báo cáo thực tập chế tạo cảm biến nhạy khí của ống nano carbon







 !
!"#!$#%
 !"# $&'$()
%& $*+,-$.-/0123
'() !*%)+, $45$67$&89
5:;9:<33
Bộ môn Vật liệu điện tử 1



=>&>
I. ($"?!"#!$#%4
1. @A,BC!"#!$#%DDDDDDDDDDDDDDDDDDD

2. 8,($"?!"#!$#%4
a) )-./ +000000000000000111
2
b) 3-./ +0000000000000000
4
II. (E5F>5 !!"#!$#%4
1. (A# !!"#!$#%4
a) 5#0000000000000111
6
b) 7000000000000000
8

c) 00000000000000
9
d) 3:;<<00000000011
=>
2. =GHE5F>5A# !!"#!$#%4
a) ?)+@)-AB<CD5#E0000000000000001
=>
b) ?)+@)FG)-*H)00000000000000000
=I
c) ?)+@)-AB< J-#B&00000000000000
Bộ môn Vật liệu điện tử 2



=
III. IBA5II!"#!$#%4
1. AJ!"#!$#%4
a) 7C&K+-+000000000000000011
=2
b) 7C-+K+-+00000000000000000
=L
2. IBA5II!"#!$#%4
a) M*7)&<&&N)5#OK)000000000000000
=L
b) M*7)&<&;P)00000000000000011
=8
c) M*7)&<&-Q)5R)S&7000000000000000
=9
3. =GHIBA5II,#K!K5!$L5CIDDD444
:3

IV. M$"JN5-9O$4
1. <*%C!5#"G)-*H00000000
II
2. T(<

!5#"00000111
I4
V. 1,$+DDDDDDDDDDDDDDDDDDDDDDDDDDDD44
<
Bộ môn Vật liệu điện tử 3



PQ($"?!"#!$#%
1. @A,BC!"#!$#%4
)"!OUV+)
WX*XYB*7)Y)<H&
  F  7Y  0  )    Z  B  *7)
[\YB]B:)!E-!CN
D %;)!E)^<!
ZV F)B*7)1%Z
Bộ môn Vật liệu điện tử 4



'&YB]B:)!E-!CND %)!E)^
<AZ<V F)BA)'&1)+)
Z!5V5*HAS<)!E[
\-!CND[ !\ %<)!E
<1

AGB=984YANR-YT A
B 5_&<#B:+)XWB%
U+)^+L>)!E-!
C  N  D  %      AY  <  )!  E
A-!C %<X)`
)< A-@)<5aAZX^N
5*b)()>Y6B1c)XW5*H
&<#A5*H)R-AK(^d 1C&5N
-A<Zd < %6>Y8>Y0<
)!EAY*)V F) ,-AZ
L>
+^A)-%
XeG)VBfZ)A))(B+^51CGB=99LYANR!
5_55*H)( VNRP) #g)H&Ah)Z^
d !1
AGB=99=Y)<)!e Vd A J-R)*bJB
ijB A<5O))#&5_&<#Z;)AS<)!E
+)-!C*!K(^d 1kP) #E+@)a 
K<YijB5_&<#Z+);)A+V-%&)&:-
A1VGB)!eijB A<5O))#&BX5_)!
eVNY-5f#W) %V+)XWZA
lBUVBG)e)+@)-% %RYh))#)*7)-1
Bộ môn Vật liệu điện tử 5



"#$%&'(
2. 8,($"?!"#!$#%4
m NV+)Z<Y)*b)R5N-A<Z)
-d Y +@$X^YXNYX;)Y0-AB:+)Z

)-d Y+)X;)1
)*b&n-ZA-$
a) @5,%RS!,,%F!"#!$#%Tng nano carbon đơn vchU4
Z;)57 <NaoB*-AB:-%&B)
)&:-Y5^-AE^d 1
b) =$,RS!,,%F!"#!$#%Tng nano carbon đa vchU4
p)5 <NaoB*-AB:Z)OBV
;)57 <5O)@N5*b)<R-
1T()<)F <
-!C&-A>Y2B1
<;)5 <N
<o<;)57 <
*)+W  J XB: Z 
-*U)5VN&^
NN-<$&^5^
;) A&^n;)1
Bộ môn Vật liệu điện tử 6



