BAI TIEU LUAN NHOM 1(SEM)

TRƯỜNG ĐẠI HỌC THỦ DẦU MỘT
KHOA KHOA HỌC TỰ NHIÊN

ĐỀ TÀI:

HIỂN VI ĐIỆN TỬ QUÉT (SEM)
TIỂU LUẬN MÔN HỌC
CÁC PHƯƠNG PHÁP PHÂN TÍCH VẬT LIỆU

Tên sinh viên

:

Nguyễn Thị Vân Anh
Nguyễn Thị Thanh Kiều
Bùi Thị Thùy Linh
Nguyễn Thị Hồng Thủy

Lớp

:

Đại học hóa học LTCQ (DLB16HH201)

Môn

:

Các phương pháp phân tích vật liệu

Tháng 2/2018

MỤC LỤC
1. Kính hiển vi điện tử quét SEM ...................................................................... 1
1.1. Giới Thiệu .................................................................................................. 1
1.2. Lịch sử về kính hiển vi điện tử quét ........................................................ 2
1.3. Nguyên lý hoạt động và sự tạo ảnh trong SEM ..................................... 3
1.4. Ưu điểm của kính hiển vi điện tử quét ................................................. 11
2. Những cải tiến của SEM ............................................................................... 13
2.1. Quang khắc chùm điện tử (Electron beam lithography) .................... 13
2.2. Hệ chùm ion hội tụ (Focused ion beam) ............................................... 14
3. Kết luận .......................................................................................................... 14
TÀI LIỆU THAM KHẢO ................................................................................ 16

i


DANH MỤC HÌNH
Hình 1. Hình ảnh tổng quan của kính hiển vi điện tử quét (SEM) ..................... 1
Hình 2. Ảnh chụp mẫu tảo cát bằng kính hiển vi điện tử quét............................ 2
Hình 3. Sơ đồ khối kính hiển vi điện tử quét. ...................................................... 3
Hình 4. Thiết bị kính hiển vi điện tử quét Jeol 5410 LV tại Trung tâm Khoa học
Vật liệu, Đại học Quốc gia Hà Nội. ................................................................... 6
Hình 5. Phát xạ tín hiệu điện tử thứ cấp (SE) và điện tử tán xạ ngược (BSE) từ bề
mặt mẫu .............................................................................................................................7
Hình 6. Đặc tính của tín hiệu điện tử thứ cấp (SE) và điện tử tán xạ ngược
(BSE). .................................................................................................................. 7
Hình 7. Mẫu hạt BaCO3 và TiO2 với thế gia tốc: 3.0 kV và độ phóng đại: 50
nghìn lần. ............................................................................................................. 8
Hình 8. Một số hình ảnh chụp bằng SEM: Đầu kiến & Tóc. .............................. 11

ii


Nhóm 1

Tiểu luận: Hiển vi điện tử quét SEM

1. Kính hiển vi điện tử quét SEM
1.1. Giới Thiệu
Kính hiển vi điện tử quét (tiếng Anh: Scanning Electron Microscope,
thường viết tắt là SEM), là một loại kính hiển vi điện tử có thể tạo ra ảnh với độ
phân giải cao của bề mặt mẫu vật bằng cách sử dụng một chùm điện tử (chùm
các electron) hẹp quét trên bề mặt mẫu. Việc tạo ảnh của mẫu vật được thực hiện
thông qua việc ghi nhận và phân tích các bức xạ phát ra từ tương tác của chùm
điện tử với bề mặt mẫu vật. Có nghĩa là SEM cũng nằm trong nhóm các thiết bị
phân tích vi cấu trúc vật rắn bằng chùm điện tử.
SEM là một loại kính hiển vi điện tử sử dụng kỹ thuật quét chùm tia điện
tử hội tụ trên bề mặt mẫu vật để tạo ra hình ảnh.
Các tín hiện điện tử tương tác với bề mặt mẫu, sản sinh ra những tín hiệu
khác nhau, nhưng tín hiệu này sẽ cung cấp những thông tin sau:
- Hình thái bề mặt
- Cấu trúc thành phần
- Cấu trúc tinh thể

Hình 1. Hình ảnh tổng quan của kính hiển vi điện tử quét (SEM).
1


Nhóm 1

Tiểu luận: Hiển vi điện tử quét SEM

SEM được sử dụng như là một công cụ phục vụ cho công tác nghiên cứu,
phát triển và quản lý chất lượng trong nhiều lĩnh vực khác nhau.

