Proceedings VCM 2012 102 hệ thống robot vận chuyển siêu nhỏ dẫn động bằng actuator điện nhiệt

Tuyển tập công trình Hội nghị Cơ điện tử toàn quốc lần thứ 6 747
Mã bài: 161
Hệ thống robot vận chuyển siêu nhỏ dẫn động bằng actuator điện-nhiệt
Micro robot transportation system driven by electro-thermal actuator
Nguyễn Tuấn Khoa
1
, Đặng Bảo Lâm
1
, Phạm Hồng Phúc
1
, Nguyễn Anh Tuấn
2
1
Bộ môn Cơ sở thiết kế máy & robot, Viện Cơ khí, Trường ĐH Bách Khoa Hà Nội
2
Trường ĐH Ritsumeikan, Nhật Bản
Email:
Tóm tắt
Bài báo này trình bày thiết kế, nguyên lý hoạt động và các kết quả tính toán, mô phỏng của hệ thống robot
vận chuyển siêu nhỏ dẫn động bằng các actuator điện-nhiệt (electro-thermal actuator). Cấu trúc actuator dẫn
động sử dụng hiệu ứng giãn nở nhiệt của các cặp dầm chữ V để tạo lực đẩy dẫn động xe robot tiến về phía
trước nhờ cấu trúc răng cóc, bước tiến của xe sau mỗi chu kỳ chính là bước của răng cóc (8 µm). Vận tốc của
xe robot có thể điều chỉnh bằng cách thay đổi tần số của dòng điện dẫn. Ưu điểm của hệ thống này là điện áp
dẫn nhỏ (từ 20-30V) nhưng lại cho lực đẩy lớn cỡ vài mN. Hệ thống được chế tạo thử dựa trên công nghệ
MEMS với chỉ một mặt nạ (mask). Các xe robot siêu nhỏ trong hệ thống có thể dùng để vận chuyển các mẫu
vật siêu nhỏ trong các hệ phân tích, vận chuyển, phân loại các vi mẫu (µ-TAS) hoặc sử dụng trong các phân
tích y sinh…
Từ khóa: actuator điện-nhiệt, hệ thống robot vận chuyển, electro-thermal actuator.
Abstract
This paper describes the design, working principle, calculation, simulation and fabrication process of a
micro robot transportation system (MRTS) with straight displacement of micro robot cars driven by ratchet

mechanisms and chevron thermal actuators. Driving actuators based on thermal expansion effect make robot
cars moving forward by ratchet mechanism, forward step equals to 8 µm -ratchet teeth. The velocities can be
adjusted by changing the electric frequency. In this study, only low voltage required (20-30V) and large forces
are generated and measured by micro Newton unit. The fabrication process of MRTS used only single mask
based on MEMS technology. The MRTS can move and handle micro objects from one place to another. It can
be used in assembling machines or micro total analysis system (μ-TAS), bio-chemical analysis for the
classification of small samples…
Keywords: chevron thermal actuator, micro robot transportation system, electro-thermal actuator.

1. Giới thiệu
Công nghệ vi cơ điện tử MEMS đang phát triển
nhanh chóng và sản phẩm của nó đã được ứng
dụng vào hầu hết các lĩnh vực. Gần đây, các hệ
thống vận chuyển kích thước nhỏ được sử dụng
nhiều trong y học, khoa học vật liệu nhằm phục
vụ việc thí nghiệm với các mẫu siêu nhỏ. Trên
thế giới, các hệ thống robot và vận chuyển siêu
nhỏ đã và đang được nghiên cứu, chế tạo và đưa
vào ứng dụng, ví dụ như hệ vận tải sử dụng dòng
khí [1-2] để vận chuyển và các đối tượng nhờ
điều khiển dòng khí từ các actuator nằm bên
dưới, Shigematsu et al [3] đã sử dụng dao động
sóng âm của lớp nền áp điện trở để làm di chuyển
đối tượng trong mặt phẳng XY , Yeh et al [4] đã
sử dụng loại mô tơ kiểu “sâu đo” làm di chuyển
các thanh trượt, Fujimasa [5] đề xuất actuator
tích hợp hoạt động bằng rung động của cơ cấu
hình chêm, tác giả Phạm Hồng Phúc và các đồng
nghiệp [6-8] đã sử dụng actuator tĩnh điện dạng
răng lược để dẫn động các xe công-ten-nơ có

