Tải bản đầy đủ (.pdf) (171 trang)

Luận án Tiến sĩ Vật lý: Áp dụng thống kê Fermi-Dirac biến dạng q và phương pháp thống kê mômen trong nghiên cứu một số tính chất nhiệt động, tính chất từ của kim loại và màng mỏng kim loại

Bạn đang xem bản rút gọn của tài liệu. Xem và tải ngay bản đầy đủ của tài liệu tại đây (1.82 MB, 171 trang )

BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO
TRƯỜNG ĐẠI HỌC SƯ PHẠM HÀ NỘI

DƯƠNG ĐẠI PHƯƠNG

ÁP DỤNG THỐNG KÊ FERMI­DIRAC BIẾN DẠNG q VÀ 
PHƯƠNG PHÁP THỐNG KÊ MÔMEN TRONG NGHIÊN CỨU 
MỘT SỐ TÍNH CHẤT NHIỆT ĐỘNG, TÍNH CHẤT TỪ CỦA KIM 
LOẠI VÀ MÀNG MỎNG KIM LOẠI

LUẬN ÁN TIẾN SĨ VẬT LÝ


Hà Nội ­ 2016

BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO
TRƯỜNG ĐẠI HỌC SƯ PHẠM HÀ NỘI

DƯƠNG ĐẠI PHƯƠNG

ÁP DỤNG THỐNG KÊ FERMI­DIRAC BIẾN DẠNG q VÀ 
PHƯƠNG PHÁP THỐNG KÊ MÔMEN TRONG NGHIÊN CỨU 
MỘT SỐ TÍNH CHẤT NHIỆT ĐỘNG, TÍNH CHẤT TỪ CỦA KIM 
LOẠI VÀ MÀNG MỎNG KIM LOẠI

Chuyên ngành: Vật lý lý thuyết và Vật lý toán
                     Mã số              : 62.44.01.03

LUẬN ÁN TIẾN SĨ VẬT LÝ

        Người hướng dẫn khoa học: 1. GS. TS. Vũ Văn Hùng




                                                            2. PGS. TS. Lưu Thị Kim Thanh 

Hà Nội ­ 2016

LỜI CAM ĐOAN
Tôi xin cam đoan luận án “Áp dụng thống kê Fermi­Dirac biến dạng q và  
phương pháp thống kê mômen trong nghiên cứu một số tính chất nhiệt động, tính  
chất từ của kim loại và màng mỏng kim loại” là công trình nghiên cứu riêng của 
tôi. Các số  liệu trình bày trong luận án là trung thực, đã được các đồng tác giả 
cho phép sử dụng và chưa từng được công bố trong bất cứ công trình nào khác.
Hà Nội, ngày 8 tháng 1 năm 2016
               Tác giả luận án
 

            Dương Đại Phương


LỜI CẢM ƠN

Tôi xin bày tỏ lòng biết ơn sâu sắc và trân trọng cảm ơn đến các cá nhân và  
tập thể sau đây 
GS. TS. Vũ Văn Hùng và PGS. TS. Lưu Thị Kim Thanh ­ những thầy giáo cô 
giáo đã trực tiếp hướng dẫn tôi trong suốt thời gian qua, đã tận tình chỉ  dạy, 
hướng dẫn và giúp đỡ  tôi rất nhiều trong học tập và nghiên cứu cũng như  trong 
quá trình thực hiện luận án;
Các thầy, cô giáo Khoa Vật lý và Phòng Sau đại học, Trường Đại học Sư 
phạm Hà Nội, đặc biệt là các thầy cô giáo Bộ  môn Vật lý lý thuyết đã giúp đỡ, 
cung cấp những kiến thức quý báu và tạo mọi điều kiện thuận lợi để tôi học tập  

và hoàn thành luận án;
Các   thầy,   cô   giáo   Khoa   Cơ   bản,   Trường   Sĩ   quan   Tăng   thiết   giáp,   Binh 
chủng Tăng thiết giáp, đặc biệt là các thầy cô giáo Bộ  môn Lý ­ Hóa đã động  
viên, giúp đỡ  và tạo những điều kiện thuận lợi nhất để  tôi có thể  chuyên tâm  
nghiên cứu;
Phòng Quản lý học viên, Đoàn 871, Tổng cục Chính trị, Bộ Quốc phòng đã 
tạo mọi điều kiện giúp đỡ tôi trong suốt thời gian học tập;
Những người thân trong gia đình, các bạn bè thân thiết đã luôn động viên,  
giúp đỡ, ủng hộ, chia sẻ những khó khăn và tạo mọi điều kiện để tôi hoàn thành 
luận án.


Hà Nội, ngày 8 tháng 1 năm 2016
Tác giả luận án

Dương Đại Phương

MỤC LỤC
Trang
Lời cam đoan

i

Lời cảm ơn 

ii

Mục lục

iii


Danh mục từ viết tắt

v

Danh mục bảng biểu

vii

Danh mục đồ thị, hình vẽ

x

MỞ ĐẦU

xiv

CHƯƠNG 1: TỔNG QUAN VỀ ĐỐI TƯỢNG NGHIÊN CỨU VÀ 
PHƯƠNG PHÁP NGHIÊN CỨU 

1

1.1. Tổng quan nghiên cứu về tính chất nhiệt động và tính chất từ của 
kim loại và màng mỏng kim loại

1

1.2.  Tổng quan về  các phương pháp lý thuyết và thực nghiệm trong 
nghiên cứu tính chất nhiệt động và tính chất từ của kim loại và màng  
mỏng kim loại


15

1.3. Phương pháp đại số biến dạng

18


1.4. Phương pháp thống kê mômen

22

Kết luận chương 1

30

CHƯƠNG   2:   THỐNG   KÊ   FERMI­DIRAC   BIẾN   DẠNG  q  VÀ 
ỨNG DỤNG 

32

2.1. Thống kê Fermi – Dirac và thống kê Fermi – Dirac biến dạng q

32

2.2. Thống kê Fermi – Dirac biến dạng q trong nghiên cứu nhiệt dung 
và độ cảm thuận từ của khí điện tử tự do trong kim loại

39


Kết luận chương 2

49

CHƯƠNG   3:  PHƯƠNG   PHÁP   THỐNG   KÊ   MÔMEN   TRONG 
NGHIÊN CỨU TÍNH CHẤT NHIỆT ĐỘNG CỦA MÀNG MỎNG 
KIM LOẠI VỚI CÁC CẤU TRÚC LPTD VÀ LPTK 

