Chế tạo, nghiên cứu cảm biến từ dựa trên mạch cầu wheatstone có cấu trúc các nhánh dài

TRƯỜNG ĐẠI HỌC SƯ PHẠM HÀ NỘI 2
KHOA VẬT LÝ


NGUYỄN THỊ PHƯƠNG


CHẾ TẠO, NGHIÊN CỨU CẢM BIẾN TỪ
DỰA TRÊN MẠCH CẦU WHEATSTONE
CÓ CẤU TRÚC CÁC NHÁNH DÀI


KHÓA LUẬN TỐT NGHIỆP ĐẠI HỌC







HÀ NỘI – 2015



TRƯỜNG ĐẠI HỌC SƯ PHẠM HÀ NỘI 2
KHOA VẬT LÝ

NGUYỄN THỊ PHƯƠNG


CHẾ TẠO, NGHIÊN CỨU CẢM BIẾN TỪ
DỰA TRÊN MẠCH CẦU WHEATSTONE
CÓ CẤU TRÚC CÁC NHÁNH DÀI

KHÓA LUẬN TỐT NGHIỆP ĐẠI HỌC
Chuyên ngành: Vật lý chất rắn

Người hướng dẫn khoa học: ThS.LÊ KHẮC QUYNH





HÀ NỘI – 2015




LỜI CẢM ƠN
Lu tiên, em xin bày t lòng bic ti ThS. Lê Khc Quynh
 ng nghiên cu, cung cp cho em nhng tài liu quý
báu, t ng dn, ch bo, t u kin tt nht trong quá trình hoàn
thành khóa lun tt nghip.
Em i li cn các thy cô, anh ch cán
b ti Khoa Vt lý k thut và công ngh nano và Phòng thí nghim công ngh
Micro - i hc Công nghi hc Quc gia Hà Ni nhit tình
, chia s kinh nghim quý báu  tr em rt nhiu trong quá

trình làm thc nghim.
Tip theo, em xin ct c các thy, các cô ci h
phm Hà Nng dy, dìu dt và cung cp cho em nhng nn tng khoa
hc t kin thn nhng kin thc chuc
hành, thc nghim trong sut bc qua.
Cui cùng, em xin gi nhng li tp nhn b mn bè
nh, kp th
khóa lun mt cách tp.



Hà N
Sinh viên






Nguyn Th 






LỜI CAM ĐOAN
ng kt qu nghiên cu khoa hc trong khóa lun là
hoàn toàn trung thc công b bi bt k i
ngun tài lic trích dn rõ ràng.

Hà N
Sinh viên






Nguyn Th 






MỤC LỤC
TRANG PHỤ BÌA
LỜI CẢM ƠN
LỜI CAM ĐOAN
MỤC LỤC
DANH MỤC CÁC BẢNG BIỂU
DANH MỤC CÁC HÌNH VẼ
MỞ ĐẦU 1
CHƯƠNG 1: TỔNG QUAN 3
1.1 Các loi cm bi ng ph bin 3
1.1.1 Cm bin da trên hiu ng Hall 3

1.1.2 Cm bin da trên hiu ng t - n 3

1.2 Nhiu cm bin 6
1.3 Cm bi ng bng hiu ng t - n tr d ng (AMR) 8
1.3.1 Hiu ng t - n tr d ng 9

1.3.2 Mch cn tr Wheatstone 11

CHƯƠNG 2: PHƯƠNG PHÁP THỰC NGHIỆM 14
 to cm bin 14
2.1.1 X lý b mt mu 14

2.1.2 Ch to mt n và hc cha cm bin 15

2.1.3 Phún x to màng 19
2.1.3.1 Thit b phún x catot 19
2.1.3.2 Phún x tn tr 22
2.1.3.3 Phún x tn cc 23
o sát tính cht ca cm bin 23
2.2.1 Kho sát tính cht t ca cm bin 23

2.2.2 Kho sát tính cht t - n tr ca cm bin 25



CHƯƠNG 3: KẾT QUẢ VÀ THẢO LUẬN 27
 vit ca cm bin dng mch cu Wheatstone 27
3.2 Tính cht ca cm bin 29
3.3 Tính cht t - n tr ca cm bin 30