M^5^;)-A<^N A);) %^d Y
N<<&^5^;)Na-A+E^d A1
M^A;)N+)ZX @1
%;)57 <X&^ n
;)*-A+B:-%&B))& 5*H
:  -    B:  *%)  o<  5D1
*%)  :  A  5*H  5f  *)  U
:['&&\1)B: h  57
DB))&R  57 D
[\X:[\5*Ho<5D*$


#-A)*+1
%<)<DBY<XlN5*H<Z;)
<1N))*b Z -AB+)Z<
&@: A :$
• ZArm-chair$AZo#m = n Y5NNθq>
>
[)N:\1Z[*\a#B-1
• ZZig-zag$AZo#B:)h);m (n) =
0Y5NNVq>
>
1Z[*,\NB:;a#B
- AB:;a# J-#<+,1
• ZChiral$AZe) %<)<Dr-f&;BY1
ZAa#<+,fB--A
&@: Af&;B A1
Bộ môn Vật liệu điện tử 7



"#$%!&-.&/01
c" A :Nao<5D5*H5*b);)[d\ A)N:[
θ\ %a-A*%hB)1
 A
PQQ(E5F>5 !
1. ( $ !!"#!$#%4
a) (.- !!"#!$#%4
5#[23(\&@: A :Y 
AKC5DNaNB-<+,1
)!n"5g+,5#-A+"< VZ&n

EY+,%"< VZ W)G)-*H) A+5N5::)G)
-*H)`)<1"< V+,5#Na+s+A)S
B))&1U<);)5*Ho<5DU5f7-*H)E
e)B-A5:-J& %V+A;)1
• C9RW[q>Yt=YtIYt0\Xa#+,5#
B-1
Bộ môn Vật liệu điện tử 8



• )<*b)H&r-a# J-#<+,1
"#%4!5/6)7815+.239:;'&;
)AY+Z5f#!$
• N5#Uu$3<
0X
vwBUI6
>
1
• NBJ5:+r)5#$3<
Y
wB
I
X JYr5*H5f#KnB) r-AB:)O&<o5#
E-*H)+NN)*x)&<o&[</619=!66
91=7!9\Y&<og5D Ab);)-n1
b) (A !!"#!$#%4
cyO<)!E-!C %U-!CND
V F)!-A J-#z AN5:V7R1
7R5*Ha#-B`R{ A5^;)Y;)
D;)*)5^;)h)D*)X1Chh)<+@)-"FX

;)-U-)<5^BA*o##*H)C+)1kP) #
E+@)a -")!Em3)*b5_o<5D5*He)|)
[>?((\B:-A()=M[)&4-^ %{&\1
)Arz7{&L-^ AV7{&=>>-^1}")#B
)*be)B5*HP)NaDC+)2>~BA*o#
C+)+•Y*N#e)N Cef5e)_-!C1
Bộ môn Vật liệu điện tử 9



J-# |)['M\ :{VBf['M\
=+.GH,BC5
T5Z9

U
€ =>42 =4> =12
3€ =I>> =4> I1L
- I>8 >12 618
@$((1/;0%&%.23(AB9
)5N'M[')M-=>
9
1wB
I
\
c)  !!"#!$#%4
B:;")#BY)*bJP) %B:;-
*•Y

Y•
I

Y
I
Y0
%*%B:V[y;)FV+A A5*b)‚=>>>\Y5*b)
x AB X JF-#9[-A-%W) %N5:V7
R A<7 VBfNR!N(G)e)+@);<
-(BC-AB #U#5:&r)1
d) =GH( !!"#!$#%4
VK)Y<)!e-C5_e)uP)<K)
*-A&@<<)[23(C;D/'6
/\Y&<oY0lCB*%;)G)-!1A+5NN5*H
P)<`)5*HKC5DU<#e)-*H)EN*%1
Bộ môn Vật liệu điện tử 10