Hình 2. Ảnh chụp mẫu tảo cát bằng kính hiển vi điện tử quét.
1.2. Lịch sử về kính hiển vi điện tử quét
Kính hiển vi điện tử quét lần đầu tiên được phát triển bởi Zworykin vào
năm 1942 là một thiết bị gồm một súng phóng điện tử theo chiều từ dưới lên, ba
thấu kính tĩnh điện và hệ thống các cuộn quét điện từ đặt giữa thấu kính thứ hai
và thứ ba, và ghi nhận chùm điện tử thứ cấp bằng một ống nhân quang điện.

2


Nhóm 1

Tiểu luận: Hiển vi điện tử quét SEM

Hình 3. Sơ đồ khối kính hiển vi điện tử quét.
Năm 1948, C. W. Oatley ở Đại học Cambridge (Vương quốc Anh) phát
triển kính hiển vi điện tử quét trên mô hình này và công bố trong luận án tiến sĩ
của D. McMullan với chùm điện tử hẹp có độ phân giải đến 500 Angstrom. Trên
thực tế, kính hiển vi điện tử quét thương phẩm đầu tiên được sản xuất vào năm
1965 bởi Cambridge Scientific Instruments Mark I.
1.3. Nguyên lý hoạt động và sự tạo ảnh trong SEM
Cấu tạo chính của SEM gồm cột kính (súng điện tử, tụ kính, vật kính), buồng
mẫu và đầu dò tín hiệu điện tử. Cột kính có chân không cao, áp suất 10-5-10-6 Torr
đối với SEM thông thường và 10-8-10-9 Torr đối với SEM có độ phân giải cao (FESEM). Buồng mẫu có thể nằm ở hai chế độ chân không cao hoặc thấp. Hệ thống

bơm chân không, hệ thống điện, điện tử, hệ thống điều khiển và xử lý tín hiệu là
những bộ phận đảm bảo cho sự làm việc liên tục của SEM.

3


Nhóm 1

Tiểu luận: Hiển vi điện tử quét SEM

Kính hiển vi điện tử quét là thiết bị có khả năng quan sát bề mặt của mẫu
vật, bao gồm: súng điện tử, tụ kính, buồng tiêu bản, hệ thống đầu dò điện tử, hệ
thống khuếch đại - máy tính và màn hình để quan sát ảnh. Chùm điện tử xuất phát từ
súng điện tử đi qua tụ kính, rồi vật kính, sau đó chùm tia hội tụ và quét trên toàn bộ
bề mặt của mẫu, sự tương tác của chùm điện tử tới với bề mặt mẫu tạo ra các tia khác
nhau (điện tử thứ cấp, điện tử tán xạ ngược, điện tử Auger, tia huỳnh quang catot, tia
X đặc trưng...). Hình ảnh hiển vi điện tử quét được phản ảnh lại bởi các điện tử thứ
cấp và điện tử tán xạ ngược thu được nhờ các đầu dò gắn bên sườn của kính. Tia X
đặc trưng có khả năng phản ánh thành phần nguyên tố trong mẫu phân tích nhờ bộ
phân tích phổ tán sắc năng lượng tia X (EDS – Energy Dispersive X- ray
Spectroscopy). Đặc trưng của SEM là các thông số: độ phóng đại M, độ phân
giải d và điện áp gia tốc U.
Việc phát các chùm điện tử trong SEM cũng giống như việc tạo ra chùm
điện tử trong kính hiển vi điện tử truyền qua, tức là điện tử được phát ra từ súng
phóng điện tử (có thể là phát xạ nhiệt, hay phát xạ trường...), sau đó được tăng
tốc. Tuy nhiên, thế tăng tốc của SEM thường chỉ từ 1 0 kV đến 50 kV vì sự hạn
chế của thấu kính từ, việc hội tụ các chùm điện tử có bước sóng quá nhỏ vào
một điểm kích thước nhỏ sẽ rất khó khăn. Điện tử được phát ra, tăng tốc và hội
tụ thành một chùm điện tử hẹp (cỡ vài trăm Angstrong đến vài nanomet) nhờ hệ
thống thấu kính từ, sau đó quét trên bề mặt mẫu nhờ các cuộn quét tĩnh điện. Độ

phân giải của SEM được xác định từ kích thước chùm điện tử hội tụ, mà kích
thước của chùm điện tử này bị hạn chế bởi quang sai, chính vì thế mà SEM
không thể đạt được độ phân giải tốt như TEM. Ngoài ra, độ phân giải của SEM
còn phụ thuộc vào tương tác giữa vật liệu tại bề mặt mẫu vật và điện tử. Khi
điện tử tương tác với bề mặt mẫu vật, sẽ có các bức xạ phát ra, sự tạo ảnh trong
SEM và các phép phân tích được thực hiện thông qua việc phân tích các bức xạ
này. Các bức xạ chủ yếu gồm:

4


Nhóm 1

Tiểu luận: Hiển vi điện tử quét SEM

• Điện tử thứ cấp (Secondary electrons): Đây là chế độ ghi ảnh thông
dụng nhất của kính hiển vi điện tử quét, chùm điện tử thứ cấp có năng
lượng thấp (thường nhỏ hơn 50 eV) được ghi nhận bằng ống nhân quang
nhấp nháy. Vì chúng có năng lượng thấp nên chủ yếu là các điện tử phát
ra từ bề mặt mẫu với độ sâu chỉ vài nanomet, do vậy chúng tạo ra ảnh hai
chiều của bề mặt mẫu.
• Điện tử tán xạ ngược (Backscattered electrons): Điện tử tán xạ ngược là
chùm điện tử ban đầu khi tương tác với bề mặt mẫu bị bật ngược trở lại,
do đó chúng thường có năng lượng cao. Sự tán xạ này phụ thuộc rất
nhiều vào vào thành phần hóa học ở bề mặt mẫu, do đó ảnh điện tử tán
xạ ngược rất hữu ích cho phân tích về độ tương phản thành phần hóa
học. Ngoài ra, điện tử tán xạ ngược có thể dùng để ghi nhận ảnh nhiễu xạ
điện tử tán xạ ngược, giúp cho việc phân tích cấu trúc tinh thể (chế độ
phân cực điện tử). Ngoài ra, điện tử tán xạ ngược phụ thuộc vào các liên
kết điện tại bề mặt mẫu nên có thể đem lại thông tin về các đômen sắt

điện.
• Huỳnh quang catốt (Cathodoluminesence): Là các ánh sáng phát ra do
tương tác của chùm điện tử với bề mặt mẫu. Phép phân tích này rất phổ
biến và rất hữu ích cho việc phân tích các tính chất quang, điện của vật
liệu.

5


Nhóm 1

Tiểu luận: Hiển vi điện tử quét SEM

Hình 4. Thiết bị kính hiển vi điện tử quét Jeol 5410 LV tại Trung tâm Khoa
họcVật liệu, Đại học Quốc gia Hà Nội.
• Phân tích phổ tia X (X-ray microanalysis): Tương tác giữa điện tử với
vật chất có thể sản sinh phổ tia X đặc trưng, rất hữu ích cho phân tích
thành phần hóa học của vật liệu. Các phép phân tích có thể là phổ tán sắc
năng lượng tia X (Energy Dispersive X-ray Spectroscopy - EDXS) hay
phổ tán sắc bước sóng tia X (Wavelength Dispersive X-ray Spectroscopy
- WDXS)... Một số kính hiển vi điện tử quét hoạt động ở chân không
siêu cao có thể phân tích phổ điện tử Auger, rất hữu ích cho các phân
tích tinh tế bề mặt.
• SEMPA (Kính hiển vi điện tử quét có phân tích phân cực, tiếng Anh:
ScanningElectron Microscopy with Polarisation Analysis) là một chế độ
ghi ảnh của SEM mà ở đó, các điện tử thứ cấp phát ra từ mẫu sẽ được
ghi nhận nhờ một detector đặc biệt có thể tách các điện tử phân cực spin
từ mẫu, do đó cho phép chụp lại ảnh cấu trúc từ của mẫu.

6

Nhóm 1

Tiểu luận: Hiển vi điện tử quét SEM

Nguyên lý cơ bản về kính hiển vi điện tử quét (SEM)
✓ Tín hiệu sinh ra từ bề mặt mẫu
Khi chiếu xạ xuống bề mặt mẫu bằng chùm tia điện tử sẽ sinh ra các tín
hiệu điện tử thứ cấp (SE), điện tử tán xạ ngược (BSE) và các tín hiệu khác.
Kính hiển vi điện tử quét (SEM) chủ yếu sử dụng tín hiệu SE và BSE để
tạo nên hình ảnh.