50

3.1.  Phương pháp thống kê mômen trong nghiên cứu tính chất nhiệt  
động của màng mỏng kim loại với các cấu trúc LPTD và LPTK  ở  áp  
suất không

51

3.2. Phương pháp thống kê  mômen  trong nghiên cứu tính chất nhiệt 
động của màng mỏng kim loại với các cấu trúc LPTD và LPTK dưới  
tác dụng của áp suất

76

Kết luận chương 3

81

CHƯƠNG 4: KẾT QUẢ TÍNH SỐ VÀ THẢO LUẬN 
4.1. Nhiệt dung và độ  cảm thuận từ  của khí điện tử  tự  do trong kim  

82


loại 
4.2.  Khoảng   lân   cận   gần   nhất   và   các   đại   lượng   nhiệt   động   của  

82

MMKL với các cấu trúc LPTD và LPTK ở áp suất không
4.3.   Khoảng   lân   cận   gần   nhất   và   các   đại   lượng   nhiệt   động   của 

93

MMKL với các cấu trúc LPTD và LPTK dưới tác dụng của áp suất
Kết luận chương 4

121

KẾT LUẬN 

133

TÀI LIỆU THAM KHẢO

136

132


DANH MỤC TỪ VIẾT TẮT

STT


Diễn giải

Viết tắt

1

Thống kê mômen

TKMM

2

Thống kê Fermi­Dirac

TKFD

3

Kim loại kiềm

KLK

4

Kim loại chuyển tiếp

KLCT

5


Màng mỏng kim loại

MMKL

6

Lập phương tâm diện

LPTD (FCC)

7

Lập phương tâm khối

LPTK (BCC)

8

Lục giác xếp chặt

LGXC (HCP)

9

Phương pháp thống kê mômen

10

Thực nghiệm


11

Tính chất nhiệt động

TCNĐ

12

Đại lượng nhiệt động

ĐLNĐ

13

Lí thuyết phiếm hàm mật độ

DFT

14

Động lực học phân tử

MD

15

Phương   pháp   từ   các   nguyên   lí   đầu 
tiên


PPTKMM (SMM)
TN (EXPT)

AB INITIO

16

Phương pháp epitaxi chùm phân tử

MBE

17

Trường phonon tự hợp

SCPF


18

Nhà xuất bản

19

Giáo dục Việt Nam

GDVN

20


Đại học Sư phạm

ĐHSP

21

Đại học Quốc gia

ĐHQG

22

Khoa học kỹ thuật

KHKT

23

Đại học Bách khoa

ĐHBK

24

25

Khoa học tự nhiên và công nghệ quốc 
gia
International Symposium on Frontiers 
in Materials Science


NXB

KHTN & CNQG

ISFMS


DANH MỤC BẢNG BIỂU
Trang
Bảng 3.1. Các giá trị thực nghiệm của các thông số thế  m, n, D,  r0 đối 
 
với các MMKL Al, Cu, Au, Ag  với cấu trúc LPTD

67

Bảng 3.2. Các giá trị thực nghiệm của các thông số thế  m, n, D,  r0 đối 
 
với các MMKL Fe, W, Nb, Ta  với cấu trúc LPTK 

67

Bảng 4.1. Các giá trị thực nghiệm của mức năng lượng Fermi và hằng 
số nhiệt điện tử đối với các kim loại

82

Bảng 4.2. Các giá trị  tính toán của hằng số  nhiệt điện tử  và tham số 
bán thực nghiệm q đối với điện tử  trong kim loại theo lý thuyết biến  
dạng


82

Bảng 4.3. Sự phụ thuộc nhiệt độ của nhiệt dung khí điện tử tự do theo 
tính toán lý thuyết và thực nghiệm đối với K

84

Bảng 4.4. Sự phụ thuộc nhiệt độ của nhiệt dung khí điện tử tự do theo 
tính toán lý thuyết và thực nghiệm đối với Na

84

Bảng 4.5. Sự phụ thuộc nhiệt độ của nhiệt dung khí điện tử tự do theo 
tính toán lý thuyết và thực nghiệm đối với Rb

84

Bảng 4.6. Sự phụ thuộc nhiệt độ của nhiệt dung khí điện tử tự do theo 
tính toán lý thuyết và thực nghiệm đối với Cs

85

Bảng 4.7. Sự phụ thuộc nhiệt độ của nhiệt dung khí điện tử tự do theo 
tính toán lý thuyết và thực nghiệm đối với Ag

85

Bảng 4.8. Sự phụ thuộc nhiệt độ của nhiệt dung khí điện tử tự do theo 
tính toán lý thuyết và thực nghiệm đối với Au

Bảng 4.9. Sự phụ thuộc nhiệt độ của nhiệt dung khí điện tử tự do theo 

85

tính toán lý thuyết và thực nghiệm đối với Cu
Bảng 4.10.  Sự  phụ  thuộc  nhiệt độ  của  nhiệt dung  khí điện tử  tự  do 

86

theo tính toán lý thuyết và thực nghiệm đối với Cd

86


Bảng 4.11. Độ cảm thuận từ của khí điện tử tự do trong kim loại theo  
thực nghiệm [108, 112­115] và lý thuyết biến dạng 
Bảng 4.12. Sự  phụ  thuộc nhiệt độ  của các đại lượng nhiệt động đối 

91

với màng mỏng Al ở áp suất P = 0
Bảng 4.13. Sự  phụ  thuộc nhiệt độ  của các đại lượng nhiệt động đối 

93

với màng mỏng Cu ở áp suất P = 0

94

Bảng 4.14. Sự  phụ  thuộc nhiệt độ  của các đại lượng nhiệt động đối 

với màng mỏng Au ở áp suất P = 0

95

Bảng 4.15. Sự  phụ  thuộc nhiệt độ  của các đại lượng nhiệt động đối 
với màng mỏng Ag ở áp suất P = 0

97

Bảng 4.16. Sự  phụ  thuộc nhiệt độ  của các đại lượng nhiệt động đối 
với màng mỏng Fe ở áp suất P = 0

98

Bảng 4.17. Sự  phụ  thuộc nhiệt độ  của các đại lượng nhiệt động đối 
với màng mỏng W ở áp suất P = 0

99

Bảng 4.18. Sự  phụ  thuộc nhiệt độ  của các đại lượng nhiệt động đối 
với màng mỏng Nb ở áp suất P = 0

