Dụng cụ quang phổ và phương pháp quang phổ phương pháp stylus 4

QUANG PH NGUYÊN T Ổ Ử
VÀ NG D NGỨ Ụ
Thầy : TS. Lê Vũ Tuấn Hùng
Đ a ch b n đã t i:ị ỉ ạ ả
/>Đ a ch b n đã t i:ị ỉ ạ ả
/>N i b n có th th o lu n:ơ ạ ể ả ậ
/>N i b n có th th o lu n:ơ ạ ể ả ậ
/>D ch tài li u tr c tuy n mi n phíị ệ ự ế ễ :
/>D ch tài li u tr c tuy n mi n phíị ệ ự ế ễ :
/>D án d ch h c li u mự ị ọ ệ ở:
/>D án d ch h c li u mự ị ọ ệ ở:
/>Liên h v i ng i qu n lí trang webệ ớ ườ ả :
Yahoo:
Gmail:
Liên h v i ng i qu n lí trang webệ ớ ườ ả :
Yahoo:
Gmail:
PH NG PHÁP STYLUSƯƠ
Thực hiện:
Trần Minh Đạo
Phạm Kim Ngọc
PH NG PHÁP STYLUSƯƠ
I. Cấu tạo
II. Nguyên lý hoạt động
III. Ứng dụng pp stylus đo độ dày màng mỏng:
a) Loại màng
b) Stylus tip và force tip
c) Parameters
d) Ưu và nhược điểm
CẤU TẠO

PH NG PHÁP STYLUSƯƠ
NGUYÊN LÝ HOẠT ĐỘNG
TÍN HIỆU AC
CHUYỂN ĐỔI A/D
MẪU
ĐẾ
MÁY TÍNH
LVDT
PH NG PHÁP STYLUSƯƠ
LINEAR VARIABLE DIFFERENTIAL
TRANSFORMER
LINEAR VARIABLE DIFFERENTIAL TRANSFORMER
PH NG PHÁP STYLUSƯƠ
S
S
S
S
P
P
S
S
S
S
P
P
S
S
S
S

P
P
S
S
S
S
P
P
S
S
S
S
P
P
A
PH NG PHÁP STYLUSƯƠ
t
Amplitude modulator
Chỉnh lưu
lọc
V(t)
x(t)
t
Sóng
mang
Tín hiệu ra
Cùng tần số
Lớn hơn 10
lần
PH NG PHÁP STYLUSƯƠ

PH NG PHÁP STYLUSƯƠ
ĐO Đ DÀY MÀNG M NGỘ Ỏ
PH NG PHÁP STYLUSƯƠ
Scan length

30µm to 30 mm

Tuỳ mẫu, tuỳ yêu cầu

100µm - 500µm thực tế???
PH NG PHÁP STYLUSƯƠ
Scan speed

Khoảng cách quét - lực quét

Duration: 3 - 200sec

Data Points/Scan = 300 x Scan Duration(sec)

Data Points/Scan = Scan length(µm) /
Horizontal Resolution (µm)

Low speed ( + low force + noise) ?

High speed ??
(5 - 10µm/sec) ideal?
PH NG PHÁP STYLUSƯƠ
Stylus force

1mg – 15mg (< 1mg)


Loại màng, pp chế tạo?

Low force  ? High force ?

Stylus tip?
stylus
PH NG PHÁP STYLUSƯƠ
Stylus tip

Diamond tip

R= 0.2 25µm (12.5µm)

Phù hợp loại màng và lực tip (115mg) +
vận tốc quét
PH NG PHÁP STYLUSƯƠ
Parameters

Maximum sample thickness 31.75 mm

Vertical range 262 micron.

X-Y stage translation 20 mm x 80 mm

vertical data resolution 1 A at 65kA range

Z-height capability 1 mm ??

Color video camera with manual zoom optics

70-280X
PH NG PHÁP STYLUSƯƠ
Analytical Functions - Roughness

Maxdev (Maximum Deviation)

MaxRa (Maximum Ra)

Ra (Average Roughness)

Rp(Maximum Peak)

Rq (RMS)

Rt (Maximum peak to valley)

Rv (Maximum valley)

Rz_din (Ten points height average)

Skew (skewness)
PH NG PHÁP STYLUSƯƠ
Analytical Functions - Waviness

Wa (Arithmetic average of waviness)

Wmaxdev (maximum Deviation of Waviness)

Wp (maximum peak of waviness)


Wq (Root – Mean – Square of Waviness)

Wt (Maximum peak to valley of waviness)

Wv (Maximum vallley of waviness)
PH NG PHÁP STYLUSƯƠ
Analytical Functions - Height

ASH (Delta Average step height)

Avg Ht (Average Height)

HSC (High spot count)

Pc (peak count)

Peak (Maximum peak)

P_V (Maximum peak to valley)

TIR (Total Indicated reading)

Valley (maximum valley)
PH NG PHÁP STYLUSƯƠ
Analytical Functions - Geometry

Area (Area under the curve)

Perim (Perimeter)


Radius

Slop

Sm (Mean spacing between peaks)

Tp (Bearing ratio)

Volume
PH NG PHÁP STYLUSƯƠ
u và nh c đi mư ượ ể