Tải bản đầy đủ (.pdf) (187 trang)

Luận án tiến sĩ hóa học: Tổng hợp, nghiên cứu tính chất và khả năng ứng dụng của Cu2O kích thước nanomet

Bạn đang xem bản rút gọn của tài liệu. Xem và tải ngay bản đầy đủ của tài liệu tại đây (39.51 MB, 187 trang )

<span class="text_page_counter">Trang 1</span><div class="page_container" data-page="1">

ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI

TRƯỜNG ĐẠI HỌC KHOA HỌC TỰ NHIÊN

NGUYEN THỊ LUA

LUAN AN TIEN SI HOA HOC

HA NOI - 2012

</div><span class="text_page_counter">Trang 2</span><div class="page_container" data-page="2">

ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI

TRƯỜNG ĐẠI HỌC KHOA HỌC TỰ NHIÊN

NGUYEN THỊ LUA

<small>Chuyên ngành: Hoa vô cơ</small>

Mã số: 62 44 25 01

LUẬN ÁN TIẾN SĨ HOÁ HỌC

NGƯỜI HƯỚNG DẪN KHOA HỌC:

PGS.TS TRIỆU THỊ NGUYỆT

HÀ NỘI - 2012

</div><span class="text_page_counter">Trang 3</span><div class="page_container" data-page="3">

MỤC LỤC

LỜI CAMĐOAN ... Q Q eee eee eee eee eee i

LOICAMON ... 0... eee eee eens ii

<small>MỤC 0, OR iii</small>

Ki HIỆU, CHU VIET TẮT...- viii

DANH MỤC HÌNH VE VÀ ĐỒ THỊ... ix

DANH MỤC BANG ... 000 cc eee ee ee eee eee eee xiv

MỞ ĐẦU ... 00. cee eee cee eee ee eee eee eas 1

Chuong1 TONG QUAN TÀI LIỆU ... 4

1.1 CẤU TRÚC VÀ TINH CHAT CUA ĐỒNG() OXIT... 4

1.2 CÁC PHƯƠNG PHÁP TONG HỢP CuO NANO DẠNG BỘT .... 5

<small>1.2.1 Phương pháp khử trong dungdịch... 5</small>

12.2 Phương pháp đồng kếttủa ... 7

<small>1.2.3. Phương pháp sử dụng bức xạ và sóng siêuâm... 7</small>

1.3 CÁC PHƯƠNG PHÁP CHẾ TẠO MÀNG MONG CuạONANO ... 8

1.3.1 Phương pháp lắng đọng hơi hoá học (CVD)... 81.3.2 Phương pháp kết tủa đện hod (ECD) ... 11

<small>11</small>

</div><span class="text_page_counter">Trang 4</span><div class="page_container" data-page="4">

<small>13.3 Phương phápphúnxạ ... 12</small>

1.4 _ ỨNG DỤNG CỦA CuạONANO ... 13

<small>1.4.1 Xúc tácoxihoá-khỬ...ẶẶẶẶẶ Ặ 131.4.2 Xúctácquanghoá ...Ặ Ặ Ặ Q Q Q 0000. 141.43 Xúc tác cho q trìnhpolmehố ... 16</small>

<small>1.4.4 Chế tạo cảm biến sinhhọc... 17</small>

14.5 Chếtạocảmbiến...ằ. 18<small>1.4.6 Cu¿O với quá trình chuyển hoá năng lượng ... 19</small>

1.5 CAC PHƯƠNG PHÁP NGHIÊN CỨU ... 20

<small>1.5.1 Phương pháp nhiễu xạtaX...- 20</small>

<small>1.5.2 Phương pháp quang đintửtlaX ... 21</small>

Chương2 THUCNGHIEM ...- 32

2.1 HÓA CHẤT VÀ THIẾTBỊ ... 32

211 Hóachất... ee 322.1.2 Dụngcu-Thitb,... 32

2.13 Phahdachat ... 2.0... 0.0.0.0... 0.000000. 3322 THỰCNGHIỆM... 33

<small>2.2.1 Tổng hợp va ứng dụng đồng(I) oxitdạngbột ... 33</small>

<small>IV</small>

</div><span class="text_page_counter">Trang 5</span><div class="page_container" data-page="5">

<small>2.2.1.1 Tổng hợp Cu2O nano dang bột ... 33</small>

2.3. CÁC PHƯƠNG PHÁP NGHIÊN CỨU... 40

<small>2.3.1 Phương pháp xác định thành phan và cấu trúc tinh thể ... 41</small>

<small>2.3.2 Phuong pháp phân tích nhiệt... 41</small>

2.3.3 PhOhoéngngoai.... 2... ee 422.3.4 Các phương pháp đánh giá hình thái vật liệu nano và bề mặt<small>màng mỏng... ee 42</small>2.3.5 Phương pháp nghiên cứu tính chấtquang ... 43

<small>2.3.5.1 PhổUV-Vis... eee 432.3.5.2 Phổhuỳnh quang... 44</small>

<small>2.3.6 Xác định thành phần phức chất Cu(acac);... - 44</small>

Chương3 KET QUA VÀ THẢO LUẬN ... 46

3.1 TONG HỢP CuạO NANO DẠNG BỘT... 46

3.1.1 Ảnh hưởng của chất bảo vệ và chấtkhử ... 46

3.12 Ảnh hưởng của nồng độ kim ... 33

3.13. Anh hưởng của thời gian phẳnứng...- 56

</div><span class="text_page_counter">Trang 6</span><div class="page_container" data-page="6">

3.2 UNG DỤNG CUA CuO NANO DẠNG BOT ... 61

<small>3.2.1 Sử dụng CuaO làm xúc tác trong phan ứng polime hóa axetilenđể tổng hợp sợi nano cacbon... 61</small>

3.2.1.1 Anh hưởng của tốc độ dịng khí axetilen... 63

3.2.1.2 Ảnh hưởng của thời gian phảnứng... 64

3.2.1.3 Ảnh hưởng của nhiệt độ phanting ... 66

3.2.1.4 Phân tích nguyên t6 sợi cacbon bằng EDS... 67

<small>3.2.2 Sử dụng Cu¿O nano làm xúc tác quang hóa trong phản ứng khửmàu metyldacam...Ặ.Ặ.Ặ eee 723.2.2.1 Khả năng xúc tác quang của CuạO... 72</small>

<small>3.2.2.2 Khả năng tái sử dụng của xúctác ... 77</small>

3.3. CHẾ TẠO MANG MONG Cu,0 NANO BẰNG PHƯƠNG PHAP CVD 80

<small>3.3.1 Các đặc trưng của tiền chất Cu(acac)a2...- 80</small>

3.3.2 Ché tạo mang mỏng CuzO nano bằng phương pháp CVD từđồng(II) axetylaxetonat... 84

3.3.2.1 Nghiên cứu thành phanmang ... 88

3.3.2.2 Nghiên cứu hình thái bề mặt mang mỏng ... 97

3.3.2.3. Nghiên cứu tính chất quang của màng ... 105

3.3.2.4. Ảnh hưởng của tác nhân phản ứng đến thành phần và

<small>tính chất của màng mỏng CuO nano ... 113</small>

KÊT LUẬN...-..c eee ee eee eee e as 119DANH MỤC CÁC CÔNG TRINH KHOA HỌC... 121

TÀI LIEU THAM KHẢO ...- 123

<small>VI</small>

</div><span class="text_page_counter">Trang 7</span><div class="page_container" data-page="7">

PHU LUC AGIAN ĐỒ XRD CuO DẠNG BỘT... 132

PHU LUC BGIAN ĐỒ XRD CUA MANG MỎNG... 136

PHU LUC CTÍNH TỐN THONG SỐ MẠNG Cu.0 CHO CÁC MÀNG

PHU LUC DPHƯƠNG TRÌNH HOI QUI XÁC ĐỊNH E, TỪ ĐỒ THỊ TAUC141

PHU LUC ECAU TẠO VÀ NGUYEN TAC CUA BỘ ĐO LƯU LƯỢNG KHÍ145

<small>vii</small>

</div><span class="text_page_counter">Trang 8</span><div class="page_container" data-page="8">

<small>Ký hiệu</small>

Ki HIEU, CHU VIET TAT

<small>Tiéng Anh</small>

<small>Atomic Absorption SpectroscopyAtomic Force Microscope</small>

<small>Chemical Bath DepositionCarbon Nano Fiber</small>

<small>Chemical Vapor DepositionElectro-Chemical Deposition</small>

<small>Energy Dispersive X-ray SpectroscopyAcetylacetone</small>

<small>High Resolution Transmission ElectronMicroscope</small>

<small>Sodium Lauryl Sulfate</small>

<small>Sai cacbon nano</small>

<small>Lắng đọng hơi hoá họcKết tủa điện hoá</small>

<small>Phổ tán sắc năng lượng tia X</small>

<small>Hiển vi điện tử truyền qua</small>

<small>độ phân giải cao</small>

<small>Natri Lauryl Sunfat</small>

<small>Nhiễu xạ tia X</small>

</div><span class="text_page_counter">Trang 9</span><div class="page_container" data-page="9">

DANH MỤC HÌNH VE VA DO THỊ

<small>Hình Tên hình Trang</small>

1.1 Ô cơ sở của mạng tinh thểCuO...

<small>1.2 Các bước trong phương phápCVD...</small>

1.3 Sơ đồ mô tả sự phát sinh của điện tử 2p; /2 trong phổ XPS_...

1.4. Cân bằng mức Fermi giữa mẫu và hệ đo XPS...

<small>1.5 Tương tác của electron vớimẫu </small>

...-1.6 Sơ đồ nguyên lý kính hiển vi lực nguyên tửAFM...

