Nghiên cứu Chế tạo và một số tính chất của màng mỏng cds cấu trúc nano lắng đọng bằng phương pháp phun nhiệt phân
Bạn đang xem bản rút gọn của tài liệu. Xem và tải ngay bản đầy đủ của tài liệu tại đây (1.94 MB, 56 trang )
!"#$%
&""'(#%)
*+,-
./01.2345637(839 #:;)<
#.341.23=4>?4.@39 ABCDA!
6E9 F=GH1IJ=4KF=34L/37MNO
IP.Q4/37R3STUVVO
Lời cảm ơn
Trong suốt quá trình học tập tại Viện Vật lý kỹ thuật, trường Đại Học
Bách Khoa Hà Nội, em đã nhận được những kiến thức quý báu và cần thiết từ
các thầy, các cô và cán bộ của Trường. Điều đó giúp em rất nhiều trong quá
trình thực hiện Đồ án tốt nghiệp này. Em xin được bầy tỏ lòng biết ơn trước
tinh thần giảng dậy hết sức tận tâm và có trách nhiệm của các thầy cô giáo.
Em xin được gửi lời cảm ơn chân thành tới TS. Đỗ Phúc Hải là thầy
giáo hướng dẫn trực tiếp, có những ý kiến mang tính định hướng cho em về
việc nghiên cứu khoa học trong quá trình làm Đồ án tốt nghiệp cũng như
trong sự nghiệp công tác sau này của bản thân.
Qua đây em cũng chân thành cảm ơn toàn thể các cán bộ, giảng viên
Phòng Thí nghiệm Phân tích và Đo lường Vật lý, Viện Vật lý kỹ thuật,
Trường Đại học Bách Khoa đã tận tình giúp đỡ em trong suốt thời gian thực
tập và làm đồ án tốt nghiệp tại đây.
Cuối cùng, em xin cảm ơn gia đình, bàn bè, những người đã luôn động
viên giúp đỡ em cả về mặt vật chất và tinh thần để em hoàn thành đồ án tốt
nghiệp này.
Hà nội, ngày 20 tháng 5 năm 2008
Sinh viên
Nguyễn Đình Quyết
"WW
"XY::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::Z
45[37:\D::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::]
:.6.=4.@K1^1F=G.@K(#:::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::]
:_37374@?4`=a0TI37Tb37(#:::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::N
:c34?4d=1^?dK=ef??ghTI37Tb37(#::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::R
:c34?4d=i.@3?ghTI37(#::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::O
:c34?4d=jKh37?ghTI37Tb37(#::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::ZV
45[379k":::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::Z]
:4`=a0TI37Tb37(#lm37E45[37E4/EE4K334.@=E4n3:::::::::::::::::Z]
:/?E45[37E4/E374.23?oKTI37::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::Zp
!"#$%&'(
)*+,$ /'
0123#$.&-'
456+#$7898-':
45[379!D<<::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::Uq
:4n3=c?4E4r34.sKta=.h:::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::Uq
:4r=/3Lu?3S37G5v37wxy#z?ghTI37(#:::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::NV
:4r4dE=4{1I=eK|^3jKh::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::NV
8;<#=>=?@A-
8456+#<#=>=?@A-
!::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::N}
"<:::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::NO
yh34T{??/?4~34
.34:Z9dK=ef?=.34=4•(#:::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::R
~34:Z94r=eK|^3jKh?gh3^3i`=4g|=.34:::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::ZN
~34:U9#[i€T_=•4@E4K3E4g34.@=E4n3:::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::ZR
~34:]94.sKta=.h‚lƒ.4h.T„=E4…3737K|23=†:::::::::::::::::::::::::::::::::::::Zp
~34:N9/?=c34.@K1IL‡37i.@3=ˆE4/=eh=ˆT8Ki0::::::::::::::::::::::::::::::::UU
~34:R9#[i€‰c344.•31.i.@3=†jKŠ=whz:5‹37i.?gh=.hi.@3=†=e037
#x"wlz::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::U]
~34:}9#[i€E45[37E4/Ei0E4r=eK|^3jKh::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::U}
~34:Z94r‚y?ghTI37(#Gu37iŒ37ƒ?/?34.@=iPi`‰4/?34hK
L•URV0Q]VV0Q]RV0QNVV0Ž=4‹.7.h3E4K3=L•RE4f=:::::::::::::::::::::::::Up
~34:U94r‚y?ghTI37(#Gu37iŒ37ƒ34.@=iPL•]RV0Ž=4‹.
7.h3E4K3=L•RE4f=:::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::]V
~34:]9<34#x"?ghTI37(#Gu37iŒ37ƒ34.@=iPi`L•URV0Q=4‹.