kích thước 250x450µm đi theo các quỹ đạo định
trước.
Nguyên lý kích hoạt dùng hiệu ứng dãn nở điện-
nhiệt được sử dụng rộng rãi trong MEMS để tạo
nên các actuator điện-nhiệt kích thước nhỏ như:
actuator kiểu dầm V (chevron thermal actuators)
[9-11], actuator kiểu cặp nhiệt (bimetal effect)
[12-13], actuator kiểu dầm phức hợp [14],
actuator với dầm dạng lò xo [15] hoặc dạng lò xo
kết hợp có dầm liên kết với nền [16], actuator
dạng dầm kép [17]… Ưu điểm của các loại
actuator điện-nhiệt là sử dụng điện áp thấp nên
tiêu hao năng lượng ít, lực sinh ra từ giãn nở
nhiệt là lớn (gấp hàng chục lần so với lực sinh ra
trong các actuator tĩnh điện cùng kích thước).
Bài báo này đề xuất thiết kế một hệ thống gồm
các actuator điện-nhiệt loại dầm chữ V dẫn động
các xe robot siêu nhỏ có khả năng ứng dụng
trong các hệ phân tích, vận tải, phân loại các vi
748 Nguyễn Tuấn Khoa, Đặng Bảo Lâm, Phạm Hồng Phúc, Nguyễn Anh Tuấn
VCM2012
mẫu…với khả năng di chuyển lên tới vài milimet,
đồng thời các mô đun của hệ thống có khả năng
kết hợp linh hoạt phục vụ cho các ứng dụng khác
nhau.
2. Cấu tạo và nguyên lý làm việc
Hình 1 mô tả thiết kế của một mô đun hệ thống
robot siêu nhỏ dẫn động bằng các actuator điện-
nhiệt bao gồm bốn actuator dẫn động (1-4), xe
robot (5) di chuyển thẳng từ trái sang phải nhờ

từng cặp actuator điện-nhiệt thông qua các thanh
liên kết (6) đẩy các thanh răng cóc (7). Mỗi mô
đun của hệ thống có kích thước 5x5 mm
2
, các mô
đun này có thể được kết hợp với nhau tạo nên hệ
thống di chuyển phức hợp phục vụ cho nhiều ứng
dụng khác nhau.





















H. 1 Hệ thống robot siêu nhỏ dẫn động bằng actuator điện-nhiệt

H. 2 Cấu tạo của xe robot siêu nhỏ



7

10

8

9

1
2

4

5
L
β
3
6
Tuyển tập công trình Hội nghị Cơ điện tử toàn quốc lần thứ 6 749
Mã bài: 161
Hình 1-2 chỉ ra cấu tạo chi tiết và nguyên lý hoạt
động của hệ vận chuyển. Các actuator điện-nhiệt
có cấu trúc gồm nhiều dầm chữ V ngàm hai đầu
(hình 3), xếp song song, với góc nghiêng β = 2
0

so với phương vuông góc với phương dịch
chuyển của đỉnh dầm. Số các cặp dầm đơn cho
mỗi actuator là 13, mỗi dầm đơn có chiều dài là
L = 750 µm, chiều rộng b = 6µm, chiều sâu h =
30 µm. Bước và chiều cao của các răng cóc lần
lượt là 8 μm và 5 μm.
Cấu tạo của xe robot được chỉ ra trên hình 2.
Các răng cóc ở hai bên có hướng nghiêng ngược
lại với thanh răng cóc của các actuator để ăn
khớp được với nhau. Hệ thống các lò xo và các
khe hở g
s
cho phép xe robot có thể thay đổi
chiều rộng của nó khi di chuyển.
Khi cấp điện áp xoay chiều V