1.7 So đồ nguyên lý của hệ đo độ dày màng mỏng Alpha-StepIQ_...

<small>1.8 Sự hấp thụ photon của chất bán dẫn có năng lượng vùng cam E, .. . .</small>

1.9 Xác định năng lượng vùng cấm E„ bằng phương pháp đồ thị Tauc . . .

<small>1.10 Cấu trúc vùng năng lượng và sự kích thích huỳnh quang ...</small>

2.1 Thiết bi thăng hoa dưới áp

suấtthấp...-2.2_ Sơ đồ thiết bị chế tạo mang mỏng Cu20 nano trên dé thuỷ tỉnh...

<small>3.1 Giản đồ XRD của sản phẩm khi sử dụng chất bảo vệ PVA...</small>

<small>3.2. Giản đồ XRD của sản phẩm khi sử dụng chất bảo vệPEG...</small>

3.3 Giản đồ XRD của sản phẩm khi sử dụng chất bảo vệLA_...

3.4 Ảnh hưởng của lượng chất bảo vệ PVA (a), PEG (b) va LA (c) đến kích

<small>thước tinh thểCuạO...Ặ Ặ Ặ Ặ Q So.</small>3.5 Ảnh TEM và phân bố kích thước tinh thể của mẫu PVA7 (a), PEG10<small>(b),LAII(C)... ee</small>3.6 Sơ đồ mô tả sự hình thành sợi nano Cu20 (a), hạt nano dạng cầu CuaO<small>(b) và hat nano dạng lập phương CuạO(b)_...</small>

3.7 Giản đồ nhiễu xa tia X của CuaO ở các nồng độ kiềm khác nhau...

<small>1X</small>

</div><span class="text_page_counter">Trang 10</span><div class="page_container" data-page="10">

3.8 Ảnh hưởng của lượng kiềm đến kích thước tinh thể CuO... 2... 55

3.9 Giản đồ XRD của Cu20 ở các thời gian phản ứng khác nhau... . 56

<small>3.10 Sự phụ thuộc của kích thước tinh thể Cu2O vào thời gian phan ting .. 57</small>

3.11 Ảnh HR-TEM của mẫu PVA7... 58

3.12 Phổ hồng ngoại của CuạO nano...- 59

<small>3.13 Giản đồ phân tích nhiệt của PVA (a) vaCu2O nano (b)... 60</small>

<small>3.14 Giản đồ XRD Cu20 được chế tạo khi không sử dung chấtbảovệ ... 61</small>

3.15 Anh SEM của sợi cacbon với xúc tác là CuạO nano (a) va Cu¿O thô (b) 62

3.16 Ảnh SEM của sợi cacbon hình thành khi tốc độ thổi khí axetilen khác<small>nhau: 11 ml/phut (a), 22 ml/phút (b), 28 ml/phút (c), 35 ml/phút (d),40ml/phút(e) ...Ặ.Ặ Ặ QẶ Q Q Q ee ee 63</small>3.17 Ảnh SEM sợi cacbon khi thời gian phản ứng là :10 phút (a), 15 phút<small>(b), 30 phút (c), 60 phút (d), 90 phút(e)... 65</small>

3.18 Ảnh SEM phóng to của sợi cacbon khi thời gian phản ứng là 90 phút

với độ phóng đại là 150000 lần (a) và 90000 lầằn(b)_... 66

3.19 Ảnh SEM của sợi cacbon hình thành ở nhiệt độ 250°C (a) va 300°C (b) 67

3.20 Phổ tán sắc năng lượng tia X đối với mẫu sdicacbonnano ... 68

3.21 Ảnh SEM sợi cacbon chế tao ở 250°C với xúc tác CuO [110] ... 69

3.22 Sơ đồ polime hóa axetilen trên xúc tác CuO (ơ vng nhỏ đại diện<small>cho obital trống của nguyên tử Cu trong xúc tác CuạO)... 69</small>

3.23 Cơ chế phát triển sợi cacbon trên xúc tác CuạO nano... 70

3.24 Sự tạo thành các sợi cacbon dạng thang và dạng xoắn... 72

3.25 Phổ UV-Vis của PVA rắn và bột CuO nano... 73

<small>3.26 Sự phụ thuộc của độ chuyển hoá metyl da cam vào thời gian phan ứng. 75</small>3.27 Độ chuyển hoá của metyl da cam phụ thuộc thời gian và nguồn sáng<small>khi dùng xúc tác CuạO nano... 76</small>

<small>3.28 Độ chuyển hoá của metyl da cam trong thí nghiệm thử khả năng tái sửdụng của Cu¿aO nano... Ặ c Q Q Q s .. 78</small>

3.29 Giản đồ XRD của các mẫu xúc tác thu hồi sau mỗi lần tái sử dụng... 78

3.30 Phổ hap thụ hồng ngoại của Hacac (a) và phức chất Cu(acac);(b).... 81

</div><span class="text_page_counter">Trang 11</span><div class="page_container" data-page="11">

3.31 Giản đồ phân tích nhiệt của Cu(acac)s...- 823.32 Phổ khối lượng của phức chat Cu(acac)) ...- 833.33 Giản đồ XRD của màng mỏng được chế tạo ở 450°C khi khơng có tác

3.34 Giản đồ XRD của các màng CuaO thu được với tác nhân phản ứng hơi

3.35 Giản đồ XRD của các màng CuO thu được với tác nhân phan ứng hơi

3.36 Giản đồ XRD của các màng CuaO thu được với tác nhân phan ứng hơi

<small>nước - hidropeoXI... . . Q Q Q Q Ho 90</small>

3.37 Phổ XPS của các màng CuaO chế tao từ Cu(acac)2 với tác nhân phản

<small>ứng hơi rượu -nưÓcC ... ee 92</small>

3.38 Pic Cu(2p3/2) phổ XPS của các màng Cu2O chế tao từ Cu(acac)2 với

<small>tác nhân phản ứng hơi rượu -nước...- 92</small>

3.39 Phổ XPS của các màng CuaO chế tao từ Cu(acac)s với tác nhân phản

3.40 Pic Cu(2p3 /2) phổ XPS của các mang Cu2O chế tạo từ Cu(acac) với

<small>tác nhân phản ứng hơinước ... 93</small>

3.41 Phổ XPS của các màng Cu›O chế tạo từ Cu(acac)a với tác nhân phan

<small>ứng hơi nước - hidropeoXxI...Ặ 94</small>

<small>3.42 Pic Cu(2p3/2) phổ XPS của các mang CuaO chế tao từ Cu(acac)2 với</small>

<small>tác nhân phản ứng hơi nước - hidropeoxIt... 94</small>

3.43 Ảnh SEM bề mặt màng Cu2O được chế tao ở 240°C (a), 260°C (b),

<small>280°C (c) va 300°C (d) với tac nhân phan ứng hơi rượu - nước... 97</small>

3.44 Anh SEM bé mặt mang Cu2O được chế tao ở 240°C (a), 260°C (b),

<small>280°C (c) va 300°C (d) với tac nhân phản ứng hơinước ... 98</small>

3.45 Anh SEM bé mặt mang Cu¿O được chế tao ở 240°C (a), 260°C (b),

<small>280°C (c) va 300°C (d) với tac nhân phan ứng hơi nước - hidropeoxit . 98</small>

<small>Xi</small>

</div><span class="text_page_counter">Trang 12</span><div class="page_container" data-page="12">

3.46 Xác định độ dày và hình thái bề mặt mang Cu;O được chế tao ở

<small>240°C (a), 260°C (b), 280°C (c) và 300°C (d) với tác nhân phản ứng</small>

<small>hơi rượu - nước... . LH Q2</small>

3.47 Xác định độ dày và hình thái bề mặt mang Cu;O được chế tao ở

<small>240°C (a), 260°C (b), 280°C (c) và 300°C (d) với tác nhân phản ứng</small>

<small>hoinu6c 2... . Q Q Q Q Q Q xa</small>

<small>3.48 Xác định độ dày và hình thái bề mặt mang CuO được chế tao ở</small>

<small>240°C (a), 260°C (b) và 280°C (c) với tác nhân phản ứng hơi nước</small>

<small>-hldrOPpeOXI... Q Q Q Q ee ee</small>3.49 Anh AFM bề mặt mang CuO được chế tao ở 260°C (ảnh trên) va

<small>280°C (ảnh dưới) với tác nhân phản ứng hơi nước - hidropeoxit</small>

3.50 Phổ truyền qua của các màng được chế tạo ở nhiệt độ 240 - 300°C với

<small>tác nhân phản ứng hơi rượu - nước...</small>

3.51 Phổ truyền qua của các màng được chế tạo ở nhiệt độ 240 - 300°C với

<small>tác nhân phản ứng hơinước ...</small>

3.52 Phổ truyền qua của các màng được chế tạo ở nhiệt độ 240 - 300°C với

<small>tác nhân hơi phản ứng nước - hidropeoxIt...</small>

3.53 Giản đồ Tauc của các màng CuzO chế tao từ Cu(acac)2 với tác nhân

<small>phan ứng hơi rượu -nước ...</small>

<small>3.54 Giản đồ Tauc của các màng CuaO chế tao từ Cu(acac); với tác nhân</small>

<small>phản ứng hơinước...ẶẶ.</small>

3.55 Giản đồ Tauc của các màng Cu2O chế tạo từ Cu(acac); với tác nhân

<small>phản ứng hơi nước - </small>

hidropeoxI...3.56 Phổ PL của các màng CuO chế tạo với tác nhân phản ứng hơi rượu

<small>-HƯỚC... . . Q Q Q Q Q HH HQ ng gà kg và va</small>

3.57 Phổ PL của các màng CuaO chế tạo với tác nhân phan ứng hơi nước. .3.58 Phổ PL của các mang CuO chế tạo với tác nhân phản ứng hơi nước -

<small>hidropeOXIC... Ặ CS Q HQ v2</small>

<small>3.59 Sự thay đổi của E, theo nhiệt độ tạo màng của các màng CuaO được</small>

chế tạo với tác nhân phan ứng hơi rượu nước...