100

Bảng 4.19. Sự  phụ  thuộc nhiệt độ  của các đại lượng nhiệt động đối 
với màng mỏng Ta ở áp suất P = 0

102

Bảng 4.20. Sự phụ thuộc bề dày của các đại lượng nhiệt động đối với  

màng mỏng Al ở nhiệt độ 300K và áp suất P = 0
Bảng 4.21. Sự phụ thuộc bề dày của các đại lượng nhiệt động đối với  

103

màng mỏng Al ở nhiệt độ 300K và áp suất P = 0
Bảng 4.22. Sự phụ thuộc bề dày của các đại lượng nhiệt động đối với  

103

màng mỏng Au ở nhiệt độ 300K và áp suất P = 0
Bảng 4.23. Sự phụ thuộc bề dày của các đại lượng nhiệt động đối với  

104

màng mỏng Ag ở nhiệt độ 300K và áp suất P = 0
Bảng 4.24. Sự phụ thuộc bề dày của các đại lượng nhiệt động đối với  

104

màng mỏng Fe ở nhiệt độ 300K và áp suất P = 0
Bảng 4.25. Sự phụ thuộc bề dày của các đại lượng nhiệt động đối với  

105

màng mỏng W ở nhiệt độ 300K và áp suất P = 0

105



Bảng 4.26. Sự phụ thuộc bề dày của các đại lượng nhiệt động đối với  
màng mỏng Nb ở nhiệt độ 300K và áp suất P = 0
Bảng 4.27. Sự phụ thuộc bề dày của các đại lượng nhiệt động đối với  

106

màng mỏng Ta ở nhiệt độ 300K và áp suất P = 0
Bảng 4.28. Sự phụ thuộc áp suất của các đại lượng nhiệt động đối với 

106

màng mỏng Al ở nhiệt độ 300K và các bề dày khác nhau
Bảng 4.29. Sự phụ thuộc áp suất của các đại lượng nhiệt động đối với 

122

màng mỏng Cu ở nhiệt độ 300K và các bề dày khác nhau
Bảng 4.30. Sự phụ thuộc áp suất của các đại lượng nhiệt động đối với 

122

màng mỏng Au ở nhiệt độ 300K và các bề dày khác nhau
Bảng 4.31. Sự phụ thuộc áp suất của các đại lượng nhiệt động đối với 

123

màng mỏng Ag ở nhiệt độ 300K và các bề dày khác nhau
Bảng 4.32.  Sự phụ thuộc áp suất của các đại lượng nhiệt động đối 

123


với  màng mỏng Fe ở nhiệt độ 300K và các bề dày khác nhau
Bảng 4.33. Sự phụ thuộc áp suất của các đại lượng nhiệt động đối với 

124

màng mỏng W ở nhiệt độ 300K và các bề dày khác nhau
Bảng 4.34. Sự phụ thuộc áp suất của các đại lượng nhiệt động đối với 

124

màng mỏng Nb ở nhiệt độ 300K và các bề dày khác nhau
Bảng 4.35. Sự phụ thuộc áp suất của các đại lượng nhiệt động đối với 

125

màng mỏng Ta ở nhiệt độ 300K và các bề dày khác nhau

125


i

DANH MỤC ĐỒ THỊ, HÌNH VẼ
Trang
Hình 1.1. Màng mỏng tự do (a) và màng mỏng có chân đế (b)

6

Hình 1.2. Sự  phụ  thuộc bề dày của hệ  số  dãn nở  nhiệt đối với màng 

mỏng Al 
Hình 1.3. Sự  phụ  thuộc bề dày của hệ  số  dãn nở  nhiệt đối với màng 

7

mỏng Pb 
Hình 1.4. Hệ số dãn nở nhiệt của Ag trên các nền PEN và SiO2

8
8

Hình 1.5. Sự phụ thuộc nhiệt độ của hệ số dãn nở nhiệt đối với màng 
9

mỏng Al  
Hình 1.6. Màng mỏng chống nắng

11

Hình 1.7. Phương pháp bốc nhiệt

13

Hình 1.8. Phương pháp phún xạ catốt

13

Hình 1.9. Phương pháp epitaxi chùm phân tử (MBE)

14


Hình 2.1. Hàm phân bố Fermi – Dirac tại các nhiệt độ khác nhau

35

Hình 2.2. Phân bố điện tử theo lý thuyết Pauli trong trường hợp có từ 
trường ở 0K
Hình 3.1. Mạng tinh thể LPTD

47

Hình 3.2. Mạng tinh thể LPTK

50

Hình 3.3. MMKL tự do

51

50

Hình 4.1. Sự  phụ  thuộc nhiệt độ của nhiệt dung khí điện tử  tự  do đối 
với K
Hình 4.2. Sự  phụ  thuộc nhiệt độ của nhiệt dung khí điện tử  tự  do đối 

88

với Na
Hình 4.3. Sự  phụ  thuộc nhiệt độ của nhiệt dung khí điện tử  tự  do đối 


88

với Rb
Hình 4.4. Sự  phụ  thuộc nhiệt độ của nhiệt dung khí điện tử  tự  do đối 

89

với Ag
Hình 4.5. Sự  phụ  thuộc nhiệt độ của nhiệt dung khí điện tử  tự  do đối 

89

với Au

90


ii

Hình 4.6. Sự  phụ  thuộc nhiệt độ của nhiệt dung khí điện tử  tự  do đối 
với Cu
Hình 4.7.  Sự  phụ  thuộc nhiệt độ  của  độ  cảm thuận từ  đối với khí 

90

điện tử tự do trong Na
Hình 4.8.  Sự  phụ  thuộc nhiệt độ  của  độ  cảm thuận từ  đối với khí 

92


điện tử tự do trong Cs
Hình 4.9.  Sự  phụ  thuộc nhiệt độ  của  độ  cảm thuận từ  đối với khí 

92

điện tử tự do trong K
Hình 4.10.  Sự  phụ  thuộc nhiệt độ  của  độ  cảm thuận từ  đối với khí 

92

điện tử tự do trong Rb
Hình 4.11. Sự  phụ  thuộc nhiệt độ  của khoảng lân cận gần nhất đối 

92

với  các MMKL Al, Au, Ag tại bề dày 10 lớp
Hình 4.12. Sự  phụ  thuộc nhiệt độ  của khoảng lân cận gần nhất đối 

