DSpace at VNU: Nghiên cứu, thiết kế, mô phỏng vi cảm biến lực ba chiều dựa trên nguyên lý áp điện trở và cấu trúc tập trung áp lực

Nghiên cứu, thiết kế, mô phỏng vi cảm biến
lực ba chiều dựa trên nguyên lý áp điện trở và
cấu trúc tập trung áp lực
Phạm Hữu Thành
Đại học Công nghệ
Luận văn ThS Chuyên ngành: Kỹ thuật điện tử; Mã số 60 52 02 03
Người hướng dẫn: PGS.TS. Chử Đức Trình
Năm bảo vệ: 2014

Keywords. Kỹ thuật điện tử; Vi cảm biến lực ba chiều; Áp điện trở; Vi điện tử.

Content
 Luận văn trình bày cấu trúc vi cảm biến lực ba chiều dựa trên nguyên lý áp điện trở và
các phương pháp tăng độ nhạy của cảm biến.
 Thiết kế và mô phỏng vi cảm biến lực ba chiều dựa trên cấu trúc thanh dầm và màng
áp điện trở.
 Các cấu trúc áp điện trở được thay đổi bằng cách thêm vào các cấu trúc tập trung áp
lực để tăng độ nhạy của cảm biến. Các cấu trúc tập trung áp lực có dạng ellipe, tròn,
chữ nhật.
 Bằng cách sử dụng các cấu trúc tập trung áp lực, cảm biến đã có độ nhạy tăng 6% so
với cấu trúc ban đầu.
Reference
Tài liệu tham khảo
1.

Huỳnh Thị Thùy Linh, “Nghiên cứu, thiết kế, mô phỏng vi cảm biến lực áp điện trở,”
Luận văn thạc sĩ, Kỹ thuật điện tử, Trường Đại học Công nghệ, 2013.

2.

Trần Minh Vũ, “Nghiên cứu, thiết kế, mô phỏng vi cảm biến áp điện trở,” Luận văn

thạc sĩ, Kỹ thuật điện tử, Trường Đại học Công nghệ, 2013.

3.

H. M. Công, “Giáo trình cảm biến công nghiệp,” NXB Xây dựng, 2007.


4.

T. Chu Duc, J. F. Creemer, and Pasqualina M. Sarro, “Piezoresistive Cantilever Beam
for Force Sensing in Two Dimensions”, IEEE Sensors Journal, vol.7, no.1, 2007,
p.1546-1555.

5.

Jia Wei, “Silicon MEMS for Detection of Liquid and Solid Fronts,” Delft University of
Technology thesis, 2010.

6.

Stephen D. Sentunia, “Microsystem Design”, Kluwer Acedamic Publishers, 2001.