E+@)K)B:<H&-Na5*H r-%)
<+@)@K)R1
< %<B))&UZ)VBfN1<&(e)
o(*b)-!K5Ch)5;oe)M[ƒ\)nU"G)5:
)1c5NQQN"<#)F5^;) An;)1`)S)!
n!YN*%ulB)&(e)NRB71"
5g-!CNDU(5^ AA;)5VNao(1+@*5:r
)B:;+)+DNa5*H5Va5*Hb A<A1
2. =GHE5F>5I\# !!"#!$#%4
a) ]5F>5,9#^.-/4
)<-#5#EY #E+@)5_
ZV"ZUl)Z&-AB)(B
*%B1c5#5f#!
Na5*HCH& %< J-#<5aA

<Z+DaB%1+@Y];)F5
 %+,5#<lNy-*
*)C&oZ&<+,1c5NN
a5*He)+@)*B::5y-*1
)A      r  5*H  E  +@)  5a  C  
„P)<;5#"B-P)
B: €1 @ a B: „ *b)E +@)
[.m…\N)OBB:€5*H
5f!B:-%&ho<5#[EF

\ A5^AC&oZ %5#"M1
„AN*%"u A;5:5N)BU+N
*%u A(G)a(5#E1
Bộ môn Vật liệu điện tử 11



W) %e)+@)+W)5aC„YP) #J+@)7
$V7RY*%uYr5*H+W)5aC5^
+rm3[G&'&(9H4CI\YB:€3€
5*HXA!5^+rB<m3PBG)5:&n)(B<N
F) DBA5^+rm3`h)aJC5*H1
3:e)+@)KR)<5N-A
e)+@)5aC<-(BC
-AB #U#5:&r)+NBJ5:
5#E-% A<7 VBfNR1<-
(BC*b)5*HC %+)5#
"G)-*H[J*2*K\ A-A<+,-&1T
5* Al-AB)(B<5#ES
Bộ môn Vật liệu điện tử 12




5N-AB)(B+, A-ABG)5#U5#"1AS"5g
5NNa(<5*HO)5:^51
b) ]5F>5._"7;5,BC54
N(G)FG)-*H)1;5:a(5#ES"A
)" % J-#-A1c5N#<&!-#
-A*b)1
A&^NaF5#N)-A+) A-B1c
NZ+)@]) A5*b)xB{! J-#Na
F-u)f)-†7h)K#e)B+,1&@A
5*H)R-A&@ J-1NV];)N*%&WH& %<
&nE
I
!N+s+A) A!);)Y<B AA;)`)*o
)F<;)1
`)NaF+)<NR[!9:
&'\1

"#$%$L4& .23A"

)M&1N9$+
c) ]5F>5._,9+,-$\CI4
< J-#B&!7U J-#5Vu<5f7-;
*5:VY5:+•+1%< J-#&-B+,YNa-ABG)(
G)+,5#Z)5*H&& A1*&: AMM[9O
9'''''\l5*HB&wMMN5:+,5#G)-!8-^
Bộ môn Vật liệu điện tử 13




%#K)‡w5#‡K)y5gZ %&-B
MM5^1B&wMMV7MM V7Yo#-BˆB
Q)+B:h-!CD5e)_*UMM1&: %&-Br5*H
e)+@)-AB J-# A7a X+V5O)N %o*7)Bh0 A-AB
<BA)-R`)*<-#K)&C1
3:*%)e)+@)<`)5)5*HJ&))!e-ABhB)
*b) J-#1J-#5*H& A+)+DB1)K<XB
5#NY5*Ho-, A)-%&B A5D DB:<),!!
-%&BfZ‰5#[ %C\1TCK(B5:e)G)]
# A-%&B`)Š71