107

với  màng mỏng Ag ở các bề dày khác nhau
Hình 4.13. Sự  phụ  thuộc nhiệt độ  của khoảng lân cận gần nhất đối 

108

với  màng mỏng W ở các bề dày khác nhau
Hình 4.14. Sự phụ thuộc bề dày của khoảng lân cận gần nhất đối với 

108


các MMKL Al, Au và Ag ở nhiệt độ 300K
Hình 4.15. Sự phụ thuộc bề dày của khoảng lân cận gần nhất đối với 

109

các MMKL W, Nb và Ta ở nhiệt độ 300K
Hình 4.16. Sự  phụ  thuộc nhiệt độ  của hệ  số  nén đẳng nhiệt đối với  

109

màng mỏng Ag ở các bề dày khác nhau
Hình 4.17. Sự  phụ  thuộc nhiệt độ  của hệ  số  nén đẳng nhiệt đối với  

110

các MMKL Al, Cu, Au và Ag ở bề dày 10 lớp
Hình 4.18. Sự  phụ  thuộc nhiệt độ  của hệ  số  nén đẳng nhiệt đối với  

110

các MMKL Al, Cu, Au và Ag ở bề dày 70 lớp
Hình 4.19. Sự phụ thuộc bề dày của hệ số nén đẳng nhiệt đối với các 

110

MMKL Al, Cu, Au và Ag ở nhiệt độ 300K
Hình 4.20.  Sự  phụ  thuộc nhiệt độ  của hệ  số  dãn nở  nhiệt đối với 

111


màng mỏng Ag ở các bề dày khác nhau
Hình 4.21. Sự phụ thuộc nhiệt độ của hệ số dãn nở nhiệt đối với các 

112

MMKL Al, Cu, Au và Ag ở bề dày 10 lớp

112


iii

Hình 4.22. Sự phụ thuộc nhiệt độ của hệ số dãn nở nhiệt đối với các 
MMKL Al, Cu, Au và Ag ở bề dày 70 lớp
Hình 4.23.  Sự  phụ  thuộc nhiệt độ  của hệ  số  dãn nở  nhiệt đối với 

112

màng mỏng Al ở các bề dày khác nhau
Hình 4.24. Sự  phụ  thuộc bề  dày của hệ  số  dãn nở  nhiệt đối với các  

113

MMKL Al và Ag ở nhiệt độ 300K
Hình 4.25.  Sự  phụ  thuộc nhiệt độ  của nhiệt dung đẳng tích đối với  

113

màng mỏng Ag ở các bề dày khác nhau
Hình 4.26.  Sự  phụ  thuộc nhiệt độ  của nhiệt dung đẳng tích đối với  


115

các MMKL Al, Cu, Au và Ag ở bề dày 10 lớp
Hình 4.27.  Sự  phụ  thuộc nhiệt độ  của nhiệt dung đẳng tích đối với  

115

các MMKL Al, Cu, Au và Ag ở bề dày 70 lớp
Hình 4.28. Sự phụ thuộc bề dày của nhiệt dung đẳng tích đối với các 

115

MMKL Al, Cu, Au và Ag ở nhiệt độ 300K
Hình 4.29.  Sự  phụ  thuộc nhiệt độ  của  nhiệt dung đẳng áp đối với 

116

màng mỏng Ag ở các bề dày khác nhau
Hình 4.30.  Sự  phụ  thuộc nhiệt độ  của  nhiệt dung đẳng áp đối với 

117

màng mỏng Au ở các bề dày khác nhau
Hình 4.31. Sự phụ thuộc nhiệt độ của nhiệt dung đẳng áp đối với các 

117

MMKL Al, Cu, Au và Ag ở bề dày 10 lớp
Hình 4.32. Sự phụ thuộc nhiệt độ của nhiệt dung đẳng áp đối với các 


118

MMKL Al, Cu, Au và Ag ở bề dày 70 lớp
Hình 4.33. Sự  phụ  thuộc bề  dày của nhiệt dung đẳng áp đối với các  

118

MMKL Al, Cu, Au và Ag ở nhiệt độ 300K
Hình 4.34. Sự  phụ thuộc nhiệt độ  của môđun đàn hồi đẳng nhiệt đối 

118

với màng mỏng Ag ở các bề dày khác nhau
Hình 4.35. Sự  phụ thuộc nhiệt độ  của môđun đàn hồi đẳng nhiệt đối 

119

với các MMKL Al, Cu, Au và Ag ở bề dày 10 lớp
Hình 4.36. Sự  phụ thuộc nhiệt độ  của môđun đàn hồi đẳng nhiệt đối 

120

với các MMKL Al, Cu, Au và Ag ở bề dày 70 lớp
Hình 4.37. Sự phụ thuộc bề dày của hệ số nén đẳng nhiệt đối với các 

120

MMKL Al, Cu, Au và Ag ở nhiệt độ 300K


120


iv

Hình 4.38. Sự  phụ  thuộc nhiệt độ  của khoảng lân cận gần nhất đối 
với các MMKL Al, Au và Ag ở  áp suất 0,24GPa và bề dày 20 lớp
Hình 4.39. Sự phụ thuộc bề dày của khoảng lân cận gần nhất đối với 

126

màng mỏng Al ở nhiệt độ 300K ở các áp suất khác nhau 
Hình 4.40. Sự  phụ  thuộc nhiệt độ  của hệ  số  nén đẳng nhiệt đối với  

126

màng mỏng Ag ở các áp suất khác nhau và bề dày 10 lớp
Hình 4.41.  Sự  phụ  thuộc nhiệt độ  của hệ  số  dãn nở  nhiệt đối với 

127

màng mỏng Au ở các áp suất khác nhau và bề dày 10 lớp
Hình 4.42. Sự  phụ  thuộc nhiệt độ  của nhiệt dung riêng đẳng tích đối 

127

với màng mỏng Ag ở các áp suất khác nhau
Hình 4.43.  Sự  phụ  thuộc nhiệt độ  của nhiệt dung riêng đẳng áp đối 

128


với các MMKL Au và Ag ở các áp suất khác nhau và bề dày 10 lớp
Hình 4.44. Sự  phụ thuộc nhiệt độ  của môđun đàn hồi đẳng nhiệt đối 

128

với các MMKL Au và Ag ở các áp suất khác nhau và bề dày 10 lớp
Hình 4.45. Sự  phụ  thuộc áp suất  của tỉ  số   V/V0 đối với màng mỏng 