7.h3E4K3=L•RE4f=:::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::]]
~34:N9<34#x"?ghTI37(#Gu37iŒ37ƒ34.@=iPi`L•]VV0Q=4‹.
7.h3E4K3=L•RE4f=:::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::]]
~34:R9<34#x"?ghTI37(#Gu37iŒ37ƒ34.@=iPi`L•]RV0Q=4‹.
7.h3E4K3=L•RE4f=:::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::]N
~34:}whz9<34#x"?ghTI37(#Gu37iŒ37ƒ34.@=iPi`L•NVV0Q
=4‹.7.h3E4K3=L•RE4f=:::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::]N
~34:}wlz9<34#x"?ghTI37(#Gu37iŒ37ƒ34.@=iPi`L•NVV0Q
=4‹.7.h3E4K3=L•RE4f=:::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::]R
~34:qwhz9<34#x"?ghTI37(#Gu37iŒ37ƒ34.@=iPi`L•]RV0Q
=4‹.7.h3E4K3=L•ZE4f=:::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::]R
~34:qwlz9<34#x"?ghTI37(#Gu37iŒ37ƒ34.@=iPi`L•]RV0Q
=4‹.7.h3E4K3=L•ZE4f=:::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::]}
~34:O9<34#x"?ghTI37(#Gu37iŒ37ƒ34.@=iPi`L•]RV0Q=4‹.
7.h3E4K3=L•UE4f=:::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::]}
~34:p9<34#x"?ghTI37(#Gu37iŒ37ƒ34.@=iPi`L•]RV0Q=4‹.
7.h3E4K3=L•]E4f=:::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::]q
~34:ZV9<34#x"?ghTI37(#Gu37iŒ37ƒ34.@=iPi`L•]RV0Q=4‹.
7.h3E4K3=L•RE4f=:::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::]q
~34:ZZwhz9<34#x"?ghTI37(#Gu37iŒ37ƒ34.@=iPi`L•]RV0Q
=4‹.7.h3E4K3=L•qE4f=::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::]O
~34:ZZwlz9<34#x"?ghTI37(#Gu37iŒ37ƒ34.@=iPi`L•]RV0Q
=4‹.7.h3E4K3=L•qE4f=::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::]O
~34:ZUwhz9<34#x"?ghTI37(#Gu37iŒ37ƒ34.@=iPi`L•]RV0Q
=4‹.7.h3E4K3=L•ZVE4f=::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::]p
~34:ZUwlz9<34#x"?ghTI37(#Gu37iŒ37ƒ34.@=iPi`L•]RV0Q
=4‹.7.h3E4K3=L•ZVE4f=:::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::]p
~34:Z]9<34E4rxy#?ghTI37(#Gu37iŒ37ƒ34.@=iPi`L•]RV0Q
=4‹.7.h3E4K3=L•RE4f=::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::NV
~34:ZN94r4dE=4{?ghi`:::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::NZ
~34:ZR94r4dE=4{?ghTI37(#Gu37iŒ37=a.34.@=iPi`‰4/?34hK
L•URV0Q]VV0Q]RV0QNVV0Ž=4‹.7.h3E4K3=L•RE4f=:::::::::::::::::::::::NZ
~34:Zq94r=eK|^3jKh?ghi`=4g|=.34:::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::N]
~34:ZO94r=eK|^3jKh?ghTI37(#Gu37iŒ37=a.?/?34.@=iPi`L•
URV0Q]VV0Q]RV0QNVV0Ž=4‹.7.h3E4K3=L•]E4f=:::::::::::::::::::::::::::::::::NN
~34:Zp94r=eK|^3jKh?ghTI37(#Gu37iŒ37=a.34.@=iPi`L•]RV
016.?/?‰40•37=4‹.7.h3E4K3‰4/?34hK=L•ZQUQ]QRQqQZVE4f=:::::::::::::::NR
yh34T{??/?l•37
•37:Z9c34?4d=?[l•3?gh?h(T.KTLKG•.(•‘ZQpQZV’::::::::::::::::::::::::::::::::N
•37:Z9“341>?o37({37?gh=c34.@K::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::U]
•37:Z9yh34L/?4i”3434.sKta?gh=.34=4•(#?dK=ef?•th703hG:::::]V
•37:U9c?4=456?4a==.34=4•=c34=4•Gu37iŒ37=a.?/?34.@=iPi`URV
0Q]VV0Q]RV0QNVV0w=c34=4•0?_37=4o?#?4•ee•e•?_37=4o?:ZVz::::]Z
Nghiên cứu chế tạo và một số tính chất của màng mỏng CdS
cấu trúc nano lắng đọng bằng phương pháp phun nhiệt phân
"XY
B>5#5C!DE>F#G4HI=J#KLMN
O6HP"A*#2LQR3LMI>
LM*>0S"LATU23P#"456V
#CAT=?*>LMVW5>X+I5<#*KYA
0V*>0S4)U"<#6QK#F*Z=
#*>0A;U230"AUA>C0[P2
3=\4FCPC0PCD4]>*6*>^=_
`R>L#JDN4^G*>Z=4#>"
=>=?KAaM3*0A;"23
=\4FC@A-C@A`OC@A-Ob`4KAaEP=98
PC@A->=E*NT5G#cK]P>=EKAa"CP
*Y=d4EC*H4e.