<small>-XI</small>

</div><span class="text_page_counter">Trang 13</span><div class="page_container" data-page="13">

<small>3.60 Sự thay đổi của E, theo nhiệt độ tạo màng của các mang CuO được</small>

chế tạo với tác nhân phản ứng hơinước ...

<small>-3.61 Su thay đổi của E, theo nhiệt độ tạo mang của các màng CuaO được</small>

chế tạo với tác nhân phản ứng hơi nước - hidropeoxit... .

<small>3.62 Mô hình thí nghiệm của tác giả </small>

[64]...-A.1 Giản đồ XRD của các CuzO nano dạng khi sử dụng chất bảo vệ PVAA.2 Giản đồ XRD của các CuzO nano dạng khi sử dung chất bảo vệ PEG

A.3 Giản đồ XRD của các CuzO nano dạng khi sử dụng chất bảo véLA . .

B.1 Giản đồ XRD của các màng CuzO chế tạo từ Cu(acac)s với tác nhân

<small>phan ứng hơi rượu -nước ...</small>

<small>B.2 Giản đồ XRD của các mang CuO chế tạo từ Cu(acac)2 với tác nhân</small>

<small>phan ứng hơinước ...Ặ.Ặ.ẶẶẶẶẶ ee</small>

B.3 Giản đồ XRD của các mang CuO chế tạo từ Cu(acac)s với tác nhân

<small>phan ứng hơi nước - </small>

hidropeoxI...-E.1 Sơ đồ cấu tạo bộ đo lưu lượng khí (a) và bộ chuẩn thang đo tốc độ

<small>xii</small>

</div><span class="text_page_counter">Trang 14</span><div class="page_container" data-page="14">

DANH MỤC BANG

<small>Bảng Tên bảng Trang</small>

<small>1.1 Các phương pháp CVD thông dung ...</small>

3.1 Ảnh hưởng của lượng PVA và hidrazin đến thành phần pha và kích

thước tinh thể đồng(]) oxitnano...

3.2 Ảnh hưởng của lượng PEG và hidrazin đến thành phần pha và kích

thước tinh thể đồng(]) oxitnano...

3.3. Ảnh hưởng của lượng LA và hidrazin đến thành phan pha và kích thước

3.7. Khối lượng của sản phẩm thu được ở các nhiệt độ phan ứng khác nhau3.8 Kết quả định tinh và định lượng nguyên t6 trong mẫu sợi cacbon...

3.9 Ảnh hưởng của xúc tác và thời gian đến độ hấp thụ quang và độ chuyển

<small>hoá của metyldacam... eee ee ee</small>

3.10 Ảnh hưởng của nguôn sáng và thời gian đến độ hấp thụ quang va độ

<small>chuyển hoá của metyl da cam khi dùng xúc tác CuO nano...</small>

<small>3.11 Kha năng tái sử dụng của CuO nano làm xúc tác trong phản ứng làm</small>

mất màu metyl

<small>dacam...-3.12 Kết quả thăng hoa của phức chất </small>

<small>Cu(acac)a...-XIV</small>

</div><span class="text_page_counter">Trang 15</span><div class="page_container" data-page="15">

3.13 Thành phan pha và kích thước tinh thể của các màng CuzO thu được

<small>với tác nhân phản ứng hơi rượu - nước... 88</small>

3.14 Thành phan pha và kích thước tinh thể của các màng CuzO thu được

<small>với tác nhân phản ứng hơinước ... 89</small>

3.15 Thành phan pha và kích thước tinh thể của các màng Cu;O thu được

<small>với tác nhân phan ứng hơi nước - hidropeoxI... 90</small>

3.16 Kết quả phân tích thành phần nguyên tố bằng phương pháp XPS các

<small>màng chế tạo từ Cu(acac); với tác nhân phan ứng hơi rượu -nước ... 95</small>

3.17 Kết quả phân tích thành phần nguyên tố bằng phương pháp XPS các

màng chế tạo từ Cu(acac); với tác nhân phản ứng hơi nước... 95

3.18 Kết quả phân tích thành phần nguyên tố bằng phương pháp XPS các

màng chế tạo từ Cu(acac); với tác nhân phan ứng hơi nước - hidropeoxit 953.19 Độ rộng vùng cắm E„ (eV) của các màng mỏng theo nhiệt độ tạo màng

<small>và tác nhân phản ứng khác nhau ...- 109</small>

3.20 Dinh phát xa phổ PL và độ rộng vùng cấm của màng mỏng CuaO chế

<small>tạo với tác nhân phan ứng hơinước ... 112</small>

3.21 Dinh phát xạ phổ PL va độ rộng vùng cắm của màng mỏng Cu2O chế

<small>tạo với tác nhân phan ứng hơi nước - hidropeoxIt... 1123.22 Kích thước hat và độ dày mang Cu¿O ở các nhiệt độ tạo màng và tác</small>

<small>nhân phản ứng khácnhau ... 114</small>

<small>3.23 Sự thay đổi độ rộng vùng cấm E, (eV) của các màng mỏng theo nhiệt</small>

<small>độ tạo mang và tác nhân phản ứng khác nhau ... 115C.1 Thông số mang 6 đơn vị của CuaO tính từ giản đồ XRD của các mang mỏng 140</small>

D.1 Hệ số hồi qui va giá trị E, của các màng mỏng CuạO tính từ đồ thị Tauc 141

<small>D.2 Tập số liệu sử dụng để tìm phương trình hồi qui tuyến tính cho vùng đoạn</small>

<small>thẳng trên đồ thị Tauc xác định E„ cho các mẫu màng mỏng CuO được chế</small>

<small>tạo ở các nhiệt độ khác nhau với tác nhân hơi rượu -nước... 142</small>

<small>XV</small>

</div><span class="text_page_counter">Trang 16</span><div class="page_container" data-page="16">

<small>D.3 Tập số liệu sử dụng để tìm phương trình hồi qui tuyến tính cho vùng đoạn</small>

<small>thang trên đồ thị Tauc xác định E, cho các mẫu màng mỏng CuO được chế</small>

<small>tạo ở các nhiệt độ khác nhau với tác nhân hơinước ...</small>

<small>D.4 Tập số liệu sử dụng để tìm phương trình hồi qui tuyến tính cho vùng đoạn</small>

<small>thang trên đồ thị Tauc xác định E, cho các mẫu mang mỏng CuaO được chế</small>

<small>tạo 6 các nhiệt độ khác nhau với tác nhân hơi nước - hidropeoxit ...</small>

<small>XVI</small>

</div><span class="text_page_counter">Trang 17</span><div class="page_container" data-page="17">

Hiện tại, cả thế giới đều cho rằng cuộc cách mạng mới là công nghệ nano.

Những thập niên gần đây, các nhà khoa học đã chế tạo được các vật liệu với kíchthước nanomet có tính chất khác thường so với vật liệu khối cùng loại. Hiệu ứng kíchthước của vật liệu nano dẫn đến sự thay đổi của nhiệt độ nóng chảy, từ tính, tính chất

quang hoc, màu sắc, tính dẫn điện và dẫn nhiệt, ... Hiện nay, các loại vật liệu mới

này đang được ứng dụng để tạo ra các loại máy móc, thiết bị và sản phẩm có những

<small>tính năng đặc biệt.</small>

Đồng() oxit (CuO) nano ở dạng bột cũng như ở dạng màng mỏng là một trong

</div><span class="text_page_counter">Trang 18</span><div class="page_container" data-page="18">

những vật liệu nano với những tính chất đặc biệt. Các cơng trình nghiên cứu tổng hợp,chế tạo và ứng dụng của CuaO nano đã và dang thu hút sự chú ý của nhiều nhà khoahọc. CuaO nano có nhiều ứng dung trong thực tiễn như làm bộ cảm biến áp suất oxi,

chất bán dẫn loại p cho pin mặt trời, nguyên liệu trong công nghiệp dược phẩm và cácthiết bị y tế, ... CuaO có tính chất quang học tốt ở nhiệt độ tương đối thấp do có khanăng hấp thụ các exciton và trao đổi với các photon khác nhau. CuO nano có diệntích bề mặt lớn nên có khả năng làm xúc tác cho các quá trình tổng hợp hữu cơ truyềnthống và hiện đại. Do vậy, déng(1) oxit nano là vật liệu đầy triển vọng trong lĩnh vực

<small>xúc tác, điện - điện tử, quang học, ...</small>

Tuy nhiên, trên thế giới số cơng trình nghiên cứu về CuO nano khơng nhiều. TạiViệt Nam mới chỉ có một số cơng trình nghiên cứu về đồng(I) oxit nano do nhóm

<small>nghiên cứu của chúng tơi tại Bộ mơn Hóa vơ cơ - Trường Đại học Khoa học Tự nhiên</small>

- Đại học Quốc gia Hà Nội thực hiện [2, 3].

Với mục đích nghiên cứu một cách có hệ thống việc tổng hợp, khảo sát tính chấtvà ứng dụng của déng(1) oxit nano dạng bột cũng như dạng màng mỏng, chúng tôi

<small>chọn đề tài:</small>

“Tổng hợp, nghiên cứu tính chất và khả năng ứng dụng của CuO

kích thước nanomet”

Để đạt được mục đích này, Luận án gồm những nội dung chính sau:

1. Tổng hợp và khảo sát khả năng ứng dụng của d6ng(I) oxit nano dạng bột:

<small>« Tìm điều kiện tối ưu và hồn thiện qui trình tổng hợp Cu2O nano dạng bột</small>

bằng phương pháp khử muối đồng(I) trong dung dich.