12
đặt vào giữa hai
đầu ngàm (là các điện cực) của dầm chữ V, ở
khoảng thời gian V
12
≠ 0, hiệu ứng điện-nhiệt
làm cho các dầm V dãn nở nhiệt đẩy các thanh
liên kết (6) của actuator (1 và 3) tiến theo hướng
từ trái sang phải (theo hướng đỉnh chữ V) và các
thanh liên kết của actuator (2 và 4) tiến theo
hướng từ phải sang trái. Trong nửa chu kỳ này
các răng cóc của actuator 1 và 3 đẩy các răng
cóc phía trên của xe robot làm cho xe dịch
chuyển từ trái sang phải thông qua sự tác động
của cơ cấu liên kết (8) đến phần khung (9).

H. 3 Sơ đồ mạch điện
Lúc này các răng cóc của actuator 2 và 4 đang
dịch chuyển ngược lại (từ phải sang trái) sẽ trượt
trên các răng cóc phía dưới của xe robot, lò xo
(10) ở phía dưới bị nén lại. Xe không bị kéo
ngược lại hướng di chuyển là do các răng cóc
của actuator 1 (sau đó là actuator 3) ngăn lại. Ở
nửa chu kỳ tiếp theo khi V
12
= 0, các dầm V của
các actuator (1 và 3) co lại về vị trí ban đầu. Khi
đó vai trò dẫn động được đảo lại: actuator (2 và
4) sẽ kéo xe robot thông qua thanh răng cóc và
xe robot tiếp tục tiến từ trái sang phải còn răng

cóc của actuator 1 và 3 sẽ trượt trên răng cóc của
xe robot trở về vị trí ban đầu. Tương tự cho các
chu kỳ sau và xe robot sẽ dịch chuyển tịnh tiến
từ trái sang phải.
3. Tính toán lực
Xét nửa chu kỳ mà thanh răng cóc của actuator
1, 3 di chuyển từ trái sang phải còn thanh răng
cóc của actuator 2, 4 di chuyển từ phải sang trái.
Các lực tác dụng giữa thanh răng cóc của
actuator và xe robot được chỉ ra trên hình 4.
Ở phần bên trên, F
t
là lực do dãn nở nhiệt sinh ra
bởi actuator 1, F
s
là lực đàn hồi lò xo của xe
robot, các lực này tác động lên răng cóc của
thanh răng cóc dẫn. Các lực tác dụng lên thanh
răng cóc của xe robot gồm có: F
r1
là lực ma sát
giữa xe robot và lớp nền, lực dẫn F
d
= F
t
. Ở phía
bên dưới xảy ra sự trượt giữa răng cóc của xe
robot và răng cóc của actuator. Các lực tác dụng
lên thanh răng cóc bên dưới gồm có: áp lực giữa
các răng cóc F

n
và lực ma sát F
r2
giữa răng cóc
của xe robot và răng cóc của actuator 2. Lực F
n

có thể chia thành hai thành phần: F
a
theo
phương x và F
s
theo phương y.

H.4 Phân tích lực
Các lực trên được tính lần lượt như sau:
Lực sinh ra từ actuator do hiệu ứng điện-nhiệt
theo [9] là:
2 sin (1)
t
L
F nAE
L

 

750 Nguyễn Tuấn Khoa, Đặng Bảo Lâm, Phạm Hồng Phúc, Nguyễn Anh Tuấn
VCM2012
3
2


 

-AL AL
AL AL
AL -AL AL -AL
-AL AL
2 AL -AL AL -AL
e -1 e - 1
e e
e +e - 2 e +e - 2
B e -1 e -
B
L = (A
1
-
A e +e - 2 e +e - 2
L+ +
A
]
( )

2
2
2
0
3
U
B A B
L k

  

, , ( )