"#$%(:23(&6P9D69('
PQQQIBA5II!"#!$#%
1. A\5CI!"#!$#%4
a) A*!I"R&O$FR@,FTcơ ch lng đng rn t! pha hơiU4
)7CA5*HXAS)<7)o(&(
e)U!)-r1<oZ<5*HE+@)*b)-A+)^ K
K<XoE-#BA)B-&!5C1
Bộ môn Vật liệu điện tử 14



)7CA)*b-ABK<XXA$
 7CIR5"S[0%M/Q\$
)7CAYBA-!C)FB- A5Ch)5-%Y
)K<X<)!E<S<&nE
I


I
[=''+ A-Q)5R)!VBf<B-1<)!E
ANo*%)l-Q)5R)o;)+*%VBfB-
A<B- %5CP)Z;)1S5NlN5*H
A&ˆB-A<;)NB-U!5^;)1
M*7)&<&A)R-A9H&R1!Y)K<XXA
A ,rO<B-oZ<U&^5y[A9O
&R\ A&^5<;)[A&O&R\ AZ)&(CA
!B<*%-uu)A5a5*H(&ˆByNZ
;)B)B;1
 7C`R5"S[0%M/1\$
lXA7CAC-!C)FB-oZ
< A5C5-%5a<)!E-Q)5R)!VBf
B-oZ<XZ)h)<5*HB-oZ<uVBf
5CY5N<)!ElNo*%)-!C %U!!
B-oZ< AS5N!Z;) %B
-oZ<PBU&^5<;)1
Bộ môn Vật liệu điện tử 15



"#%0#23(.90919STE
"#%23(7A77=-1&0&
b) A@,FR&O$FR@,FTcơ ch mc t! tr#ng thi rnU4
)7CAh)XA))55^K<X
<)!EU+)7BAXA<B-5_
-Q)5R)o;)AB:U+)Q1
<B-oZ<B<)!EU+)B:Yr A
C<)!EU<&5;+#1<)!EAlX
A<-%&'&N*%))) %<B-N)(S

5NA<;)1
2. IBA5II!"#!$#%4
Bộ môn Vật liệu điện tử 16



a) BA5IIIaLO$!5TElectric Arc DischargeU
)&*7)&<&A)*bE+@)5#")&&<oOK)
)nh)5aXA1
N)OBN5#"P))&5f)O)nh)Y
B:)O)&5#<&B:VYB:7Bnh) AB::&J5V
a5* A[4&014<&\*X!1
k5^Z)CA7Bnh)O)1T)O)55C
5:nh)!^CA5*5aQ5^K<XXA1
C&5CY&5#<&B:V5#")&15*H&5#
<&lo(#*H)&<oOK))F5#"Y5N<)!E
lD<u5*H5* A A
B:&^l-Q)5R)U")&nB-!
C %XAYB:&^<
lXAB:U!)O)1
;W)YC&@7Bnh)
O)5a-uB:l5*H
1
)A&*7)&<&&<oOK))F
5#")&)O)nh)
!rN<&*7)&<&E+@)"
&<oOK)XA)+)
+D
I
-u) A&*7)&<&E+@)5#"

‹B[+\-AB"K %W))!-
&<oOK)*&*7)&<&5^*
X!+*%1
Bộ môn Vật liệu điện tử 17



"#%909191U(:V9/6W
N/CP923()(:90919NI'(:0
X+
"#$%23(/7M90919Y'&K&Z(&'
b) BA5II#H#!#b5&!%"TLaser – furnace methodU
)&*7)&<&AZ)E+@))O-5aQ&<)&!
);)UBh*b)n
h)5aXA1
  &*7) &<& A)OB
B:;)5f)-r
)U#5:()=I>>
>
13:
P))&!);)YB::&J
5Va A)&7YB:#
;)7Bnh) A5Va<& AB:)O&<-W)*%5a
-AB-#;)1
Bộ môn Vật liệu điện tử 18