3.3.1    30

3.3.2 Tín hiu li ra ph thuc vào t s dài/rng ca các thanh tr 32

KẾT LUẬN 34
TÀI LIỆU THAM KHẢO 35







DANH MỤC CÁC BẢNG BIỂU
Bng 2.1: Thông s k thut ca máy 17
Bng 2.2: Thông s ct mt n ca máy 18
Bng 2.3: Thông s phún x ca các lp Ta/NiFe/Ta 22
Bng 2.4: Các thông s phún x n cc 23
B lch th  nhy ca cm bin 1×5mm khi b i 28
B lch th  nhy ca các cm bii t s dài/rng
ca các thanh tr 32

DANH MỤC CÁC HÌNH VẼ
Hình 1.1 minh ha hiu n t thuc trên các vt liu
multiferoics kiu t gin 4
Hình 1.2: Liên kt t n trong vt liu t i s phân cn
c gây ra bi t  t hóa bng ngoài 5
Hình 1.3 th hin ngun gc vt lý ca AMR 9
Hình 1.4: Giá tr n tr i ph thuc vào góc gin ng
c hóa 11
Hình 1.5: Mch cn tr Wheatstone 11
Hình 2.1: Bung x lý mu 14
Hình 2.2: Cu to chung ca mt máy ct laser 16
Hình 2.3: Máy ct laser VLS3.60 17
Hình 2.4: H mask ca cm bin 1× 3mm: Vi (a)là mt n n tr, (b)là mt
n n cc, (c) hình dng cm bin hoàn thin 18
Hình 2.5: Mt n ca các cm bin 19
Hình 2.6: Nguyên lý ca quá trình hình thành màng mng bng phún x catot 20
Hình 2.7: Thit b phún x catot 21
Hình 2.8n tr ca mch cu c phún x to
màng Ta/NiFe/Ta 22
Hình 2.9: Cm bic sau quá trình phún x n cc 23

Hình 2.10
 24
Hình 2.11 thí nghiu ng t - n tr 25
Hình 2.12: (a) Cm binh. (b) Cm bic kt ni
vi h n t 26
Hình 3.1: S ph thun áp li ra theo t ng ngoài ca cm bin (a) dng
n tr, (b) dng mch cu Wheatstone 28


Hình 3.2: S bin thiên cn tr thành phn trong mch cu Wheatstone
28
Hình 3.3: S ph thuc cn tr sut vào t ng ngoài vng hp t
ng song song và vuông góc vn 29
Hình 3.4ng cong t hóa t i M/M
s
ca cm bin vi t ng nm trong
mt phng i t  ghim 29
Hình 3.5: (a) S i th li ra ca cm bin cm bin 1×5mm ph thuc
vào t ng ngoài vi các b dày     nhy ca cm bin
1x5mm ng vi các b dày khác nhau ca thanh tr 31
Hình 3.6: S ph th li ra ca cm bin theo t i t s
dài/rng ca các thanh tr vi thang t ng ln (a) và nh (b) 32







1

MỞ ĐẦU
1. Lí do chọn đề tài
Trên th gii có rt nhiu loi cm bin da trên các hiu ng khác nhau
c s d  ng thp yu là các cm bin da trên
hiu ng quang và t m bing t siêu dn, si 
quang hc, cm bin da trên hiu n - t, cm n t (Flux-Gate),
hiu ng Hall Mc dù các cm bin hong da trên các hiu ng khác nhau
m biu da trên nguyên tc và phân tích hiu n th
li ra t cm bin i ph thu ca t ng tác dng lên
cm bin. Mi loi cm biu  m c
m riêng tùy thuc vào mvà phm vi trong tc ng dng.
Tuy vy, các cm bic khá cng knh và gp phi các
loi nhiu n tín hiu. Ngoài ra, mt s cm bin hong t
i có cu trúc dp khá phc tm bin da trên
hiu ng Spin-Vic tn hóa qui trình
công ngh, gim chi phí ch to mà vi ca cm bi
t ng thc tiêu nghiên cu ca nhóm. Li dng tính cht t
mm ca vt liu NiFe và tính nh nhit rt tt ca mch cu Wheatstone,
chúng tôi ch to các cm bi ng thp dng mch cu Wheatstone vi
cp Ni
80
Fe
20
da trên hiu ng t - n tr d ng. Các
cm bin ch to gic tng các loi nhic bit là nhiu
nhit qu t s tín hiu/nhiu ca cm bin s ln. Vng nghiên
cu này, các ni dung nghiên cc thc hin trong khóa lun bao gm:
- Ch to, kho sát tính cht t ca cm bin.
- Ch to cm bin vi b dày màng khác nhau, kho sát tìm ra b dày

màng ca cm bin có tín hi nhy cao.