</div><span class="text_page_counter">Trang 19</span><div class="page_container" data-page="19">

<small>¢ Khao sát kha năng xúc tac của CuzO dạng bột trong các phan ứng: polime</small>

hóa axetilen để chế tạo sợi cacbon và làm mat màu metyl da cam.

2. Chế tao màng mỏng đồng(1) oxit nano trên dé thủy tinh bằng phương pháp CVDtừ tiền chất đồng) axetylaxetonat:

<small>« Tổng hợp và nghiên cứu khả năng thăng hoa của đồng(II) axetylaxetonat.</small>

« Chế tạo màng mỏng CuzO nano từ déng(II) axetylaxetonat trong các điều

<small>kiện khác nhau.</small>

» Nghiên cứu tính chất màng mỏng bang các phương pháp vật lí va hóa lí.

Chúng tơi hy vọng rằng nghiên cứu này sẽ đóng góp vào việc đưa các nghiên cứu

<small>cơ bản vào ứng dụng thực tiễn, đặc biệt là phát triển một hướng nghiên cứu mới ở Việt</small>

Nam là chế tạo các màng mỏng bằng kỹ thuật lắng đọng hơi hóa học.

</div><span class="text_page_counter">Trang 20</span><div class="page_container" data-page="20">

CHUONG 1

TONG QUAN TAI LIEU

1.1 CẤU TRÚC VA TÍNH CHAT CUA ĐỒNG() OXIT

Đồng(1) oxit là một trong hai dạng oxit của đồng, có màu đỏ với cơng thức hố họclà CuaO. CuO rat bền với nhiệt (nóng chảy ở 1240°C), khơng tan trong nước nhưngtan chậm trong kiểm đặc hoặc NH3 đặc, tan tốt trong dung dịch axit. Trong khơng khíẩm, CuaO dé bị oxi hố tạo thành déng(II) oxit (CuO).

© a”

CuaO có cấu trúc tinh thé kiểu lập phương với hằng số mang a = 4.27 A và nhóm

<small>đối xứng khơng gian Pn3m. Mang tinh thể của CuO được tạo thành bởi hai phân</small>

<small>mạng: phân mạng Cu kiểu lập phương tâm mặt và phân mạng O kiểu lập phương tâm</small>

<small>khối (Hình 1.1). Mỗi ô cơ sở chứa 4 nguyên tử Cu và 2 nguyên tử O, trong đó, nguyên</small>

<small>4</small>

</div><span class="text_page_counter">Trang 21</span><div class="page_container" data-page="21">

tử đồng có số phối trí bằng 2, cịn ngun tử oxi có số phối trí bằng 4 [79].

CuaO là chất bán dẫn loại p, khi ở dạng khối nó có năng lượng vùng cắm E, = 2.14

eV (hấp thu photon có bước sóng A = 580 nm) [80]. Ở cấp độ nanomet, khi kích thước

hạt giảm thì năng lượng vùng cấm tăng lên (hiệu ứng kích thước - size effect) [83].

<small>Do vậy, Cu2O nano có thể hap thụ photon vùng khả kiến có bước sóng A < 580 nm.Tính chat này làm cho CuaO nổi trội hơn một số oxit khác trong các q trình quang</small>

<small>hố. Ví dụ, TiO anatase có Ey = 3.2 eV, cịn ZnO có E, = 3.4 eV nên chúng chỉ bị</small>

<small>kích thích bởi bức xạ tử ngoại.</small>

1.2 CÁC PHƯƠNG PHÁP TONG HỢP Cu;O NANO DANG

Cu2O nano dạng bột được tổng hợp bằng nhiều phương pháp khác nhau, nhưng phổ

biến nhất là phương pháp kết tủa trong dung môi lỏng.

1.2.1 Phương pháp khử trong dung dịch

CuaO có kích cỡ 2-18 nm được điều chế bằng cách thêm từ từ dung dịch

<small>t-BuOH trong tetrahidrofuran (THF) vào dung dịch hỗn hợp CuAa (A=Cl, CH3COO,</small>

(CHzCOO);CH) và NaH trong THF ở 63°C [11]. Đầu tiên muối Cu? bị khử bằng

ion H~ hoạt hoá để tao ra đồng kim loại.

<small>4NaH + 2t-BuOH ——> 2(NaH, t-BuONa) + 2H;</small>

<small>2(NaH, t-BuONa) + CuAy — Cu + 2NaA + 2t-BuONa + Hạ</small>

Sau đó, đồng kim loại được oxi hố thành Cu2O bang cách sục dịng khí hỗn hợp

<small>Oo - No:</small>

2Cu +402 —> CuaO

</div><span class="text_page_counter">Trang 22</span><div class="page_container" data-page="22">

Sản phẩm cuối cùng Cu20 tạo thành được phân tán trong dung môi hữu cơ.

Tác giả [6] cũng đã điều chế bột CuzO/Cu có kích cỡ từ 4-8 nm bằng cách cho

dung dịch CuCl, tác dụng với các phối tử hữu cơ như axit lauric, dodecanthiol, hoặc

<small>tridecylamine trong toluen và chất khử NaBH¡.</small>

<small>CuO nano dang sợi có đường kính khoảng 8 nm và chiều dài khoảng 10-20 nm thu</small>

được bằng cách khử Cu?* bằng hidrazin khi có mặt chất hoạt động bề mặt

<small>polyetileng-lycol trong mơi trường kiềm [97].</small>

Cu2O nano cũng được tạo ra bằng cách khử Cu”* trong dung dịch nhưng khôngdùng chất hoạt động bề mặt mà bang phản ứng của phức đồng(II) xitrat với NyH4.H»O

trong mơi trường kiểm ở nhiệt độ phịng [23].

<small>Các hat CuO nano với kích thước 5-6 nm đã được tác giả [56] tong hợp thành</small>

<small>công khi cho Cu(CHzCOO);.HaO tác dụng với axetamit trong dung mơi etilen glycol</small>

<small>có sử dung sóng siêu âm. Hạt CuO nano thu được có hình dang bông hoa.</small>

<small>Khi tổng hợp trong dung dịch axit yếu thì các tinh thể CuạO nano thu được có</small>

<small>những hình dạng khác nhau như: hình lập phương [21, 41, 50], hình bát diện [43], hình</small>

bát điện khuyết mặt (100) ((100) truncated octahedra) [109], hình thoi 12 mặt bic dodecahedra) [51, 105], hình bát diện khuyết mặt (110) ((110) truncated octahe-

<small>(rhom-dra) [51], các đa diện 26 mặt (26-facet polyhe(rhom-dra) [1 12], các khung nano (nanocages)</small>

<small>[54, 87],... Tùy vào điều kiện tổng hợp sẽ thu được các hat CuO nano có hình tháikhác nhau. Vi dụ, các khung nano CuaO hình thoi 12 cạnh khuyết mặt (100) đượcchuyển hóa thành các khung nano với dang elip trên mặt (110) trong dung dich HCI</small>

</div><span class="text_page_counter">Trang 23</span><div class="page_container" data-page="23">

trong môi trường kiềm và chất khử hidrazin. Các hạt CuaO/SnO có hoạt tính xúc tácquang hóa phân hủy trifluralin rất tốt.

Tác giả [88] đã pha tap Ag vào Cu¿O, nhờ đó làm giảm đáng kể điện trở suất của

<small>CuaO và làm giảm độ rộng vùng cấm của CuaO. Các tác giả [12, 30, 85] đã làm tăng</small>

đáng kể từ tính của CuO mà khơng làm giảm độ dẫn điện của nó bằng cách pha tạp

<small>Ni, Co và Mn vào Cu20.</small>

Các tác giả [99] lại tổng hợp được các hạt CuaO/ZnO bằng cách phân tán ZnO

trong dung dịch CuSO4.5H20, sau đó siêu âm để thu được hỗn hợp đồng nhất. Hỗn

hợp nay được khử bằng N›Hx.H›O để thu được nanocompozit CuaO/ZnO.

1.2.2 Phương pháp đồng kết tủa

Các tác giả [38] đã tổng hợp được các hạt nano Fe/Cu;O bang cách khử hỗn hợpCuSO, và Fe(NO3)3 bằng hidrazin trong mơi trường kiềm. Kết quả cho thấy CuO có

độ rộng vùng cắm 2.1 eV. Khi thêm 1% Fe vào Cu20 thì độ rộng vùng cắm của mẫu

<small>thu được là 1.87 eV, cịn thêm 2% Fe thì mẫu thu được có độ rộng vùng cắm là 1.65eV. Như vậy có sự giảm độ rộng vùng cắm của các mẫu thu được so với CuaO tinh</small>

khiết. Từ tinh của CuO cũng thay đổi khi thêm Fe. Ở 300°C mẫu 1% Fe/Cu;O và 2%

Fe/Cu20 là thuận từ, trong khi đó Cu20 tinh khiết có tính nghịch từ.