Hình 5. Phát xạ tín hiệu điện tử thứ cấp (SE) và điện tử tán xạ ngược (BSE) từ
bề mặt mẫu.

Hình 6. Đặc tính của tín hiệu điện tử thứ cấp (SE) và điện tử tán xạ ngược
(BSE).
7


Nhóm 1

Tiểu luận: Hiển vi điện tử quét SEM

Hình 7. Mẫu hạt BaCO3 và TiO2 với thế gia tốc: 3.0 kV và độ phóng đại: 50
nghìn lần.
✓ Lợi ích của thế gia tốc thấp (low kV)
Thu được tông tin rõ ràng về cấu trúc bề mặt mẫu vật bằng kỹ thuật sử
dụng thế gia tốc thấp.

8


Nhóm 1

Tiểu luận: Hiển vi điện tử quét SEM

✓ Sự khác biệt trong tán xạ điện tử trên bề mặt mẫu

✓ Thế gia tốc – Yếu tố căn bản để chụp được ảnh chất lượng cao

9


Nhóm 1

Tiểu luận: Hiển vi điện tử quét SEM

Cấu trúc và quy trình vận hành của kính hiển vi điện tử quét (SEM)
● Chùm tia điện tử được phát ra và
gia tốc bởi một nguồn phát điện tử.
● Thấu kính hội tụ điều khiển dòng
đầu dò và góc phát xạ.
● Vật kính hội tụ chùm tia trên bề
mặt mẫu.
● Đầu dò có chức năng thu tín hiệu
điện tử phát xạ.
Do vị trí phát xạ được dịch chuyển
bởi bộ điều hướng nên mức độ

phân bố cường độ phát xạ điện tử
được thu và tạo ra hình ảnh.
Các loại nguồn phát điện tử

10


Nhóm 1

Tiểu luận: Hiển vi điện tử quét SEM

Các loại thấu kính

1.4. Ưu điểm của kính hiển vi điện tử quét
❖ Ưu điểm
Mặc dù không thể có độ phân giải tốt như kính hiển vi điện tử truyền qua
nhưng kính hiển vi điện tử quét lại có điểm mạnh là phân tích mà không cần phá hủy
mẫu vật và có thể hoạt động ở chân không thấp. Một điểm mạnh khác của SEM là
các thao tác điều khiển đơn giản hơn rất nhiều so với TEM khiến cho nó rất dễ sử
dụng. Một điều khác là giá thành của SEM thấp hơn rất nhiều so với TEM, vì thế
SEM phổ biến hơn rất nhiều so với TEM.
Với ảnh phóng đại bằng phương pháp quét, không yêu cầu mẫu phải lát
mỏng và phẳng nên hiển vi điện tử quét quan sát mặt rất mấp mô, chỗ cao thấy
rõ chỗ thấp cũng thấy rõ.
SEM hoạt động trên nguyên tắc dùng một chùm điện tử hẹp chiếu quét
trên bề mặt mẫu, điện tử sẽ tương tác với bề mặt mẫu đo và phát ra các bức xạ
thứ cấp (điện tử thứ cấp. điện tử tán xạ ngược...) và từ việc thu các bức xạ thứ
cấp này, ta sẽ thu được hình ảnh vi cấu trúc tại bề mặt mẫu. Có thể hiểu việc này
một cách đơn giản là dùng đèn soi lên mặt một vật và nhìn ánh sáng phản xạ để
biết tấm hình thù ra sao.

11


Nhóm 1

Tiểu luận: Hiển vi điện tử quét SEM

Độ phóng đại của SEM không nằm chính ở thấu kính mà nằm ở kích
thước chùm điện tử và khả năng quét của chùm điện tử (chùm điện tử càng hẹp,
bước quét càng bé thì độ phóng đại càng lớn). SEM hoạt động không đòi hỏi
môi trường chân không quá cao (do động năng điện tử ở SEM không lớn như
TEM). Do quan sát vi cấu trúc bề mặt nên SEM có thể quan sát trực tiếp mà
không cần phá hủy hay xử lý mẫu (điều này đặc biệt có ý nghĩa cho việc quan
sát các linh kiện, máy móc nhỏ hay mẫu sinh học...).

