Nghiên cứu hình thái học vật liệu, linh kiện nano bằng công nghệ ảnh nồi 3d trên kính hiển vi điện tử quét (3d stereo SEM imaging)

ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI
TRƢỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHỆ

CHU ANH TUẤN

NGHIÊN CỨU HÌNH THÁI HỌC VẬT LIỆU,
LINH KIỆN NANÔ BẰNG CÔNG NGHỆ ẢNH
NỔI 3D TRÊN KÍNH HIỂN VI ĐIỆN TỬ QUÉT
(3D STEREO SEM IMAGING)

LUẬN VĂN THẠC SĨ

Hà Nội - 2007


ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI
TRƢỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHỆ

CHU ANH TUẤN

NGHIÊN CỨU HÌNH THÁI HỌC VẬT LIỆU,
LINH KIỆN NANÔ BẰNG CÔNG NGHỆ ẢNH
NỔI 3D TRÊN KÍNH HIỂN VI ĐIỆN TỬ QUÉT
(3D STEREO SEM IMAGING)

Chuyên ngành: Vật liệu và Linh kiện nanô
Mã số:

LUẬN VĂN THẠC SĨ
NGƢỜI HƢỚNG DẪN KHOA HỌC:
TS. Phạm Hồng Dƣơng

Hà Nội - 2007


MỤC LỤC
Trang
Trang phụ bìa
Lời cam đoan
Mục lục
Danh mục các ký hiệu, các chữ viết tắt
Danh mục các bảng
Danh mục các hình vẽ, đồ thị
MỞ ĐẦU
Chương 1 - NGUYÊN LÝ HÌNH ẢNH 3D
1.1 Công nghệ ảnh nổi 3D
1.2 Nguyên lý hình ảnh 3D
1.2.1 Sự cạnh tranh (rivalry)

1.3

1.2.2 Hợp thị (convergence)
1.2.3 Sự chênh lệch(disparity)
1.2.4 Stereoscopy
Kết luận

Chương 2 - NGHIÊN CỨU CHỤP VÀ HIỂN THỊ ẢNH 3D TRÊN KÍNH
HIỂN VI ĐIỆN TỬ QUÉT (SEM)
2.1 Nguồn phát xạ điện tử
2.1.1 Phát xạ nhiệt điện tử
2.1.2 Phát xạ trường (field emission)

2.2 Tương tác giữa điện tử với chất rắn
2.3 Sự tạo ảnh điện tử thứ cấp
2.3.1 Điện tử thứ cấp
2.3.2 Quá trình tạo ảnh trong hệ SEM
2.4 Các yếu tố, hiện tượng ảnh hưởng tới quá trình tạo ảnh
2.4.1 Nhiễu và tỷ số tín hiệu/nhiễu (Sign/Noise)
2.4.2 Kích thước điểm hội tụ
2.4.3 Dòng chùm điện tử hội tụ tới bề mặt mẫu
2.4.4 Độ phóng đại ảnh
2.4.5 Phân giải không gian (spatial resolution)

1
3
3
4
5
6
6
7
9
10
10
10
11
14
15
15
17
19
19

20
22
23
24


2.4.6 Độ sâu hội tụ (depth of focus)
2.4.7 Khoảng cách làm việc (working distance)
2.4.8 Điện thế gia tốc (accelerating voltage)
2.4.9 Độ tương phản (contrast)
2.4.10 Sự tích lũy điện tích trên mẫu
2.5 Nghiên cứu phương pháp chụp 3D
2.5.1 Kính hiển vi điện tử quét FE-SEM S4800
2.5.2 Phương pháp chụp 3D
2.5.3 Ảnh hưởng của các thông số đến độ sâu của ảnh 3D
2.6 Xử lý, mã hóa và hiển thị dữ liệu 3D
2.6.1 Kính Red – Cyan và ảnh 3D anaglyph
2.6.2 Tấm vi thấu kính và ảnh 3D autostereo
2.7 Phương pháp đo độ sâu