1.2.3 Phương pháp sử dụng bức xa và sóng siêu 4m

Bằng phương pháp chiếu tia y vào dung dịch CuSO¿x có chứa C¡aH›;sNaSOa,

<small>(CH3)2CHOH và đệm axetat, các tác giả [45, 77, 104] đã tổng hợp được CuO có</small>

kích cỡ thay đổi từ 14-50 nm tuỳ thuộc vào thành phần dung dịch đầu và liều lượng

<small>tia 2.</small>

CuaO nano hình cầu với kích thước 10-20 nm cũng được tạo thành bằng cách chiều

<small>tia viba vào dung dịch hỗn hợp của CuSO4, NaBH, và etilenglycol [44].</small>

</div><span class="text_page_counter">Trang 24</span><div class="page_container" data-page="24">

1.3 CÁC PHƯƠNG PHÁP CHẾ TẠO MANG MONG CuzO

Màng CuO được chế tạo theo một số các phương pháp khác nhau như kết tủa điện

hóa, phún xa, lắng đọng hơi học, nhúng, ...

1.3.1 Phương pháp lắng đọng hơi hoá học (CVD)

Phương pháp lắng đọng hơi hoá học được sử dụng rộng rãi để chế tạo màng

mỏng có chất lượng cao với thành phần hoá học xác định và đồng nhất về cấu trúc.Trong phương pháp này, các phân tử tiền chất được hố hơi, sau đó một hay nhiều

loại phân tử tiền chất (sẽ được trộn lẫn) bị cuốn tới đế bởi dịng khí mang. Tại đó,

năng lượng dưới dạng nhiệt được cung cấp để bắt đầu phản ứng hoá học phân hủy tiền

chất tạo thành các màng oxit kim loại hoặc các hợp chất mong muốn trên bề mặt đề.

<small>Phương pháp CVD bao gồm các bước sau đây:</small>

» Hoá hơi và vận chuyển các phân tử tiền chất vào lị phản ứng bằng khí mang.

</div><span class="text_page_counter">Trang 25</span><div class="page_container" data-page="25">

* Các phản ứng hố học ở pha khí dẫn tới sự hình thành các hợp chất trung gianmới và các sản phẩm phụ (ví dụ, phản ứng của hơi tiền chất với hơi tác nhânphản ứng dé tạo thành hợp chất trung gian kém bền).

<small>« Sự vận chuyển sản phẩm phản ứng ở pha khí đi qua lớp biên tới bề mặt của dé.</small>

» Sự phân huỷ các phân tử tiền chất trên bề mặt dé và sự hợp nhất của sản phẩm

<small>phân huỷ tạo thành màng mỏng.</small>

* Loại bỏ các sản phẩm phụ ở pha khí khỏi lị phản ứng thông qua hệ thống xả.

Ưu điểm của phương pháp lắng đọng hơi hoá học là tạo ra các màng bám dính

chặt, đồng nhất và có độ lặp lại cao. Để thu được màng mong muốn, đôi khi cần nhiệt

độ rất cao để cung cấp cho phản ứng phân huỷ. Một điểm hạn chế khác là để lắng

<small>đọng vật liệu có thành phần phức tạp như mong muốn là khơng dễ bởi vì các tiền chấtkhác nhau có tốc độ hố hơi khác nhau.</small>

Phương pháp CVD có thể được sử dụng để tạo ra nhiều lớp phủ kim loại và không

<small>kim loại, các cacbua, các silicat, các mtrua và các oxit. Phương pháp CVD được dùng</small>

rộng rãi trong việc phủ các lớp chống mài mòn, chống ăn mòn và bảo vệ ở nhiệt độcao, để chế tạo các chất bán dẫn, các cảm biến, các linh kiện quang điện tử và chất

<small>xúc tác.</small>

<small>Phương pháp CVD thường sử dụng năng lượng nhiệt để hoạt hoá các phản ứng</small>

hoá học. Tuy nhiên, các phản ứng hố học cũng có thể được khơi mào bằng việc sửdụng các kiểu năng lượng khác. Một số dạng khác của phương pháp CVD cũng được

<small>sử dụng rộng rãi. Bảng 1.1 là một số phương pháp CVD thường được sử dụng.</small>

Phương pháp lắng đọng hơi hoá học đã được ứng dụng để chế tạo màng mỏng

CuO với các hạt Cu;O có kích thước rất khác nhau và rất bền [64-67]. Tính chấtquang, điện, cấu trúc của mang mỏng CuO phụ thuộc vào kích cỡ hạt. Phương pháp

</div><span class="text_page_counter">Trang 26</span><div class="page_container" data-page="26">

Sử dụng các đèn cấp nhiệt hoặc các phương pháp

<small>khác để gia nhiệt nhanh giúp giảm các phản ứng</small>

<small>khơng mong muốn ở pha khí</small>

Dùng năng lượng laser để phân hủy tiền chất trênđể

Dùng các tiền chất là hợp chất cơ kim

Lắng đọng các lớp chất khác nhau một cách liên

<small>tục để tạo ra các màng tinh thể phân lớp</small>

tổng hợp này thường được ứng dụng để tạo lớp Cu2O có kích cỡ nano bền và có tínhchất quang, điện rất tốt.

Đồng(II) axetylaxetonat thường được chọn làm tiền chất để điều chế màng mỏngCu2O nano theo phương pháp CVD vì nó có áp suất hơi và nhiệt độ phân huỷ thíchhợp. Theo phương pháp này, đầu tiên đồng(II) axetylaxetonat được thăng hoa trong

<small>dịng khí mang. Dịng hơi này được đi qua lị đốt có nhiệt độ cao hơn nhiệt độ phân</small>

huỷ đồng(II) axetylaxetonat [64-67]. Nhiệt độ lò đốt, áp suất dịng hơi, và thành phankhí mang quyết định thành phần và kích thước sản phẩm. Cụ thể, ở nhiệt độ 431°C chỉ

<small>10</small>

</div><span class="text_page_counter">Trang 27</span><div class="page_container" data-page="27">

tạo thành Cu kim loại, ở nhiệt độ 705°C thì Cu kim loại được tạo thành nếu áp suấthơi lớn hơn 10 Pa và CuaO được tạo thành nếu áp suất dưới 1 Pa, cịn khi áp suất trong

<small>khoảng 1-10 Pa thì sẽ thu được hỗn hợp Cu và CuO. Ham lượng của oxi trong khí</small>

mang cũng ảnh hưởng lớn đến q trình phân huỷ. Khi tăng hàm lượng oxy và nhiệt

<small>độ sẽ làm q trình oxi hố phức tạp hơn và hàm lượng CuO và CuaO tang [67].</small>

<small>Khi có mặt hơi nước trong dịng khí mang làm tang hàm lượng Cu2O và trong</small>

<small>thành phần của sản phẩm khơng có CuO.</small>

Ngồi tiền chất là đồng(II) axetylaxetonat, các tác giả [8, 13, 35] còn sử dụngđồng(I) hexafloaxetylaxetonat (Cu(hfac)z) để chế tạo màng mỏng Cu¿O trên mang

ZnO bằng phương pháp CVD. Trước tiên, Cu(hfac)s được xử lí nhiệt ở 65°C. Sau đó

hơi Cu(hfac); được chuyển tới buồng phân hủy bằng dịng khí Ar. Cả hơi nước và khí

<small>oxi được sử dụng như là chất oxi hóa. Nhiệt độ và áp suất của buồng phân hủy thay</small>

đổi trong khoảng 250-400°C và 0.6-2.1 Torr. Sự có mặt của hơi nước là rất quan trọngđể tăng tốc độ phân hủy. Khi nhiệt độ dưới 250°C thì quá trình phân hủy cũng không

xảy ra. Tốc độ lắng đọng tăng từ 4.6 đến 14.3 nm/phút tương ứng với nhiệt độ 300,

350 và 400°C khi áp suất là 2.1 Torr. Mối liên hệ về cấu trúc giữa màng CuzO và

<small>màng ZnO là (220)CuaO/(0002)ZnO; (001)CuaO/(1210)ZnO</small>

1.3.2 Phương pháp kết tủa điện hoá (ECD)

Màng mỏng CuO định hướng mặt (111) đã được chế tạo bằng phương pháp ECD

trên đế Au/Si (111) trong dung dịch đồng(II) axetat và axit lactic [32, 70, 89]. Mangthu được có độ rộng vùng cắm khoảng 2.0 eV và giá trị này không thay đổi theo nhiệt

<small>độ phản ứng, nhưng khả năng phát quang và tính chất điện của màng lại phụ thuộcvào sự thay đổi nhiệt độ phản ứng.</small>

Cũng điều chế màng Cu;O bằng phương pháp ECD trên dé thủy tinh FTO

(F-doping Tin Oxide), nhưng tác giả [103] lại sử dụng thêm chất hoạt động bề mặt là

<small>11</small>

</div><span class="text_page_counter">Trang 28</span><div class="page_container" data-page="28">

muối natri poly(styren sunfonic axit) (PSS) để điều khiển hình thái của các hạt Cu›O.

Mang hỗn hợp CuzO/TiO; đã được chế tao bằng phương pháp ECD [47, 58, 108].

Khi sử dụng dung dich CuSO¿ với sự có mặt của axit lactic. Mang này có cấu trúc p-nvà được ứng dụng chế tạo pin mặt trời với hiệu suất chuyển hoá 1%.

<small>Các tác giả [25, 86, 94] cũng sử dụng phương pháp kết tủa điện hoá để chế tạo cácmàng n-CuzO/WOa và p-CuaO/WOa, trong đó kích thước của các tinh thể n-CuzO và</small>

p-CuaO tương ứng là 56 nm và 37 nm. Trước hết, màng WO3/dé Ti được chế tao bằng

cách kết tủa điện hóa trong dung dịch chứa NaaWO¿, HạO¿ và HNO3. Sau đó, màng

n-CuzO/WOz được chế tao bằng cách điện phân dung dịch đồng(II) axetat và natriaxetat trong môi trường axit; mang p-CuazO/WOa được chế tạo bằng cách điện phân

<small>dung dịch chứa CuSO¿ và axit lactic trong mơi trường kiểm.</small>

Màng Cu;O/ZnO chứa các que kích thước nano được chế tao bằng phương pháp

<small>ECD để làm lớp bán dẫn cho pin mặt trời với hiệu suất chuyển hóa dat 0.56% [17, 33,</small>

34]. Trước hết, ZnO được phủ trên dé ITO (Indium Tin Oxide, 90% InzOa và 10%

SnO;) bằng phương pháp phún xạ với bia ZnO. Tiếp theo, lớp Cu2O được phủ lênbằng cách điện phân trong dung dịch hỗn hợp CuSOa, axit oxalic và NaOH.