Hình 8. Một số hình ảnh chụp bằng SEM: Đầu kiến & Tóc.
Ngoài ra, hình ảnh SEM được nhuộm màu nhân tạo. Màu có thể được
thực hiện bằng tay với phần mềm chỉnh sửa ảnh, hoặc bán tự động với phần
mềm chuyên dụng sử dụng tính năng phát hiện hoặc phân khúc đối tượng. Các
hình ảnh màu nhân tạo làm cho hình ảnh dễ dàng hơn cho người không chuyên
môn để xem và hiểu các cấu trúc và bề mặt tiết lộ trong hiển vi.
❖ Hạn chế của SEM
 Độ phân giải chưa tốt
 Khả năng giải ảnh không tốt bằng TEM.
 SEM chỉ chụp được các mẫu dẫn điện.
 SEM chỉ hiển thị hình ảnh vi cấu trúc bề mặt.

12

Nhóm 1

Tiểu luận: Hiển vi điện tử quét SEM

2. Những cải tiến của SEM
Ở SEM, bạn cũng có được một phép phân tích hóa học tương tự như
TEM, đó là phép phân tích phổ tán sắc năng lượng tia X (EDX). EDX ở SEM
cũng có khả năng làm chức năng “mapping”, tức là vẽ ra phân bố các nguyên tố
hóa học (thâm chí các thao tác làm còn đơn giản hơn cả TEM), nhưng một điều
tất nhiên mà bạn luôn nhớ là “resolution” ở đây kém hơn TEM rất nhiều. SEM
không có phép phân tích EELS vì SEM không ghi nhận điện tử tán xạ không
đàn hồi. Nhưng những điều này không đáng nói bằng một số tính năng “mạnh”
khác mà ta có thể làm từ SEM nếu đi kèm với những cải tiến.
2.1. Quang khắc chùm điện tử (Electron beam lithography)
Quang khắc chùm điện tử là phương pháp “chạm khắc” để tạo ra các chi
tiết có hình dạng kích thước nhỏ, ví dụ như các linh kiện điện tử… Để làm được
như thế, người ta sẽ dùng một chất cản quang (photoresist) phủ lên các màng
mỏng, sau đó sử dụng SEM để quét chùm điện tử, “vẽ” lên bề mặt cản quang
hình ảnh các bản mẫu này (gọi là các pattern), giống như việc tạo hình trong TV.
Vùng bị quét chùm điện tử của cản quang sẽ bị thay đổi tính chất hóa học, có
nghĩa là nó có thể bị rửa trôi (cản quang dương), hoặc trơ không bị rửa trôi (thì
vùng không bị chiếu xạ sẽ bị rửa trôi). Cản quang còn lại (mang hình ảnh của
chi tiết) sẽ đóng vai trò một “mặt nạ” để bảo vệ các chi tiết cần tạo trong quá
trình ăn mòn. Trên thực tế, công nghiệp bán dẫn hiện tại chưa dùng đến kỹ thuật
EBL, mà chỉ mới dùng đến quang khắc bằng ánh sáng (photolithography). Ánh
sáng dùng chiếu vào cản quang để gây biến đổi, và hình ảnh chi tiết được tạo ra
nhờ mặt nạ. Nhưng kỹ thuật photolithography chỉ cho phép tạo các chi tiết cực
lớn (tới cỡ ngàn nanomet) do giới hạn nhiễu xạ của ánh sáng khả kiến. Việc
dùng điện tử thay cho ánh sáng cho phép tạo ra độ phân giải cực lớn tới vài

nanomet (phổ biến hiện nay các hệ EBL công nghiệp có độ phân giải khoảng
20-50 nm, một số hệ “cực xịn” có thể cho phân giải tới 3 nm), và cho phép nhảy
vọt trong công nghệ vật liệu. EBL đắt tiền hơn photolithography rất nhiều, lâu
13