26
28
29
31
32
32
32
33
36
40

40
43
45

2.8 Kết luận

47

Chương 3 - TỔNG HỢP NANÔ TINH THỂ ZnO, NGHIÊN CỨU HÌNH
THÁI CÁC NANÔ TINH THỂ ZnO BẰNG ẢNH 3D SEM
3.1 Vật liệu ZnO
3.2 Tổng hợp các nano tinh thể ZnO
3.2.1 Phương pháp bốc bay nhiệt
3.2.2 Các cơ chế hình thành cấu trúc nanô
3.2.3 Vai trò của xúc tác kim loại
3.2.4 Tổng hợp các cấu trúc nanô ZnO
3.3 Khảo sát vật liệu nanô tinh thể ZnO
3.3.1 Phương pháp nhiễu xạ tia X (XRD)

48

3.3.2 Khảo sát tính chất quang
3.4 Các hình thái của nanô tinh thể ZnO
3.5 Kết luận

48
50
50
51
54

56
58
58
59
62
66

KẾT LUẬN VÀ KIẾN NGHỊ
DANH MỤC CÔNG TRÌNH CỦA TÁC GIẢ
TÀI LIỆU THAM KHẢO

67
69
70


MỞ ĐẦU
Công nghệ 3D – một công cụ tái hiện thế giới thực, với khả năng mô tả lại
thế giới thực trung thực hơn, mang lại nhiều thông tin chi tiết hơn hẳn công nghệ
2D truyền thống, công nghệ 3D đã được ứng dụng rộng rãi trong phim ảnh 3D,
trò chơi 3D, đồ hoạ 3D hay nhiếp ảnh 3D. Tuy nhiên, ứng dụng công nghệ 3D
vào nghiên cứu khoa học vẫn còn là một lĩnh vực mới mẻ, và chưa được khai
thác nhiều.
Kỹ thuật ảnh 3D hiển vi điện tử quét (3D SEM) là một bước phát triển mới
quan trọng trong việc ứng dụng công nghệ 3D vào việc tạo ảnh hiển vi cũng như
nghiên cứu hình thái các đối tượng vi mô, đang dần trở thành công cụ nghiên
cứu mới cho các nhà khoa học. Hiện nay, kỹ thuật này đang được nghiên cứu
phát triển để chụp ảnh MEMS [9], chụp ảnh các vật liệu có kích thước nanômét
[2], chụp ảnh huỳnh quang 3D của các tế bào sinh học [43] hay chụp vi sinh vật
[19].

Hiện nay, cùng với sự phát triển mạnh mẽ của khoa học và công nghệ nanô,
trong lĩnh vực chế tạo vật liệu và linh kiện có kích thước nanômét, việc chế tạo
và khảo sát hình thái cũng đang là một vấn đề rất được quan tâm nghiên cứu bởi
nhiều nhà khoa học trong và ngoài nước [1, 9, 10, 13, 20]. Trên thực tế, hình
thái phong phú và phức tạp của các cấu trúc nanô thường khó quan sát được
bằng các phương pháp tạo hình ảnh đơn thị 2D truyền thống, người quan sát khó
thấy được chiều sâu và các cấu trúc không gian của các vật thể.
Với những lí do đó, chúng tôi đã chọn đề tài: “nghiên cứu hình thái học
vật liệu, linh kiện nanô bằng công nghệ ảnh nổi 3D trên kính hiển vi điện tử
quét (3D stereo SEM imaging)” với mục tiêu ứng dụng và phát triển kỹ thuật
ảnh nổi 3D hiển vi điện tử trong các nghiên cứu hình thái học mẫu vật có kích
thước micrômét và nanômét (vật liệu cấu trúc nanô, linh kiện quang tử cấu trúc
nanô). Đây là đề tài luận văn lần đầu tiên được tiến hành nghiên cứu và ứng
dụng ở Việt Nam.
Nội dung nghiên cứu chủ yếu của luận văn nhƣ sau:
 Nghiên cứu chụp ảnh 3D stereo trên kính hiển vi điện tử quét (SEM).