129

Cu ở nhiệt độ 300K và bề dày 80nm
Hình 4.46. Sự phụ thuộc áp suất của tỉ số V/V0 đối với màng mỏng Ag 

129

ở nhiệt độ 300K và bề dày 55nm

130

           Các phương pháp gần đúng trong tính toán lý thuyết có những giới hạn  
sử dụng của chúng. Chẳng hạn như trong lý thuyết nhiễu loạn không dễ dàng 
nhận thấy một số  hiện tượng vật lý như  sự  phá vỡ  đối xứng tự  phát, sự 
chuyển pha trạng thái… Điều đó đòi hỏi phải có những phương pháp mới  
không nhiễu loạn như  phương pháp phiếm hàm mật độ, phương pháp hàm 
Green, phương pháp  ab initio, phương pháp đại số  biến dạng, phương pháp 
thống kê mômen,… mà chúng bao hàm tất cả các bậc khai triển của lý thuyết 
nhiễu loạn và giữ được các yếu tố phi tuyến của lý thuyết. 
Trong thời gian gần đây, nghiên cứu đại số  biến dạng đã thu hút được  
sự quan tâm của nhiều nhà vật lý lý thuyết [76, 77, 90, 91] vì các cấu trúc toán  

học mới của đại số biến dạng phù hợp với nhiều lĩnh vực của vật lý lý thuyết  


v

như  thống kê lượng tử, quang học phi tuyến, vật lý chất rắn… Lý thuyết đại  
số biến dạng đã có những ứng dụng trong lý thuyết trường và hạt cơ bản trong  
đó đặc biệt là vật lý hạt nhân [100, 101, 109…]. Lý thuyết đại số biến dạng đã  
thành công trong giải thích các vấn đề liên quan đến boson. Trong luận án này,  
chúng tôi lựa chọn lý thuyết đại số  biến dạng để  nghiên cứu hệ  fermion. Cụ 
thể là chúng tôi dùng lý thuyết này để nghiên cứu nhiệt dung và độ cảm thuận  
từ của khí điện tử tự do trong kim loại ở nhiệt độ thấp.
Nghiên cứu màng mỏng thu hút sự  quan tâm của nhiều nhà nghiên cứu  
do những ứng dụng to lớn của nó. Vật liệu với kích thước nanomet có những 
tính chất khác biệt so với vật liệu khối [32, 34, 35…]. Ngày nay, màng mỏng 
được sử dụng rộng rãi trong khoa học, công nghiệp và đời sống hàng ngày như 
công cụ cắt, cấy ghép y tế, các yếu tố quang học, mạch tích hợp, thiết bị điện  
tử... Trong nghiên cứu tính chất nhiệt động của màng mỏng kim loại có nhiều 
phương pháp lý thuyết khác nhau. Mặc dù các phương pháp đó đã thu được  
một số  kết quả  nhất định nhưng chúng cũng còn một số  các hạn chế  nhất là  
chúng chưa xem xét đầy đủ  đến hiệu  ứng phi điều hòa của dao động mạng.  
Trong những năm gần đây, phương pháp thống kê mômen (PPTKMM) đã thành 
công trong nghiên cứu các tính chất nhiệt động và đàn hồi của tinh thể ở dạng  
khối khi tính đến  ảnh hưởng phi điều hòa của dao động mạng [15­19, 50­52]. 
Trong luận án này, lần đầu tiên chúng tôi áp dụng PPTKMM để  nghiên cứu 
tính chất nhiệt động của màng mỏng kim loại.   Tuy nhiên, PPTKMM không 
nghiên cứu được tính chất nhiệt động và tính chất từ  của khí điện tử  tự  do 
trong kim loại ở vùng nhiệt độ thấp.
   Với tất cả những lí do như đã trình bày ở trên, chúng tôi mong muốn áp 
dụng lý thuyết  đại số biến dạng  q để nghiên cứu nhiệt dung và độ cảm thuận  

từ  của khí điện tử  tự  do trong kim loại  ở nhiệt độ  thấp và áp dụng lý thuyết 
thống kê mômen để nghiên cứu tính chất nhiệt động của màng mỏng kim loại. 
Đề  tài  luận án là “Áp dụng thống kê Fermi­Dirac biến dạng q và phương  


vi

pháp thống kê mômen trong nghiên cứu một số tính chất nhiệt động, tính  
chất từ của kim loại và màng mỏng kim loại ”.
2. Mục đích, đối tượng và phạm vi nghiên cứu
       Luận án nhằm hai mục đích chính. Thứ  nhất là áp dụng thống kê 
Fermi­Dirac (TKFD) biến dạng q để  nghiên cứu nhiệt dung và độ  cảm thuận 
từ  của khí điện tử  tự  do trong kim loại  ở  nhiệt độ  thấp. Cụ  thể  là áp dụng  
thống kê này để  xây dựng biểu thức giải tích của nhiệt dung và độ cảm thuận  
từ phụ thuộc vào tham số biến dạng q đối với khí điện tử tự do trong kim loại. 
Các kết quả lý thuyết được áp dụng tính số cho một số kim loại kiềm (KLK),  
kim loại chuyển tiếp (KLCT).  Các kết quả  tính số  được so sánh với thực  
nghiệm (TN) và các kết quả tính toán theo các phương pháp khác.
       Thứ  hai là áp dụng PPTKMM để  nghiên cứu tính chất nhiệt động 
(TCNĐ) của màng mỏng kim loại (MMKL). Cụ thể là áp dụng PPTKMM để 
xây dựng biểu thức giải tích của năng lượng tự do và  các đại lượng nhiệt động 
(ĐLNĐ) phụ thuộc vào nhiệt độ, áp suất và bề dày của các MMKL với các cấu 
trúc lập phương tâm diện (LPTD) và lập phương tâm khối (LPTK). Các kết  
quả lý thuyết được áp dụng tính số cho một số MMKL và các kết quả tính số 
được so sánh với  TN và các kết quả tính toán khác.
    Đối tượng và phạm vi nghiên cứu của luận án là một số KLK, KLCT,  
MMKL với các cấu trúc LPTD và LPTK. 
3. Phương pháp nghiên cứu
   Trong luận án này, chúng tôi áp dụng hai phương pháp nghiên cứu chính 
là phương pháp đại số biến dạng và PPTKMM.