fO8"gghCP)AYH
#044_#HL3*HKAaPLO23
c@
-CC@A`OC@-O
b/E*MA;;)>CLAYH@A-
PEA>5:g=>#044_@A-i@-O
F#DP)
"323=\4F"0^HgjOM
5*>kj4^S
/>=?@A-D3^G"Kl6
L#KVK#54LQC1JP#J
$@m&'C O#!Y=$/m.'CCb@>D
QKV54l=>=?@A-PM+#*>L
#;E*>*>6LQ"m^"
*I#M+#*>Kl#"C>5#5C
>L#Jn#V1^G"=>=?@A-
P4_#K]* 6=\5CLLMH"I=!Vo
#=OCM*>+#3ICK^"0S!
Nguyễn Đình Quyết – KTAS K48
Nghiên cứu chế tạo và một số tính chất của màng mỏng CdS
cấu trúc nano lắng đọng bằng phương pháp phun nhiệt phân
<#=E0VG=HC*MA;E4E23*Y=$.'3
=]4E4#LLMH"I=ATHo=*>LI=HoKLM
m4O!<#KAaLVZAaH*Ae5)p
;*6M#KH0P!#$KO0q'AGV3
m1Le*H!CrM=M*>WF8N
C88NLsNCW"JmL#>ED4)L#^G
"=>=?@A-*>@-O
P4_#l=GA;"
23=\4F0#`4LIF#CE
AQ*<#KIUV>5>KHT^G"
*>=E0VM<#=>=?@A-4_#1JKl
mIUU=t
45[379r37jKh3
uH*6*N@A-CQ"=>=?
@A-C4_CM*>+#<#=>=?@A-
45[3794>?374.@T
@>54ZK>5+4Z"=aKl
*>5^<#^
G=> !"#$%&'C)*
+,$ /'C0123#$.&-'*>
456+#
45[379`=jK•1I=4•0GKF3
@>54ZK>5L+IM=D
3CM*>INL+IP
Nguyễn Đình Quyết – KTAS K48
Nghiên cứu chế tạo và một số tính chất của màng mỏng CdS
cấu trúc nano lắng đọng bằng phương pháp phun nhiệt phân
45[37:\D
:.6.=4.@K1^1F=G.@K(#
mAa3983GA;4E4D46v*S\
K>v*S"K>23=\4FC*N+#AaCTAr
+#CK>+#P#C=>4#004*>Ke+#mAa98
U=>T3">R5^VP=*>5^VP=8
4KIVT>B6^GDL=4#63
S^<#P=98*>\K>3P#JPK64E*Y
=4E]Erwx
mAa398C;)>@A-C@A`OC@A-ObCRD3+#
=^G)"*N+#Aa4*Y0Z
5`4PC@A->=E4*N+#AaVwCx/>
=?#A==0AO$@A-']4"413GA;4E4D4
Ke+#AaC;IvCKe+#CKE
C*N#0O4CTAr+#CKE5)0^=CKEK2
3+#C=>=?456+#+#*>Ke+#
LB>5#5C_#^G@A->*NM3
>=H#0K>23=\4F4^6*N@A`O*>
@$u#'-O
w:CkxB6>^GDN4Q*<#J*>
*#M+#*>M<#@A-L*>@A-P
#"l="K>23=\4FP0#wyx
Nguyễn Đình Quyết – KTAS K48
Nghiên cứu chế tạo và một số tính chất của màng mỏng CdS
cấu trúc nano lắng đọng bằng phương pháp phun nhiệt phân
mItTính chất cơ bản của cadmium sulfide [1, 9, 10 ].