 Nghiên cứu các thông số ảnh hưởng tới chất lượng của ảnh nguồn như độ
sâu hội tụ, độ sâu trường ảnh, độ tương phản và các phương pháp tăng
cường chất lượng ảnh.
 Nghiên cứu phương pháp hiển thị ảnh 3D hiển vi trên màn hình vi tính và
kỹ thuật in dán ảnh nổi 3D autostereo hiển vi.
 Chế tạo mẫu vật liệu có cấu trúc nanô và ứng dụng ảnh 3D hiển vi nghiên
cứu hình thái học các mẫu vật đó.
Bố cục của luận văn bao gồm 3 chƣơng:
Chƣơng 1 - Nguyên lý hình ảnh 3D.
Trong chương 1, tác giả trình bày một cách tổng quan về khái niệm, nguyên
lý hình ảnh 3D, lịch sử cũng như tình hình phát triển của công nghệ 3D trong
nước và trên thế giới. Bên cạnh đó một số đặc tính của thị giác hai mắt như sự

cạnh tranh (rivalry), sự hợp thị (convergence) và sự chênh lệch (disparity) cũng
được nhắc lại.
Chƣơng 2 - Nghiên cứu chụp và hiển thị ảnh 3D trên kính hiển vi điện tử
quét (SEM).
Chương 2 trình bày về nguyên lý tạo ảnh SEM cũng như các ảnh hưởng qua
lại giữa các thông số và các hiện tượng xảy ra trong quá trình ghi ảnh. Một quy
trình đầy đủ từ việc chụp, xử lý và hiển thị ảnh SEM bằng kỹ thuật 3D hiển vi
đã được xây dựng và hoàn thiện trong chương này. Ngoài ra, phương pháp đo
chiều sâu bằng kỹ thuật chụp và hiển thị 3D cũng đã được đề xuất.
Chƣơng 3 - Tổng hợp nanô tinh thể ZnO, nghiên cứu hình thái các nanô
tinh thể ZnO bằng ảnh 3D SEM.
Chương này mô tả quá trình tổng hợp các nanô tinh thể ZnO bằng phương
pháp bốc bay nhiệt có sự tham gia của xúc tác Au. Sản phẩm thu được là các
nanô tinh thể ZnO có hình thái khác nhau. Hình thái và vi cấu trúc của các sản
phẩm này đã được khảo sát bằng kỹ thuật 3D SEM, kết quả khảo sát cấu trúc
tinh thể, tính chất quang cũng được trình bày và thảo luận ở đây.
Cuối cùng, phần kết luận và kiến nghị trình bày các kết quả đạt được và
đưa ra các kết luận rút ra từ những kết quả nghiên cứu của tác giả. Đồng thời,
một số ý kiến đề xuất hướng nghiên cứu tiếp theo của đề tài cũng được nêu ra ở
đây.


CHƢƠNG 1

NGUYÊN LÝ HÌNH ẢNH 3D
1.1 Công nghệ ảnh nổi 3D
Hình ảnh stereo đầu tiên được Wheastone sáng tạo năm 1838 [28, 29, 30].
Từ đó tới nay, những người làm việc với hình ảnh stereo không có nhiều, và
thường không được biết đến, nhưng nhiệt tình và cống hiến của họ không hề suy
giảm. Ngày nay, những thao tác sáng tạo về không gian thị giác hai mắt, không