   Phương pháp đại số biến dạng được áp dụng để  rút ra biểu thức giải  
tích của nhiệt dung và độ  cảm thuận từ  đối với khí điện tử  tự  do trong kim 
loại ở nhiệt độ thấp.
   PPTKMM được áp dụng để thu được biểu thức giải tích cho các ĐLNĐ 


vii


1

CHƯƠNG 1
TỔNG QUAN VỀ ĐỐI TƯỢNG NGHIÊN CỨU VÀ 
PHƯƠNG PHÁP NGHIÊN CỨU
1.1. Tổng quan về  tính chất nhiệt động và tính chất từ  của kim loại và  
màng mỏng kim loại
1.1.1. Nhiệt dung và tính chất từ của khí điện tử tự do trong kim loại 
1.1.1.1. Nhiệt dung của khí điện tử tự do trong kim loại
 Kim loại là một vật rắn có tính dẫn điện tốt. Độ dẫn điện riêng của kim  
loại vào khoảng từ 106 đến 108  Ω −1m −1   vì trong kim loại có chứa rất nhiều điện 
tử tự do. Nếu mỗi nguyên tử cho một điện tử thì trong 1 cm 3 có khoảng 1022  điện 
tử hoá trị liên kết rất yếu với các lõi nguyên tử. Chúng có thể chuyển động tự do 
trong tinh thể  và trở  thành các hạt tải điện. Do đó, các điện tử  này được gọi là 
các điện tử dẫn. Chúng có  ảnh hưởng quyết định đến tính dẫn điện và gây ảnh  
hưởng đến các tính chất khác như  các tính chất từ, cơ, nhiệt, quang, … của kim 
loại [1­3, 6, 11, 92].
 Nếu coi các điện tử tự do không tương tác với nhau (nói chính xác hơn là 
coi chúng chỉ tương tác với nhau khi va chạm) thì các điện tử  này tạo thành một  
chất khí. Việc phân loại các lý thuyết phụ  thuộc vào hàm phân bố  của khí điện  
tử tự do. Nếu coi các điện tử tự do có cùng một giá trị năng lượng thì ta có khí cổ 

điển đơn giản nhất thường được nghiên cứu bởi lý thuyết Drude. Đối với khí cổ 
điển,  người  ta  áp dụng hàm phân bố  Maxwell – Boltzmann cổ   điển  trong   lý 
thuyết Lorentz. Đối với khí lượng tử (khí Fermi), người ta áp dụng hàm phân bố 
Fermi­Dirac lượng tử trong lý thuyết Sommerfeld.
Lý thuyết Drude dựa trên ba giả  thiết đơn giản. Thứ  nhất là coi các điện  
tử tự do chuyển động nhiệt hỗn loạn. Thứ hai là khi có điện trường tác dụng lên  


2

hệ thì ngoài chuyển động nhiệt hỗn loạn, các điện tử có thêm thành phần chuyển  
động có hướng. Thứ  ba là các điện tử  chỉ  tương tác với nhau khi va chạm và  
trong trường hợp khi có điện trường tác dụng lên hệ  thì sau mỗi một va chạm, 
điện tử mất hoàn toàn thành phần chuyển động có hướng mà nó thu được trước 
đó từ điện trường. Tuy dựa vào những giả thiết đơn giản nhưng lý thuyết Drude  
lại có khả năng giải thích một cách tương đối tốt nhiều định luật và hiện tượng  
vật lý quan trọng như định luật Ohm, định luật Joule­Lenz, định luật Wiedemann­
Franz, hiệu  ứng Hall,… Vì dựa vào một số  giả  thiết đơn giản nên lý thuyết  
Drude có nhiều nhược điểm, trong đó một nhược điểm quan trọng là nó cho kết  
quả không đúng về nhiệt dung của tinh thể. Cụ thể là theo lý thuyết Drude, ở các 
nhiệt độ lớn hơn nhiệt độ  phòng, nhiệt dung của điện tử  tự  do là 

và 

 
do đó, nhiệt dung của vật rắn là     Giá trị  này lớn gấp rưỡi so với giá trị  thực 
 
nghiệm là   Theo kết quả  thực nghiệm  ở  các nhiệt độ  cao trên nhiệt độ  phòng,  
 
nhiệt dung hoàn toàn chỉ do đóng góp của dao động mạng tinh thể.

Lý thuyết Sommerfeld về khí điện tử tự do lượng tử dựa trên ba giả thiết.  
Thứ  nhất là coi các điện tử  là tự  do (tức là chúng không chịu tác dụng của một  
lực nào hay một trường nào). Thứ  hai là các điện tử  tự  do không tương tác với  
nhau (nói chính xác hơn là chúng chỉ  tương tác với nhau khi va chạm) và do đó 
chúng tạo thành một chất khí. Thứ  ba là sự  phân bố  của các điện tử  tự  do theo  
năng lượng là   hàm Fermi­Dirac lượng tử  và do đó, ta có khí lượng tử  hay khí  
Fermi. Dựa trên các giả  thiết này, ta cũng có thể  rút ra được các tính chất nhiệt,  
điện… của khí điện tử  tự  do tương tự  như  kết quả  của lý thuyết Drude. Nói  
chung, có thể áp dụng kết quả của lý thuyết Drude cổ điển mặc dù lý thuyết này 
là một lý thuyết đơn giản. Tuy nhiên trong một số  trường hợp như  khi nghiên 
cứu nhiệt dung của khí điện tử tự do, ta phải áp dụng lý thuyết lượng tử. Theo lý  
thuyết Sommerfeld lượng tử ở nhiệt độ thấp, nhiệt dung của khí điện tử tự do có 
dạng


3

 

                                                    (1.1)