@QG$*Q
F'
@A-
@*L #A==4#O
@QG @A
-
hV3< Cyy
/T01 8>\#=
ZA" `)41
BEPI5 y:g
@
/NE Czg=
9
BE0Q `2#4B
hV34^ Czg
@ZOO4
B5^
V
j P#
4e
@Z
@A yyz
wh4xA
g
- ( 9 wBOx0
k
hI2#4H hQ#
:_37374@?4`=a0TI37Tb37(#
@A->=E4XKAa3^Gp=p*>4E4D
4=>=?KAa@1J=>@A-
0A;"H#04K>23=\4F4#A"
wxBXQ>5U=PtKVK#54LQwCxC
C_!"CO#!Y=$/m.'CO#!#L="
Nguyễn Đình Quyết – KTAS K48
Nghiên cứu chế tạo và một số tính chất của màng mỏng CdS
cấu trúc nano lắng đọng bằng phương pháp phun nhiệt phân
X $/{8.' wxC 1 J # P# J L= " X
$/{@8&'C1J#*N$8&'C1JK)P#J$@m&'
wCxC#P#C2=rKl#0O4b@T_4l=|P
XnL5)=L#8MA;C]KVK#5
4LQ4LP)3p*6LV3==V*>
]Zr?^E"=>I#
:c34?4d=1^?dK=ef??ghTI37Tb37(#
@3K6=\<#=>@A-;E*>"
=>C+#4J>=>LQKe"*6LMHCLQKeH"
*6K64E<#=>*>PLI2"3K6AT5?)0S
23+#>wzx
B6^GL#Dp4#4l@A-U"]I#A"
4_0!\*>NC4Z-SZ>
#4_0!\#5N\>PI#4_
a*>#;E*>65V<#Q1J`)
P4_0!\K61]ErwC:Ckx
tCấu trúc tinh thể CdS
Nguyễn Đình Quyết – KTAS K48
:
Nghiên cứu chế tạo và một số tính chất của màng mỏng CdS
cấu trúc nano lắng đọng bằng phương pháp phun nhiệt phân
WV*H=>@A->=KlKVK#54LQ0S
Z>)A"0!\#5Nn;E
*>E/>@A-KVK#5"EggH:g
@PK6AT5R
:Hg}=*NV1JRg:H}=i_"6LPZ>
^4_~4•O*>4)="OH$gg'00*HK6
=\*>4;c *QP*Hwx
€K90#qO*>E0Swyx"=>@A-KlKV
K#5|3KE@A@
*>@A-CDN54l)=>P4_
0!\*>LMH"LIg}=V*H@A-LC
4LP#^="ggj@A@
>=LMH"2
^gT
/#=A*>E0SwyxK4l<#LMH)2^
Y*HE2<#K6AT5=>CI#"=>@A-
>KVK#5LQ*>_!"/#*>mKOwxnN54l*H
=>"KlLMH<#)
@A-n2^LK6AT5<#=>2^
/>>=Kl/m.$O#!Y='4^0O
*>€P4_~4•O4LX=>>=4^€4_
0#O4Owx
`4Q1JK)P#J$@m&'4_<#=>;
E*>>T<#K)CE*>E<#AAewkx/>
@A-1JRG@A$B
'
•
P4_0#O4OC~4•O\
4_|3;E*>6L1J=>C4L
X=>>=RG@A$@B'
9
*>@A$O'
•
QQ4_
~4•O*H0SeH<#4;cZ*QP*Hwx
%#=##YE0SwzxDK4l=>@A-N3R
Q1JK)P#JP4_0!\*H
Nguyễn Đình Quyết – KTAS K48
k
Nghiên cứu chế tạo và một số tính chất của màng mỏng CdS
cấu trúc nano lắng đọng bằng phương pháp phun nhiệt phân
l0V="afgg:=Ccfgk::=*>JLQ+#03K
LZ#4_L\>#|3>
%#=YE0SwxD"=>@A-0A;U
#A==L#/>@A-3>=RU#A==4AO>
=>#)P4_0!\C4LPX=>
31JR#A==#O#O>=>*QeZ‚4Z<
#5H^R$gg'>$g'=>0A;5^>
#A==4AO*>I4_)*H=>>=R#A==
#O#O
ƒYU0Sw(xL#5@A$@
@{{'
Kl@A-{
*>0
A;=E6L1J\KCD3@A-5^)
0!\CUFn+#030SZ><#=>
@A${'
*H4_)&##O4YE0SwgxK
4l=>@A->=Kl@m&„0A;@A$@
@{{'
L+I>=>eH="*6=\$gg'C\K>p
)A"0!\LQP^=KG=E#>L€KA9
ƒOqA*>U0SwxD"=>@A-0A;@A@
U@A
`4+4Z>5CPeHO6=\L#R$gg'H
$g'*H4e<#EL#RygH(g
@/>@A-0
A;#A==AAO0*>#A==4AO0"Kl:PLO2