2

- Ch to cm bin vc khác nhau, kho sát tín hi nhy ca
cm bin.
2. Mục đích nghiên cứu
- Ch to cm bin dng mch cu tròn da trên hiu ng AMR.
- Kho sát các tính cht t, t n tr ca cm bin.
3. Đối tượng nghiên cứu
Cm bin mch cu tròn da trên hiu ng AMR.
4. Phương pháp nghiên cứu
S dc nghim:
- Ch to cm bin vi vt liu Ni
80
Fe
20
.
- Kho sát tính cht vi cm bi to.

3

CHƯƠNG 1
TỔNG QUAN
1.1 Các loại cảm biến đo từ trường phổ biến
1.1.1 Cảm biến dựa trên hiệu ứng Hall
Hiu ng Hall c phát hiEdwin Hall khi ông
c ti hc Jonhs Hopkins  Baltimore, Maryland [2]. Khi cho
mn chy qua mt vt dn là cht bán dt trong t ng
ngoài,  hai mi din vuông góc vi chin s xut hin chênh lch
n áp trên vt liu này.
 n tích chuyng trong vt d i ng ca t ng
ngoài, chúng s chu tác dng ca lng vuông góc vi chiu dòng
n và t ng ngoài:
. [ x ]
H
F q E q v B


 q in tích ca n t (q = 1.6 × 10
-19
C )
  là t chuyng ca electron

 


là cm ng t
 


là ng Hall.
i tác dng ca ln tích s chuyng
c nhau v hai mt ca vt dn và to ra  hai mi din ca vt dn các
n tích trái du làm xut hin mng Hall E
H
ng vuông góc vi
chin. Ling này gây ra s ng vi
lc Lorent. Trng thái cân bc hình thành cùng vi s 
dn ca ln khi bù tr hoàn toàn vi lc tn trng thái
cân bng, lc gây ra do t ng B s cân bng vi lng E gây ra.
 c cho bi công thc:
(1.1)


4

.
H
H
R
V I B
t



 R
H
là n tr Hall
 I, B là  n và t ng
 T là chiu dày tm vt liu.
1.1.2 Cảm biến dựa trên hiệu ứng từ - điện
Hiu ng n - t   c d      
[12].Thut ng n - tt d
t ch  s liên kt gia pha st t và sc xây dng bi
 
rng hiu n - t có th c trong vt li
2
O
3
. S
phân cc cm ng bi t ng ca Cr
2
O
3
c quan sát l
1960 bi Astrov [3]. Hiu n - t c quan sát thy trên các vt
liu tn tng thi c hai pha st t và sn. Hiu n - t c chia
thành hiu n t thun (direct magnetoelectric effect) và hiu n t
nghch (converse magnetoelectric effect) (hình 1.3u ng thun là
hiu ng vt liu b  phân cn (Pt trong t ng ngoài
(Hc li hiu ng nghch là hiu ng mô men t ca vt liu b i
(M) khi chu tác dng cng ngoài (E).

Hình 1.1: S minh ha hiu n t thuc trên các vt liu
multiferoics kiu t gin.
(1.2)


5

Hiu n t thun: Khi vt liu chu tác dng ca mt t ng ngoài
H, pha st t (do hiu ng t gio) s b bin dng sinh ra ng sut tác dng lên
n. Do hiu ng áp  phân cn bên trong vt liu s b thay
i din ca vt liu s xut hin tích trái du
. Hiu n t thui h s t n:

E
= dE/dH.
Hiu n t c vi hiu n t thun, trong hiu ng
i tác dng cng, do hiu n s
b bin dng bc sinh ra ng suc truyn cho pha st t (t gio).
Do hiu ng Villary, mômen t ca pha st t s b thay  cc tiu hóa
ng t i sinh ra do ng sut. Hiu ng n t nghc
i h s t n:

M
= dM/dE

Hình 1.2: Liên kt t n trong vt liu t i s phân cn
c gây ra bi t ng  t hóa bng ngoài.
Hiu ng t - n có s chuyn hóa trc tip t n thành
ng t c li. Nh tính cht này, hiu c
nghiên cu và khai thác ng dng mnh m trên th gii t li

 ng ti mc tiêu ng dng ch to cm bi ng, hiu ng
(a)
(b)