chỉ về hiện thực tuyệt vời của stereoscopy, đang được quan tâm ngày càng
nhiều.
Công nghệ 3D không còn xa lạ trên thế giới và đã được ứng dụng rộng rãi
trong các lĩnh vực khác nhau. Thế kỷ 21 đang chứng kiến sự bùng nổ của công
nghệ 3D, rất nhiều hãng lớn đã đầu tư mạnh cho các nghiên cứu và ứng dụng 3D
như máy tính 3D (Sharp, Toshiba), game 3D (Sega), điện ảnh 3D (Walt Disney,
Universal Studio), nhiếp ảnh 3D, hay cả ti vi 3D sẽ phổ biến trong vài năm
nữa. Thị trường quảng cáo bằng công nghệ 3D cũng đang phát triển mạnh mẽ
trên thế giới.
Tại Việt Nam, giới trẻ cũng bắt đầu quan tâm đến các ứng dụng 3D, nhưng
chỉ dừng lại ở phân đoạn tạo dữ liệu 3D (3D data) bằng các phần mềm dựng 3D
có sẵn của nước ngoài (3DSMax, Maya) chứ chưa khai thác được các công
nghệ hiển thị 3D (3D display). Dữ liệu 3D chỉ khi được kết hợp với hiển thị 3D
thì mới phát huy được hết các ưu điểm và đem lại sự khác biệt thực sự của công
nghệ 3D [52].
3D hay công nghệ 3D là khái niệm hay được lạm dụng trong thời đại kỹ
thuật số hiện nay. Bất cứ cái gì thể hiện được (trực tiếp hay gián tiếp) tính hình
khối hay hiệu ứng bóng đổ đều có thể được gọi là sản phẩm công nghệ 3D. Từ
mô hình 3DSMax, font chữ 3D đến hoạt hình 3D. Tuy nhiên, khái niệm 3D nếu
được hiểu đầy đủ và toàn vẹn phải gắn với con người, tức là phải tuân theo quy
luật của sinh lý thị giác. Vì con người có hai mắt nên nhận thức thị giác 3D gắn
với con người phải là thế giới quan stereo. Công nghệ 3D thực thụ phải đem lại


cảm giác đắm chìm (immersion) của chủ thể quan sát vào trong đối tượng quan
sát.
Khi một hình ảnh (image), mô hình (model) hay hoạt cảnh (scene) được tái
hiện bằng các phương tiện kỹ thuật số (máy tính, máy ảnh, ...), nó chưa được
coi là 3D đầy đủ và đích thực nếu chưa thỏa mãn yếu tố trên. Một mô hình
dựng trên 3DSmax, Maya có thể được coi là một thực thể 3D chưa trọn vẹn bởi

nó mới chỉ có tính dữ liệu 3D (3D data) mà chưa có tính thể hiện 3D (3D
display). Tính hình khối của các đối tượng này chỉ thể hiện gián tiếp thông qua
các lệnh xoay, dịch chuyển, hay các hiệu ứng chiếu sáng và bóng đổ nhờ các
công cụ điều khiển. Khi kết xuất (render) rồi trình chiếu trên các phương tiện
hiển thị thông thường như màn hình máy tính, ti vi hay in ra giấy, ở mỗi thời
điểm và mỗi vị trí, người quan sát chỉ nhận được những hình ảnh 2D. Chỉ khi
dữ liệu đó được kết xuất ra hai luồng trái, phải riêng biệt và được hiển thị theo
phương pháp 3D thì mới được coi là 3D đầy đủ.
Ảnh nổi 3D nói riêng hay công nghệ hiển thị 3D nói chung có thể ứng dụng
vào khoa học như Vật lý (chụp ảnh 3D các hệ vi cơ MEMS [9], các mẫu vật cỡ
micrômét, nanômét), vào địa chất, công nghệ vũ trụ (ảnh 3D chụp bề mặt trái
đất, bề mặt sao hỏa), giáo dục đào tạo (các hệ mô phỏng 3D tập lái xe ôtô, lái tàu
thủy), y học (mô hình 3D cơ thể người hay sinh vật), kiến trúc (thiết kế mô hình
nhà cửa 3D), bảo tồn bảo tàng (ảnh 3D các di tích hay cổ vật), ...
Trong kỹ thuật ảnh hiển vi 3D, một số nhóm tác giả trên thế cũng đã đề
xuất giải pháp chụp và hiển thị ảnh 3D trên thiết bị SEM, nhưng chưa có báo
cáo nào trình bày một cách tường minh và cụ thể. Giải pháp của các sáng chế
này thường là thay đổi kết cấu của thiết bị chụp SEM như lắp thêm cuộn dây
làm lệch chùm điện tử [48], tạo hai súng điện tử hoặc kết hợp chùm điện tử và
chùm ion hội tụ trong các thiết bị crossbeam FIB-SEM để ghi ảnh đồng thời ở 2
góc độ khác nhau [14].
Một số hình ảnh đã được chụp và hiển thị theo phương pháp 3D anaglyph
như ảnh bề mặt sao hỏa, ảnh mặt trăng được phát hành bởi NASA [46, 47], ảnh
hiển vi chụp các vi sinh vật hay ảnh chụp các mẫu khoáng vật phục vụ nghiên
cứu các cơ chế phong hóa trong lĩnh vực khoa học đất [47]. Khi xem các ảnh
này cần dùng kính phân màu anaglyph để tách hai luồng ảnh cho mắt trái và
mắt phải. Ngoài một số ảnh 3D anaglyph phục vụ cho nghiên cứu khoa học, tại
viện Khoa học Vật liệu – viện Khoa học và Công nghệ Việt Nam, một số ảnh
tích hợp lenticular autostereo chụp phong cảnh, chụp người cũng đã được thực
hiện. Không giống như ảnh 3D anaglyph, ảnh tích hợp autostereo có thể quan