3KlkO8*H4_~4•O*>LO23:O8*H
4_•KOAOwzx-S2<#EK)_0…>=I3
4_)<#=>w(x
-SLQV*64_=>@A-#5K]+4Z<D
346>/E*>ID=^I0S#5
4_L<#@A-0I54#"ELIgg
@`4"C=EM=
LP0Vp4#4l4_<#=>@A-eLEgg
@
]4LQLMCN=M>M+#CLO23*>=T<#
Nguyễn Đình Quyết – KTAS K48
y
Nghiên cứu chế tạo và một số tính chất của màng mỏng CdS
cấu trúc nano lắng đọng bằng phương pháp phun nhiệt phân
0I„=n#5@P)A0S#5*6>T"G
4_LQ#5wgx
.4+O•*>E0SwkxK4lQ0V="CLMH
"C0S,\D$04#'L;E4S*>K6AT5<#=>J
34lLK6AT52^ZLMH"n2^C
X#04#I=Jn+#034lFEp !"4
%&2^L=>K6AT52^@4el0V="#*><#
=a9SAG*Hk*>ky:k†l0Vp]<#Q
0V=">c/a fk<#4_0!\W6Pn3
KK]@*>E0S4lE=<#=>2#*H0S
2<#UE@ACE="I=="L#0A;0P0^
=4+4Z1J<#=>X#E=K6=\<#=>
2^LEAT5<#=>2^wx
:c34?4d=i.@3?ghTI37(#
`M<#=>;E6*>6L1J
<#=>/>@A->=KlKVK#5AYK>2
3=\4FFP4]0*>LIRHggg‡=/>
F>KAa"*>EAa#5K]0S=-\R#@A
W4]0I=LK6AT5<#=>2^wx
`p@Ai-4+4ZK#5nI]="HM
>L=>3#"WV*H=>@A-#"M
V"3"p:*>=>nP4_V]pP
wx
u4e<#4]0LIg
9
‡=34^=a
@A-t:jW4]0<#=>>=KlKVP#
"3M+#*HE4F#1JC3
"0S;E="<#4]0<#=>LQ#"^E
Nguyễn Đình Quyết – KTAS K48
z
Nghiên cứu chế tạo và một số tính chất của màng mỏng CdS
cấu trúc nano lắng đọng bằng phương pháp phun nhiệt phân
1J/>@A-"KlKVZLQ"5
+##"U>=24]0<#=>^*>KNwx
/>@A-"KlK#5GA;*>K>
23=\4FFPUE"IRg
k
Hg
z
=
9
@6A>
L<#"AaLQKI4=>"Kl
K#53l=4LIRgHg}=@^GDp
4#4l=>@A-=J]VE#PUE"I#*>U
E"I2^LK6AT5<#=>2#">=2UE"
I^KN<#EHjLV3`5^*HUECU
E"II=`"U$@'#*>n>=I=UE"Aa
wx
€K90#qOYU0SwyxD"=>=?@A-Kl
K#5|3KE@A@
*>@A-JK4lUE@A@
2
^C4]0I=*>UE"I2^m^"P*HUE
@A@
HgjC4]0*>UE"I"H4"KD
r#JD+#050S2#<#EE]=>L*>
=>#"@A@
UEAHgg:j
WV*H=>@A-1JKlCM
KeVK]0SK15^{
"K^"C6>5>=
I=UE*>EE<#"I/>>KAa"*>P
4]0#54^g
z
‡=ˆ=>#50#+4Z1J4
LQLM>=I=4]0!VrLIg
y
‡=*>PEAa
+##h<4LQC4]0<#=>!V‰g
‡=@6A>!"<#|4V4=>@A-1JKl
3gHg}=wx`4=>@A-"Kl
0S;{
"K^">=I=U"I*>E
EWEE<#=>@A-"Kl2^
L6AT5<#=>2^wx
Nguyễn Đình Quyết – KTAS K48
(
Nghiên cứu chế tạo và một số tính chất của màng mỏng CdS
cấu trúc nano lắng đọng bằng phương pháp phun nhiệt phân
/>@A-=JKlO#!PEE#`M
<#=>>=Kl@-8`;E="=…*>
6L^=JC\K>EW4]0P4eL#Rg
9
‡==E>=;E*>E/>@A-LQ#
"C>=KlO#!Y=$/m.'P4]0
LIg
:
‡=8H=>>=Kl@8&5P
4]0l=X#g*>gg‡=h<=>4
i€4]gg
g
@4e
<#4]00…I=!Vgg\gg:‡=wxB^G=>
@A-=JKl@-8`p4#4lEQ<#OO4n
2LE2*>"4eH>=
8
9
0
9
/>3
>=Kl@8&PEEX#gg*>:g=
8
9
0
9
wx
/>@A->=Kl1JP#J>KAa"*>
PE4]04LIg
y
Hg
(
‡=h<4LQZ
E4]0I=H\g‡=-SI=4]0>5>A!