6

n t thun t ra có nhi do kh i trc tip t ng
thành tín hin áp li ra.
1.2 Nhiễu cảm biến
Tín hiu li ra ca cm bin luôn b  ng bi các nhân t ca môi
     , tn s , nhng  ng này gi chung là
nhiu. Nhiu là s i ngu nhiên tín hiu li ra ca cm bin khi giá tr 
bng 0. Mt thông s quan tr m bin là t s tín hiu trên
nhiu (signal/noise).
Viu da trên 3 loi ch yu là nhiu tn s 1/f, nhiu nhit
và nhing tnh bi:

Vi 
y
 nhiu,  là di thông tn s, n
c
là s ht tn,
f tn s k
B
là hng s Boltzmann, T là nhi ca mu, L là chiu dài ca
mu, e n.
 vùng tn s thp (f < 300Hz), nhiu ch yu là nhiu tn s 1/f,  tn s
cao (trên 1kHz) nhiu ch yu là nhiu nhi trình v mt
s loi nhiu cm bing gp:

* Nhiễu nhiệt:
Nhiu nhit là thành phn nhiu sinh ra do các thành phn tr. Trong
di tn s f  ln ca nhiu nhic tính theo công thc (1.4):








 (1.4)

 T là nhi tuyi (K)
 R
DC
n tr ca cm bin (trong dòng DC )
 f di tn s c
(1.3)


7

 k
B
là hng s Boltzman.
Nhiu nhit có trong tt c các loi cm bin (còn gi là nhiu Johnson),
ph thuc vào thành phn cu to cn tr. Trong mng hp, nó th
hii dng nhiu dòng ngun phát c:
I

t
2
= 4k
B
 (1.5)
Di tn nhii thông voltage-gain-squared ca h thng
hay mi vi bt k hàm chuyi mng nào A(f) có 1 di tn nhiu
 truyn i A
0
và di tn:

* Nhiễu lượng tử:
n chy qua mt rào th thì s xut hin nhing t, vì s
g dòng qua mt giá tr trung bình gây ra bi s bin t và l
trc phát ra. Dòng nhinh:
I
sh
2
= 2qI
DC
B (1.7)

 q n tích
 I
DC
là dòng DC trung bình
 B là di nhiu.
* Nhiễu 1/f:
Nhiu 1/f gây ra bi s  dn do s tip xúc không hoàn ho
gia 2 lp vt liu. Nó xy ra  bt kì ch nào khi 2 vt tip xúc vi nhau. Nhiu

1/f t l thun vi giá tr dòng 1 chiu. M   ng bin thiên t l
nghch vi tn s 1/f. Dòng nhiu I
f
c 2 ca dc th
hi

I
f

sqrt(B)
≈
K×I
DC

sqrt(f)
(1.6)
(1.8)


8


 I
DC
là giá tr trung bình ca dòng DC
 F là tn s
 K là hng s ph thuc vào loi vt liu và hình dng ca nó
 B là di thông tn s.
* Nhiễu Barkhausen:
Nhiu Barkhausen bt ngun t các hiu ng Barkhausen. Nhiu

Barkhausen là hi  n tích bi i không liên tc trong m  t
thông  các vt liu st t khi t   i liên tc. Ngun phát
Barkhausen b ng ln bi s i cu trúc vi mô ca vt liu t và
ng sut. Gc biu ng ph thuc vào
n th bên trong bi các vách domain t khi chúng di chuyn qua vt liu.
T công thc (1.4), ta thy nn tr ca cm bin c i thì nhiu
nhit t ci.  tn s thp, ngun nhiu ch yu là nhiu 1/f (do t ng
gây ra nhiu tc biu din bi công thc:
V
2
1/f

c
) R
2
I
2
 (1.9)

  là hng s hing thun t (hng s Hooge)
 N
c
là s ht ti gây nhiu trong cm bin
 I n qua cm bin và f là tn s 
 c t s SNR ln nht có th, cm bin phi hong phía trên
1/f trong ch  nhiu nhing xy ra  tn s i vi van-
spin, trên 100 MHz i vi tip xúc xuyên ng tn s cao v
mn có th c s d nhn bit ht t c nh c gn
vào t sinh hc, cung c nhy sinh hc ci cho cm bin.
1.3 Cảm biến đo từ trường bằng hiệu ứng từ - điện trở dị hướng (AMR)

9

1.3.1 Hiệu ứng từ - điện trở dị hướng
Hiu ng t - n tr xut hin trong mt vt liu st t [14]. Hiu ng t -
n tr (magnetoresistance - MR) là s n tr ca mt vt di
ng ca t nh bng công thc:
 







 






 