sát trực tiếp mà không cần dụng cụ hay thiết bị hỗ trợ. Những phiên bản 3D này


mới đúng nghĩa là 3D theo định nghĩa ở trên và hiệu ứng 3D mới thể hiện trọn
vẹn và đem lại sự khác biệt thực sự.
1.2 Nguyên lý tạo hình ảnh 3D
Hình ảnh 3D có thể được tạo ra dựa trên nguyên lý cảm thụ thị giác của con
người [35, 36]. Do có 2 mắt, con người có hai điểm nhìn ở hai vị trí khác nhau
trong không gian thực. Hai hình ảnh khác nhau do mắt trái và mắt phải thu được
tạo nên các hiệu ứng đặc thù trong não bộ, bao gồm sự cạnh tranh (rivalry), sự
chênh lệch (disparity) và hợp thị (convergence) [29, 30]. Các phương pháp hiển
thị 2D thông thường chỉ cho ta cùng một hình ảnh trong mắt phải và mắt trái, vì
vậy không tạo nên các hiệu ứng nói trên.
Trước khi nghiên cứu cách chụp và hiển thị ảnh 3D SEM, chúng ta xem xét
lại những đặc tính của thị giác hai mắt, đó là sự cạnh tranh (rivalry), sự hợp thị
(convergence) và sự chênh lệch (disparity).
1.2.1 Sự cạnh tranh (rivalry)
Sự cạnh tranh lưỡng thị là một hiện tượng độc đáo của thị giác hai mắt. Đó
là khi hai mắt quan sát hai hình ảnh khác nhau, người quan sát lúc nhìn thấy
hình ảnh này, lúc nhìn thấy hình ảnh kia, một cách hỗn loạn. Tuy nhiên, hiện
tượng này lại làm cho thị giác hai mắt khác hẳn về chất với thị giác một mắt, nó
tạo nên vẻ đẹp và sự phong phú mà người nhìn một mắt không bao giờ hình
dung nổi. Ví dụ điển hình là khi ta nhìn một viên kim cương, vì các tia sáng cầu
vồng do khúc xạ ánh sáng của viên kim cương rơi vào mỗi mắt khác nhau, nên
người quan sát thấy viên kim cương lấp lánh. Tương tự như vậy khi ta nhìn một
chiếc đĩa CD dưới ánh sáng mặt trời, các tia sáng huyền ảo do hiện tượng cạnh
tranh lưỡng thị đem lại vẻ đẹp độc nhất vô nhị. Hình ảnh stereo và holo có thể
tái hiện được vẻ đẹp này, mà phim ảnh 2D không bao giờ thể hiện được.
Hình 1.1 minh họa về hiện tượng cạnh tranh của hai mắt. Dùng kỹ thuật
nhìn chéo (cross view) ta sẽ thấy hình ảnh nổi với 4 hình tròn biểu hiện 4 loại