LQ^L*H=>K#54#/>@A->=KlP#J
3<4LQLM5PM"50#/>@A->=
KlP#JPUE"ILIg
=
9
*>E
ELI:=
8
9
0
9
3AH0wx
B6^GDp4#4l4]0<#=>I=LK6AT5<#
=>2w:x.4+O•YE0SDK4l4]0I=
Y*HK6AT5*>0S;E>5>A 54KPV
uOYE0SwkxD+#0MG<#*NAH
0>4#C0SI=4]0<#PX#*>:KN<#FE
:c34?4d=jKh37?ghTI37Tb37(#
`M+#<#=>3!eK]4_0^*<#
=>CK]6L1J/>=?@A-PM456+#
04*YZ5#*>MI!"V0]*YTU
"mnp4#4lK^;+#J<#=>@A->=
Nguyễn Đình Quyết – KTAS K48
g
Nghiên cứu chế tạo và một số tính chất của màng mỏng CdS
cấu trúc nano lắng đọng bằng phương pháp phun nhiệt phân
KlKV4LQ$8.'C1JP#JAe
5)*6M#KH0P#LK6AT5=>2^wkx
/>@A->=Kl_!"Po456+#T
g:}=G*HK64E*Y=<#@A-]*YKH0PA>
*6KI=>>40V
`4=>1JKlCLO23*>KF
;+#KIZLQKeI]K]4_0^*`M
LC456+#;E*>6AT5CE*>Š0V@At-
u4eL#<#LO23<#=>A#EgHkgO8D
3KB6KDp4#4lL6AT5<#=>2KF
;Ae5)*6M#*Y23$KH0P#'C
G>LILO23I=!VwkC(Cx{=0*>
E0Sw:xDKKF;<#=>>:gg=G*HLI
LO23!!p:O8-#L<CKF;Ae5)?*6
M#0PKH0P#%#=*>U0SwxD+#0
3=E#5?*6KF;]LIgO8JDK4l
=>@A->=Kl@m&RUL#<##A==
$4AO\#O#O'PE456+##LIygHzgj]4*Y
Z5*>4e<#LO23LI:H:gO8Jn
+#034lKF;0…4]^AVLF#1J2
^Jn"4lLI2456+#<#KG!"LQZ50…
VuOwxD05N4#4l=>@A-4=?0
456+#4#N=4M>IXKG!"PKH0P:gg=C
6>5nG*H23<#@A-H;="
3!eLIgg=4^<5O44O4YQ
0Sw:xDKH0P4KZ456+#ggHzgg=;
EM*>K6AT5<#=>$I=LK6AT52^'#A4Y
E0SwxDp4#4l0V;‹*>LIg
Hg
:
=
9
V
Nguyễn Đình Quyết – KTAS K48
Nghiên cứu chế tạo và một số tính chất của màng mỏng CdS
cấu trúc nano lắng đọng bằng phương pháp phun nhiệt phân
*HLO23HO8J4#*Y=>d*>P
4eLO23LIzO8
-#00L##YE0Sw(xD+#054l+4Z<=>
>=2E456+#*>=>3<P4eLO23
=>LQ3<
Nguyễn Đình Quyết – KTAS K48
Nghiên cứu chế tạo và một số tính chất của màng mỏng CdS
cấu trúc nano lắng đọng bằng phương pháp phun nhiệt phân
45[379k"
:4`=a0TI37Tb37(#lm37E45[37E4/EE4K334.@=E4n3
:Z:0/?4d=
`4Q4Z>5C@#A==4AO$@A@
:
g'30A;
>U@#A==*>`4O#$$B
'
@-'30A;>U
-q#`4 + 4Z C => @A- 3 Z > 4^ O
4ZIGP#J0#t
@A@
•$B
'
@-•
g9Œ@A-•B
@••@{
•
`4^SCAAe0A;>|3<#AAegg:/
@A@
*>AAegg:/$B
'
@-#4EOp*6)M>RtC
tCtW)AAe4E64HLCAAe3L5
Kl=5L5R4LIF#g_
:U:‚†GHi`
W0A;4<II=KI3
5^T0#t
9@PE0"#*>K6=\PE=<?)LQI]
3<#=>0#>5
9&=>@A->=>40V^4+4ZLI0
M0…E456+#<#=>4LIKH0Pλfgg9
(gg=C*Z*N55^TV*H>;4M0PKH0Pl=
4LI4^
9 `4Q 4Z >5 _ Q 0 A; LM -€ƒm%€B&
$@#'$LMHyk× : ×:==31>=?LM
HLI×:='`4HL34#*>=4A
Nguyễn Đình Quyết – KTAS K48
Nghiên cứu chế tạo và một số tính chất của màng mỏng CdS