<small>1.3.3 Phương pháp phún xạ</small>

Bằng phương pháp phún xa, các tác giả [31, 48] đã chế tạo được màng CuzO pha

<small>tạp N sử dung bia CuO trong hỗn hợp khí Ar và Na. Việc thêm N có thể loại trừ được</small>

<small>q trình tạo thành pha CuO trên màng CuaO. Màng định hướng theo mặt (100) ở</small>

nhiệt độ thấp và định hướng theo mặt (111) khi nhiệt độ đạt 500°C. Qui tắc cắm về

<small>sự chuyển vùng cấm không được thể hiện đối với màng Cu2O pha tạp N có thể do sựchiếm giữ các electron 2p của N ở đỉnh vùng hóa trị. Độ rộng vùng cắm của các màng</small>

<small>đo được là 2.52+0.03 eV.</small>

<small>12</small>

</div><span class="text_page_counter">Trang 29</span><div class="page_container" data-page="29">

1⁄4 ỨNG DUNG CUA Cu,0 NANO

<small>Déng(I) oxit là chất bán dẫn loại p với năng lượng vùng cắm khá thấp nên nó là vật</small>

liệu đầy hứa hẹn cho q trình chuyển hố năng lượng mặt trời thành năng lượng điệnva năng lượng hố học. Cu2O có hệ số hap thụ quang cao và tính chất quang điện tốtnên được sử dụng trong các thiết bị quang điện với chi phí năng lượng thấp. Sau đâylà một số ứng dụng của CuzO nano.

1.4.1 Xúc tác oxi hoá - khử

Do có số oxi hố trung gian (+1) nên CuzO có hoạt tính xúc tác oxi hố - khử. Vidu, Cu›O làm xúc tác cho phan ứng phân huỷ nước thành Os và Ha dưới điều kiện củabức xạ hồng ngoại, ở nhiệt độ phịng khi có mặt WO3 [15, 26, 28]. Kết quả cho thaykhi được chiếu sáng bởi ánh sáng khả kiến thi CuạO thể hiện hoạt tính xúc tác quanghóa trong phản ứng phân hủy nước thành H; và O; khi có mặt n-WOa mạnh hơn nhiềuso với khả năng xúc tác khi chỉ có Cu2O. Mặt khác, trong hỗn hợp CuzO-WO2a, nếu

<small>Cu2O định hướng mặt (1 11) thì lượng khí Ha thốt ra nhiều hơn so với hỗn hợp chứa</small>

<small>Cu¿O định hướng mặt (110).</small>

CuaO cịn có khả năng xúc tác cho phản ứng oxi hóa muối thiosunfat, góp phangiải quyết ảnh hưởng bắt lợi của các muối thiosunfat trong quá trình tuyển nổi (cácmuối này sẽ làm cho dung dịch có tính axit, trong khi u cầu đối với các dung dịch

<small>tuyển nổi là có tính kiềm hoặc trung tính) [78].</small>

<small>Ngồi ra, CuaO/C làm xúc tác cho phản ứng phân huỷ metanol thành Hz và CO</small>

<small>[100]; CuaO làm xúc tác cho các phan ứng chuyển hoá CO thành CO2, NO, thành N›</small>

và Op. Đây là các phản ứng hết sức có ý nghĩa đối với xử lí khí thải [75]. Ngun nhânlàm cho Cu¿O nano có hoạt tính xúc tác tốt hơn so với Cu2O khối là do diện tích bềmặt của nó lớn. Khi giảm kích thước hạt thì tỉ lệ các nguyên tử ở trên bề mặt tăng lên,

<small>13</small>

</div><span class="text_page_counter">Trang 30</span><div class="page_container" data-page="30">

cụ thể là vật liệu với kích thước hạt 30 nm có 5% nguyên tử ở trên bề mặt; hạt 10 nmcó 20% nguyên tử ở trên bề mặt; còn hạt 3 nm có tới 50% nguyên tử ở trên bề mặt[72]. Do vậy các hạt nano kích thước nhỏ sẽ có diện tích bề mặt rất lớn. Vì các phản

<small>ứng xúc tác dị thể diễn ra trên bề mặt, nên khi sử dụng xúc tác nano thì phản ứng sẽxảy ra nhanh hơn so với xúc tác là vật liệu khối cùng loại.</small>

<small>1.4.2 Xúc tác quang hoá</small>

<small>Với độ rộng vùng cấm nhỏ nên Cu2O dé dang bị kích thích bởi ánh sáng trongvùng khả kiến. Mặt khác, CuO ít độc tính và có giá thành rẻ nên nó được sử dụngrộng rãi để xử lý phẩm nhuộm và các chất thải công nghiệp vì đó là các chất hữu cơ</small>

<small>gây ơ nhiễm môi trường và không dễ dàng bị phân huỷ trong tự nhiên. CuaO/chitosan</small>

có khả năng làm mat màu phẩm nhuộm X- 3B từ nồng độ 50 mg/l xuống còn 0.337 mg/1 (phù hợp với tiêu chuẩn nước uống của WHO) [10, 55, 57]. CuzO cònđược sử dụng để xúc tác cho q trình chuyển p-nitrophenol (một chất gây ơ nhiễm

<small>1.545-mơi trường và độc tính của nó ảnh hưởng lên cả con người, động vật và thực vật)</small>

<small>thành p-hydroxylamin phenol [23, 92]. Đặc biệt, CuạO là chất xúc tác quang rất tốt</small>

cho quá trình làm mất màu metyl da cam và xanh metylen (những chất có trong thành

<small>phần của một số loại thuốc nhuộm công nghiệp thông dụng). Một số tác giả đã đưa ra</small>

cơ chế giả thiết của quá trình làm mat màu metyl da cam [49, 76, 90, 93, 101, 107].Theo đó, các gốc tự do OH® được tạo thành theo các q trình quang hố bởi xúc tác

<small>Cu.0 + hv —> CuaO(e~) + CuaO(h*)</small>

<small>OH~ + Cu;O(hT) —> OH® + Cu;O</small>

Như vậy gốc OH® được tạo thành bởi phan ứng giữa một lỗ trống (ht) và nhómOH”. Các gốc này có tính oxi hố mạnh, chúng tương tác và làm mat màu phẩm

<small>14</small>

</div><span class="text_page_counter">Trang 31</span><div class="page_container" data-page="31">

nhuộm. Tốc độ của phản ứng giữa OH* với metyl da cam quyết định tốc độ mat màu.

Về bản chất, màu sắc của các phẩm nhuộm là do liên kết azo (-N=N-) tạo ra. Vì vậy,quá trình làm mắt màu metyl da cam là quá trình phá hủy liên kết azo bằng các gốc

<small>tự do thành các sản phẩm khác có khối lượng phân tử nhỏ hơn.</small>

<small>Khi Cu;O được phủ lên bé mặt của một số kim loại như Au, Ag, Cu và Pt thì kha</small>

năng xúc tác quang hố làm mắt màu phẩm nhuộm được tăng lên đáng kể. pozit CuaO/Cu có khả năng xúc tác quang hoá làm mat màu phẩm nhuộm Procion

<small>Nanocom-Red MX-5B (PR) và phân hủy phenol [113]. Khi hàm lượng Cu chiếm khoảng </small>

27-71% khối lượng thi khả năng xúc tác của nanocompozit CuaO/Cu tốt hơn so với CuaOnano nguyên chất. Nguyên nhân của hiện tượng này là electron được bit ra từ các phântử PR bị hấp thụ bởi vùng dẫn của CuạO, làm cho quá trình tái kết hợp của electron và

<small>các ion PRt không xảy ra. Mặc dù phenol là hợp chất rất bền, nhưng xúc tác Cu;O/Cucó thể phân hủy 40% phenol sau 20 phút chiếu sáng. Theo lý thuyết xúc tác dị thể,</small>

khả năng xúc tác quang hoá của chất bán dẫn phụ thuộc rất lớn vào sự tương tác bémặt và kiểu khuyết tật mạng tinh thể [73]. Kim loại trên bề mặt của chat bán dẫnđóng vai trị chất cho điện tử, thúc đẩy quá trình phân li điện tử - lỗ trống dưới sự kíchthích của bức xạ khả kiến, vì vậy làm tăng hoạt tính xúc tác quang hóa. Hơn nữa, Cucòn là trung tâm tái kết hợp giữa điện tử và lỗ trống, vì vậy hàm lượng của Cu trong

<small>thành phần nanocompozit cũng ảnh hưởng tới khả năng xúc tác quang hoá của hạt</small>

</div><span class="text_page_counter">Trang 32</span><div class="page_container" data-page="32">

mat màu phẩm nhuộm đỏ khi được chiếu sáng bởi bức xạ khả kiến [49, 71].