thụ cảm thị giác khác nhau: A - cạnh tranh thuần khiết; B - hoà ảnh (fusion), đĩa
tròn sẽ nổi lên trên nền; C - xuyên thấu (transperancy), một đĩa tròn chìm sâu ra
sau nền (mắt trái ưu thế), một đĩa tròn nổi lên trên nền (mắt phải ưu thế); D trong suốt và cạnh tranh: một đĩa với các sọc chìm sau nền, một đĩa có các sọc
cạnh tranh (sâu bằng nền), biến mất và hiện ra liên tiếp.


Hình 1.1. Hình ảnh minh họa về hiện tượng cạnh tranh
(rivalry) của hai mắt. Dùng kỹ thuật nhìn chéo (cross view)
để quan sát hình ảnh nổi với 4 hình tròn biểu hiện 4 loại thụ
cảm thị giác khác nhau.
Hiện tượng này còn được áp dụng để tìm ra những khác biệt nhỏ giữa hai
bức ảnh, ví dụ như: ảnh hai bầu trời sao được so với nhau bằng cách cho mỗi
mắt nhìn một ảnh, mắt sẽ dễ dàng nhận ra sự khác biệt giữa hai bức ảnh nhờ vào
sự cạnh tranh lưỡng thị.
1.2.2 Hợp thị (convergence)
Hiện tượng hợp thị của mắt thường gắn chặt với thị sai hai mắt và sự cạnh
tranh hình ảnh, như vậy, rất khó có thể tách rời ra như một tín hiệu về độ sâu.
Người ta cho rằng khởi nguồn của tín hiệu độ sâu là từ các cơ điều khiển chuyển
động của mắt [29]. Hiện tượng hợp thị là kết quả của sự chồng hai hình ảnh, cho
ta cảm giác về chiều sâu (hình 1.2). Khi chồng hai hình ảnh ở khoảng cách nào
đó lên nhau, hình ảnh của những vật thể gần hơn hoặc xa hơn đều bị nhân đôi,
mỗi mắt một hình. Tuy nhiên tri giác của chúng ta lại thường bỏ qua điều đó,
cho nên ta không quan tâm đến hiện tượng hai hình và mất nét ngoài đối tượng
trung tâm.

TÀI LIỆU THAM KHẢO
1. Chul Yic, Jinkyoung Yoo (2006), “Optical properties of ZnO nanorods and
nanowires”, Science Direct 39, 358-365.
2. Acta Materialia 54. 1369, (2006), See also: “Nanostructure in 3D”, Max
Planck Society Press Release Feb. 22nd, 2006.

3. Audrey, M. Glauert. (1974), Practical Methods in Electron Microscopy,
North-Holand Publishing Company.
4. BC Breton, JTL Thong, WC Nixon. (1990), “Advances in stereo SEM
techniques”, Inst. Phys. Conf. Series No.98, pp 617-620.
5. Blade, R. A., Padgett M. L., in Stanney, K. M. (2002), Handbook of Virtual
Environments, Lawrence Erlbaum Associates, Inc., New Jersey, United States,
pp. 15-27
6. Chandler, A., (1975), “The Vision of Hyperspace” Stereo World (Nat'I. Stereo.
Assoc., USA) 2:6,Nov-Dec. 1975. Cf: Paul Wing, "Hyperspace--A Comment,"
Stereo World 3:1, J/F 1976.
7. Chau K.L. (1993), Automated Control in High Resolution Scanning Electron
Microscopy, PhD Dissertation, Cambridge University.
8. Chinkyo Kim, Won I Park and Gyu-Chul Yi, Miyoung Kim (2006),
"Formation and photoluminescent properties of embedded ZnO quantum dots
in ZnO/ZnMgO multiple-quantum-well-structured nanorods”, Appl. Phys. Nos
89, 113106.
9. Chris Kammerud, Besma Abidi, Shafik Huq, and Mongi Abidi. (2005),“3D
nanovision for the inspection of MEMS systems”. The IEEE International
Conference on Electronics, Circuits, and Systems, Gammarth, Tunisia.
December 11-14 2005.
10.Chun Li, Guojia Fang, Wenjie Guan, Xingzhong Zhao (2007), “Multipod ZnO
3D microstructures” Materials Letters 61, 3310–3313.
11.Cowley, J.M. (1976), Principles and Techniques of Electron Microscopy, vol.
6 (Hayat, M.A. ed.) van Nostrand Reinhold Co. New York, pp 40-84.
12.Durlach, N. I., Mavor, A. S. (1995): Virtual Reality: Scientific and
Technological Challenges, National Academy Press.
13.E. M. Wong, P. C. Searson (1999), Appl. Phys. Lett. 74, 2939.
14.Eric Lifshin, James Evertsen, Edward Princip, and John Friel (2004), “Three