k5^Z)7Bnh)
;)YBh*b));)5

5:nh)!^7B A5a
Bh*b)7)K<X&(
e)1)K<X5Nn)+^#5:
-r -! %=I>>
>
 A J )O-1
WB-NG)-*H)l-AB
7)&<)!E
U+)7Y<)!EAl-Q)
5R)o;)VBf5C[&9\ A-!C %
A1W)5**%
A5a -AB):# ;)  A 7Bn
h)5a-uB:Y5NlN
5*HZ!^1
"#&%23(/7M90919T('&HG&'['

c) BA5II,c5.d5I!Ae!dTChemical Vapor DepositionU
)&*7)&<&AE+@)5f);)U!
)-r5aXAB,
5f!1
#)OBB:;)
5f)-r)#5:;
5()=I>>
>
YB:#;)5V
a-*-*H) A)&[W
4&0HK&*2

 49$<



"

H=''\1
k5^7[K&\2

\ A);)5aBh
*b)7Y)K<XAn)#SS-!Be!n&(e)1
5NY#5:5Be!^CAB,B:b) A)K<X
Bộ môn Vật liệu điện tử 19



A5*

[4\ A5aEho`)*<@ˆ<<B!
B,1%b)&(e)5*
I

I
[=''\ A5aCA&(e)
XA1Wy-#O)5:7 A&(e)5* A`)*
#5:&(e) AxB-oZ<!VBf5#"B,
BA5*H<ZN*% A-*H)<1
)A&*7)&<&!r&*7)&<&"+@)H-dB)U#5:
5a7<)!E)K<XXAY`)*E
+@)N)5ŒM-B1!&*7)&<&A<;{B7 %&*7)
&<&*%U&5ŒM-B-Ah)&1

"#]%90919190919SZ6

M*7)&<& f,%")"
g!"5%
&!%"Rh$"!%
=%F
%9!,*!I"
g%I
5 … AjY
…Y•&Y=99I
B YŽY=994 …+YY
)Y•&
-$$( >9>~ !6>~ I>=>>~
@i p))Q
+q>YL=Y2B
kN;)+A[4.I>•B\
+q=IB
p)+A
+q>YL2B
Bộ môn Vật liệu điện tử 20



=i p))Q
+
)
q>YL=Y2B
+
)A
‚=>B
T5*HZ X
C&

p)+A
+q=>I2>B
j$._9 cs(o
3€Y
€N
u)1C
3€^
oZ<YNag)
H&)h)1
€Na5V
a+s+A)
*%Yu) A
1
cs&<aKBh
h))#&1p)
+AY+s5Va
5*b)Y D
BR A<1
BC._9 p))QYN
*%5VY
5D*%) A^
-ABV1
Ž5QV X&(
E+@))O
ABVG)
-*H)1
p)C-A
3€ AN
u)1
@$((1909197*#23(

3. =GHIBA5II,#K!K5!$\5CI4
1k$+ =>.
•oN u<&f-ABVBfB-
l/,'!a ˆ<B-oZ<!
m- Q&oC&-Z A&<<CJ
@n$89 Mn<<P)+5:)!nB
&9    #b5  o
"Bp5
u7R<B-oZ<u<-%& u'&
*,d AB
cq! QA<5u
rc Mn-A<&^u7*%
PQ*4M$"JN5-9O$
1. #Bs!"#!$#%"n.-N";5,BC4
a) $t#^.
)K<X"J&YB5_E+@)-5C7($5#"G)-*H
B[M-YY0\Y!5Cw•
I
Y5#"G)-*H-!5C-
I
•

1
Bộ môn Vật liệu điện tử 21



<5#"!5V5*H&Zo<-B-oZ<[*wYY
-Y0\ %V+AS=B1<B-oZ<A5*H&Zo
yo#! "<5#"G)-*H5ayXA)