(0), (H), R(0), R(H) ln tr sun tr ca vt
dn khi không có t ng ngoài và có t t vào [1].
Hiu ng t - n tr d ng (AMR  Anisotropic magnetoresistance)
xy ra trong các kim loi và hp kim st t, s n tr s ph thuc

vào góc gia  t  và chiu cn. Ngun gc vt lý ca hiu ng
t - n tr ph thuc vào liên kt spin qu o.

 th hin ngun gc vt lý ca AMR.
n t bao quanh mi hi
hình dng ph thung ca momen t và s bin dng ca các
n t ng tán x cn t dng
tinh th. Ta có th gii thích s ph thun tr ca vt dng
ca momen t vi chiu t ng
vuông góc vi chiu c o chuyng cn
t nm trong mt phng cy ch tn ti mt mt ct nh
i vi tán x cn t, dn ti vt dn tr nhc li, khi t
ng áp vào song song vi chin thì qu o chuyng cn


10

t ng vuông góc vi chiu cn, và mt ci vi tán
x cn t n ti vt dn tr cao (xem hình 1.3) [8].
 gii thích hiu ng t - n tr d ng (AMR) trong màng mng ca
vt liu t, gi nh rng,  t hóa trong màng st t u  trng thái
bão hòa 







, khi có s ng ca t ng ngoài s ng ca

 này. Ngoài ra, ta có th xét hiu ng AMR  hai khía c
mi quan h gin tr ng ca  t  ( t hóa) và mi quan
h ging ca  t  và t n tr ca màng mng có
th nh thông qua góc

- góc gia chiu n và  t :
(1.11)

 và là hng s ca vt liu
  dài ca màng mng
 b  rng ca màng mng
 d  dày ca màng mng
 và n tr n tr sut khi  t  vuông góc vi
trc d t hóa
 và  n tr n tr cikhi cótác dng ca
t ng ngoài.
T công thc (1.11 th biu din s ph thuc ca R vào 
hình 1.4.
 
)2cos(
22
1)2cos(
2
coscos)(
,0,0
2
,0,0


RR

R
R
R
RR
bd
l
bd
l
R
pp
pn







n,0



l
p
R
,0
n,0

R






11


Hình 1.4: Giá tr n tr i ph thuc vào góc gin ng
ca  t hoá.
1.3.2 Mạch cầu điện trở Wheatstone
Mch cu Wheatstone là mc s d n tr 
nh, bng cách so sánh hai nhánh ca 1 mch ct nhánh cha
thành phn tr nh. Mch cc phát minh bi
 và c phát trin,  dng rng
rãi b
Cu trúc ca mt mch cu Wheatstone (xem hình 1.5) bao gm có bn
n tr R
1
, R
2
, R
3
, R
4
c mc song song vi nhau. Mt ngun n mt chiu
c s d cp vào m A, C to ra dòng n chy trong mn và
mn k  nh chênh ln th li ra gia 2
m B,D ca cu.

Hình 1.5: Mch cn tr Wheatstone.

12

Khi ta cp mn th V
in
vào trong mn, ta có:



i tác dng cng ngoài, do s a hiu ng t - n tr
d n tr nên s to ra s i n tr thành phn ca mch
(

. S bii này dn ti s i cn th l
(1.13):


  








































 (1.13)
ng hng, nu mch cu cân bn th li ra

c biu din s 













 



 




 









 hay













 (1.13) khi có s i
cn tr thành phn trong mch cu, vi s n tr là nh 
5% c (1.14):





























 (1.14)
(1.12)


13

T công thc (1.14) chúng ta thy s n tr ca hai nhánh lin
k trong mch cu t trit tiêu nhau nên mch cu có th dùng làm mch n nh
nhi và ch to các thit k c bit khác. Mch cc ng
dng nhic ci sc bit là trong các mn t 
  kháng, n cm, n dung trong mch xoay chiu (AC). Trong
mt s b u khi, mch cu Heaviside (mt dng khác ca mch
cu Wheatstone) c s d u khing quay ct ng

dng rt ph bin trong ngành công nghi giám sát các thit b cm bin,
chng hng h ch cc ng d xác
nh chính xác v trí phá v m
i công ngh h tr cao.
Vm nêu  trên, chúng tôi la chn mch cu Wheatstone 
ch to cm bin vi s gic tng cng
c bit là nhiu nhi s c t s tín hiu/nhiu ln. Vt lic
la chn làm cm bin là Ni
80
Fe
20
là vt liu t mm (H
C
= 3÷5Oe), vt liu này
rt thích h ch to cm bi nhy cao trong vùng t ng thp.
Mch cn tr Wheatstone gn tr bc thit k 2
n tr i din có d ng hình dng gin tr lin k khác
nhau. Nh vyi tác dng ca t ng ngoài tín hiu li ra ca cm bin
c s l