Nhóm 1

Tiểu luận: Hiển vi điện tử quét SEM

hơn, nhưng nó lại có độ chính xác cực cao, không cần tạo mặt nạ.. Các hệ EBL
công nghiệp chưa phổ biến rộng rãi, và hệ EBL chính là được tạo ra từ SEM.
2.2. Hệ chùm ion hội tụ (Focused ion beam)
FIB là một hệ “chạm khắc” trực tiếp để tạo các chi tiết như kiểu
lithography, nhưng ở đây, không cần dùng cản quang mà dùng một chùm ion
kim loại năng lượng cao bắn phá màng mỏng vật liệu. Ở hệ FIB, người ta dùng 2
cột: một cột ion (thường dùng Ga) và một cột điện tử. Ion Ga được điều khiển
hội tụ và quét trên màng mỏng vật liệu để bắn phá các chi tiết không cần giữ.
Cột điện tử chính là một SEM để quan sát trực tiếp quá trình này. Ngoài ra, FIB
còn sử dụng một cột phún xạ các hơi kim loại để cho phép lắng đọng một số kim
loại theo những hình dạng định trước. Như ví dụ clip dưới đây mô tả việc tạo ra
một nanopillar rất đơn giản bằng FIB.
3. Kết luận
Kính hiển vi điện tử quét truyền qua là loại kính hiển vi điện tử có khả
năng kết hợp cả hai tính năng quét và truyền qua, tức là có khả năng vừa phản
ánh cầu trúc bên trong của mẫu đồng thời cũng có thể phản ánh được bề mặt,
thành phần của mẫu vật. Tuy nhiên, loại kính này thường dùng nguồn điện tử là
nguồn phát xạ trường (field emission gun), chân không trong toàn bộ cột kính
phải rất cao cỡ 10-9 – 10-10 Torr. Loại kính này sử dụng chủ yếu trong nghiên
cứu vật liệu, ít sử dụng đối với các tiêu bản sinh vật.

Rõ ràng về mặt tạo ảnh, SEM thua xa TEM về khả năng phân giải, nhưng
ta cũng thấy rằng SEM có nhiều thế mạnh mà TEM không thể nào có nổi. Kể từ
khi “cỗ máy” SEM thương phẩm đầu tiên xuất hiện vào năm 1964, SEM đã trở
thành một công cụ hiệu quả để khảo sát các tính chất bề mặt của vật liệu trong
các khoa học vật lý cũng như khoa học sự sống. SEM đã trở nên quá phổ biến
trong ngành công nghiệp bán dẫn mà ở đó chúng được sử dụng để tạo ra (các
thiết bị khắc chùm điện tử) và khảo sát vi cấu trúc các cấu kiện cực nhỏ, và nó

14


Nhóm 1

Tiểu luận: Hiển vi điện tử quét SEM

đã trở thành một thiết bị then chốt trong các công việc mang tính chất “khẩn
cấp” của công nghệ nano. Có thể nói rằng “Kính hiển vi điện tử quét đang tiến
tới những thách thức của thế kỷ”. Với điều kiện cơ sở vật chất, kinh tế cũng như
trình độ nhân lực hiện nay ở Việt Nam thì việc trang bị rộng rãi thiết bị này là
hoàn toàn khả thi và trong tầm kiểm soát.
Ở nước ta, kính hiển vi điện tử hiện nay vẫn là thiết bị quí hiếm, đắt tiền,
có rất ít đơn vị được trang bị đồng bộ về kính hiển vi điện tử, thiết bị chuẩn bị
mẫu và những người có kỹ năng vận hành và khai thác tính năng của kính. Do
vậy, một số đơn vị được trang bị kính nhưng không khai thác được hoặc khai
thác bị hạn chế, gây ra tình trạng lãng phí lớn về thiết bị.
Hiển vi điện tử là một phương pháp nghiên cứu tương đối phức tạp và có
nhiều kỹ thuật khác nhau, tùy thuộc vào đối tượng và mục đích nghiên cứu, các
thiết bị phụ trợ và hóa chất cũng rất chuyên dụng. Vì vậy, người sử dụng kính
hiển vi điện tử trong nghiên cứu y sinh không những phải am hiểu về siêu cấu
trúc tế bào, sinh hóa, vi sinh, miễn dịch, kiến thức chuyên ngành mà còn cần

phải hiểu về các kỹ thuật chuẩn bị mẫu, khai thác thông tin từ hình ảnh và kiến
thức nhất định về vật lý, hóa học. Mỗi người khi cần nghiên cứu bằng phương
pháp hiển vi điện tử thì phải biết được điều kiện cần chuẩn bị mẫu, chế độ quan
sát trên kính, và những thông tin cần khai thác. Sau khi nhận được những hình
ảnh hiển vi điện tử thì phải biết cách xử lý để làm nổi bật được mục đích nghiên
cứu của mình.

15


Nhóm 1

Tiểu luận: Hiển vi điện tử quét SEM

TÀI LIỆU THAM KHẢO
1. />%91i%E1%BB%87n_t%E1%BB%AD#cite_note-1
2. Nanophotonics- Paras N. Prasas
3. />
16