"A1
^6I&LJ^6I&LK^6I&LK
b) B!9u$,v*gw_9"!.Bp5.$-N5-94
5_ˆD<5#"G)-*H5_5*H&Zo<B-oZ
<<5#"A AV A5*Z) A)-r&(e)
 DVPBU)nB-rUU5N#5:B%)^
5Z)*#5:BAZ)5Vy!:5Va#1
Z)A:K<XˆDB, A5*B, A-r&(e)h)
5*H+W)5aC&oZ %B,BAy+W)z&5aCA<1
k*%C&Z)CAaB<5*b)+, A<:&J;
5a)(BaY<#*H)+rCA")#B1
"6_P923(`90919SZ6
c) N5-94
Bộ môn Vật liệu điện tử 22



)K<X")#BC!<5#"+W)(-
$
I
Y

 A
I

I
1
)5N$
 T
I

5*HE+@)5aBh*b)7)A:K<X&(
e)1
 T

+W)5aE<hoB-!VBf5#"1
 T
I

I
-A&(e)5aXA1
c5N*%5^!CA")#B-ABU< -^-*H A5(B
(5*H)&g5D)A:K<X1
<*%CA$
 3U 
I
)Q5^CA")#B1ŽOA5fK<
Xn)#&WH&1
 n)5C#5:^5aB,1
I
o@KX+)
+D

 5a+,

 AO)&(e)EB,1T

5*H
)&g5D);K<XB,5aCAE<hoB
-1
 }<X;-ACA&(e)1^!&()Q



OBU 
I

I
 %B:-*-*H)&@: A-*-*H)

I
B:y-#H&K<XXA!
5#"1&(e)o)Y)Q
I

I
*) ,5a
I
C&
@ AO)&(e) A)QeG))F#-r5a#5:+^
)(Bo;)%#5:&WH&XCA-B,1
d) &(9u$,9F>5>N5-94
K<X-B,^Z#5:-rr[!=>>
>
\X
h)"C&-B,)BA&(CA{+^+^S)*%[B]*%
<4.=>&Z\5a<#*H)D;#BA+,%5e)_-!
C1
-B,YC&@5*V[h)NB,\ A-r A
n)#5:)-r-!9>>
>
W))B:()b)5D5a

Bộ môn Vật liệu điện tử 23



EB:<B!VBf;)))-r AVS5N-AB
;) AV-^")#BC&1
Cn)#BA ,h)EC5*HB:Y< Cˆ<B
!);)[c#5:< D;)<Y&^)F;))-r
N#5:YI&^5^;)5a)A-r!#5:!-#-%\
Na+W)<+)+D*OYo5aCA-1
e) l/,'!"#!$#%!$$.BC4
hB,5*HA)S!VBf<5#"r
OB:<B!W)5#"S5N-AB(*U)%CK(5#U
B,CA5Y(<fBJ5:K<+AC5#U
B,u1%X)ANaC&@B, A-rYn)#5:-!
()2>>
>
 A)B:b)H&S5NNa-u5*HB:
BA-AB)(BBJ5:!VBf<5#"1
f) 5!"#!$#%!$$.BC4
aCA5<)<o<*% AaBZ`)*o<
5D5*HA-A57 <5 <CA@&(…3
<5#"1
aEY[:923(%&/6IJ8&&/E8EF

2. 1

 !!"#!$#%"n.-N4
a) ,+I-.4
Bộ môn Vật liệu điện tử 24




c*%))!e-A(<5f*)
 %

)5V##5:&r)!
<B,55*H5f)B:O) %a
2- %<5V# A#5:*b)1
3,5*Hz&!B:B)]<5# A5*H
C; %#5)OBN$
 3<5T-5*HC; %B<
Kg)•35a55#UB,*% AN"(*U)


1
 3<5aaD A l5OD5g5#UB,E+@)&^
BVB…o-5a5Va1
[1/b''/A14NPF[
Bộ môn Vật liệu điện tử 25