14

CHƯƠNG 2
PHƯƠNG PHÁP THỰC NGHIỆM
2.1 Phương pháp chế tạo cảm biến
2.1.1 Xử lý bề mặt mẫu

Hình 2.1: Bung x lý mu.
Hình 2.1 là bung x lý m thc hin thao tác làm sch
b mt mu. Các thao tác làm sch và sy khô mc thc hin trong
bung x lý mu. Bung x lý mu bao gm: Súng xì khô, các hóa cht ty ra
c DI. Ngoài ra, b sy khô mu 
các nhi khác nhau, ma thao tác này 
toàn dung môi trên b m SiO
2
.Các thông s có th tùy chnh gm nhi
ct, t gia nhit.Yêu ci vi hotplate trong quá trình nung mu là
nhi luôn luôn phi gi nh cho phép sai s ± 1C [4].
  ch to cm bi Si có ph lp oxi hóa SiO
2
dày t
0.5- m bo n gi và màng vt liu. c khi lng
 c làm sch qua các quy trình sau:
 Rung siêu âm trong axeton 5  loi b ht cht bn và cht h
.


15

 Rung siêu âm trong cn 5  loi b ht dung dch axeton còn bám
.
 Lu trong dung d làm sch hoàn toàn dung dch cn.

 Xì khô bng máy nén khí, vi mi b c DI bám trên b mt
.
 Nung mu  100
0
C (nhi sôi cc là 100
0
C) trên hotlate vi thi
 b mt.
2.1.2 Chế tạo mặt nạ và hốc chứa cảm biến
Mt n làm bvà hc cha cm bin làm bng
thy tinh hkhóa luc thit k bng phn mm Coreldraw và
c gia công to hình s dng máy ct laser. Thit b này hong s dng tia
laser - ngun phát ra ánh sáng thông qua mt quá trình khui quang hc
da trên s kích thích phát x ca bc x n t. Thut ng n
gc là mt t vit tt cho Light Amplification Simulated Emission of Radiation
(quá trình khui ánh sáng bng phát x ng bc) [6]. Electron tn ti 
các mng riêng bit trong mt nguyên t. Các mng này có
th hing vi các qu o riêng bit ca electron xung quanh ht
nhân. Electron  bên ngoài s có mng electron  phía
trong. Khi có s ng vt lý hay hóa hc t bê
có th nhy t mng thp lên mc li. Các
quá trình này có th phát x hay hp th ánh sáng (photon) theo gii thuyt ca
Albert Einstein. Có nhiu loi laser khác nhau, có th  dng hn hp khí hay
dng cht l bc x cao nht vn là tia laser to bi các thành
phn t trng thái cht rn.
Cu to chung ca mt máy ct laser gm có: Bung cng cha hot
cht laser, ngun nuôi, h thng dn quang và h thng phn quang [16]. Trong
ng cng vi hot cht laser là b phn ch yu (xem hình 2.2).

16


Hình 2.2: Cu to chung ca mt máy ct laser.
Bung cng cha hot ch  t ch c bit có kh
  i ánh sáng bng phát x ng b  to ra laser. Khi mt
photon ti va chm vào hot cht này thì s t photon khác bt
ng vi photon ti. Mt khác bung cng có hai
mt chn  u, mt mt phn x toàn phn vi các photon khi bay ti, mt
kia cho mt phn photon qua mt phn phn x li làm cho các photon va chm
liên tc vào hot cht laser nhiu ln to m photon ln. Vì th 
c khui lên nhiu ln. Tính cht ca laser ph thuc vào hot cht
 vào hot ch phân loi laser.
 làm vic ca mt máy cng ca hin th
cao, các electron di chuyn t mng thp lên mng cao. 
mng cao, mt s electron s ru nhiên xung mng
thp, bc x hc gi là photon. Các ht photon này s ta ra nhiu
ng khác nhau t mt nguyên t va phi các nguyên t khác, kích thích
electron  các nguyên t ng tip, sinh thêm các photon cùng tn s,
    ng bay, to nên mt phn ng dây chuyn khu i
dòng ánh sáng. Các ht photon b phn x qua li nhiu ln trong vt liu nh
 u sut khui ánh sáng, mt s photon ra ngoài nh có
 ti mu ca vt li