2 2
1 1 2 2
3 2 2
1 1 1 2 2
2 3
3
4
26 81 52
s x
L L L L
EI
F k x x
L L L L L
 
 
 
 
 
 
( )

1
5
r m
F f mG
( )

2
6
cos
s
r m n m
F
F f F f 

( )

tan (7)
 
a s
F F

8

d t
F F
( )

Với n=13 là số cặp dầm trong một bộ kích hoạt,
L=750 µm là chiều dài của dầm V, ΔL là độ dãn
dài do nhiệt độ, hệ số dãn dài của silicon γ =
4.10
-6
, A=6×30 µm là tiết diện mặt cắt ngang của
dầm đơn, E=169GPa là mô đun đàn hồi của vật
liệu silicon, k=1,5.10

-4
W/µmK là hệ số dẫn
nhiệt của vật liệu, T là nhiệt độ tại vị trí x trên
dầm V, T
r
=20
0
C là nhiệt độ phòng, V
12
=30V là
điện áp đặt vào hai cực actuator, ρ=ρ
0
(1+λ(T-
T
r
)) là điện trở suất của dầm V, ρ
0
là điện trở
suất của silicon ở nhiệt độ phòng, λ là hệ số điện
trở suất của silicon, α là góc nghiêng của răng
cóc.
Từ hình 4, để xe robot có thể di chuyển được
cần có:
ΣF
x
= F
t
- F
r1
- F

a
- F
r2
> 0 (9)
và chuyển vị của actuator:
ΔD > i.p+g
s
(10)
với p - bước răng cóc, g
s
- khe hở giữa các
stopper trên thanh ngang của xe robot, i- số bước
răng cóc đi được trong một chu kỳ.
Từ (1)-(3), tính được: F
t
= 58,0 mN.
Cuối cùng ta có: ΣF
x
= 57,56 mN >0
2 2 2
D (L L) L cos Lsin 16,6( m)
         

ΔD > i.p+g
s
=1.8+2 = 10 (µm)

Vậy các điều kiện (9) và (10) được thỏa mãn.
4. Mô phỏng
4.1. Tính lực dẫn

Các actuator được mô phỏng trên ANSYS bởi
kiểu phần tử SOLID98, là kiểu phần tử tứ diện
có 10 node với luật ứng xử chuyển vị bậc 2 và
thích hợp với các mô hình cần chia lưới linh
hoạt (nhằm tăng độ chính xác mà vẫn đảm bảo
khả năng xử lý của máy vi tính). Kiểu phần tử
này có các bậc tự do UX, UY, UZ, TEMP (nhiệt
độ), VOLT (điện áp), MAG (điện từ) và được
dùng thích hợp với bài toán mô phỏng bài toán
đa trường Điện-Nhiệt-Cơ.
Bảng 1. Các thông số vật liệu của silicon
Mô đun Young (E) 169.10
3
MPa
Hệ số Poisson (ν) 0.28
Điện trở suất (ρ
0
) 20 x 10
-4
Ωm
Hệ số dãn nở nhiệt
(μ)
2.9 x 10
-6
/°K
Hệ số dẫn nhiệt (k)
150 x 10
6

pW/μm°K

Kích thước các dầm đơn của bộ kích hoạt nhiệt:
số cặp dầm đơn n = 10, chiều sâu h = 30m,
chiều rộng b = 6m, chiều dài L = 750m, góc
của dầm đơn β = 2
0
, điện áp V
12
= 5 ÷ 30V.