<small>1.43 Xúc tác cho quá trình polime hố</small>

<small>Cu20 nano là xúc tác cho q trình tổng hợp sợi cacbon nano (CNE - Carbon Nano</small>

Fiber). Ngày nay lĩnh vực nghiên cứu CNF dang thu hút được sự quan tâm của rấtnhiều nhà khoa học vì chúng có cấu trúc và các tính chất lí, hố rất đặc biệt [81]:

* Với cấu trúc xoắn giống dang lò xo, CNF có module đàn hồi cao, có kha năngphan ứng với tác dụng của ngoại lực: kéo, nén, vặn xoắn, ... mà vẫn giữ đượcnguyên hình dang sau khi ngoại lực thơi tác dụng. Chang hạn, CNF có thể kéogiãn gấp 3 lần kích thước ban đầu của nó (gần như bị kéo thẳng) mà không bị

<small>biến dạng sau khi thôi tác dung lực và chi bị biến dạng đáng kể khi bị kéo giãn</small>

gấp 4.5 lần kích thước ban dau. Vì vậy, CNF là vật liệu lí tưởng để chế tạo lớpchống lại các chấn động cho các thiết bị nano; chế tạo vật liệu mới có độ bền

<small>cao; làm phụ gia cường lực cho polime hay các loại keo (vật liệu được gia cường</small>bằng cacbon xoắn bền hơn nhiều so với việc gia cường bằng sợi cacbon thông<small>thường), ...</small>

* Cacbon xoắn nói riêng và các sợi cacbon nano nói chung có độ dẫn điện khoảng

5000 S/m, cao gấp ~3 lần so với cacbon vơ định hình nên có thể được sử dụng

<small>như các dây dẫn kích thước nano trong các linh kiện siêu nhỏ. Việc tăng độ dẫn</small>

của polime dẫn đến cải thiện tính chất điện-từ của vật liệu, trong đó các sensor

được chế tạo từ các compozit polime-sợi cacbon xoắn cho độ nhạy cao hơn.

Mặt khác, CNF thể hiện được tính chất điện từ đặc biệt: chúng có thể sinh ra từ

<small>trường khi có dịng điện chạy qua cuộn cacbon hoặc sinh ra dòng điện trong từ</small>

<small>trường biến đổi. Do vậy, CNE đang được quan tâm nghiên cứu trong việc chế</small>

tao nam châm điện, cuộn cảm, thiết bị cảm ứng, thiết bị lưu trữ, ...

<small>16</small>

</div><span class="text_page_counter">Trang 33</span><div class="page_container" data-page="33">

Đã có một số chất xúc tác được sử dụng dé tổng hợp CNF [52, 61, 62, 96, 110].

Gan đây Cu2O nano bắt đầu được quan tâm sử dung để làm xúc tác cho phản ứng

<small>polyme hoá axetylen để tổng hợp CNE vì nó khơng gây độc hại, giá thành rẻ, quá</small>

<small>trình tổng hợp khá đơn giản và đặc biệt là phản ứng được thực hiện ở nhiệt độ thấphơn nhiều so với khi dùng các chất xúc tác khác [110]. Hình dạng và kích thước của</small>

các hạt CuO ảnh hưởng đến hình dạng, kích thước cũng như độ xoắn của các sợi<small>cacbon thu được.</small>

1.4.4. Chế tạo cảm biến sinh học

Các hạt nano Cu2O được sử dụng để chế tạo đầu dị cho việc phân tích hình ảnh tánxa ánh sáng của các tế bào sống va phát hiện cấu hình riêng của các protein. CuaO

nano được tạo ra bằng cách khử ion Cu” bằng NaBH¿ trong môi trường nước. Đặctính tán xạ ánh sáng của Cu›O đã được nghiên cứu bằng phổ huỳnh quang kế và kính

hiển vi trường tối. Người ta thấy rằng các hat Cu2O nano có khả năng phát ra ánh

<small>sáng tán xạ màu xanh có cường độ lớn tại bước sóng 470 nm nên có thể được ứng</small>

<small>dụng trong phân tích tế bào. Người ta đưa phức hợp transferrin-CuaO nano vào trong</small>

tế bào, nếu có sự ủ bệnh ở phơi bào thần kinh trong tủy sống thì Cu2O nano bị kích

<small>thích sẽ phát xạ ánh sáng màu xanh. Như vậy, CuaO nano có thể được ứng dụng cho</small>

việc khám phá cấu hình riêng của các protein [44]. Phát hiện này mở ra khả năng ứngdụng rất lớn của CuaO nano trong công nghệ sinh học vì từ trước tới nay người ta chỉ

<small>quan tâm tới khả năng tán xa ánh sáng của các hat nano kim loại như Ag và Au. Tuy</small>

<small>nhiên sự tán xạ ánh sáng của các kim loại này không cao, hơn nữa chi phí tổng hợp</small>

<small>Ag nano và Au nano cao hơn nhiêu so với Cu2O nano.</small>

<small>17</small>

</div><span class="text_page_counter">Trang 34</span><div class="page_container" data-page="34">

1.4.5. Chế tạo cảm biến

Màng mỏng Cu;O/RuO; được sử dụng làm điện cực cảm biến để xác định hàm

<small>lượng oxy hòa tan (DO) và đo pH [114]. Trước đây màng RuO; đã được sử dụng cho</small>

mục đích trên vì độ dẫn điện cũng như tính bền nhiệt và bền hóa học cao, chống ănmòn tốt. Sử dụng màng RuO; làm điện cực cảm biến có thể đo được pH trong vùng

<small>2-13 ở nhiệt độ 4-30°C và có thể xác định được DO trong khoảng 0.5-8.0 ppm. Tuy</small>

<small>nhiên điện cực màng mỏng RuO; tương đối xốp nên nó dễ dàng hấp phụ các chất,</small>

do đó dễ làm thay đổi đặc tính của cảm biến. Để khắc phục những nhược điểm trên,

người ta đã phủ CuaO lên RuO; (tỉ lệ mol của CuzO là 10-20%). Điện cực cảm biến

màng mỏng Cu›O/RuO; không những đã khắc phục được hạn chế của điện cực RuOz

mà cịn giữ lại được tất cả những tính chất quí giá của điện cực này, hơn nữa tuổi thọcủa điện cực CuzO/RuO; cao hơn nhiều so với điện cực RuO; [114].

Màng CuạO được tạo ra bằng phương pháp kết tủa điện hóa và xử lí quang nhiệtnhanh được sử dụng để chế tạo các tế bào cảm biến khí NO} [84]. Khí này là một

<small>trong những khí gây ơ nhiễm nguy hiểm nhất được tạo ra từ quá trình cháy của các</small>

động cơ ơtơ, từ q trình nau nướng của các hộ gia đình, từ các lị nung hay những vụcháy rừng, ... Do đó cần phải tao ra những bộ cảm biến khí NO} với các đặc tính vừanhỏ gọn, tuổi thọ cao, cảm biến nhanh và nhạy ngay cả ở nồng độ khí thấp cỡ ppm làrất cần thiết để góp phần chống lại sự biến đổi khí hậu tồn cầu. Đã có nhiều nghiêncứu về cảm biến khí NO; được cơng bồ và đã có nhiều vật liệu làm cảm biến được

<small>sử dụng. Trong số đó, màng Cu2O tuy mới được nghiên cứu sử dụng làm cảm biếnkhí NĐO¿; nhưng kết quả thu được rất khả quan [84]. Q trình đo cảm biến khí được</small>

thực hiện bằng cách đưa tế bao cảm biến Cu;O vào dòng khơng khí chứa NO2 hàm

lượng 0.5-1.5 ppm, nhiệt độ của cảm biến được giữ ở 300°C. Kết quả cho thấy cảmbiến hoạt động tốt, độ nhạy của cảm biến tăng lên khi tăng nhiệt độ trong quá trình

<small>18</small>

</div><span class="text_page_counter">Trang 35</span><div class="page_container" data-page="35">

tạo mang CuO và cao nhất là màng được chế tạo ở khoảng nhiệt độ 150+20°C và sau4 tháng sử dụng cảm biến vẫn hoạt động tốt.

1.4.6 Cu¿O với q trình chuyển hố năng lượng

CuaO cịn được sử dụng trong cảm biến điện hóa đối với gluco. Gluco là một trong

<small>những nhiên liệu sinh học giàu năng lượng. Khi bị oxi hóa, nó giải phóng ra 4430</small>

Wh/kg, x4p xi giá trị năng lượng mà metanol giải phóng ra (6100 Wh/kg) [20, 111]:

<small>C6H120¢6 + 602 — 6CO2 + 6H2O</small>

Vì vay gluco là một trong những nguồn nhiên liệu tốt nhất để sử dụng trong pinnhiên liệu. Mặt khác, gluco không độc và rẻ tiền nên việc sử dụng trực tiếp gluco

<small>trong pin nhiên liệu đang được quan tâm chú ý. Một số kim loại đã được sử dụng làm</small>

<small>anot cho pin nhiên liệu để oxi hóa gluco như Au, Ag [37, 82]. Tuy nhiên q trình oxi</small>

hóa xảy ra rất chậm. CuO đang được nghiên cứu dé thay thé các vật liệu trên vì hoạt

tính xúc tác cho phản ứng oxi hóa gluco của oxit này cao hơn han.