Từ đó có thể hiểu tại sao ở các nhiệt độ cao trên nhiệt độ phòng, đóng góp 
của các điện tử tự do vào nhiệt dung của kim loại là không đáng kể và ở đây định  
luật Dulong­Petite có hiệu lực. Ngay cả ở những nhiệt độ thấp hơn nhiều so với  
nhiệt độ Debye thì cũng phải đến một nhiệt độ đủ thấp, đóng góp của điện tử tự 
do vào nhiệt dung của kim loại mới trở nên đáng kể.
Nhiệt dung của khí điện tử tự do ở nhiệt độ thấp đã được đưa ra trong [2, 
6, 92] khi áp dụng TKFD, mà  ở  đó giá trị  nhiệt dung của điện tử  tỉ lệ  bậc nhất 
với nhiệt độ  tuyệt đối.  Ở  nhiệt độ  thấp, nhiệt dung của các điện tử  dẫn được  
xác định theo mẫu điện tử tự do  [92]. Ở đây, tác giả đã chỉ ra giá trị của hằng số 

nhiệt điện tử cho mỗi kim loại và biểu thức tính nhiệt dung của khí điện tử tự do  
có dạng (1.1). Trong luận án này, chúng tôi đề xuất phương pháp áp dụng TKFD 
biến dạng q để nghiên cứu nhiệt dung của khí điện tử tự do ở nhiệt độ thấp.
1.1.1.2. Tính chất từ của khí điện tử tự do trong kim loại
Bản chất hiện tượng từ tính có thể được trình bày bằng ngôn ngữ của vật 
lý cổ  điển [3, 11, 12, 92].   Thứ  nhất là từ  tính của vật chất gây ra bởi chuyển 
động quay của điện tích. Thứ  hai là vì chuyển động quay  được mô tả  bằng 
mômen quay nên từ  tính gắn liền với mômen. Thứ  ba là khi điện tích quay thì 
ngoài mômen quay thông thường, nó còn có mômen từ. Mômen từ là đại lượng từ. 
Thứ tư là để sinh ra từ tính có hai loại chuyển động quay của một điện tích bất  
kỳ  nói chung và điện tử  nói riêng. Chuyển động quay của một hạt xung quanh  
một hạt khác gọi là chuyển động quỹ  đạo (ví dụ  điện tử  quay xung quanh hạt 
nhân) và chuyển động tự  quay quanh trục của hạt gọi là  chuyển động spin. Thứ 
năm là từ tính của vật liệu nói chung được quyết định chủ yếu bởi chuyển động  
quay của các điện tử  trong vật liệu. Thứ sáu là nếu các nguyên tử  hoặc phân tử 
tạo nên vật liệu tương đối độc lập với nhau thì từ  tính của vật liệu chủ  yếu  
được quyết định bởi từ  tính của nguyên tử  hoặc phân tử  tạo nên vật liệu. Thứ 
bảy là trong phần lớn các trường hợp khi các nguyên tử liên kết với nhau tạo nên 


4

vật liệu và nhất là trong chất rắn, các điện tử  hầu như  không còn chuyển động  
quỹ  đạo thì từ  tính của phần lớn các vật liệu chủ  yếu  được quyết định bởi  
chuyển động spin của điện tử. Điều này đã được khẳng định bằng thực nghiệm.
Cách mô tả  về  bản chất của hiện tượng từ  tính trên  đây là logic và dễ 
hiểu. Tuy vậy, nó chưa hoàn toàn chính xác  ở  khái niệm spin. Lúc đầu, khi mới  
phát hiện ra spin, người ta cho rằng nguồn gốc spin của điện tử  là sự  quay của  
điện tử  xung quanh trục của chính nó. Chính vì thế, người ta coi thuật ngữ spin 
có nghĩa là quay. Tuy nhiên, các nghiên cứu tiếp theo, chẳng hạn như thí nghiệm  

về  sự  tách vạch phổ  của nguyên tử  hiđrô dưới tác dụng từ  trường của Stern­
Gerlach chỉ  ra rằng thực ra không phải là như  vậy.  Điều này chứng tỏ  rằng 
không thể giải thích spin trên cơ sở các quy luật của vật lý cổ điển.
Theo quan điểm của vật lý hiện đại, spin là một đại lượng vật lý của hạt 
vi mô. Đại lượng vật lý này tuy thuộc cùng một loại với mômen xung lượng  
(mômen cơ  học) song không thể  diễn đạt trong khuôn khổ  của vật lý cổ  điển.  
Vấn đề là ở chỗ trạng thái của hạt vi mô được diễn tả bởi hàm sóng. Hàm sóng 
nhiều thành phần phải chứa chỉ số spin nhận các giá trị gián đoạn. Nếu ta coi chỉ 
số spin cũng là một biến số của hàm số hàm sóng thì hàm sóng nhiều thành phần 
của hạt vi mô có hai loại biến số trong đó biến số liên tục là tọa độ và thời gian  
và biến số gián đoạn là chỉ số spin. Trong phép quay, cả tọa độ và chỉ số spin của 
hàm sóng đều thay đổi. Sự thay đổi của tọa độ dẫn đến mômen xung lượng quỹ 
đạo và sự thay đổi chỉ số spin dẫn đến một đại lượng cùng loại với mômen xung 
lượng gọi là spin.
Như  vậy, điện tử  có thể  được coi là hạt cơ  bản chịu trách nhiệm về  các 
tính chất điện của vật liệu. Còn hạt chịu trách nhiệm về  tính chất từ  của vật  
liệu cũng chính là điện tử  nhưng nhấn mạnh đến tính chất spin của nó. Do từ 
tính có nguyên nhân chủ  yếu là spin mà spin là một khái niệm cơ học lượng tử,  
nên có thể  nói rằng từ  tính là một tính chất hoàn toàn lượng tử  không thể  giải  
thích được bằng vật lý cổ điển.


5

Về mặt từ tính, tất cả các vật liệu thường được phân loại theo phản ứng  
của chúng khi chúng được đặt trong từ trường. Dưới tác dụng của từ  trường  H, 
vật liệu bị  nhiễm từ  hay còn gọi là bị  từ  hóa. Sự  nhiễm từ  của vật liệu được 
biểu diễn bởi độ  từ hóa    , trong đó    được gọi là độ  cảm từ. Độ  cảm từ  là một 
đại lượng không có thứ nguyên và có thể có các giá trị  âm hoặc dương. Nó biểu  
thị phản ứng của vật liệu dưới tác dụng của từ trường và do đó về  mặt từ  tính, 

các vật liệu thường được phân loại theo giá trị  của    . Vật liệu với   được gọi là 
 
chất nghịch từ. Các phần tử  tạo nên vật liệu này tự  bản thân chúng không có  
mômen từ. Khi đặt vật liệu trong từ trường, các điện tích trong vật liệu trong đó  
quan trọng nhất là các điện tử  sẽ  có thêm thành phần chuyển động quay xung 
quanh từ  trường. Vật liệu với   được gọi là chất thuận từ. Các phần tử  tạo nên 
 
vật liệu này có mômen từ nhưng các mômen này hoàn toàn độc lập với nhau. Khi  
đặt vật liệu trong từ  trường, ngoài việc các điện tử  của vật liệu có thêm thành  
phần chuyển động quay xung quanh hướng từ  trường thì từ  trường còn định 
hướng lại các mômen từ. Vật liệu với   được gọi là chất có từ  tính mạnh. Các 
 