H. 5 Chuyển vị của dầm tại V
12
=30V
Tiến hành mô phỏng để tìm chuyển vị theo điện
áp V
12
với dải điện áp từ 5 đến 30 V thu được
kết quả mô phỏng quan hệ chuyển vị bước - điện
áp của actuator nhiệt (hình 6).
0
2
4
6
8
10
12
14
16
18
5V 10V 15V 20V 25V 30V

Chuyển vị (µm)
Điện áp

H. 6 Quan hệ chuyển vị bước ΔD - điện áp
V
12
của actuator nhiệt
Ta thấy rằng để thỏa mãn (10) thì ΔD ≥ 10 m,
tức là điện áp dẫn: V
12(min)
= 22 (V).
Tuyển tập công trình Hội nghị Cơ điện tử toàn quốc lần thứ 6 751
Mã bài: 161
4.2. Tính lực đẩy

H. 7 Mô hình tính lực đẩy
Để tính lực đẩy của các actuator ta xây dựng bài
toán cấu trúc với phần đỉnh chịu liên kết ngàm
UX=0 và UY=0 như hình 7.
Với 13 cặp dầm V, tại điện áp U =30V, lực đẩy
theo phương x tính được: Fx ≈ 58,0 mN.
5. Quy trình chế tạo
5.1. Quy trình chế tạo dùng một mặt nạ
(a)
Si layer of 30m
SiO2 layer of 4m
(b)
(c)
(d)
Silicon substrate

Photoresist layer
(a)
Si layer of 30m
SiO2 layer of 4m
(b)
(c)
(d)
Silicon substrate
Photoresist layer

H. 8 Quy trình chế tạo hệ thống
(a) Phiến SOI, (b) Quang khắc, (c) D-RIE, (d)
Ăn mòn bằng HF
Quy trình chế tạo được chỉ ra trên hình 8. Hệ
thống robot được chế tạo từ một phiến SOI có bề
dày của lớp Si trên cùng, lớp SiO
2
trung gian và
lớp đế Si lần lượt là 30 m, 4 m, 450 m. (hình
8.a)
Trước hết, mặt nạ được thiết kế và sử dụng cho
quá trình quang khắc (photo-lithography). Cấu
trúc của motor nhiệt sẽ được khắc lên trên bề
mặt tấm SOI sau quá trình quang khắc và phát
triển (developing) (Hình 8.b).
Tiếp theo, tiến hành quá trình ăn mòn khô sâu
(D-RIE) để tạo nên lớp cấu trúc có chiều sâu
30µm (chạm đến lớp SiO
2
ở giữa, tốc độ ăn mòn

khoảng 1,2 µm/phút, (hình 8.c). Sau đó tấm
silicon được cắt để chia ra thành các hệ motor
riêng biệt. Lớp photoresist trên bề mặt của cấu
trúc được rửa sạch và tiến hành quá trình ăn mòn
bốc bay bằng axit HF (hình 8.d) để loại bỏ lớp
SiO
2
bên dưới để tạo nên các phần cấu trúc di
động và các cấu trúc dầm.
5.2. Kết quả bước đầu
Hình 9 và 10 là các ảnh chụp SEM (Scanning
Electron Microscopy) mô tả hệ thống robot và
xe robot sau khi chế tạo bằng công nghệ vi cơ
khối với một mặt nạ.
Để thuận tiện cho việc đo đạc kiểm tra đặc tính,
nhiều xe robot được chế tạo và đang nằm trong
“kho chứa”, khi cần có thể lấy ra để chạy thử.
Các bộ phận tách rời trong hệ thống luôn đảm
bảo nguyên tắc khe hở nhỏ nhất giữa các bề mặt
gần nhau là 2µm, là khe hở tối thiểu để đảm bảo
cho quá trình ăn mòn khô sâu (D-RIE).
Việc đo đạc và đánh giá kết quả đang được các
tác giả tiến hành và sẽ được công bố trong thời
gian tới.