Dimensional Imaging of Microelectronic Devices Using a CrossBeam FIB”,
Proceedings from the 30th International Symposium for Testing and Failure
Analysis, Worcester Massachusetts. November 14 - 18, 2004.


15.Fuller K., Thong J.T.L., Chambers T.J., Breton B.C. (1994), “Automated 3-D
characterisation of osteoclast resorption lacunae by stereoscopic scanning
electron microscopy”, Journal of Bone and Mineral Metabolis.
16.G.H. Du, F. Xu, Z.Y. Yuan, G. Van Tendeloo, (2006), Appl. Phys. Lett. 88,
243101.
17.Gao P X, Song J, Liu J and Wang Z L 2006 Adv. Mater. 19 67–72.
18.Harold A. Layer, (1979),“Stereoscopy: Where Did It Come From? Where Will
It Lead?” published originally in: EXPOSURE: 17:3 Fall 1979, pp 34-48.
19.Hayat, M. A. 1989. Principles and Techniques of Electron Microscopy:
Biological Applications. CRC Press, Boca Raton, FL.
20.He J H, Hsu J H, Wang C W, Lin H N, Chen L J and Wang Z L (2006), J.
Phys. Chem. B 110, 50–3.
21.Hsu C L, Chang S J, Lin Y R, Li P C, Lin T S, Tsai S Y, Lu T H and Chen I C
2005 Chem. Phys. Lett. 416, 75–8.
22.Hyeong-Jin Kim, Chul-Ho Lee, Dong-Wook Kim and Gyu-Chul Yi (2006),
“Fabrication and electrical characteristics of dual-gate ZnO nanorod metal–
oxide semiconductor field-effect transistors”, Nanotechnology 17, S327–S331.
23.Jun Young Bae, Jinkyoung Yoo, and Gyu-Chul Yia (2006), “Fabrication and
photoluminescent characteristics of ZnO/Mg0.2Zn0.8O coaxial nanorod single
quantum well structures”, Appl. Phys. Nos 89, 173114.
24.Kar S, Pal B N, Chaudhuri S and Chakravorty D. (2006) J. Phys. Chem. B 110
4605–11.
25.Lathan C. E., in Stanney, K. M. (2002): Handbook of Virtual Environments,
Lawrence Erlbaum Associates, Inc., New Jersey, United States, pp.404-414
26.Lowden, Jr., R.D., (1975), "Heywood--A Mysterious Stereo Artist" Stereo

World Nat' I. Stereo. Assoc., USA) l:l, Jan.-Feb. 1975; Part 2, 1:2, March-April
1975.
27.Melanie Kirkham, Xudong Wang, Zhong Lin Wang and Robert L Snyder
(2007), “Solid Au nanoparticles as a catalyst for growing aligned ZnO
nanowires: a new understanding of the vapour–liquid–solid process”,
Nanotechnology 18, 365304 (5pp).
28.Okoshi, (1976), Three-Dimensional Imaging Technique, New York Academic.