cấu trúc nano lắng đọng bằng phương pháp phun nhiệt phân
Ae#!04$
-{
'4LIF#fC0#P34#
0"KlAAe#!O*>HL
9ZLQ4LQLMKlKZLM,B
Z$'AH5>Ue456+#<#4HL<t
100 200 300 400 500 600 700 800 900 1000
0
20
40
60
80
100
Do truyen qua (%)
Buoc song (nm)
DE
ZtPhổ truyền qua của nền đế thủy tinh
`RUeP)5C"0A;I=D5^T*HE456+#
Hz:jV*H0PKH0Pl=4LIgg=9
(gg=
:]:45[37E4/EE4K334.@=E4n3
`RTT^*>2=(kkCL@#=KO4*>-L#4=#0A;Ls
N>5 )"=>@#A==-AO$@A-'=\4FC4
6^G*6LsN)1J=>=?D
3Swx
Nguyễn Đình Quyết – KTAS K48
Nghiên cứu chế tạo và một số tính chất của màng mỏng CdS
cấu trúc nano lắng đọng bằng phương pháp phun nhiệt phân
>0A;ArLM)=#
AAe"=>K6=\3#]=EE!e
8H=|"*N0…T=EEL#Ž=EE!
e<#C#=#IG4AAe0…IG*H
#C1J4^K6=\*>Z>=>=?P>T
==V
30A;\K+I4*
"=>=?!C!|3C"!0O<#L=
"C#OAO05^P=98C98C98C898C898C898C
#OAO05^P=998C998C998C9898C8998C
3 #A#=#O <# U @
•--
i-O
C @
@A--
i-O
C
@u#--
i-O
C@
--
i-O
C@
:
-
i-O
Z>0U
ZtSơ đồ mô tả hệ phun phủ nhiệt phân
`4CT>KEN+#4J•^T
V*HT>AAeL3I"3=ELQ#
Nguyễn Đình Quyết – KTAS K48
:
Nghiên cứu chế tạo và một số tính chất của màng mỏng CdS
cấu trúc nano lắng đọng bằng phương pháp phun nhiệt phân
PA"0=Y*>"0>5IPLMH4?W)>=
36>5LMHTI<?m^"PTr
IPLI26pVE<#ArLM*>3AAe
W6>5I]4HEU6CEA>5<#=>3
WFLM<#TPLMHg:==@"<#TU=
=EVZ4;?]X#P=EL=?`VEP)#5
3Kl6p0S^!V<#L=B>4#CTrP
KENAY)6p3AAe4KZG#PA
Mgg=/ET<#T3V*HKZLM,&HA;
<#0<#KZCLM0…34#L?TUFL,O
AAe"=>hM30A;4nI"
3X5^Te`4HCLMI>LM4*6=\P#J
*H"=>/\LCLMIPE0"#)P)"4#
=>P3#@P=E0V"LMG3LI2>5
€4CB
BL!,ML*>LI2GA;40I
!>"]+=QQ0#>5C_QJLMB
hMP
E0"L#$((j'*>>V4‘CK4^e4F
`4^KZLMPKEN6pVEArLM*>UUp
e0<#LM4KZ43*0A;
/E5V+#4JLV*H=E>E
A+4Z1J=><#3FS]E
#]Er$V*H=>@A->:g9gg
@'Ž>5C
=E0V4AAe0…KeK#5$H*>A=QA K#5
L'm^"PCP6IG!I54#]E#^K6=\
M>PEY3)IG<#4AAe
#K#T!I54#WV*H0A;4U>5CPLI2
E^LIkgg
@*>VE#36L)Kl
6L)E*>E<#3Xe40V+4Z
Nguyễn Đình Quyết – KTAS K48
k
Nghiên cứu chế tạo và một số tính chất của màng mỏng CdS
cấu trúc nano lắng đọng bằng phương pháp phun nhiệt phân
1J=>`Ke30A;)>==*;P>Ke6
L)E`O=O4#4O@4O4
BE<#3K]=Er+#=E?L="
FLM=$!O=Z'`?L="3L#|?"*e
4M\`R|>5=EK=LQ$K=J<#D
€ƒ@€`.ƒPLI2"3LQLIg
9
‰g
9
=='_
LQLMl=X30*>=L="4F#
WUF=L="r3L#=E|?R*>>*>4
=)E<#Kl\BER23U
Ke6L)E
@)=<#LsNt
'W5>,A A>#"=J5^V*Hp
==VKl#^=T#"$!#5=V<#
P'*>AAe
'hQVQ1J=>=?