H. 9 Ảnh SEM hệ thống robot vận chuyển

H. 10 Ảnh SEM xe robot
6. Kết luận
Bài báo trình bày cấu tạo, tính toán, mô phỏng

một hệ thống robot siêu nhỏ dẫn động bằng các
actuator điện-nhiệt. Tính toán kích thước và
phân tích lực, chuyển vị đã được đề cập nhằm
chứng minh khả năng hoạt động của hệ thống
trong thực tế. Các xe robot siêu nhỏ có khả năng
di chuyển 8µm sau một hành trình và có thể di
chuyển thẳng hàng milimet. Ưu điểm của hệ
UX=UY=0
UX=UY=0
UX=UY=0
i

l

V
1
V
2
752 Nguyễn Tuấn Khoa, Đặng Bảo Lâm, Phạm Hồng Phúc, Nguyễn Anh Tuấn
VCM2012
thống này là sử dụng điện áp thấp (không quá
30V) và cho lực đẩy lớn.
Hệ thống được chế tạo từ phiến SOI (silicon on
insulator) sử dụng chỉ một mặt nạ. Đây chính là
ưu điểm nổi bật bởi kết cấu đơn giản, dễ chế tạo
và dễ điều khiển.
Trong tương lai, hệ thống robot vận chuyển siêu
nhỏ này có thể được dùng trong một số công
việc như vận chuyển mẫu - lắp ráp trên chíp,
trong các hệ phân tích tổng hợp mẫu (µ-TAS )…

Lời cảm ơn: Các tác giả xin trân trọng cám ơn
Đề tài Bộ Giáo dục và Đào tạo (mã số: B2012-
01-32) đã tài trợ thực hiện công việc này.
Tài liệu tham khảo
[1] Konishi S and Fujita H (1994), “A conveyance
system using air flow based on the concept of
distributed micro motion systems”, IEEE J.
Microelectromech. Syst. 3, pp 54–58.
[2] Fukuta Y, Yanada M, Ino A, Mita Y, Chapuis
Y A, Konishi S and Fujita H (2004), “Conveyor
for pneumatic two-dimensional manipulation
realized by arrayed MEMS and its control”, J.
Robot. Mechatronics 16, pp 163–170.
[3] Shigematsu T and Kurosawa M K (2004) “XY
surface acoustic wave motor with nanometer
resolution”, Proc. 21st Sensor Symp. pp 237–
240.
[4] Yeh R, Hollar S and Pister K S J (2002)
“Single mask, large force, and large
displacement electrostatic linear inchworm
motors”, J. Microelectromech. Syst. 11 pp 330–
336.
[5] Fujimasa I (1996) “Micromachines: A New Era
in Mechanical Engineering”, (Oxford: Oxford
University Press) pp 115–7,135.
[6] Phuc Hong Pham et al, “Straight Movement of
Micro Containers Based on Ratchet
Mechanism and Electrostatic Comb-Drive
Actuators”, J. Micromech. Microeng. Vol.16,
No.12 (2006), pp 2532-2538.

[7] Phuc Hong Pham et al, “Micro Transportation
System (MTS) with Large Movement of
Containers Driven by Electrostatic Comb-
Drive Actuators”, J. Micromech. and Microeng.
Vol. 17, No. 10 (2007), pp 2125-2131.
[8] Pham Hong Phuc, Dang Bao Lam and Nguyen
Tuan Khoa, “Micro linear motor based on
electrostatic comb-drive actuators”, Tạp chí
Khoa học và Công nghệ, Tập 48 – Số 2A,
(2010), pp 759-764.
[9] Nguyễn Tuấn Khoa, Đặng Bảo Lâm, Nguyễn
Đình Hướng, Phạm Hồng Phúc, “Motor tuyến
tính hai chiều dẫn động bằng bộ kích hoạt
nhiệt”, Hội nghị Khoa học toàn quốc Cơ học
Vật rắn biến dạng lần thứ mười Thái Nguyên,
12-14/11/2010, pp 354-359.
[10] Michael J. Sinclair, “A High Force Low Area
MEMS Thermal Actuator”, One Microsoft
Way, Redmond, WA 980522000, Inter Society
Conference on Thermal Phenomena.
[11] Qing Ji and Karen L. Scott, “First Order
Modeling of Thermal Actuators in SUGAR”,
Department of Electrical Engineering and
Computer Sciences, University of California,
Berkeley, CA 94720.
[12] Shannon Zelinski, “Design of Vertical-Lateral
Thermal Actuators for MEMS ”, University of
California, Berkeley December 6, 2001.
[13] J. Varona, M. Tecpoyotl-Torres, A. A.
Hamoui, “Modeling of MEMS Thermal