phần tử tạo nên vật liệu này có mômen từ và các mômen này tương tác với nhau. 
Tùy thuộc vào độ  lớn và sự  định hướng của các mômen này mà vật liệu được  
chia thành ba loại là chất sắt từ, chất phản sắt từ  và chất feri­từ. Hiện tượng từ 
tính mạnh nói chung chỉ  có mặt trong chất rắn và xảy ra  ở  nhiệt độ  đủ  thấp.  
Hiện tượng từ tính mạnh được sinh ra bởi tương tác trao đổi chứ không phải bởi  
tương tác giữa các mômen từ. Tương tác trao đổi chỉ là một tương tác yếu. 
Dưới đây, ta chỉ  xét  ảnh hưởng của từ  trường lên điện tử  chuyển động 
hoàn toàn tự do. Thực tế là hiệu ứng nghịch từ của điện tử dẫn là một hiệu ứng 
rất nhỏ. Hiệu  ứng này luôn đi kèm với hiệu  ứng thuận từ  của điện tử  dẫn mà  
hiệu  ứng thuận từ  là hiệu  ứng mạnh nên khó quan sát thấy hiệu  ứng nghịch từ 
của điện tử dẫn. Nói chung, chỉ có thể quan sát thấy hiệu ứng nghịch từ của điện 
tử  dẫn ở  nhiệt độ  rất thấp hoặc từ  trường rất mạnh. Hiện tượng thuận từ xảy  
ra khi các phần tử  tạo nên vật liệu có mômen từ  nhưng các mômen này không  


6

tương tác với nhau. Bản chất của hiện tượng này là từ trường định hướng lại các 

mômen từ  theo hướng từ trường. Đối với kim loại, có rất nhiều điện tử  dẫn bị 
tập thể hóa. Các điện tử tự do không có chuyển động quỹ  đạo và chỉ  có mômen 
từ  spin. Khi đặt kim loại trong từ  trường, từ  trường sẽ định hướng lại các spin. 
Hiện tượng này có một số  tính chất riêng và thường được gọi là hiện tượng  
thuận từ  của các điện tử  dẫn hoặc  hiện tượng thuận từ  Pauli. Theo lý thuyết 
lượng tử, các điện tử  dẫn tuân theo thống kê lượng tử  Fermi­Dirac. Khi đó,  độ  
cảm thuận từ Pauli của điện tử dẫn có dạng
                                                (1.2)
 
trong đó   là manheton Bohr,   là số điện tử tự do,   là mức năng lượng Fermi.
 
 
Do ở các nhiệt độ thông thường,   nên có thể nói rằng đóng góp của các điện tử 
 
dẫn vào tính chất thuận từ chung của vật liệu kim loại là rất nhỏ. Hơn nữa, vì  
hầu như  không phụ  thuộc vào nhiệt độ  nên độ  cảm thuận từ  của điện tử  dẫn  
cũng hầu như không phụ thuộc vào nhiệt độ.
   Trong luận án này, chúng tôi đề  xuất phương pháp áp dụng TKFD biến 
dạng để nghiên cứu nhiệt dung và độ  cảm thuận từ  của khí điện tử  tự  do trong  
kim loại  ở  nhiệt độ  thấp. Phương pháp nghiên cứu thứ  hai của chúng tôi trong 
luận án này là PPTKMM không thể  áp dụng để  nghiên cứu TCNĐ, tính chất từ 
của khí điện tử tự  do trong kim loại. Các kết quả  nghiên cứu nhiệt dung và độ 
cảm thuận từ của khí điện tử tự do trong kim loại bằng lý thuyết biến dạng q sẽ 
được trình bày trong Chương 2 và Chương 4.
1.1.2. Tính chất nhiệt động của màng mỏng kim loại 
1.1.2.1. Định nghĩa và tính chất màng mỏng
Khoa học và công nghệ màng mỏng là lĩnh vực được các nhà khoa học đặc 
biệt quan tâm trong thời gian gần đây do có những  ứng dụng to lớn và rộng rãi 
trong công nghệ và đời sống.
(a)



7

                                                                                              
(b)

Hình 1.1. Màng mỏng tự do (a) và  màng mỏng có chân đế (b).

Màng mỏng là một hay nhiều lớp vật liệu được chế tạo sao cho chiều dày 
nhỏ hơn rất nhiều so với các chiều còn lại (chiều rộng và chiều dài) (xem Hình 
1.1). Khái niệm "mỏng" trong màng mỏng có thể  từ  vài lớp nguyên tử  cho đến 
vài nanomet hoặc hàng micromet. Khi chiều dày của màng mỏng đủ  nhỏ  so với  
quãng đường tự  do trung bình của điện tử  hoặc các chiều dài tương tác thì tính  
chất của màng mỏng hoàn toàn thay đổi so với tính chất của vật liệu khối. 
Dựa trên tính chất của màng, người ta phân loại màng mỏng thành 6 loại 
cơ bản là màng mỏng quang, màng mỏng điện, màng mỏng từ, màng mỏng hóa,  
màng mỏng nhiệt  và  màng mỏng cơ.  Ví dụ  như  tính chất hóa học của màng 
mỏng được sử dụng trong các thiết bị để chống sự ôxi hóa. Tính chất quang của 
màng mỏng quyết định chất lượng các lớp phủ  quang học.  Tính chất điện của 
màng mỏng được sử  dụng trong các thiết bị  điện tử. Tính chất nhiệt của màng 
mỏng không được nghiên cứu nhiều như tính chất quang và tính chất điện nhưng 
hiện nay nó đã được quan tâm hơn. Tính chất cơ nhiệt của màng mỏng gắn kết 
chặt chẽ với sự phát triển quy mô của các thiết bị quang và điện tử. 
Các tính chất của màng mỏng còn phụ  thuộc vào cấu trúc, kích thước và 
chân đế  [22, 25, 28, 36, 53]. Khi kích thước tăng dần thì tính chất của nó cũng  
tiến dần tới tính chất của vật liệu khối. Ví dụ như hệ số dãn nở nhiệt của màng 
mỏng Al tăng theo bề dày được chỉ  ra trên Hình 1.2 [36] và  hệ  số dãn nở  nhiệt  
của màng mỏng Pb trên nền Si tăng theo bề dày được mô tả trên Hình 1.3 [43].



×