<small>Trong lĩnh vực chuyển hóa năng lượng mặt trời thì các loại màng mỏng có chứa</small>

CuzO được nghiên cứu nhiều vì hiệu suất chuyển hóa năng lượng của pin mặt trờicó chứa CuO cho giá trị lớn nhất (theo lí thuyết, hiệu suất biến đổi năng lượng của

<small>pin mặt trời CuO là khoảng 20%). Tuy nhiên, thật khó để đạt được hiệu suất nay</small>

vì để tạo ra p-CuaO là rất khó. Pin mặt trời Schottky barrier (SB) với lớp hoạt động

Cu/CuaO được chế tạo bằng phương pháp oxi hóa nhiệt thanh Cu có hiệu suất chuyểnhố 1.76%. Pin SB với thành phần Ga thêm vào ZnO (GZO)/Cu›O được chế tạo bằngphương pháp lắng đọng nT-GZO trên tam Cu¿O bị oxi hóa nhiệt bằng cách hóa hơi

hồ quang plasma chân khơng có hiệu suất chuyển hóa 1.57%. Pin SB với cấu trúc

MgF>/ITO/ZnO/Cu20/Cu được chế tạo bằng phương pháp phún xạ chùm tia ion cho

hiệu suất chuyển hố 2.01% [59, 60, 69]. Chỉ có thể tạo ra những pin mặt trời sử dụng

<small>19</small>

</div><span class="text_page_counter">Trang 36</span><div class="page_container" data-page="36">

CuaO với hiệu suất chuyển hoá lớn bằng việc giảm thiểu những ảnh hưởng gay ra trên

bề mặt tấm Cu2O từ quá trình chế tao mang mỏng.

<small>CuaO nano còn được sử dụng làm âm cực trong pin liti [19]. CuO có vai trị tạo</small>

ra một lớp bảo vệ cho graphit và hạn chế sự phân huỷ của propylen cacbonat trong

<small>dung dịch điện li.</small>

Tóm lại, Cu.O nano dạng bột hoặc mang mỏng đều là vật liệu đầy hứa hẹn vớinhững ứng dụng trong thực tiễn đã và sẽ thu hút được sự quan tâm của nhiều nhóm

<small>nghiên cứu trong thời gian tới. Trong khi đó ở Việt Nam mới có một số cơng trình</small>

nghiên cứu về CuaO nano do nhóm chúng tơi thực hiện. Việc phát triển hướng nghiêncứu này là cần thiết.

1.5 CÁC PHƯƠNG PHÁP NGHIÊN CỨU

1.5.1 Phương pháp nhiễu xạ tỉa X

Nhiễu xạ tia X là một trong những phương pháp quan trọng nhất trong lĩnh vực

<small>nghiên cứu các đặc trưng của vật liệu [14, 68].</small>

<small>XRD không chi là cơng cụ mạnh để nghiên cứu định tính và định lượng các pha</small>

trong mẫu mà còn dùng để đánh giá kích thước tinh thể đối với vật liệu nano. Khi kíchthước tinh thể giảm xuống dưới một ngưỡng nhất định (<500 nm) sẽ gây ra sự mở rộngpic nhiễu xạ. Do vậy, đối với các vật liệu có kích thước nanomet có một mối tương

<small>quan giữa độ rộng pic (FWHM) và kích thước tinh thể theo cơng thức Debye-Scherrer:</small>

<small>d =</small>

<small>20</small>

</div><span class="text_page_counter">Trang 37</span><div class="page_container" data-page="37">

<small>d Kích thước tinh thể trung bình (nm)</small>

<small>A Bước sóng tia X (Acux, = 0.15406 nm)</small>

Trongđó: Độ rộng ở nửa chiều cao pic (rad), B= “WE“ 7

<small>6g Góc Bragg (°)</small>

k Hằng số (từ 0.8-1.1, thường lay k = 0.94)

Phương trình Debye-Scherrer chỉ cho kết quả có độ tin cậy cao khi áp dụng đối với

<small>các tinh thể có kích thước dưới 100 nm.</small>

1.5.2 Phuong pháp quang điện tử tia X

<small>Hình 1.3: Sơ đồ mơ tả sự phát sinh của điện tử 2p; /2 trong phổ XPS</small>

<small>Phổ quang điện tử tia X (XPS) thu được khi phân tích dải năng lượng của các</small>

electron phát ra từ một bề mặt bị chiếu chùm tia X tới [7, 9].

<small>Nguyên lý của phương pháp XPS được giải thích trên Hình 1.3. Photon tia X (với</small>

năng lượng hv) tương tác với nguyên tử nằm trên bề mặt mẫu, đưa nó từ trạng thái cơ

<small>21</small>

</div><span class="text_page_counter">Trang 38</span><div class="page_container" data-page="38">

<small>Mức năng lượng vùng lõi Phổ kế</small>

<small>Hình 1.4: Cân bằng mức Fermi giữa mẫu và hệ đo XPS</small>

<small>bản lên trang thái kích thích, đồng thời giải phóng ra một electron với năng lượng Ex:</small>

<small>Ey =hV— EKg T— ÿ (1.2)</small>

Trong đó #ÿ„, ở lần lượt là năng lượng liên kết của electron, và công thốt (WorkFunction) của vật liệu. Cơng thốt là năng lượng tối thiểu (tính bằng eV) để đưa mộtelectron từ mức Fermi (mức năng lượng cao nhất của orbital phân tử trong vùng hoátrị bị chiếm giữ bởi electron) đến chân khơng ở vơ cực. Đơn giản hơn, đó là năng

lượng tối thiểu để đánh bật một electron khỏi bề mặt của mẫu rắn. Việc xác định đồng

<small>thời cả 2 đại lượng Ey và ở là không thể thực hiện được (vì cơng thốt của mẫu chưa</small>

biết). Để vượt qua trở ngại này, mẫu (vật liệu dẫn điện và bán dẫn) được nối với hệ đo

để cân bằng các mức Fermi (Hình 1.4). Do vậy, năng lượng liên kết sẽ được tính như

<small>Ey, = hv — Ex — spec (1.3)</small>

Động nang Ex được xác định bang phổ kế XPS, hv là năng lượng của photon tia

<small>22</small>

</div><span class="text_page_counter">Trang 39</span><div class="page_container" data-page="39">

X (MgK„=1253.6 eV, AIKø„=1486.6 eV), Qspec là cơng thốt của phổ kế (được xác

định bằng cách chuẩn máy với vật liệu đã biết chính xác giá trị năng lượng liên kết,chẳng hạn Au(4f; /2)=83.96 eV). Cac electron được giải phóng ra từ nhiều mức năng

lượng khác nhau tạo thành phổ năng lượng đặc trưng cho mỗi nguyên tố (phổ XPS).XPS được sử dụng cho mục đích phân tích bề mặt chất rắn:

<small>* Phân tích định tính: Dựa vào giá tri năng lượng liên kết và sự tách vạch trong</small>

phổ XPS có thể xác định được thành phần hoá học trên bề mặt mẫu cũng như

đánh giá được sự có mặt của tạp chất. Quá trình này được thực hiện bằng cách

<small>so sánh phổ thực nghiệm với các giá trị chuẩn được cài đặt sẵn trong máy tính.Sự biến đổi trạng thái hố học, số oxi hoá, sự thay đổi trong liên kết hoá học của</small>

các nguyên tố trong mẫu được đánh giá nhờ vào độ dịch chuyển hoá học của các

<small>dải phát xạ.</small>

<small>¢ Phân tích định lượng: Cường độ của pic XPS khơng chỉ phụ thuộc vào các thơng</small>

số máy mà cịn tỉ lệ với số lượng nguyên tử phát ra bức xạ đó.

<small>Trong trường hợp một mẫu đồng nhất chứa hai nguyên tố AB, phổ XPS có các</small>

pic đặc trưng cho mỗi nguyên tố là J, và 7g thì hàm lượng của nguyên tố A được

<small>tính như sau:</small>

<small>=——-^— (1.4)</small>14/1) +Ip/T)

Giá trị 72 va 7} là cường độ của nguyên tố A va B trong mẫu don chất tươngứng. Trong trường hợp tổng quát cho hợp chất đồng nhất chứa n nguyên tố, hàmlượng của nguyên tố i được tính như sau:

X;=———— (1.5)

<small>23</small>

</div><span class="text_page_counter">Trang 40</span><div class="page_container" data-page="40">

1.5.3 Các phương pháp kính hiển vi

1.5.3.1 Kính hiển vi điện tử - Phổ tán sắc năng lượng tia X

<small>Kính hiển vi quang học sử dụng ánh sáng vùng khả kiến và hệ thấu kính để phóng</small>

đại các vật thể nhỏ. Tuy nhiên bước sóng ánh sáng khả kiến khá lớn (400-800 nm), do

<small>vậy không thể quan sát được các vật thể có kích thước siêu nhỏ. Độ phân giải của một</small>

kính hiển vi quang học tốt nhất là 150 nm. Kính hiển vi điện tử sử dụng sóng electroncó bước sóng nhỏ hơn rất nhiều so với ánh sáng khả kiến để “quan sát” vật thể. Do

<small>vậy, hiển vi điện tử có thể quan sát được các vật thể rất nhỏ với độ phân giải khoảng</small>

<small>0.1 nm [22].</small>

<small>Chùm điện tử sơ cấp</small>

<small>Điện tử tấn xạ ngược(Thơng tin về bề mặt</small>

<small>Tia X (định tính-định lượng SEM. số khối nguyên tử)</small>

<small>Điện tử tán xạ không đàn hồi (SEAD)</small><sub>àn hồi</sub>

<small>đàn hồi (EELS `</small>

an hồi ( ) Điện tử truyền

<small>qua (TEM)</small>

<small>Hình 1.5: Tương tác của electron với mẫu</small>

Khác với ánh sáng khả kiến, chùm electron khi tương tác với mẫu xảy ra rất nhiềuhiệu ứng thứ cấp (Hình 1.5). Điện tử tán xạ ngược và điện tử thứ cấp được sử dụng để

tạo ảnh hiển vi điện tử quét; điện tử truyền qua (không bị tán xạ) được sử dụng để tạo

<small>ảnh hiển vi điện tử truyền qua; tia X đặc trưng được dùng cho phổ tán xạ năng lượngtia X để định tính và định lượng nguyên tố.</small>

<small>24</small>

</div>

×