29.Philosophical Transactions of the Royal Society of London, Vol. 142, pp. 1 –
17.
30.Philosophical Transactions of the Royal Society of London, Vol. 128, pp. 371
– 394.
31.Pinchbeck, P., (1972), "Structure of Reality in image and Word" Arts
Magazine, April 1972.
32.Reiko HATTORI, Keisuke KAMETANI, Hiroshi IMAMOTO, Shizuo
FUJITA (2006), “Direct Fabrication of ZnO Whiskers Bridging Between
Micron-gap Electrodes in Aqueous Solution for Highly Gas Sensing”,
Material Research Society.
33.Rubio-Sierra F J, Heckl W M and Stark R W (2005), Adv. Eng. Mater. 7,
1936.
34.S.-J. An1, W.I. Park1, G.-C. Yi1, S.Cho (2002), “Laser–MBE growth of highquality ZnO thin films on Al2O3(0001) and SiO2/Si(100) using the third
harmonics of a Nd:YAGlaser” Appl. Phys. A 74, 509–512.
35.Senden, M., (1960), Space and Sight (London: Methuen & Co., 1960). Spies,
Werner, Vasarely (NY: Abrams, 1969).
36.Stanney, K. M. (2002): Handbook of Virtual Environments, Lawrence Erlbaum
Associates, Inc., New Jersey, United States.
37.Takashi YATSUI, Motoich OHTSU, Sung Jin AN, Jinkyoung YOO and GyuChul YI (2006), “Evaluating the Quantum Confinement Effect of Isolated ZnO
Nanorod Single-Quantum-Well Structures Using Near-Field Ultraviolet
Photoluminescence Spectroscopy”, Opt. Rev. Vol. 13, No. 4, 218–221.

38.Tandra Ghoshal et al (2008), “Direct synthesis of ZnO nanowire arrays on Zn
foil by a simple thermal evaporation process”, Nanotechnology 19, 065606.
39.W. I. Park, D. H. Kim, S.-W. Jung, and Gyu-Chul Yi (2002), “Metalorganic
vapor-phase epitaxial growth of vertically well-aligned ZnO nanorods” Appl.
Phys. Vol. 80, Nos. 22.
40.Wagner R S and Ellis W C (1964), Appl. Phys. Lett. 4 89–90.
41.Won I Park, Dong-Wook Kim, Sug Woo Jung and Gyu-Chul Yi (2006),
“Catalyst-free growth of ZnO nanorods and their nanodevice applications”, Int.
J. Nanotechnology, Vol. 3, Nos. 2/3.


42.Won I Park, Jinkyoung Yoo, Dong-Wook Kim, and Gyu-Chul Yi (2006),
“Fabrication and Photoluminescent Properties of Heteroepitaxial
ZnO/Zn0.8Mg0.2O Coaxial Nanorod Heterostructures”, The Journal of
Physical Chemistry Letters, 110, 1516-1519.
43.Xiang Chen and Robert F. Murphy (2004), “Robust Classification of
Subcellular Location Patterns in High Resolution 3D Fluorescence Microscope
Images” Proceedings of the 26th Annual International Conference of the IEEE
EMBS, San Francisco, CA, USA. September 1-5, 2004.
44.Yong Ding, Pu Xian Gao, and Zhong Lin Wang (2003), “CatalystNanostructure Interfacial Lattice Mismatch in Determining the Shape of VLS
Grown Nanowires and Nanobelts: A Case of Sn/ZnO”, JACS.
45.Yong-Jin Kim, Chul-Ho Lee, Young Joon Hong, and Gyu-Chul Yi (2006),
“Controlled selective growth of ZnO nanorod and microrod arrays on Si
substrates by a wet chemical method”, Appl. Phys. Nos 89, 163128.


WEBSITES
48. Gallery ảnh 3D anaglyph của NASA:
/>49. Gallery ảnh 3D chụp sao hỏa:
/>50. Kính hiển vi 3D SEM:

/>51. Datasheet của kính hiển vi Hitachi 4800:
/> />52. NADS (2003): National Advanced Driving Simulator:
/>53. In ảnh 3D tại Việt nam:
/>54. Thị giác hai mắt:
/> />