Actuation with External Heat Source”, Fourth
Congress of Electronics, Robotics and
Automotive Mechanics, (2007) IEEE.
[14] Long Que, Jae-Sung Park, and Yogesh B.
Gianchandani, Member, IEEE, “ Bent-Beam
Electrothermal Actuators-Part I: Single Beam
and Cascaded Devices”, J. Micromech.
Microeng, vol. 10, No. 2 (2001), pp 247-254.
[15] J.K.Luo, A.J.Flewitt et al, “Modelling of
Microspring Thermal Actuator”, NSTI-
Nanotech 2004, Vol. 1, pp 355-358.
[16] J K Luo, A J Flewitt, “Three types of planar
structure microspring electrothermal actuators
with insulating beam constraints”, J.
Micromech. Microeng, 15 (2005), pp 1527–
1535.
[17] Ang Beng Seng et al, “Design and Analysis of
Thermal Microactuator”, European Journal of
Scientific Research, Vol.35, No.2 (2009), pp
281-292.

ThS. Nguyễn Tuấn Khoa
nhận bằng tốt nghiệp
Thạc sỹ tại trường ĐH
Bách Khoa Hà Nội về
lĩnh vực MEMS. Từ 2009
đến nay, ThS. Nguyễn
Tuấn Khoa đảm nhiệm
công việc giảng dạy và
nghiên cứu tại trường ĐH Bách Khoa Hà Nội

và hiện đang tập trung nghiên cứu về các vi
cơ cấu trong MEMS dẫn động bởi các
actuator sử dụng hiệu ứng nhiệt-điện và tĩnh
điện.

Tuyển tập công trình Hội nghị Cơ điện tử toàn quốc lần thứ 6 753
Mã bài: 161
TS. Phạm Hồng Phúc
nhận bằng tốt nghiệp
Thạc sỹ về lĩnh vực kỹ
thuật Cơ khí vào năm
2002, và đến năm 2007
nhận bằng Tiến sỹ về lĩnh
vực MEMS tại trường ĐH
Ritsumeikan, Nhật Bản. Tiến sỹ Phạm Hồng
Phúc hiện đang là giảng viên của trường Đại
học Bách Khoa Hà Nội và đồng thời đứng
đầu nhóm nghiên cứu MEMS tại Bộ môn Cơ
cở thiết kế máy & robot. Lĩnh vực nghiên
cứu chính của Tiến sỹ Phạm Hồng Phúc là
các hệ micro motor, micro robot và các cơ
cấu MEMS.
ThS. Đặng Bảo Lâm nhận
bằng Thạc sỹ về Cơ học
máy tại trường ĐH Bách
Khoa Hà Nội năm 2004 và
hiện đang là nghiên cứu
sinh tại trường ĐH Bách
Khoa Hà Nội. Từ năm
2001, ThS. Đặng Bảo Lâm

giảng dạy tại viện Cơ khí, trường Đại học
Bách Khoa Hà Nội. Các hướng nghiên cứu
chính của ThS. Đặng Bảo Lâm: các hệ micro
robot và vi cơ cấu, các vi động cơ, động lực
học máy, robotics.

NCS. Nguyễn Anh Tuấn
nhận bằng Thạc sỹ về Cơ
học máy tại trường ĐH
Bách Khoa Hà Nội năm
2005 và đang là nghiên cứu
sinh tại trường ĐH Ritsu-
meikan, Nhật Bản từ năm
2009. Hiện nay NCS.
Nguyễn Anh Tuấn là giảng viên của trường
Đại học Bách Khoa Hà Nội. Hướng nghiên
cứu chính của NCS. Nguyễn Anh Tuấn là
micro fluidic, cơ học máy…