện trường để lệch tia
j. Tia điện tử
k. Vật gia công
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