LCLQr?6LQ+L1LO
W5M>)=5*FL3GA;
40I!>"]+5=QQ
'`VE1J*>6A>5<#=>P)A A>6L)
Kl#5Q0V<#+4Z1J
'‚4Z1J3S]LIE4KZRgg
kgg
@hsN,1J=>=?=>
LQ5^T+^=\*65^*NK#T
:' hQVQ0#_!"R
4FKl0PR$%#A’4O+O5/#O4-O49%’/-'C
LQ54#3P;KEC
Nguyễn Đình Quyết – KTAS K48
y
Nghiên cứu chế tạo và một số tính chất của màng mỏng CdS
cấu trúc nano lắng đọng bằng phương pháp phun nhiệt phân
6=>P)54#I]!V*H=>=?1J
X#C>5LQKe"*6*N>=CeH
4_<##5\4K6=\<#
k' ml#5>T<#AAe4+4Z
1JCLsN>5P)30A;)"=>P4_#
H*>=>P>T#5O6A>5
y'>5P)"3=>PEU6#4^=E
AM4E
/?=4_37L–?_37374@
9&Ae1JPUE#5R@fgg9gg:=i
9BE1J$E<#K6=\'l=4LI`
0
f
:g‰gg
@$±:
@'
9hMB
30A;>LM=#*>336pKl
*#LM`VE3A54Z]“f:=i=
9hIX#T*>>g=
9`F##5R_Hg_
/??4`iPt†GH34.@=
‚4Z!4=Q4FLQLM]EL#t
'@Y=EUEAAeC=a3]E
L#`
0C#
f:g
@Cgg
@C:g
@Cgg
@*><]"E*H
YF#>
#
fg_)LI0I]<#E4+
4Z1JHM<#=>
'@Y=EUEAAeCY=EE1J`
0
f:g
@=>L#*HF#1JL#Rg_D
3"
Nguyễn Đình Quyết – KTAS K48
z
Nghiên cứu chế tạo và một số tính chất của màng mỏng CdS
cấu trúc nano lắng đọng bằng phương pháp phun nhiệt phân
:/?E45[37E4/E374.23?oKTI37
:Z:45[37E4/EE4r34.sKta=.h‚w‚yz
%&>30A;)^G4_<#*N
*>!eLMH")wx
B5^1KI<# !"#>L#*>
K6=\=a0…!I54#3I!"<#H="@#I!"
##*H#*>I=D4Z8q9m4#$Z't
nλ = 2dsinθ $'
4Pt
n9KN !"$0V5^'
λ9KH0P<##
d9LIX##=\)
θ9PX##H*>=\dI!"
ZtNhiễu xạ tia X bởi hai mặt phẳng nguyên tử.
8H=|U#P”!eCL#5PHθC=|*NP
=EKE4ed\44^-04eA*H*„0…!
e34_=")<#T^G
#,_#!eLIn##=\dP
Yp0V/O4
Nguyễn Đình Quyết – KTAS K48
(
Nghiên cứu chế tạo và một số tính chất của màng mỏng CdS
cấu trúc nano lắng đọng bằng phương pháp phun nhiệt phân
/E6TK>LIX##=\)$d'P0S^
*HI !"#K]p0V/O4$h k l'`4^SZQG
;E*> 4_<#)hIX##=\)>
6A><#FdKZFVRUeH=\dhI
A
L
>53K]QGt
a
lkh
d
++
=
$V*H)N'$'
c
l
a
kh
d
+
+
=
$V*H)O4##'$'
c
l
a
khkh
d
+
++
×=
$V*H);'$'
c
l
b
k
a
h
d
++=
$V*H)44=K'$:'
`S_#nM3=V+#X#LIX##
=\)4_)L`)M<#QKIK]t
8fa
$4_N'$k'
8fa
2
c $4_O4##'$y'
8f
a
2
c $4_;'$z'
8fabc $4_44=K'$('
B>4#C%&n,!eLMH<#")
Q+#4Z-O44O4t
θ
λ
0W
Kd =
$g'
`4Pt 9dtLMH")
Nguyễn Đình Quyết – KTAS K48
g
